JP2019048339A - ドライ研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
底板50の略中央部に形成された開口500は、例えば、保持テーブル30よりも僅かに大径の円形状となっている。
制御バルブ884が開かれると、エアタンク882内の高圧エアがエアホース883及び制御バルブ884を通り、噴射ノズル881からフィルタ832の中心穴832aに向けて噴射される。この結果、フィルタ832の中心穴832a側から外周に向けて濾過時とは逆に高圧エアが流れるため、フィルタ832によって捕集された微細な研磨屑がフィルタ832の外側面から吹き飛ばされ、フィルタ832が洗浄される。吹き飛ばされた微細な研磨屑は、落下して研磨屑収容容器85内に収容される。なお、このフィルタ再生手段88は、集塵機8が所定時間稼働した時点で定期的に作動すればよい。
30:保持テーブル 300:保持テーブルの上面 31:蛇腹カバー
5:加工室 50:底板 500:開口 51a:側壁 510:シャッター 511:ガイドレール 512:シャッター可動手段
51b:側壁 51c:側壁
51d:側壁 56:排気口
52:天板 520:第2の開口 520a:シーリング部材
57:吸気口 570:配管
571:第1のパンチングプレート 571a:細かい穴
572:第2のパンチングプレート 572a:細かい穴
573:第1のシャワー部 574:第2のシャワー部 575:水供給源
6:研磨手段 60:スピンドル 61:ハウジング 62:モータ 63:マウント
64:研磨パッド
7:研磨送り手段 70:ボールネジ 71:一対のガイドレール 72:モータ 73:昇降板 74:ホルダ
8:集塵機 81:装置ハウジング
83:分離手段 831:外筒 831b:研磨屑受け取り部 832:フィルタ 833:閉塞版 834:流入室 835:取り入れ管 836:排気管 836a:排気流路 85:研磨屑収容容器
84:吸引モータ 840:吸気配管 841:排気ダクト
88:フィルタ再生手段 881:噴射ノズル 882:エアタンク 883:エアホース
884:制御バルブ 885:バルブ制御部
W:ウェーハ
Claims (2)
- ウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持したウェーハを研磨する砥粒を含んだ研磨パッドが回転可能に装着された研磨手段と、該保持テーブルと該研磨パッドとを収容する加工室と、を備えたドライ研磨装置であって、
該加工室は、該保持テーブルを貫通させる開口を有する底板と、該底板の外周から立設する側壁と、該底板に対面し該側壁の上端に接続され該研磨手段の該研磨パッドを貫通させる第2の開口を備える天板と、該研磨パッドがウェーハを研磨した際に生じる研磨屑を集塵する集塵機に接続される排気口と、を備え、
該側壁には、該加工室内に空気を取り込む吸気口を備え、
細かい穴を複数備え該吸気口を覆うように配設されたパンチングプレートと、該パンチングプレートに水を供給するシャワー部とを備えたドライ研磨装置。 - 少なくとも2枚の前記パンチングプレートが所定の隙間を設けて該吸気口を覆うように配設され、
隣り合う該パンチングプレートの前記細かい穴は、重なり合わないように前記側壁の面方向にずらされている請求項1記載のドライ研磨装置。
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