JP2019067983A - ヒートシンクおよび半導体モジュール - Google Patents
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Abstract
Description
また、従来の半導体モジュール用冷却器としては、冷媒の流入流出部に特に発熱素子の実装に配置制約がなければ、ストレートフィンの周囲を流路壁面が取り囲み、ストレートフィンのフィン根元からフィン先端に至るまで均等に冷媒を流すことができる流路を構成することができていた(例えば、特許文献1参照)。
そこで、ベース面の厚さを変えずに当該箇所直下の冷媒流路をベース面の盛り上げ量に応じてくぼませ、そのくぼみ部分(以降、キャビティと称す)にストレートフィンを構成することがベース面の熱抵抗を抑制する観点で望ましい。ところが、キャビティに冷媒が流入する部分と冷媒が流出する部分は、キャビティのごく一部、すなわちキャビティ内に構成したフィン先端のわずかな領域のみにしか設けることができない。前述のような場合、冷媒は慣性にしたがって直進するため、冷媒のほとんどはフィン先端の部分を流れ、フィン根元の部分は冷媒が滞留してしまい、冷却性能が大幅に低下する問題があった。
また、この発明に係る半導体モジュールは、この発明に係るヒートシンクの第1の面の反対側の第2の面に発熱素子が搭載されたものである。
以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態1について説明する。なお、各図面において、同一符号は同一あるいは相当部分を示す。
図1は、この発明の実施の形態1によるヒートシンクを示す分解斜視図であり、図2は図1のヒートシンクにおいてフィンが配置された面から見た平面図である。また、図3は図2のA‐A線の矢印方向から見た断面図である。なお、図2および図3において、矢印aは冷媒の流れを示している。
複数のストレートフィン1は、発熱素子が実装されるベース5の表面の反対側の面に設けられ、複数のストレートフィン1が配設された領域への冷媒の流入または流出方向に対して垂直に配置されており、かつ複数のストレートフィン1は、複数のストレートフィン1の間を冷媒がジグザグに流れるような流路を構成するように配設されている。
図4は、この発明の実施の形態2によるヒートシンクであり、図3の破線Bの拡大図である。この発明の実施の形態2におけるヒートシンク30は、図4に示すように、フィン先端6とカバー4との間に高さH1の隙間8が設けられている。このフィン先端6に設けられた隙間8は、冷媒流入部2または冷媒流出部3の高さH2よりも小さな隙間である。わずかな隙間を設けることにより、実施の形態1に記載した流れ方には影響を与えず、フィン先端6を放熱面として活用でき、ヒートシンク30の放熱性能を向上させることができる。
図5は、実施の形態3のヒートシンクを示す分解斜視図である。また、図6は図5のC‐C線の矢印方向から見た断面図であり、図7は、図5のD‐D線の矢印方向から見た断面図である。
この発明の実施の形態3におけるヒートシンク30は、ウォータージャケット9と一体となった複数のストレートフィン1と、その周囲に配置された放熱フィン12と、冷媒が流入される入口パイプ10および冷媒が流出される出口パイプ11と、カバー4と発熱素子を実装するベース5によって構成されている。複数のストレートフィン1は、複数のストレートフィン1が配設された領域への冷媒の流入または流出方向に対して垂直に配置されるとともに、複数のストレートフィン1の間を冷媒がジグザグに流れるような流路を構成するように配設されている。
なお、放熱フィン12の形状は、例えば、ストレートフィンやピンフィンや積層フィン等を用いてよい。図5の矢印bに示すように、入口パイプ10からウォータージャケット9の内部に流入した冷媒は、ストレートフィン1および放熱フィン12を通り、出口パイプ11から流出する。
図8は、この発明の実施の形態4のヒートシンクを示す分解斜視図である。また、図9は、図8のE‐E線の矢印方向から見た断面図である。
実施の形態4におけるヒートシンク30は、実施の形態3におけるヒートシンク30の構成と同じであり、異なる点は、実施の形態4ではカバー4に発熱素子を実装するベース5とそのベース5の反対側の面に放熱フィン12が配置されていることである。この放熱フィン12は、例えば複数の円柱状のフィンで構成されている。この発明の実施の形態4のヒートシンク30においては、発熱素子を実装する2つのベース5の流路側に放熱フィン12が向かい合うように配置されており、流路を共有して両面から放熱される。この発明の実施の形態4においては、カバー4に放熱フィン12が設けられているため、より多くの発熱素子およびその他の部品を搭載することができ、空間を有効に活用することができるため、機器を小型化することが可能である。
図10は、この発明の実施の形態5のヒートシンクを示す分解斜視図である。また、図11は、図10のF‐F線の矢印方向から見た断面図である。
この発明による実施の形態5におけるヒートシンク30は、実施の形態4におけるヒートシンク30の構成と同じであり、異なる点は、向かい合った放熱フィン12の間に板金13が配置されたことである。板金13が配置されることにより、実施の形態4においては、共有していた流路が分割され、図11に示す上側のベース5と下側のベース5上に実装される発熱素子同士の、冷媒を介した熱干渉を防ぐことができる。さらに、板金13で分割された上側のフィンと下側のフィンの流体抵抗を調整することで、発熱素子の発熱量に応じた冷媒流量を流すことができ、一方のベースに配置された発熱素子の発熱量が、もう一方のベースに配置された発熱素子の発熱量よりも小さい場合には、発熱量が小さい側のフィンを流れる冷媒流量を少なくして、冷媒循環ポンプの消費エネルギーを抑制することができる。
なお、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
また、この発明に係る半導体モジュールは、この発明に係るヒートシンクの前記ベースの表面に発熱素子が搭載されたものである。
Claims (8)
- ベースと、
前記ベースの第1の面に設けられた複数のフィンと、を備え、
前記複数のフィンは、前記複数のフィンが配設された領域への冷媒の流入または流出方向に対して垂直に配置されるとともに、前記複数のフィンの間を冷媒がジグザグに流れるような流路を構成するように配設されたことを特徴とするヒートシンク。 - 前記ベースは、凸形状の内部に窪みが設けられたキャビティを有しており、
前記複数のフィンは前記キャビティの内部に設けられ、前記キャビティの底面の周囲を取り囲むように設けられた4面のうち対向する2面と交互に接するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載のヒートシンク。 - 前記複数のフィンの先端の近傍に設けられた冷媒流入流出部を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のヒートシンク。
- 前記キャビティの上面に前記冷媒流入流出部を介して設けられ、前記複数のフィンの先端を覆うように形成された第1のカバーを有し、
前記フィンの先端と前記カバーとの間の高さは、前記冷媒流入流出部の高さよりも小さいことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のヒートシンク。 - 前記複数のフィンと一体となったウォータージャケットと、
前記複数のフィンの周囲に配置された第1の放熱フィンと、を有し、
前記第1の放熱フィンの上面の高さは、前記ヒートシンクの前記冷媒流入流出部と同じ高さであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のヒートシンク。 - 前記ウォータージャケットの上面を覆う第2のカバーと、
前記第2のカバーに設けられた第2の放熱フィンと、
前記第2の放熱フィンが設けられた面の反対側の面に設けられた別のベースと、を有し、
前記流路に対して前記第1および第2の放熱フィンが向かい合うように配置されたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のヒートシンク。 - 前記第1の放熱フィンと前記第2の放熱フィンとの間に板金が配置されたことを特徴とする請求項6に記載のヒートシンク。
- 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のヒートシンクの前記第1の面の反対側の第2の面に発熱素子が搭載されたことを特徴とする半導体モジュール。
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