JP2019034347A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工室を囲む壁への加工屑の付着の程度を適切に判定可能な加工装置を提供する。【解決手段】板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削又は研磨する加工工具が先端部に装着されるスピンドルを含む加工ユニットと、チャックテーブルとスピンドルの先端部とを収容し壁に囲まれた加工室と、被加工物の研削又は研磨によって発生する加工屑の壁への付着の程度を示す汚れ状況表示ユニットと、を含み、汚れ状況表示ユニットは、可視光を透過する部材でなり、壁の一部を構成する透過窓と、透過窓に重ねて、又は透過窓に隣接して設けられ、透過窓に付着した加工屑の量と透過窓の色との関係を示す色見本表示部と、を有する。【選択図】図1
Description
本発明は、板状の被加工物を加工するための加工装置に関する。
電子機器等に組み込まれるデバイスチップを小型化、軽量化するために、デバイスチップへと分割される前のウェーハやパッケージ基板等を薄く加工する機会が増えている。この加工には、例えば、研削砥石や研磨パッド等の加工工具が装着されるスピンドル(回転軸)を備えた加工装置が使用される。スピンドルによって回転させた加工工具をウェーハやパッケージ基板等の被加工物に接触させることで、この被加工物を薄くできる。
ところで、上述のような加工装置で被加工物を加工すると、大量の加工屑(粉塵)が発生して周囲に飛散する。そのため、加工工具が装着されるスピンドルの先端部を覆うカバーを加工装置に設け、このカバーによって囲まれる加工室内で被加工物を加工する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。この方法によれば、発生した加工屑がカバーの外部にまで飛散することはない。
上述のように、スピンドルの先端部を覆うカバーを加工装置に設けると、カバーの内壁に加工屑が付着して徐々に堆積する。カバーの内壁に堆積した加工屑が何らかの理由で落下し、加工工具と被加工物との隙間に入り込むと、被加工物に大きな傷が付いてしまう。そこで、適切なタイミングでカバーの内壁を清掃する必要があった。
しかしながら、この清掃のタイミングは、例えば、オペレータの経験等に基づいて決められるので、清掃の頻度が必要以上に高くなって加工装置の稼働率が低下してしまうことがある。一方で、清掃のタイミングが遅れると、カバーの内壁から加工屑が落下して加工工具と被加工物との隙間に入り込み、被加工物に大きな傷が付いてしまう。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スピンドルの先端部が収容される加工室を囲む壁への加工屑の付着の程度を適切に判定可能な加工装置を提供することである。
本発明の一態様によれば、板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削又は研磨する加工工具が先端部に装着されるスピンドルを含む加工ユニットと、該チャックテーブルと該スピンドルの該先端部とを収容し壁に囲まれた加工室と、該被加工物の研削又は研磨によって発生する加工屑の該壁への付着の程度を示す汚れ状況表示ユニットと、を備え、該汚れ状況表示ユニットは、可視光を透過する部材でなり、該壁の一部を構成する透過窓と、該透過窓に重ねて、又は該透過窓に隣接して設けられ、該透過窓に付着した該加工屑の量と該透過窓の色との関係を示す色見本表示部と、を有する加工装置が提供される。
本発明の一態様に係る加工装置は、可視光を透過する部材でなる透過窓と、透過窓に付着した加工屑の量と透過窓の色との関係を示す色見本表示部と、を有する汚れ状況表示ユニットを備えるので、透過窓と色見本表示部とを目視で比較することによって、加工室を囲む壁への加工屑の付着の程度を適切に判定できる。
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る研磨装置(加工装置)2の構成例を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、研磨装置2は、各構成要素を支持する基台4を備えている。基台4の後端には、壁状の支持構造6が設けられている。
基台4の上面前側には、開口4aが形成されており、この開口4a内には、板状の被加工物11を搬送する搬送ユニット8が配置されている。被加工物11は、例えば、シリコン(Si)等の材料でなる円盤状のウェーハである。ただし、被加工物11の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物11とすることもできる。
開口4aの側方の領域には、被加工物11を収容するカセット10a,10bが載せられる。カセット10aが載せられる領域の後方には、センタリング機構12が設けられている。センタリング機構12は、例えば、カセット10aから搬送ユニット8で搬送された被加工物11の中心の位置を調整する。
センタリング機構12の後方には、被加工物11を保持して旋回する搬入ユニット14が設けられている。搬入ユニット14の後方には、開口4bが形成されている。この開口4b内には、X軸移動テーブル16、X軸移動テーブル16をX軸方向(前後方向)に移動させるX軸移動ユニット(不図示)、及びX軸移動ユニットを覆う防塵防滴カバー18が配置されている。
X軸移動ユニットは、X軸方向に平行な一対のX軸ガイドレール(不図示)を備えており、X軸ガイドレールには、X軸移動テーブル16がスライド可能に取り付けられている。X軸移動テーブル16の下面側には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、X軸ガイドレールに平行なX軸ボールネジ(不図示)が螺合されている。
X軸ボールネジの一端部には、X軸パルスモータ(不図示)が連結されている。X軸パルスモータでX軸ボールネジを回転させることにより、X軸移動テーブル16はX軸ガイドレールに沿ってX軸方向に移動する。X軸移動テーブル16の上面には、被加工物11を吸引、保持するチャックテーブル20が設けられている。
チャックテーブル20は、モータ等の回転駆動源(不図示)に連結されており、Z軸方向(鉛直方向)に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル20は、上述のX軸移動ユニットにより、被加工物11が搬入、搬出される前方の搬入搬出領域と、被加工物11が研磨される後方の研磨領域との間を移動する。
チャックテーブル20の上面は、被加工物11を吸引、保持する保持面になっている。この保持面は、チャックテーブル20の内部に形成された流路(不図示)等を介して吸引源(不図示)に接続されている。搬入ユニット14でチャックテーブル20に搬入された被加工物11は、保持面に作用する吸引源の負圧で吸引、保持される。
支持構造6の前面には、Z軸移動ユニット22が設けられている。Z軸移動ユニット22は、Z軸方向に平行な一対のZ軸ガイドレール24を備えており、このZ軸ガイドレール24には、Z軸移動プレート26がスライド可能に取り付けられている。Z軸移動プレート26の後面側(裏面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Z軸ガイドレール24に平行なZ軸ボールネジ28が螺合されている。
Z軸ボールネジ28の一端部には、Z軸パルスモータ30が連結されている。Z軸パルスモータ30でZ軸ボールネジ28を回転させることにより、Z軸移動プレート26はZ軸ガイドレール24に沿ってZ軸方向に移動する。
Z軸移動プレート26の前面(表面)には、被加工物11を研磨する研磨ユニット(加工ユニット)32が設けられている。研磨ユニット32は、Z軸移動プレート26に固定された筒状のスピンドルハウジング34を備えている。スピンドルハウジング34の内部には、回転軸となるスピンドル36が収容されている。
スピンドルハウジング34から露出するスピンドル36の先端部(下端部)には、円盤状のマウント38が固定されており、このマウント38の下面には、マウント38と概ね同径の研磨パッド(加工工具)40が装着されている。本実施形態では、スラリー等の研磨液を使用しない乾式研磨用の研磨パッド40を使用するが、湿式研磨用の研磨パッド40を用いても良い。
スピンドル36の基端側(上端側)には、モータ等の回転駆動源(不図示)が連結されており、研磨パッド40は、この回転駆動源から伝達される力によって回転する。また、上述したZ軸移動ユニット22で研磨ユニット32を下降させることにより、研磨パッド40は、チャックテーブル20に保持された被加工物11の上面(被研磨面)に押し当てられる。
搬入ユニット14に隣接する位置には、被加工物11を保持して旋回する搬出ユニット42が設けられている。搬出ユニット42の前方、かつ、カセット10bが載せられる領域の後方には、研磨された後の被加工物11を洗浄する洗浄ユニット44が配置されている。
洗浄ユニット44で洗浄された被加工物11は、搬送ユニット8で搬送され、例えば、カセット10bに収容される。開口4aの前方には、研磨の条件等を入力するための操作パネル46が設置されている。
この研磨装置2で被加工物11を研磨する際には、被加工物11をチャックテーブル20に吸引、保持させた状態で、チャックテーブル20と研磨パッド40とを相互に回転させて、被加工物11の上面に研磨パッド40を押し当てる。これにより、被加工物11を研磨できる。なお、本実施形態では、スラリー等の研磨液を使用しないが、研磨液を使用しても良い。
上述のように、研磨パッド40で被加工物11を研磨すると、チャックテーブル20や研磨パッド40の周囲に粉塵が飛散し易い。そのため、本実施形態の研磨装置2には、チャックテーブル20やスピンドル36の先端部(研磨パッド40)を覆うカバー52が設けられている。
このカバー52によって、被加工物11を研磨するための加工室(研磨室)が形成される。すなわち、加工室は、カバー52を構成する壁52aに囲まれている。また、この加工室には、チャックテーブル20やスピンドル36の先端部が収容されている。カバー52の材質、形状等に特段の制限はない。例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属を用いてカバー52を形成できる。
カバー52の壁52aの一部には、カバー52を内外に貫通する排気口(不図示)が設けられている。この排気口には、カバー52の外部に配置された排気ダクト54の一端が接続されている。また、排気ダクト54の他端には、吸引源56が接続されている。すなわち、排気口には、排気ダクト54を介して吸引源56が接続されている。
吸引源56は、吸引力の発生を制御する制御スイッチ58を有している。この制御スイッチ58を操作することで、吸引源56の吸引力を排気口に作用させることができる。被加工物11を研磨する際には、吸引源56の吸引力を排気口に作用させて、加工室内の加工屑(粉塵)を含む空気をカバー52の外部に排出する。
このように構成される研磨装置2では、研磨の際に発生する加工屑が加工室内に留まりカバー52の外部に飛散することはない。一方で、カバー52を構成する壁52aの内側の面には、加工屑が付着して徐々に堆積する。カバー52の壁52aに堆積した加工屑が何らかの理由で落下し、研磨パッド40と被加工物11との隙間に入り込むと、被加工物11に大きな傷が付いてしまう。
そこで、本実施形態の研磨装置2では、カバー52を構成する壁52aの一部に、加工屑の壁52aへの付着の程度を示す汚れ状況表示ユニット60を設けている。図2は、汚れ状況表示ユニット60の構成例を模式的に示す平面図である。図2に示すように、汚れ状況表示ユニット60は、可視光を透過するガラス板等の部材でなる透過窓62を有している。
この透過窓62は、カバー52を内外に貫通する開口に嵌め込まれ、壁52aの一部を構成している。つまり、壁52aの内側の面に加工屑が付着、堆積する状況では、透過窓62の内側の面にも同様に加工屑が付着、堆積することになる。透過窓62の内側の面に加工屑が付着、堆積すると、透過窓62の透過率は低下する。よって、この透過窓62の状態を確認することで、加工屑の壁52aへの付着、堆積がどの程度であるかを判定できる。
透過窓62に重なる位置、又は透過窓62に隣接する位置には、透過窓62に付着、堆積した加工屑の量と透過窓62の色(透過率)との関係を示す色見本表示部64が設けられている。また、色見本表示部64の隣には、透過窓62に付着、堆積した加工屑の量に応じたコメント66が付されている。ただし、このコメント66は省略されても良い。
色見本表示部64は、加工屑が付着、堆積していない状態の透過窓62の色に対応する色を示す第1表示部64aと、加工屑が僅かに付着、堆積した状態の透過窓62の色に対応する色を示す第2表示部64bとを含んでいる。また、多くの加工屑が付着、堆積した状態の透過窓62の色に対応する色を示す第3表示部64cと、非常に多くの加工屑が付着、堆積した状態の透過窓62の色に対応する色を示す第4表示部64dとを含んでいる。
そして、第1表示部64a、第2表示部64b、第3表示部64c、及び第4表示部64dの隣には、それぞれ、コメント66が付されている。例えば、第1表示部64aの隣には、まだ清掃する必要がないことを示す「OK」のコメント66が付されている。また、第2表示部64bの隣には、清掃することが望ましいことを示す「清掃時期です」のコメント66が付されている。
更に、第3表示部64cの隣には、清掃が必要であることを示す「できるだけ早く清掃しましょう」のコメント66が付されている。そして、第4表示部64dの隣には、壁52aに付着、堆積した加工屑によって不具合が発生する可能性が高いことを示す「ただちに清掃しましょう」のコメント66が付されている。
次に、この汚れ状況表示ユニット60を用いて加工屑の壁52aへの付着の程度を確認する方法について説明する。まず、オペレータは、任意のタイミングで透過窓62と色見本表示部64とを目視で比較し、透過窓62の色が、第1表示部64a、第2表示部64b、第3表示部64c、及び第4表示部64dのいずれの色に近いかを決定する。
これにより、加工屑の壁52aへの付着の程度が明らかになる。例えば、透過窓62の色が第1表示部64aの色に近い場合には、加工屑が壁52aに殆ど付着、堆積していないと分かる。また、例えば、透過窓62の色が第2表示部64bの色に近い場合には、僅かな加工屑が壁52aに付着、堆積していると分かる。
更に、透過窓62の色が第3表示部64cや第4表示部64dの色に近い場合には、多くの加工屑が壁52aに付着、堆積していると分かる。そしてオペレータは、色見本表示部64の隣に付されたコメント66等を参酌して、カバー52を清掃するタイミングを決定できる。
以上のように、本実施形態の研磨装置(加工装置)2は、可視光を透過する部材でなる透過窓62と、透過窓62に付着した加工屑の量と透過窓62の色との関係を示す色見本表示部64と、を有する汚れ状況表示ユニット60を備えるので、透過窓62と色見本表示部64とを目視で比較することによって、加工室を囲む壁52aへの加工屑の付着の程度を適切に判定できる。
なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、板状の被加工物11を研磨する研磨装置2について説明しているが、本発明の加工装置は、板状の被加工物11を研削する研削装置でも良い。研削装置では、例えば、スピンドルの先端部に固定された円盤状のマウントに、研削用の砥石を備える研削ホイール(加工工具)が装着されることになる。
また、上記実施形態では、4種類の異なる状態を示す第1表示部64a、第2表示部64b、第3表示部64c、及び第4表示部64dによって色見本表示部64を構成しているが、本発明の色見本表示部は、2種類、3種類、又は5種類以上の異なる状態を示す表示部によって構成されても良い。
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 研磨装置(加工装置)
4 基台
4a,4b 開口
6 支持構造
8 搬送ユニット
10a,10b カセット
12 センタリング機構
14 搬入ユニット
16 X軸移動テーブル
18 防塵防滴カバー
20 チャックテーブル
22 Z軸移動ユニット
24 Z軸ガイドレール
26 Z軸移動プレート
28 Z軸ボールネジ
30 Z軸パルスモータ
32 研磨ユニット(加工ユニット)
34 スピンドルハウジング
36 スピンドル
38 マウント
40 研磨パッド(加工工具)
42 搬出ユニット
44 洗浄ユニット
46 操作パネル
52 カバー
52a 壁
54 排気ダクト
56 吸引源
58 制御スイッチ
60 汚れ状況表示ユニット
62 透過窓
64 色見本表示部
64a 第1表示部
64b 第2表示部
64c 第3表示部
64d 第4表示部
66 コメント
11 被加工物
4 基台
4a,4b 開口
6 支持構造
8 搬送ユニット
10a,10b カセット
12 センタリング機構
14 搬入ユニット
16 X軸移動テーブル
18 防塵防滴カバー
20 チャックテーブル
22 Z軸移動ユニット
24 Z軸ガイドレール
26 Z軸移動プレート
28 Z軸ボールネジ
30 Z軸パルスモータ
32 研磨ユニット(加工ユニット)
34 スピンドルハウジング
36 スピンドル
38 マウント
40 研磨パッド(加工工具)
42 搬出ユニット
44 洗浄ユニット
46 操作パネル
52 カバー
52a 壁
54 排気ダクト
56 吸引源
58 制御スイッチ
60 汚れ状況表示ユニット
62 透過窓
64 色見本表示部
64a 第1表示部
64b 第2表示部
64c 第3表示部
64d 第4表示部
66 コメント
11 被加工物
Claims (1)
- 板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削又は研磨する加工工具が先端部に装着されるスピンドルを含む加工ユニットと、
該チャックテーブルと該スピンドルの該先端部とを収容し壁に囲まれた加工室と、
該被加工物の研削又は研磨によって発生する加工屑の該壁への付着の程度を示す汚れ状況表示ユニットと、を備え、
該汚れ状況表示ユニットは、
可視光を透過する部材でなり、該壁の一部を構成する透過窓と、
該透過窓に重ねて、又は該透過窓に隣接して設けられ、該透過窓に付着した該加工屑の量と該透過窓の色との関係を示す色見本表示部と、を有することを特徴とする加工装置。
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