JP2019032238A - 圧力センサ装置の製造方法、圧力センサ装置、および、距離固定治具 - Google Patents
圧力センサ装置の製造方法、圧力センサ装置、および、距離固定治具 Download PDFInfo
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Abstract
Description
特許文献1 特開2014−149192号公報
特許文献2 特開2012−117933号公報
特許文献3 特開平5−302066号公報
Claims (8)
- センサケース内にセンサユニットが収容された圧力センサ装置の製造方法であって、
前記センサケースの下面に接着剤および前記センサユニットを積層して配置する配置段階と、
距離固定治具を用いて前記センサケースの底面と前記センサユニットとの距離を固定した状態で、前記接着剤を硬化させる硬化段階と
を備える製造方法。 - 前記硬化段階において、前記センサユニットの上面を吸引することで前記センサユニットの位置を固定する前記距離固定治具を用いる
請求項1に記載の製造方法。 - 前記硬化段階において、前記センサケースの底面と前記センサユニットとの距離を100μm以上に固定した状態で前記接着剤を硬化させる
請求項1または2に記載の製造方法。 - 前記センサケースは、前記センサユニットを収容する凹部を有し、
前記距離固定治具は、前記凹部に挿入される先端部と、前記凹部および前記先端部に囲まれる空間を外部と接続する吸引経路とを有し、
前記先端部を前記凹部内に挿入した状態で、前記空間内の気体を吸引する気体吸引段階を更に備える
請求項2に記載の製造方法。 - 前記硬化段階は、
前記接着剤を硬化させ始めてから、前記接着剤が仮硬化するまでの仮硬化段階と、
前記接着剤が仮硬化してから、前記接着剤が本硬化するまでの本硬化段階と
を有し、
前記気体吸引段階は、少なくとも前記仮硬化段階において行われる
請求項4に記載の製造方法。 - 前記硬化段階において、前記気体吸引段階を終了した後も、前記センサユニットの吸引を続行する
請求項4または5に記載の製造方法。 - センサユニットと、
前記センサユニットを収容するセンサケースと、
前記センサユニットと前記センサケースとの間に設けられ、前記センサユニットと前記センサケースとを固定する接着剤と
を備え、
前記センサユニットと前記センサケースとの間における前記接着剤の厚みが100μm以上である圧力センサ装置。 - センサケースの凹部にセンサユニットが収容された圧力センサ装置の製造に用いる距離固定治具であって、
下面に前記センサユニットが固定され、前記センサケースの前記凹部に挿入される先端部と、
前記先端部が設けられた台座部と
を備え、
前記先端部は、前記センサユニットを吸引するための吸引孔を有し、
前記台座部には、前記先端部が前記凹部に挿入されたときに前記センサケースの上面と接触することで、前記凹部における前記センサユニットの位置を規定する突出部が設けられている距離固定治具。
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