JP2019072866A - 樹脂封止装置における撮像方法及び樹脂封止装置 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本実施の形態においては、図1を基準に、製品収納ユニット6に対するディゲーターユニット5の位置を「後」又は「後方」とし、ディゲーターユニット5に対する製品収納ユニット6の位置を「前」又は「前方」とする。また、インローダー2に対するアンローダー4の位置を「右」又は「右方」とし、アンローダー4に対するインローダー2の位置を「左」又は「左方」とする。また、図1を基準に、紙面の手前を鉛直方向における「上」又は「上方」とし、紙面の奥を鉛直方向における「下」又は「下方」とする。
まず、図1を参照しながら、半導体パッケージの樹脂封止装置を構成する各種ユニットの概要を説明する。また、図2を参照しながら、図1で示した樹脂封止装置の各種ユニットに撮像手段(カメラ)を設けた樹脂封止装置Aの構造について説明する。図2で示す樹脂封止装置Aが、本発明の第1の実施の形態である。
材料供給ユニット1は、リードフレーム供給装置11と、樹脂タブレット供給装置12を有している。
インローダー2は、リードフレーム保持部と、樹脂タブレット保持部を有している(いずれも図示省略)。
プレスユニット7は、第1のプレスユニット71、第2のプレスユニット72、及び第3のプレスユニット73を有している。また、各プレスユニット71、72、73は、それぞれ、樹脂封止用金型710、樹脂封止用金型720及び樹脂封止用金型730を有している。
アンローダー4は、成形品保持部と、クリーナー部を有している(いずれも図示省略)。
ディゲーターユニット5は、成形品からカル、ランナー、ゲート等の樹脂の不要な部分を除去するディゲート部50を有している。ディゲート部50では、半製品で要求される品質に応じて、樹脂の不要な部分を除去する。
製品収納ユニット6は、ディゲート部50で成形品から不要な部分が除去された半製品を保持するピックアップ部61と、半製品を収納する回収マガジン部62を有している。
図2に示すように、材料供給ユニット1には、リードフレームを撮像する撮像手段として、搬送部用カメラ13及びワイヤチェック用カメラ14が設けられている。
図2に示すように、インローダー2には、リードフレームを撮像する撮像手段として、2つのインローダー用カメラ21が設けられている。
図2に示すように、プレヒートユニット3には、リードフレームを撮像する撮像手段として、2つのプレヒートユニット用カメラ31が設けられている。
図2に示すように、アンローダー4には、樹脂封止された後の成型品を撮像する撮像手段として、アンローダー用カメラ41が設けられている。また、アンローダー4には、樹脂封止用金型710、720、730の金型表面を撮像する撮像手段として、金型用カメラ42が設けられている。
図2に示すように、インローダー2には、成形品を撮像する撮像手段として、ディゲーターユニット用カメラ51が設けられている。
図2に示すように、製品収納ユニット6には、半製品を撮像する撮像手段として、製品収納ユニット用カメラ63が設けられている。
樹脂封止装置Aは、撮像情報を処理する監視用端末8(図3参照)を備えている。監視用端末8は、有線又は無線による通信を介して、樹脂封止装置Aに設けられた各カメラとの間で情報を送受信可能に構成されている(図3参照)。
この第2の実施の形態である樹脂封止装置Bにおける樹脂封止装置Aとの違いは、撮像手段を設置する構造にある。なお、樹脂封止装置Bにおいて、リードフレーム供給装置11、樹脂タブレット供給装置12、切出部110、搬送部111、回転部112、第1のプレスユニット71については、図1に示した部材と同一の構成を有しているため共通の符号で示し、その詳細な説明は省略する。
樹脂封止装置Aの各ユニットに設けられたカメラにより、樹脂封止装置Aは、リードフレーム、成形品及び半製品を撮像する。
(ステップS2)
樹脂封止装置Aはセンサー機構等で異常を検知して、動作を停止すればステップS3へ移行する。樹脂封止装置Aは異常を検知しなければ、ステップS4へ移行する。
樹脂封止装置Aの停止の原因となる異常を検知したセンサー機構が設けられたユニットについて、樹脂封止装置Aは、同ユニットに取り付けられたカメラの撮像情報(停止時撮像情報)を撮像情報処理記録部81に記録する。
作業者が停止時撮像情報を確認して、ユニットの動作状況等を見て、異常の原因を解析する。問題が是正されれば、樹脂封止装置Aは、ステップS1とステップS2の間に処理を戻す。
樹脂封止装置Aによる樹脂封止が完了(例えば、1つのリードフレームの製造ロットの樹脂封止の完了)すると、樹脂封止装置Aは、リードフレームに付与された識別情報に基づき、各カメラで撮像した撮像情報を1つのデータに統合して、撮像情報処理記録部81に記録する。
樹脂封止装置Aは、半製品の品質を検査する。半製品に不具合があればステップS6へ移行する。半製品に不具合がなければ監視の工程が完了する。
不具合を有する半製品について、識別情報に基づき統合して記録された撮像情報を作業者が確認する。撮像情報の内容から、異常の原因を生じたユニットを特定する。
ユニットの動作状況等を見て、異常の原因を解析する。問題が是正されれば、樹脂封止装置Aは、監視の工程が終了する。
また、本発明に係る樹脂封止装置は、樹脂封止装置の生産工程において、製品の不具合が発生した際に、その原因の特定を容易に行うことができるものとなっている。
11 リードフレーム供給装置
110 切出部
111 搬送部
111a ガイド部
112 回転部
12 樹脂タブレット供給装置
13 搬送部用カメラ
13B 搬送部用カメラ
130 レール部
130B 移動体
14 ワイヤチェック用カメラ
2 インローダー
21 インローダー用カメラ
21B インローダー用カメラ
210 レール部
210B 移動体
3 プレヒートユニット
31 プレヒートユニット用カメラ
4 アンローダー
41 アンローダー用カメラ
42 金型用カメラ
5 ディゲーターユニット
50 ディゲート部
51 ディゲーターユニット用カメラ
6 製品収納ユニット
61 ピックアップ部
62 回収マガジン部
63 製品収納ユニット用カメラ
7 プレスユニット
71 第1のプレスユニット
710 樹脂封止用金型
72 第2のプレスユニット
720 樹脂封止用金型
73 第3のプレスユニット
730 樹脂封止用金型
8 監視用端末
81 撮像情報処理記録部
82 撮像手段制御部
83 異常判定部
Claims (12)
- 半導体素子を搭載した基材を所定位置まで搬送する材料供給ユニットと、該材料供給ユニットで搬送された前記基材を、同基材を樹脂封止する樹脂封止ユニットまで搬送するインローダーと、を備える樹脂封止装置における撮像方法であって、
前記材料供給ユニットによる前記基材の搬送経路及び前記インローダーによる同基材の搬送経路の少なくとも一部で、同基材と略同一方向へ、かつ、略同一速度で動きながら同基材を撮像する工程を備える
樹脂封止装置における撮像方法。 - 前記材料供給ユニットによる前記基材の搬送経路及び前記インローダーによる同基材の搬送経路の少なくとも一部で、同基材が静止した状態を撮像する工程を備える
請求項1に記載の樹脂封止装置における撮像方法。 - 前記樹脂封止ユニットで前記基材を樹脂封止した成形品を搬送する搬送経路の少なくとも一部で、前記成形品と略同一方向へ、かつ、略同一速度で動きながら同成形品を撮像する工程を備える
請求項1又は請求項2に記載の樹脂封止装置における撮像方法。 - 前記材料供給ユニットによる前記基材の搬送経路と、前記インローダーによる同基材の搬送経路のそれぞれの搬送経路で、同基材を撮像する
請求項1、請求項2又は請求項3に記載の樹脂封止装置における撮像方法。 - 半導体素子を搭載した基材を所定位置まで搬送する材料供給ユニットと、該材料供給ユニットで搬送された前記基材を、同基材を樹脂封止する樹脂封止ユニットまで搬送するインローダーと、を備える樹脂封止装置であって、
前記材料供給ユニット及び前記インローダーの少なくとも一方に取り付けられ、前記基材を撮像する基材撮像手段を有する
樹脂封止装置。 - 半導体素子を搭載した基材を所定位置まで搬送する材料供給ユニットと、該材料供給ユニットで搬送された前記基材を、同基材を樹脂封止する樹脂封止ユニットまで搬送するインローダーと、を備える樹脂封止装置であって、
前記材料供給ユニットによる前記基材の搬送経路及び前記インローダーによる同基材の搬送経路の少なくとも一部に沿って、同基材が搬送される動きと同期しながら、同基材と略同一方向へ移動可能な移動手段と、
該移動手段に取り付けられ、前記基材を撮像する基材撮像手段とを有する
樹脂封止装置。 - 前記基材を加熱すると共に、加熱された同基材を前記インローダーが受け取りにくるプレヒートユニットを備え、
加熱される前記基材を撮像するプレヒート基材撮像手段を有する
請求項5又は請求項6に記載の樹脂封止装置。 - 前記樹脂封止ユニットで前記基材を樹脂封止した成形品を同樹脂封止ユニットから受け取って搬送するアンローダーと、該アンローダーから前記成形品を受け渡されて、同成形品の不要な樹脂部分を除去すると共に、前記成形品を搬送するディゲーターユニットと、該ディゲーターユニットから前記成形品を受け渡されて搬送する製品収納ユニットと、を備え、
前記アンローダー、前記ディゲーターユニット及び前記製品収納ユニットの少なくとも1つに取り付けられ、同成形品を撮像する成形品撮像手段を有する
請求項5に記載の樹脂封止装置。 - 前記樹脂封止ユニットで前記基材を樹脂封止した成形品を同樹脂封止ユニットから受け取って搬送するアンローダーと、該アンローダーから前記成形品を受け渡されて、同成形品の不要な樹脂部分を除去すると共に、前記成形品を搬送するディゲーターユニットと、該ディゲーターユニットから前記成形品を受け渡されて搬送する製品収納ユニットと、を備え、
前記アンローダーによる前記成形品の搬送経路、前記ディゲーターユニットによる同成形品の搬送経路及び前記製品収納ユニットによる同成形品の搬送経路の少なくとも一部に沿って、前記成形品が搬送される動きと同期しながら、同成形品と略同一方向へ移動可能な移動手段と、
該移動手段に取り付けられ、前記成形品を撮像する成形品撮像手段を有する
請求項6に記載の樹脂封止装置。 - 前記基材に同基材を識別可能な識別情報が付与され、
前記基材又は前記成形品を撮像して生成された撮像情報を前記識別情報と紐付けると共に、前記撮像情報が複数ある場合には、共通の前記識別情報に紐づいた同撮像情報を統合して記録する撮像情報処理記録部を備える
請求項8又は請求項9に記載の樹脂封止装置。 - 基準となる基準情報を記録すると共に、前記基材又は前記成形品を撮像して生成された撮像情報を前記基準情報と比較して、同基材又は同成形品の外観における差異を判別する撮像情報判別部を備える
請求項8、請求項9又は請求項10に記載の樹脂封止装置。 - 前記樹脂封止ユニットは、前記基材を型合わせ面で挟んで樹脂封止する樹脂封止用金型を有し、
前記アンローダーは、前記基材を樹脂封止した後の前記型合わせ面を清掃するクリーナー部と、該クリーナー部が清掃した後の同型合わせ面を撮像する金型撮像手段とを有する
請求項8、請求項9、請求項10又は請求項11に記載の樹脂封止装置。
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