JP6094696B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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Description
上記に詳述した実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
Claims (2)
- 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを複数備えた吸引手段と、を備え、
前記吸引手段の複数のノズルは、前記ブレードの回転方向の上流側に配置されたノズルと前記ブレードの回転方向の下流側に配置されたノズルとを含み、
前記吸引手段の下部には、前記切削水ノズルから噴射された切削液を前記上流側に配置されたノズルに導くための傾斜面が形成されたブロックが設けられ、
前記ブロックは、前記ワークに対向する対向面と前記傾斜面とにより形成される鋭角部を有し、前記鋭角部には前記鋭角部から前記加工点側に向かって前記ワークの表面に斜め方向に流体を帯状又は扇状に噴射する噴射口が設けられることを特徴とするダイシング装置。 - 前記カバーには、前記切削水ノズルとは別に構成された吸引補助ノズルであって、前記ブレードの回転面の両側に前記ブレードの回転面に向うように前記加工点付近へ帯状または扇状に流体を噴射する前記吸引補助ノズルが備えられ、前記吸引補助ノズルから噴射された流体により前記切削液の飛散を防ぐ流体壁を形成したことを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
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