JP2019049523A - 圧電回転mems共振器 - Google Patents
圧電回転mems共振器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019049523A JP2019049523A JP2018098266A JP2018098266A JP2019049523A JP 2019049523 A JP2019049523 A JP 2019049523A JP 2018098266 A JP2018098266 A JP 2018098266A JP 2018098266 A JP2018098266 A JP 2018098266A JP 2019049523 A JP2019049523 A JP 2019049523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inertial mass
- suspension
- resonator
- coated
- suspensions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 345
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 60
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 42
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 20
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000030279 gene silencing Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/304—Beam type
- H10N30/306—Cantilevers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
- G01C19/5747—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0862—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02244—Details of microelectro-mechanical resonators
- H03H9/02338—Suspension means
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
- H03H9/2405—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
本開示は、1以上のアンカ点を有する基板と、第1の長手方向端部および第2の長手方向端部を有する慣性マスとを備える回転共振器について記載する。慣性マスは、1以上のアンカ点から慣性マスの第1の長手方向端部または第2の長手方向端部のいずれかに向かって延在する1または複数の懸架部によって、1以上のアンカ点から懸架されている。懸架部のうちの1以上の懸架部は、慣性マスの振動回転運動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされている。アンカ点のいずれにも、1を超えない懸架部が取り付けられている。各コーティングされた懸架部の長手方向の長さは、慣性マスの長手方向の長さの0.5倍〜1倍である。
単一の慣性マスを備えた共振器は、外部振動から生じる乱れに弱い。回転共振器は、線形外部振動に影響を受けないが、依然として回転振動に弱い。回転共振器はまた、慣性懸架部と共振器の固定台とが機械的に結合されているため、音響損失を生じ得る。この結合は、懸架部によってアンカ点、ひいては固定台にかかるトルクによるものであり、固定台は、実際には全体的に固定されておらず、大きいが無限ではない質量、ひいては有限の慣性モーメントを有する。固定台が多少でも回転することができる場合、エネルギーが共振器から漏れ、固定台の支持部が、接着剤または他の消音材料によって取り付けられているか、プラスチックまたは複合材料などの消音材料に取り付けられていると、熱に変換され得る。その結果、取付けの材料の特性に応じて、共振器のQ値は低下し、大きく変化し得る。これらの課題は、2つの慣性マスを含む共振器システムで解決されてもよい。2つの慣性マスは、同期して振動するように互いに機械的に結合されてもよい。ロバスト性の向上および損失の低減は、2つの慣性マスを逆位相振動させることによって得られてもよく、この場合、いかなる時も一方のマスが所与の軸を中心として時計回りに回転すると、他方が等しい角速度で、平行な軸を中心として反時計回りに回転し、逆の場合も同じである。2つの共振器によって固定台にかかるトルクは、等しいが逆であり、打ち消し合う。圧電変換器から差動信号を読み取ることによって、同じ利点が感知側で得られてもよい。各共振器への外部振動の影響は等しく、外部振動は差動読取値によって打ち消し合う。上記共振器のいずれも、共振器システムで利用されてもよい。
また、第1の慣性マスおよび第2の慣性マスは、ばねシステムで機械的に結合され、同期してもよく、ばねシステムは、第1の慣性マスと第2の慣性マスとの間の第3のアンカ点と、第3のアンカ点から第1の横断バーまで延在する第1の長手方向ばねと、第1の横断バーから第1の慣性マスまで延在する第2の長手方向ばねと、第1の横断バーから第2の慣性マスまで延在する第3の長手方向ばねとを備える。また、ばねシステムは、第1の慣性マスと第2の慣性マスとの間の第4のアンカ点と、第4のアンカ点から第2の横断バーまで延在する第5の長手方向ばねと、第2の横断バーから第1の慣性マスまで延在する第6の長手方向ばねと、第2の横断バーから第2の慣性マスまで延在する第7の長手方向ばねとを備えてもよい。
上記共振器システムのいずれも、それらが2つの直交共振モードを可能にするように構成される場合、および、それらが少なくとも2つの変換器、すなわち、駆動運動させるための変換器と、ジャイロスコープが角運動を受ける際のコリオリの力から生じる二次回転振動運動を感知するための変換器とを備える場合、ジャイロスコープに実装されてもよい。一般的に、前述の実施形態に係る共振器をジャイロスコープに使用する利点は、駆動変換器内で高い結合係数が得られ、感知変換器内で大信号が得られることである。
図21〜図23は、第1のジャイロスコープの実施形態と共に実装されてもよい第2のジャイロスコープの実施形態に係る共振器システムを示す。この実施形態では、共振器システムは、さらに、慣性マスの振動回転運動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされた少なくとも1つの外部懸架部を備え、外部懸架部の一端部はアンカ点に取り付けられ、外部懸架部の他端部は慣性マスのうちの1つにたわみ部を用いて取り付けられている。
前述の共振器の実施形態および共振器システムの実施形態に記載したいかなる共振器およびたわみ部の構成も、従来技術から既知の付加物と共に、クロック発振器に実装することができる。一般的に、前述の実施形態に係る共振器をクロック発振器に使用する利点には、少なくとも高い結合係数、小さな運動抵抗、確実なスタートアップおよび低騒音がある。
Claims (30)
- 1以上のアンカ点を有する基板と、第1の長手方向端部および第2の長手方向端部を有する慣性マスとを備える回転共振器であって、前記慣性マスは、前記1以上のアンカ点から前記慣性マスの前記第1の長手方向端部または前記第2の長手方向端部のいずれかに向かって延在する1または複数の懸架部によって、前記1以上のアンカ点から懸架され、前記懸架部のうちの1以上の懸架部は、前記慣性マスの振動回転運動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされている回転共振器であって、
前記アンカ点のいずれにも、1を超えない懸架部が取り付けられており、各コーティングされた懸架部の長手方向の長さは、前記慣性マスの長手方向の長さの0.5倍〜1倍である
回転共振器。 - 前記慣性マスの回転軸、または前記慣性マスの前記回転軸と交差する横断線のいずれかから、前記共振器の有効重心までの距離は、振動サイクルのいかなる時点でも、前記1以上のコーティングされた懸架部のいずれかの前記長さの0.01倍を超えない
請求項1に記載の回転共振器。 - 前記1以上のコーティングされた懸架部の各々は、前記懸架部の長手方向の全長にわたって均一な横断幅形状および均一な垂直高さ形状を有しており、各コーティングされた懸架部が取り付けられている前記アンカ点から、前記共振器の前記有効重心を通る前記横断線までの、前記各コーティングされた懸架部上の長手方向の距離は、前記コーティングされた懸架部の前記長さの0.49倍〜0.51倍である
請求項2に記載の回転共振器。 - 懸架部の数は1である
請求項1〜3のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 前記慣性マスは、1つの内部開口部を備えており、当該内部開口部内には、1つのアンカ点および1つの懸架部が位置する
請求項4に記載の回転共振器。 - 前記慣性マスは、1つの外部開口部を備えており、当該外部開口部内には、1つのアンカ点および1つの懸架部が位置する
請求項4に記載の回転共振器。 - アンカ点の数は少なくとも2であり、懸架部の数は少なくとも2である
請求項1〜3のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 前記慣性マスは、少なくとも2つの外部開口部を備えており、前記外部開口部の少なくとも2つの中には、1つのアンカ点および1つの懸架部が位置する
請求項7に記載の回転共振器。 - 前記慣性マスは、少なくとも2つの内部開口部を備えており、前記内部開口部の少なくとも2つの中には、1つのアンカ点および1つの懸架部が位置する
請求項7に記載の回転共振器。 - 前記慣性マスは、少なくとも1つの内部開口部を備えており、同じ前記内部開口部内には、少なくとも2つのアンカ点および少なくとも2つの懸架部が位置する
請求項7に記載の回転共振器。 - 前記少なくとも2つの懸架部のすべては、それぞれのアンカ点から、前記慣性マスの同じ長手方向端部に向かって延在する
請求項7〜10のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 前記少なくとも2つの懸架部の少なくとも1つは、アンカ点から、前記慣性マスの第1の長手方向端部に向かって延在し、前記少なくとも2つの懸架部の別の1つは、アンカ点から、前記慣性マスの第2の長手方向端部に向かって延在する
請求項7〜10のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 前記コーティングされた懸架部の少なくとも1つは、面内回転振動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされている
請求項1〜12のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 前記コーティングされた懸架部の少なくとも1つは、面外回転振動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされている
請求項1〜13のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 前記コーティングされた懸架部の少なくとも1つは、面内回転振動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体、さらに、面外回転振動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされている
請求項1〜14のいずれか1項に記載の回転共振器。 - 1以上の第1のアンカ点および1以上の第2のアンカ点を有する基板と、
互いに機械的に結合されており、両方が第1の長手方向端部および第2の長手方向端部を備える第1の慣性マスおよび第2の慣性マスであって、
前記1以上の第1のアンカ点から前記第1の慣性マスの前記第1の長手方向端部または前記第2の長手方向端部のいずれかに向かって延在する1以上の第1の懸架部によって、前記1以上の第1のアンカ点から懸架されている第1の慣性マス、および
前記1以上の第2のアンカ点から前記第2の慣性マスの前記第1の長手方向端部または前記第2の長手方向端部のいずれかに向かって延在する1以上の第2の懸架部によって、前記1以上の第2のアンカ点から懸架されている第2の慣性マスとを備え、
前記第1の懸架部の少なくとも1つおよび前記第2の懸架部の少なくとも1つは、当該懸架部が取り付けられている前記慣性マスの振動回転運動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされている、
第1共振器および第2の共振器を有する回転共振器システムであって、
前記1以上のアンカ点のいずれにも、1を超えない懸架部が取り付けられており、各コーティングされた懸架部の長手方向の長さは、前記各コーティングされた懸架部が取り付けられている前記慣性マスの長手方向の長さの0.5倍〜1倍である
回転共振器システム。 - 各慣性マスに対して、前記慣性マスの回転軸、または前記慣性マスの前記回転軸と交差する横断線のいずれかから、前記共振器の有効重心までの距離は、振動サイクルのいかなる時点でも、前記慣性マスに取り付けられた前記コーティングされた懸架部のいずれかの前記長さの0.01倍を超えない
請求項16に記載の回転共振器システム。 - 共振器に取り付けられた前記1以上のコーティングされた懸架部の各々は、前記懸架部の長手方向の全長にわたって均一な横断幅形状および均一な垂直高さ形状を有しており、各コーティングされた懸架部が取り付けられている前記アンカ点から、前記共振器の前記有効重心を通る前記横断線までの、前記各コーティングされた懸架部上の長手方向の距離は、前記コーティングされた懸架部の前記長さの0.49倍〜0.51倍である
請求項17に記載の回転共振器システム。 - 前記第1の慣性マスおよび前記第2の慣性マスは、単一のねじりばねまたは単一の曲げばねで機械的に結合され、同期している
請求項16〜18のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 前記第1の慣性マスおよび前記第2の慣性マスは、ばねシステムで機械的に結合され、同期しており、前記ばねシステムは、前記第1の慣性マスと前記第2の慣性マスとの間の第3のアンカ点と、前記第3のアンカ点から第1の横断バーまで延在する第1の長手方向ばねと、前記第1の横断バーから前記第1の慣性マスまで延在する第2の長手方向ばねと、前記第1の横断バーから第2の慣性マスまで延在する第3の長手方向ばねとを備える
請求項16〜19のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 前記ばねシステムは、さらに、前記第1の慣性マスと前記第2の慣性マスとの間の第4のアンカ点と、前記第4のアンカ点から第2の横断バーまで延在する第5の長手方向ばねと、前記第2の横断バーから前記第1の慣性マスまで延在する第6の長手方向ばねと、前記第2の横断バーから前記第2の慣性マスまで延在する第7の長手方向ばねとを備える
請求項20に記載の回転共振器システム。 - 前記1以上の第1の懸架部および前記1以上の第2の懸架部は、それぞれのアンカ点から同じ長手方向に延在する
請求項16〜21のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 前記1以上の第1の懸架部は、それぞれのアンカ点から、前記1以上の第2の懸架部がそれぞれのアンカ点から延在する長手方向と反対の長手方向に延在する
請求項16〜21のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 前記第1の慣性マスに取り付けられた前記1以上の第1の懸架部の少なくとも1つは、面内変換器でコーティングされ、前記第2の慣性マスに取り付けられた前記1以上の第2の懸架部の少なくとも1つは、面外変換器でコーティングされている
請求項16〜23のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 各コーティングされた懸架部の横断幅は、当該懸架部の垂直厚さに等しく、すべての懸架部の前記横断幅および前記垂直厚さは、ほぼ等しい
請求項24に記載の回転共振器システム。 - 各コーティングされた懸架部は、少なくとも1つの面内変換器および少なくとも1つの面外変換器を備える
請求項16〜23のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 前記共振器システムは、さらに、前記第1の慣性マスまたは前記第2の慣性マスの前記振動回転運動を駆動または検出するように構成された圧電変換器構造体でコーティングされた少なくとも1つの外部懸架部を備え、前記外部懸架部の一端部はアンカ点に取り付けられ、前記外部懸架部の他端部は前記第1の慣性マスまたは前記第2の慣性マスにたわみ部を用いて取り付けられている
請求項16〜26のいずれか1項に記載の回転共振器システム。 - 前記共振器システムは、一方が前記第1の慣性マスに取り付けられ、他方が前記第2の慣性マスに取り付けられている2つの外部懸架部を備えており、前記2つの外部懸架部は、それぞれのアンカ点から反対の長手方向に延在する
請求項27に記載の回転共振器システム。 - 請求項16〜23のいずれか1項に記載の回転共振器システムを備えるクロック発振器。
- 請求項24〜28のいずれか1項に記載の回転共振器システムを備えるジャイロスコープ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20175467 | 2017-05-24 | ||
FI20175467 | 2017-05-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019049523A true JP2019049523A (ja) | 2019-03-28 |
JP6627912B2 JP6627912B2 (ja) | 2020-01-08 |
Family
ID=62235854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018098266A Active JP6627912B2 (ja) | 2017-05-24 | 2018-05-22 | 圧電回転mems共振器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10910549B2 (ja) |
EP (1) | EP3407014B1 (ja) |
JP (1) | JP6627912B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10495663B2 (en) * | 2016-02-19 | 2019-12-03 | The Regents Of The University Of Michigan | High aspect-ratio low noise multi-axis accelerometers |
CN108476003B (zh) * | 2016-09-06 | 2019-10-11 | 株式会社和广 | 发电元件 |
JP6610706B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2019-11-27 | 株式会社村田製作所 | 横駆動変換器を備える圧電ジャイロスコープ |
JP6696530B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-05-20 | 株式会社村田製作所 | 圧電ジャイロスコープにおける連結懸架 |
JP6627911B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-01-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電回転mems共振器 |
US10436587B2 (en) * | 2017-08-11 | 2019-10-08 | Hrl Laboratories, Llc | Multi-mode coriolis vibratory gyroscopes having high order rotationally symmetric mechanical structure and 32 electrodes |
EP3671116B1 (en) * | 2018-12-19 | 2021-11-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Synchronized multi-axis gyroscope |
EP3671118B1 (en) | 2018-12-19 | 2021-08-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibration-robust multiaxis gyroscope |
JP7188311B2 (ja) * | 2019-07-31 | 2022-12-13 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体 |
CN111180573B (zh) * | 2020-01-07 | 2022-01-18 | 中国科学院声学研究所 | 十字形板状mems压电指向性传感芯片的制备方法 |
US11740088B2 (en) * | 2020-11-27 | 2023-08-29 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope and method for compensating an output thermal drift in a microelectromechanical gyroscope |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5166571A (en) | 1987-08-28 | 1992-11-24 | Nec Home Electronics, Ltd. | Vibration gyro having an H-shaped vibrator |
DE19937747C2 (de) | 1999-08-10 | 2001-10-31 | Siemens Ag | Mechanischer Resonator für Rotationssensor |
JP2002267451A (ja) | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Wacoh Corp | 角速度センサ |
FR2834055B1 (fr) | 2001-12-20 | 2004-02-13 | Thales Sa | Capteur inertiel micro-usine pour la mesure de mouvements de rotation |
WO2006039560A2 (en) | 2004-09-30 | 2006-04-13 | University Of Southern California | Silicon inertial sensors formed using mems |
FI116543B (fi) | 2004-12-31 | 2005-12-15 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
US20060169041A1 (en) * | 2005-02-02 | 2006-08-03 | Madni Asad M | Combined gyroscope and 2-axis accelerometer |
JP5205725B2 (ja) | 2006-08-21 | 2013-06-05 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
DE102007017209B4 (de) | 2007-04-05 | 2014-02-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanischer Inertialsensor zur Messung von Drehraten |
JP2010078500A (ja) | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | 慣性センサ |
US8584524B2 (en) | 2008-10-21 | 2013-11-19 | ISC8 Inc. | Nano-resonator inertial sensor assembly |
US8438923B2 (en) * | 2009-03-27 | 2013-05-14 | Analog Devices, Inc. | MEMS device with opposite polarity spring bimorph |
JP2010256332A (ja) | 2009-04-02 | 2010-11-11 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子および物理量検出装置 |
JP5728823B2 (ja) | 2009-06-09 | 2015-06-03 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
US8322213B2 (en) | 2009-06-12 | 2012-12-04 | The Regents Of The University Of California | Micromachined tuning fork gyroscopes with ultra-high sensitivity and shock rejection |
DE102009046506B4 (de) * | 2009-11-06 | 2024-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
JP2011158319A (ja) | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 角速度センサ |
US9021880B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric three-axis gyroscope and stacked lateral overlap transducer (slot) based three-axis accelerometer |
WO2011161958A1 (ja) | 2010-06-25 | 2011-12-29 | パナソニック株式会社 | 慣性力検出素子とそれを用いた慣性力センサ |
JP2012149961A (ja) | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Nec Tokin Corp | 振動ジャイロ |
WO2013076942A1 (ja) * | 2011-11-22 | 2013-05-30 | パナソニック株式会社 | 角速度センサとそれに用いられる検出素子 |
US9372084B2 (en) | 2012-04-04 | 2016-06-21 | Seiko Epson Corporation | Gyro sensor, electronic apparatus, and mobile unit |
US9606191B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-03-28 | Invensense, Inc. | Magnetometer using magnetic materials on accelerometer |
US9528830B2 (en) | 2013-07-17 | 2016-12-27 | Ramot At Tel-Aviv University Ltd. | Angular rate sensor |
JP5529328B1 (ja) | 2013-09-04 | 2014-06-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
FI125695B (en) | 2013-09-11 | 2016-01-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope construction and gyroscope |
US9958271B2 (en) | 2014-01-21 | 2018-05-01 | Invensense, Inc. | Configuration to reduce non-linear motion |
JP6330501B2 (ja) | 2014-06-12 | 2018-05-30 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
EP3034997B1 (en) * | 2014-12-18 | 2020-12-16 | RISE Research Institutes of Sweden AB | Mems gyro |
-
2018
- 2018-05-22 JP JP2018098266A patent/JP6627912B2/ja active Active
- 2018-05-23 EP EP18173731.3A patent/EP3407014B1/en active Active
- 2018-05-24 US US15/988,607 patent/US10910549B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10910549B2 (en) | 2021-02-02 |
JP6627912B2 (ja) | 2020-01-08 |
EP3407014A1 (en) | 2018-11-28 |
EP3407014B1 (en) | 2020-12-09 |
US20180342667A1 (en) | 2018-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6627912B2 (ja) | 圧電回転mems共振器 | |
JP6627911B2 (ja) | 圧電回転mems共振器 | |
JP6610706B2 (ja) | 横駆動変換器を備える圧電ジャイロスコープ | |
JP6769517B2 (ja) | ピエゾリングジャイロスコープ | |
JP6891932B2 (ja) | ピエゾz軸ジャイロスコープ | |
US8549918B2 (en) | Inertial sensors using piezoelectric transducers | |
JP6696530B2 (ja) | 圧電ジャイロスコープにおける連結懸架 | |
JP6027029B2 (ja) | ばね構造、共振器、共振器アレイおよびセンサ | |
US20120291548A1 (en) | Gyro sensor and electronic device | |
JP5287939B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2020112545A (ja) | 同期多軸ジャイロスコープ | |
JP2020091280A (ja) | 回転運動検出用微小電気機械デバイス | |
JP6787437B2 (ja) | ピエゾリングジャイロスコープ | |
JP2010266321A (ja) | 多軸角速度センサ | |
JP2001264069A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6627912 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |