JP2018504760A - アークを処理する装置およびアークを処理する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a)プラズマチャンバ内に存在しているアークを検出する、アーク検出装置;
b)アークがプラズマチャンバ内に存在している間に、プラズマチャンバに供給されたエネルギに対応する値であるアークエネルギ値を求める、アークエネルギ確定装置;
c)求められたアークエネルギ値から中断時間を決定する中断時間決定装置。
−アークの発生からアークの消失までの間の期間中にエネルギが求められる場合には、アークエネルギ値は、アークが存在している間にプラズマチャンバに供給された総エネルギであってよい、または
−エネルギが以下の期間中、すなわち
○アークの検出の時点から、アークの消失の時点までの期間中、または
○アークの検出に応答した時点から、アークの消失の時点までの期間中、または
○アークの検出の時点から、アークエネルギまたはアーク電流が事前に定められた閾値を下回った時点までの期間中、または
○アークの検出に応答した時点から、アークエネルギまたはアーク電流が事前に定められた閾値を下回った時点までの期間中、または
○類似の期間中、
に求められる場合には、アークエネルギ値は、アークが存在している間にプラズマチャンバに供給されたエネルギの一部であってよい。
−期間は、アークが発生する前の所定の期間前に開始されてもよい。
−期間は、アーク消失後の所定の期間後に終了してもよい。
a)プラズマチャンバ内に存在しているアークを検出するステップ;
b)アークがプラズマチャンバ内に存在している間に、プラズマチャンバに供給されたエネルギに対応する値であるアークエネルギ値を求めるステップ;
c)求められたアークエネルギ値から中断時間を決定するステップ。
Claims (15)
- アーク処理装置(14)において、
a.プラズマチャンバ(30)内に存在しているアークを検出する、アーク検出装置(21)と、
b.前記アークが前記プラズマチャンバ(30)内に存在している間に、前記プラズマチャンバ(30)に供給されたエネルギに対応する値であるアークエネルギ値を求める、アークエネルギ確定装置(22)と、
c)求められた前記アークエネルギ値から中断時間(4)を決定する中断時間決定装置(24)と、を備える、アーク処理装置(14)。 - プラズマプロセスに関連する信号を受信する入力端(23)が設けられている、請求項1記載のアーク処理装置。
- 前記アーク検出装置(21)から電源制御装置(27)にアーク検出信号を伝送するデータ伝送装置(26)が設けられている、請求項1または2記載のアーク処理装置。
- プラズマプロセスがプラズマチャンバ(30)内で実行されている間に発生するアークを処理する方法において、
a.前記プラズマチャンバ(30)内に存在しているアークを検出するステップと、
b.前記アークが前記プラズマチャンバ(30)内に存在している間に、前記プラズマチャンバ(30)に供給されたエネルギに対応する値であるアークエネルギ値を求めるステップと、
c.求められた前記アークエネルギ値から中断時間(4)を決定するステップと、
を備える、方法。 - 前記プラズマチャンバ(30)内に存在しているアークの検出は、電源装置(10)から前記プラズマチャンバ(30)に供給された信号の測定および解析に基づく、請求項4記載の方法。
- 中断時間(4)が開始される時点(t3)を識別する、請求項4または5に記載の方法。
- 前記エネルギ値は、前記識別された時点および前記プラズマチャンバ(30)に供給された信号に基づく、請求項6記載の方法。
- 前記中断時間(4)を継続的に調整する、請求項4から7までのいずれか1項記載の方法。
- 前記中断時間を、求められた前記エネルギ値および所定の係数(ncoef)に基づいて決定する、請求項4から8までのいずれか1項記載の方法。
- 前記係数(ncoef)を、以前に発生したアークに関する量に基づいて決定する、請求項9記載の方法。
- 実際の中断時間を、決定された前記中断時間に所定の付加的な値を加算することによって決定する、請求項4から10までのいずれか1項記載の方法。
- 決定された前記中断時間(4)が基準時間よりも短い場合にのみ、付加的な値を、決定された前記中断時間(4)に加算する、請求項11記載の方法。
- 前記中断時間(4)の開始または前記実際の中断時間の開始を選択する、請求項4から12までのいずれか1項記載の方法。
- 請求項1から3までのいずれか1項記載のアーク処理装置(14)および電源制御装置を備えている、電源装置(10)。
- プラズマチャンバ(30)に接続されている電源装置(10)および請求項1から3までのいずれか1項記載のアーク処理装置(14)を備えている、プラズマシステム。
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