JP2018510355A - フィルタリング特性を強化した、電子機器の試験装置のプローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 電子機器の試験装置のプローブカード(20)であって、
前記プローブカード(20)は、
複数の接触プローブ(22)を収納する少なくとも1つの試験ヘッド(21)、
を含み、
接触プローブ(22)の各々は、
テスト中のデバイスの接触パッドに当接するように適応している少なくとも1つの接触チップ(22A)、
反対側の接触パッド(24A、24B)の間の距離の空間変換を提供するように適応され、適切な導電トラック、即ち、プレーン(26)により接続された少なくとも1つのスペーストランスフォーマ(24)、及び、
前記スペーストランスフォーマ(24)及びPCB(25)の間に提供される複数のフィルタリングキャパシタ(29)、
をもち、
前記フィルタリングキャパシタ(29)は、本体(29c)及び、前記本体(29c)の側面に配置されている導電部(29r)を含み、
前記導電部(29r)は、前記導電トラック、即ち、プレーン(26)に接触し、
前記プローブカード(20)は、
前記PCB(25)が、前記フィルタリングキャパシタ(29)の前記導電部(29r)に電気的に接触する、導電トラック、即ち、プレーン(28’)を含む、
ことを特徴とする、
プローブカード。 - 前記導電トラック、即ち、プレーン(26)、前記導電トラック、即ち、プレーン(28’)及び前記導電部(29r)の組み合わせは、前記試験ヘッド(21)及び前記PCB(25)の間の信号伝送を可能とする、ことを特徴とする、
請求項1に記載のプローブカード(20)。 - 前記フィルタリングキャパシタ(29)の高さは、前記スペーストランスフォーマ(24)及び前記PCB(25)の間で、実質的に相互に等しい、ことを特徴とする、
請求項1または請求項2に記載のプローブカード(20)。 - 前記スペーストランスフォーマ(24)と前記PCB(25)との間に配置された電気的接触構造(27)をさらに含み、
前記フィルタリングキャパシタ(29)の高さが、前記電気的接触構造(27)の高さと比較可能である、
ことを特徴とする、
請求項3に記載のプローブカード(20)。 - 前記導電部(29r)は前記フィルタリングキャパシタ(29)の金属リード(29r)である、ことを特徴とする、請求項1〜請求項4の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記フィルタリングキャパシタ(29)は、供給信号(パワー、グランド)を運ぶ接触プローブ(22)に対応して提供される、ことを特徴とする、請求項1〜請求項5の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記フィルタリングキャパシタ(29)は、前記試験ヘッド(21)に面する前記スペーストランスフォーマ(24)の領域(Aph)内に提供される、ことを特徴とする、請求項1〜請求項6の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記試験ヘッド(21)に面する側面(Fa)及び前記領域(Aph)の外側に備えられるフィルタリングキャパシタ(29’)をさらに含む、ことを特徴とする請求項7に記載のプローブカード(20)。
- 前記フィルタリングキャパシタ(29)は、セラミックまたはシリコンベースキャパシタである、ことを特徴とする、請求項1〜請求項8の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記フィルタリングキャパシタ(29)は、前記PCB(25)に面する前記スペーストランスフォーマ(24)の接触パッド(24B)に対応して、前記スペーストランスフォーマ(24)に半田付けされている、ことを特徴とする、請求項1〜請求項9の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記スペーストランスフォーマ(24)及び前記PCB(25)の間の押し付けにより電気的相互接続を提供するように適応された、導電フレキシブルインターフェイス(30)、好ましくは、導電シリコンラバー、をさらに含む、ことを特徴とする、請求項4〜請求項9の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記導電フレキシブルインターフェイス(30)は、前記スペーストランスフォーマ(24)及び前記PCB(25)の間に含まれる電気的接触構造(27)及び前記フィルタリングキャパシタ(29)の間の高さの差を補償する形状を有する、ことを特徴とする、請求項11に記載のプローブカード(20)。
- 前記スペーストランスフォーマ(24)及び前記PCB(25)の間の電気的接触構造(27)及び前記フィルタリングキャパシタ(29)は、改善された電気的接触、詳細には、金メッキされた、を有する面部(31A、31B)を含む、請求項11または請求項12に記載のプローブカード(20)。
- 前記PCB(25)及び前記試験ヘッド(21)の間に配置され、複数の相互接続レベル(33A、33B)により、相互に接続された、複数の空間変換レベルを提供するように適応された複数のスペーストランスフォーマ(24、34)を含み、相互接続レベル(33A、33B)の各々は、電気的接触構造(27、37)の各々及び複数のフィルタリングキャパシタ(29、39)の各々を含む、ことを特徴とする、請求項1〜請求項13の何れか1項に記載のプローブカード(20)。
- 前記スペーストランスフォーマ(24、34)の各々は、前記フィルタリングキャパシタ(29、39)の金属部(29r、39r)の各々を接続する導電トラック、即ち、プレーン(26、36)の各々を含む、ことを特徴とする、請求項14に記載のプローブカード(20)。
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