JP2019040898A - 半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を成長させることが可能な半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法を提供する。【解決手段】サファイア(1)のr面を主面とし、主面にナノサイズの凹凸(1a)が形成されている半導体成長用基板。凹凸(1a)は、主面の面内方向における最大寸法が1μm未満である。【選択図】図4
Description
本発明は、半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法に関し、特にa面GaN結晶層を成長させる半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法に関する。
照明用途に用いられる紫色から青色を発光するLEDとしては、窒化ガリウム(GaN)系材料の化合物半導体が一般的に用いられている。近年になって、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)を用いた照明装置等が普及するにつれ、LEDチップの高輝度化が望まれるようになってきた。LEDを高輝度化するためには、電流密度を高くしても効率的に電子と正孔が発光再結合できるように、発光層の膜厚を厚くして発光層内部でのキャリア密度を下げる必要がある。
しかし、一般的に用いられているc面を主面とするGaN系半導体材料では、c軸方向にピエゾ電界が生じるため、厚膜化した発光層内に電位差が生じ電子と正孔が空間的に分離してしまい、発光再結合の効率が著しく低下してしまうドループ特性が問題となっている。
この問題を解決するため、非極性や半極性の面方位を主面としたGaN系材料で発光層を形成することで、積層方向へのピエゾ電界の影響を無くして厚膜化を図り、大電流での発光を可能にする技術も提案されている。GaN系半導体層では、a面やm面が非極性面であり、反極性面の代表例としてr面がある。
特許文献1には、サファイア基板のr面上に有機金属気相成長法(MOCVD法:MetalOrganicChemicalVaporDeposition)を用いてa面GaN層を成長させる技術が開示されている。r面サファイア基板上に形成されたa面GaN層を下地層として用い、n型層と発光層とp型層とを順次成長させることで、発光層の主面をa面として厚膜化とLEDのドループ特性の改善を図ることができる。
また従来から、c面サファイア基板上に窒化物系半導体層を成長する場合に、サファイア基板に凹凸構造を形成して(PSS:Patterned Sapphire Substrate)おくことで、窒化物半導体層の欠陥密度を低減する技術が用いられている。c面を主面とするPSS基板では、成長する半導体層の主面も面内異方性の小さいc面であるため等方的に成長が進行し、凹凸構造上に横方向に成長する半導体層中で転位が屈曲して、半導体層の表面にまで継続する転位や欠陥が減少する。
しかし、r面サファイア上に形成されるa面GaNでは、成長面内に+c軸方向、−c軸方向、m軸方向が存在して面内異方性が大きく、r面を主面とするPSS基板を用いても凹凸構造上に異常成長が生じ、結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を得ることが困難であった。
図9は、r面サファイア基板の主面に数μmサイズの凹凸を形成したPSS基板を用いた場合のa面GaN層の状態を示すSEM像であり、図9(a)は凹凸を形成したr面サファイア基板の表面であり、図9(b)はa面GaN層の全体像であり、図9(c)は部分拡大断面であり、図9(d)は部分拡大表面である。図9(a)に示したように、r面サファイア基板の主面に高さと幅が数μmの円錐状の突起を複数形成し、AlNバッファ層とa面GaN層を成長させたところ、図9(b)のような表面状態のa面GaN層が得られた。
図9(c)の部分拡大断面において白い矢印で示したように、凹凸の上方にはa面GaN層の内部に異常成長領域が生じている。また、図9(b)中の黒抜き丸で示した領域を拡大したものが図9(d)であり、a面GaN層の表面にも異常成長の影響が残っており、a面GaN層の結晶性と表面平坦性は良好ではないことがわかる。
そこで本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであり、結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を成長させることが可能な半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の半導体成長用基板は、サファイアのr面を主面とし、前記主面にナノサイズの凹凸が形成されていることを特徴とする。
このような本発明の半導体成長用基板では、サファイアのr面にナノサイズの凹凸を形成しているため、凹凸状の異常成長を抑制し結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を成長させることが可能となる。
また本発明の一態様では、前記凹凸は、前記主面の面内方向における最大寸法が1μm未満である。
また本発明の一態様では、前記主面上にa面GaN層を備える。
また本発明の一態様では、前記主面と前記a面GaN層との間にAlNバッファ層を備える。
また本発明の一態様では、前記凹凸は、前記主面上に三角格子状に複数配列されている。
また上記課題を解決するために本発明の半導体素子は、上記何れか一つに記載の半導体成長用基板を用い、前記半導体成長用基板上に機能層を備えることを特徴とする。
また上記課題を解決するために本発明の半導体発光素子は、上記何れか一つに記載の半導体成長用基板を用い、前記半導体成長用基板上に活性層を備えることを特徴とする。
また上記課題を解決するために本発明の半導体素子製造方法は、r面を主面とするサファイア上にナノサイズの凹凸を形成する工程と、前記主面上に窒化物半導体層を成長する工程とを備えることを特徴とする。
このような本発明の半導体素子製造方法では、サファイアのr面にナノサイズの凹凸を形成しているため、凹凸状の異常成長を抑制し結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を成長させることが可能となる。
本発明では、結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を成長させることが可能な半導体成長用基板、半導体素子、半導体発光素子および半導体素子製造方法を提供することができる。
(第1実施形態)
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付すものとし、適宜重複した説明は省略する。図1は、本発明の第1実施形態における半導体成長用基板を示す模式図であり、図1(a)は模式断面図であり、図1(b)は模式平面図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付すものとし、適宜重複した説明は省略する。図1は、本発明の第1実施形態における半導体成長用基板を示す模式図であり、図1(a)は模式断面図であり、図1(b)は模式平面図である。
図1(a)に示すように、本実施形態の半導体成長用基板は、六方晶のr面を主面とするr面サファイア基板1と、r面サファイア基板1上に形成されたAlNバッファ層2と、AlNバッファ層2上に形成されたa面を主面とするa面GaN層3を備えている。また、r面サファイア基板1の主面にはナノサイズの凹凸1aが形成されている(NPSS:Nano−Patterned Sapphire Substrate)。ここではr面サファイア基板1として傾斜角度が0度のジャスト基板を示したが、r面を所定の面方位に数度傾斜させたオフ基板としてもよい。
ナノサイズの凹凸1aは、r面サファイア基板1の主面を加工して形成されたナノサイズの凹凸構造であり、例えば円錐形状の突起を複数周期的に配置したものが挙げられる。ここで、凹凸1aがナノサイズであるとは、凹凸1aを構成する凹部または凸部の高さや深さ、幅方向のサイズが1μmに満たないことをいう。図1(b)に示した例では、ナノサイズの凹凸1aを三角格子状に主面上に複数配置しており、r面サファイア基板1上に成長されるa面GaN層3のc軸方向に対して三角格子の一辺が平行となっている。隣り合う凹凸1a同士のピッチは1μm以上であってもよいが、a面GaN層3の結晶品質を向上させるためには1μm未満のピッチで形成することが好ましい。
AlNバッファ層2はr面サファイア基板1とa面GaN層3との格子定数の相違を緩和するための層である。AlNバッファ層2の厚みとしては、厚くしすぎるとa面GaN層3の結晶品質が低下するため5〜300nmの範囲が好ましく、5〜90nmの範囲がより好ましく、5〜30nmの範囲がさらに好ましい。ここではr面サファイア基板1とa面GaN層3との間にAlNバッファ層2を形成する例を示したが、後述するようにAlNバッファ層2を介在させずとも、r面サファイア基板1の主面にナノサイズの凹凸1aを形成することでa面GaN層3の結晶品質を向上させ表面平坦性を改善する効果を得ることができる。
a面GaN層3は、主面がa面となるように成長された下地層であり、その上に窒化物半導体層をエピタキシャル成長するための層である。a面GaN層3の形成方法としては、MOCVD法やHVPE法(ハイドライド気相成長法:Hydride Vapor Phase Epitaxy)などの公知の方法を用いることができるが、MOCVD法を用いることが好ましい。a面GaN層3の膜厚は特に限定されないが、1μm以上形成することが好ましい。
次に、図2および図3を用いて本発明における半導体成長用基板の製造方法について説明する。図2は、本実施形態におけるナノサイズの凹凸1aの形成方法を示す工程図であり、図2(a)はレジスト塗布工程、図2(b)はナノインプリントおよびパターニング工程、図2(c)はエッチング工程、図2(d)はレジスト除去工程である。図3は、本実施形態におけるa面GaN層3の成長シーケンスを示す図である。
始めに図2(a)に示すように、レジスト塗布工程では、r面を主面とする単結晶のサファイア基板1を用意し、スピンコート法等を用いてサファイア基板1の主面上にレジスト膜4を塗布する。レジスト膜4の種類は限定されず、ナノサイズのパターニングが可能であれば熱硬化型であってもUV硬化型であってもよい。
次に図2(b)に示すように、ナノインプリントおよびパターニング工程では、所定のパターンが形成されたモールド5を用いて、ナノインプリント技術を用いてレジスト膜4にパターンの転写を行う。パターン転写の方法としては、ナノサイズの凹凸が形成されたモールド5をレジスト4に押し当て、熱硬化やUV硬化などの公知の方法を用いてレジスト膜4を硬化させる。モールド5の材料としては、ナノサイズのパターニングが可能であれば限定されない。図2(b)に示した例では、モールド5の凹部が1μm未満の円形の例を示している。
次に図2(c)に示すように、エッチング工程では、パターニングされたレジスト膜4を用いてサファイア基板1のエッチングを行う。サファイア基板1のエッチング方法としては特に限定されないが、BCl3等の塩素系ガスを用いたドライエッチングを用いることができる。サファイア基板1のエッチングが進行するとともにレジスト膜4もエッチングされ、パターニングされたレジスト膜4のサイズも徐々に小さくなり、サファイア基板1のエッチング面はテーパー形状となる。
次に図2(d)に示すように、レジスト除去工程では、レジスト膜4を除去してサファイア基板1表面の洗浄を行う。エッチング工程でサファイア基板1がエッチングされることで、サファイア基板1の主面上にはナノサイズの凹凸1aが複数形成される。図2(d)ではナノサイズの凹凸1aの上部が平坦面となっている例を示しているが、レジスト膜4の厚さやパターニングされる面積を調整することで、ナノサイズの凹凸1aの形状を頂部が尖った円錐形状の突起とすることもできる。
図2(a)〜(d)に示した製造方法により、r面を主面とするサファイア基板1の主面にナノサイズの凹凸1aが複数形成された半導体成長用基板(NPSS)が得られる。図2(d)に示したナノサイズの凹凸1aが形成されたr面を主面とするサファイア基板1では、後述するように結晶性が良好で表面平坦性に優れた高品質なa面GaN層を成長させることが可能である。
次に、ナノサイズの凹凸1aを複数形成したサファイア基板1(NPSS)上に、例えば膜厚が30nm程度のAlNバッファ層2を形成する。AlNバッファ層2の形成方法としては、MOCVD法やスパッタ法などの公知の方法を用いることができるが、スパッタ法を用いることが好ましい。AlNバッファ層2を形成するスパッタ法としては、Alをターゲット材としてN2及びArガスを用いる反応性スパッタ法を採用してもよいが、AlNをターゲット材としてArガスを用いることがより好ましい。ターゲット材となるAlNとしては単結晶基板であっても粉末焼体であってもよく、その状態や形態は限定されない。
反応性スパッタ法によりAlをターゲット材としてN2及びArガスを用いてAlNバッファ層2を形成する場合には、AlN膜の物理的な堆積プロセスに加えて、Alターゲット材とN2ガスの反応プロセスを考慮する必要がある。そのため反応性スパッタ法では、所望のAlNバッファ層2を得るための成膜条件を適切に設定して制御する難易度が高くなる。特に、半導体基板の大面積化が進むと、基板表面の面内分布も考慮する必要があるためさらに難易度が高くなる。
一方、AlNをターゲット材としてArガスを用いるスパッタ法によりAlNバッファ層2を形成する場合には、Alターゲット材とN2の反応プロセスを考慮する必要が無く、Arガス流量やチャンバー内の真空度等のパラメータを最適化するだけでよい。したがって、反応性スパッタ法でAlNバッファ層2を形成するよりも、AlNをターゲット材としてArガスを用いるスパッタ法を用いるほうが、AlNバッファ層2を形成する際の成膜条件の設定や制御が容易であり、大面積化にも対応が容易となる。
次に、AlNバッファ層2の表面を洗浄した後に、キャリアガスとして水素、窒素を用い、V族原料としてアンモニア(NH3)を用い、III族原料としてTMG(TrimethylGallium)を用いて、MOCVD法でa面GaN層3を約4μm成長させる。このとき、成長シーケンスは図3に示すような2段階で構成し、温度を1010℃まで昇温した後にステップ(I)とステップ(II)では成長温度を一定とし、リアクタ圧力とV/III比および成長時間を変更している。ステップ(I)では例えばV/III比を4000〜5000程度とし、圧力を900〜1000hPaとして10〜20分程度維持し、ステップ(II)では例えばV/III比を100〜200程度とし、圧力を100〜150hPaとして90〜120分維持する。a面GaN層3を成長した後に室温まで冷却して取り出すことで、r面サファイア基板1の主面にナノサイズの凹凸1aが複数形成され、AlNバッファ層2およびa面GaN層3が形成された本実施形態の半導体成長用基板を得ることができる。
(実施例1)
図4は、実施例1の半導体成長用基板を示すSEM像であり、図4(a)はナノサイズの凹凸1aを形成したr面サファイア基板(NPSS)の平面像であり、図4(b)はナノサイズの凹凸1aを拡大して示す拡大斜視像であり、図4(c)はa面GaN層3を成長させた後の拡大断面であり、図4(d)はa面GaN層3を成長させた後の鳥瞰像である。
図4は、実施例1の半導体成長用基板を示すSEM像であり、図4(a)はナノサイズの凹凸1aを形成したr面サファイア基板(NPSS)の平面像であり、図4(b)はナノサイズの凹凸1aを拡大して示す拡大斜視像であり、図4(c)はa面GaN層3を成長させた後の拡大断面であり、図4(d)はa面GaN層3を成長させた後の鳥瞰像である。
図4(a)(b)に示したように、実施例1として、r面を主面としたサファイア基板1の主面上に、幅Dが900nm、高さHが600nmの円錐形状の突起を三角格子状に複数形成してNPSSを得た。隣接する突起の間隔Pは100nmとなっている。このNPSS上に、上述したようにスパッタ法でAlNバッファ層2を30nm形成し、MOCVD法でa面GaN層3を4μm成長した。図4(c)に示すようにa面GaN層3中には異常成長が発生せず、図4(d)に示すように表面状態も良好であった。
(比較例1)
凹凸を形成せず平坦なr面を主面とするサファイア基板を用い、実施例1と同様にスパッタ法でAlNバッファ層2を30nm形成し、MOCVD法でa面GaN層3を4μm成長した。
凹凸を形成せず平坦なr面を主面とするサファイア基板を用い、実施例1と同様にスパッタ法でAlNバッファ層2を30nm形成し、MOCVD法でa面GaN層3を4μm成長した。
図5は、実施例1および比較例1についてa面GaN層3のX線ロッキングカーブ測定をした結果の半値幅を示すグラフである。グラフ中の縦軸はX線ロッキングカーブ測定の半値幅(XRC−FWHM:X−ray Rocking Curve Full Width at Half Maximum)を示している。グラフの横軸には、左から(11−20)回折についてc軸方向から測定した結果、(11−20)回折についてm軸方向から測定した結果、(10−12)回折について測定した結果を示している。また、比較例1をa−GaN/AlN/FSSで左側に示し、実施例1はa−GaN/AlN/NPSSで右側に示している。図5のグラフに示したように、いずれの方向からの測定においても比較例1よりも実施例1の半値幅が小さく、結晶性が良好なa面GaN層3が形成されていることがわかる。
(実施例2)
次に、ナノサイズの凹凸1aを形成したr面サファイア基板(NPSS)にa面GaN層3を直接成長した。バッファ層を介さずにa面GaN層3直接成長する以外は実施例1と同様にして、実施例2の半導体成長用基板を得た。
次に、ナノサイズの凹凸1aを形成したr面サファイア基板(NPSS)にa面GaN層3を直接成長した。バッファ層を介さずにa面GaN層3直接成長する以外は実施例1と同様にして、実施例2の半導体成長用基板を得た。
(比較例2)
また、凹凸を形成せず平坦なr面を主面とするサファイア基板を用い、a面GaN層3を直接成長した。バッファ層を介さずにa面GaN層3直接成長する以外は比較例1と同様にして、比較例2の半導体成長用基板を得た。
また、凹凸を形成せず平坦なr面を主面とするサファイア基板を用い、a面GaN層3を直接成長した。バッファ層を介さずにa面GaN層3直接成長する以外は比較例1と同様にして、比較例2の半導体成長用基板を得た。
図6は、実施例1,2および比較例1,2の構造を示す模式断面図であり、図6(a)は比較例2、図6(b)は実施例2、図6(A)は比較例1、図6(B)は実施例1を示している。図7は、実施例1,2および比較例1,2についてのX線ロッキングカーブ測定の結果を示し、図7(a)は(11−20)回折についてc軸方向から測定した結果であり、図7(b)は(11−20)回折についてm軸方向から測定した結果であり、図7(c)は(10−12)回折について測定した結果である。図7のグラフ中では、実施例1の結果を実線で示し、実施例2の結果を大きい破線で示し、比較例1の結果を一点鎖線で示し、比較例2の結果を小さい破線で示している。各測定結果の半値幅を表1に示す。表中のサンプル構造の欄は、図6に示した構造に対応している。
表1に示したように、AlNバッファ層を設けない実施例2でも比較例2よりも半値幅が小さく、結晶性の良好なa面GaN層3が形成されていることがわかる。また、(11−20)回折についてc軸方向から測定した結果と、(10−12)回折について測定した結果では、主面に凹凸を設けずAlNバッファ層2を形成した比較例1よりも、AlNバッファ層を設けずナノサイズの凹凸1aを形成した実施例2のNPSSのほうが半値幅は小さく、結晶性は実施例2と比較例1とで同等であることがわかる。よって、本発明のNPSSでは、AlNバッファ層2を設けなくともa面GaN層3の結晶性を向上でき、AlNバッファ層2を設けることでさらに結晶性を向上させることができることがわかる。
上述したように本発明では、r面を主面とするサファイア基板1の主面にナノサイズの凹凸1aを形成しているので、その上に成長するa面GaN層3の結晶性が良好で、異常成長を抑制して表面平坦性に優れた高品質なものとなる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図8を用いて説明する。図8は本実施形態の半導体装置であるLED10を示す模式断面図である。図8に示すようにLED10は、r面を主面とするサファイア基板11、ナノサイズの凹凸11a、AlNバッファ層12、a面GaN層13、n型半導体層14、発光層15、p型半導体層16、n側電極17、p側電極18を有している。
次に、本発明の第2実施形態について図8を用いて説明する。図8は本実施形態の半導体装置であるLED10を示す模式断面図である。図8に示すようにLED10は、r面を主面とするサファイア基板11、ナノサイズの凹凸11a、AlNバッファ層12、a面GaN層13、n型半導体層14、発光層15、p型半導体層16、n側電極17、p側電極18を有している。
第1実施形態と同様に、r面を主面とするサファイア基板11を用意し、ナノサイズの凹凸11aを形成し、スパッタ法でAlNバッファ層12をサファイア基板11上に形成し、MOCVD法でa面GaN層13をAlNバッファ層12上にエピタキシャル成長する。続いて、MOCVD法でn型半導体層14、発光層15、p型半導体層16を順次成長して半導体基板を得る。
次に、所定のモールドパターンを用いてフォトリソグラフィーとエッチングによりp型半導体層16と発光層15の一部を除去してn型半導体層14の一部を露出させる。次に、n型半導体層14とp型半導体層16の露出面に蒸着等により電極材料を形成し、ダイシングして個別チップ化することでLED10を得る。
ここではn型半導体層14、p型半導体層16をそれぞれ単層で説明したが、それぞれ材料や組成の異なる複数の層を含んでいるとしてもよく、例えば、n型半導体層14とp型半導体層16にクラッド層、コンタクト層、電流拡散層、電子ブロック層、導波路層などを含めてもよい。また、発光層15も単層で説明したが、多重量子井戸構造(MQW:Multi Quantum Well)などの複数層で構成してもよい。
n型半導体層14は、a面GaN層13上にエピタキシャル成長され、a面を主面とするn型不純物がドープされた半導体層であり、n側電極17から電子が注入されて発光層15に電子を供給する層である。n型半導体層14を構成する材料は、III−V族化合物半導体層としては、例えばGaN、AlGaN、InGaN、AlInGaNなどが挙げられ、n型不純物としてはSiなどが挙げられる。
発光層15は、n型半導体層14上にエピタキシャル成長され、a面を主面とする半導体層であり、層内で電子と正孔が発光再結合することでLED10が発光する。発光層15は、n型半導体層14とp型半導体層16よりもバンドギャップが小さい材料で構成されており、例えばInGaN、AlInGaNなどが挙げられる。発光層15は意図的に不純物を含まないノンドープとしてもよく、n型不純物を含むn型やp型不純物を含むp型としてもよい。発光層15は、a面を主面とする半導体層なので、厚膜化してもピエゾ電界による電子と正孔の空間的な分離は生じにくく、電流密度を高くしても効率的に電子と正孔が発光再結合できる。
p型半導体層16は、発光層15上にエピタキシャル成長され、a面を主面とする半導体層であり、p側電極18から正孔が注入されて発光層15に正孔を供給する層である。p型半導体層16を構成する材料は、III−V族化合物半導体層としては、例えばGaN、AlGaN、InGaN、AlInGaNなどが挙げられ、p型不純物としてはZnやMgなどが挙げられる。
本実施の形態でも、LED10はナノサイズの凹凸11aが形成されたr面を主面とするサファイア基板11(NPSS)上にスパッタ法でAlNバッファ層12を形成し、a面GaN層13を下地層としてn型半導体層14、発光層15、p型半導体層16をエピタキシャル成長している。したがって、第1実施形態で述べたようにa面GaN層13は結晶性も表面平坦性も良好であり、その上に成長されたn型半導体層14、発光層15、p型半導体層16も結晶性と表面平坦性が良好となる。これにより、n型半導体層14、発光層15、p型半導体層16の特性も良好になり、LED10の外部量子効率の向上などが見込まれる。
(第3実施形態)
本発明の半導体装置であるLED10は、上述したようにピエゾ電界によるドループが少なく、且つa面内での異方性が小さく良好な結晶品質であることから高輝度化を実現できるので、車両用灯具などの灯具に用いることでチップ数の低減や高出力化を図ることが可能となる。
本発明の半導体装置であるLED10は、上述したようにピエゾ電界によるドループが少なく、且つa面内での異方性が小さく良好な結晶品質であることから高輝度化を実現できるので、車両用灯具などの灯具に用いることでチップ数の低減や高出力化を図ることが可能となる。
(第4実施形態)
第2実施形態では、LED10としてr面を主面としナノサイズの凹凸11aが形成されたサファイア基板11とAlNバッファ層12を含めた構造のものを示したが、基板裏面側から研磨やエッチング、レーザーアブレーションなどの技術を用いて、サファイア基板11とAlNバッファ層12を除去するとしてもよい。また、r面サファイア基板11を除去した側にn側電極17を設け、p側電極18とn側電極17とを対向させてもよい。
第2実施形態では、LED10としてr面を主面としナノサイズの凹凸11aが形成されたサファイア基板11とAlNバッファ層12を含めた構造のものを示したが、基板裏面側から研磨やエッチング、レーザーアブレーションなどの技術を用いて、サファイア基板11とAlNバッファ層12を除去するとしてもよい。また、r面サファイア基板11を除去した側にn側電極17を設け、p側電極18とn側電極17とを対向させてもよい。
さらに、半導体装置はLEDに限定されず、半導体レーザや高電子移動度トランジスタ(HEMT:High Electron Mobility Transistor)等の他の用途であってもよい。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
1,11…サファイア基板
10…LED
1a,11a…凹凸
2,12…AlNバッファ層
3,13…a面GaN層
4…レジスト膜
5…モールド
14…n型半導体層
15…発光層
16…p型半導体層
17…n側電極
18…p側電極
10…LED
1a,11a…凹凸
2,12…AlNバッファ層
3,13…a面GaN層
4…レジスト膜
5…モールド
14…n型半導体層
15…発光層
16…p型半導体層
17…n側電極
18…p側電極
Claims (8)
- サファイアのr面を主面とし、前記主面にナノサイズの凹凸が形成されていることを特徴とする半導体成長用基板。
- 請求項1に記載の半導体成長用基板であって、
前記凹凸は、前記主面の面内方向における最大寸法が1μm未満であることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1または2に記載の半導体成長用基板であって、
前記主面上にa面GaN層を備えることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項3に記載の半導体成長用基板であって、
前記主面と前記a面GaN層との間にAlNバッファ層を備えることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1から4の何れか一つに記載の半導体成長用基板であって、
前記凹凸は、前記主面上に三角格子状に複数配列されていることを特徴とする半導体成長用基板。 - 請求項1から5の何れか一つに記載の半導体成長用基板を用い、
前記半導体成長用基板上に機能層を備えることを特徴とする半導体素子。 - 請求項1から5の何れか一つに記載の半導体成長用基板を用い、
前記半導体成長用基板上に活性層を備えることを特徴とする半導体発光素子。 - r面を主面とするサファイア上にナノサイズの凹凸を形成する工程と、
前記主面上に窒化物半導体層を成長する工程とを備えることを特徴とする半導体素子製造方法。
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