JP2018502254A - オイル噴射式真空ポンプ要素 - Google Patents

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Abstract

2つの協働するヘリカルロータ(3)がハウジング(2)内に設けられ、ハウジング(2)が、入口ポート(8)と、出口ポート(9)を有する出口端面(6)と、を備え、ヘリカルロータ(3)とハウジング(2)との間に圧縮チャンバ(11a,11b)が形成される、オイル噴射式真空ポンプ要素(1)において、オイル噴射式真空ポンプ要素(1)が、第1の圧縮チャンバ(11a)から上記出口端面(6)にある第2の圧縮チャンバ(11b)まで延びる接続部を備え、第1の圧縮チャンバ(11a)が、第2の圧縮チャンバ(11b)よりも低圧であり、ヘリカルロータ(3)の回転時に第2の圧縮チャンバ(11b)が出口ポート(9)と接触することができ、接続部は、第2の圧縮チャンバ(11b)から第1の圧縮チャンバ(11a)への流れを可能にするようなものであり、接続部が出口ポート(9)に直接接続されない、ことを特徴とする。【選択図】図1

Description

本発明は、オイル噴射式真空ポンプ要素に関する。
より具体的には、本発明は、2つの協働するヘルカルロータがハウジング内に回転可能に設けられるようにした、スクリュータイプのオイル噴射式真空ポンプ要素を対象とする。
ヘルカルロータのローブとハウジングの壁との間にチャンバが定められ、該チャンバは、ロータの回転の結果として入口側から出口側へ移動し、これにより次第に小さくなって、これらのチャンバに取り込まれた空気が圧縮されるようになる。
圧縮熱の除去、ヘルカルロータの潤滑、腐食の防止、及びロータ間のシールの確保のために、このような要素の圧縮チャンバにオイルが噴射されることは知られている。
このオイルはオイル分離器から送られ、ここでオイルは出口空気から分離される。
全ての空気をオイルから取り除くことはできないので、一定量の空気を含むオイルが噴射されることになる。
この空気含有物は、オイル中に気泡の形態で又は溶解して存在することができる。その結果、キャビテーションが生じるリスクがある。オイル流において2つのタイプのキャビテーションがあり、すなわち、静圧がオイルの蒸気圧を下回ることによりオイル蒸気気泡が形成されるようになるキャビテーションと、静圧の低下によりオイル中の空気の溶解度が低下することで、ある一定量の空気を含む気泡が形成されるようになるキャビテーションと、がある。
キャビテーションのタイプによっては、このようにして(金属の)構成要素の近傍で気泡又はオイル蒸気気泡が形成されたときに損傷が発生する可能性がある。この損傷は、極めて多大なものとなる場合があり、機械破壊につながる可能性がある。
このようなキャビテーションは、静圧の低下の影響を受けてスクリュータイプのオイル噴射式真空ポンプ要素にて、より具体的には圧縮の最終段階で真空ポンプの出口において生じる可能性がある。
圧縮の最終段階において、圧縮チャンバの体積がゼロに達し、このチャンバ内の圧力が出口圧力よりも高くなることができるようになる。その結果、上述のチャンバと入口との間に大きな圧力差が生じ、ここでの圧力は、0.3ミリバール(a)以下になることができる。
最終圧縮段階の間、上述のチャンバは、ロータプロフィールのただ1つのセクションによって入口に接続されている別の圧縮チャンバから分離される。
このセクションにおいて、ロータのプロファイル間又はロータと出口端面との間にあるタイプのチャンネルが形成され、最初に収束した後に発散して、「ノズル」を形成する。
上述のチャンバと入口との間の大きな圧力差に起因して、このチャンネルを通じて上述のチャンバから入口までガス及びオイルの漏洩流が可能であり、これによりチャンネル及びロータの形式によって、この漏洩流の速度が極めて速くなり、ガス気泡が形成可能なほど静圧が低下するようになる。
更に、チャンネルにおいて静圧が再度増大すると、形成された気泡が破裂し、ロータ及びハウジングに損傷を与えることになる。この損傷の結果、真空ポンプ要素は、もはや機能しなくなるか又は良好に作動しなくなる。
本発明の目的は、上述及び他の欠点に対する解決策を提供することにある。
本発明の主題は、2つの協働するヘリカルロータがハウジング内に設けられ、上記ハウジングが、入口ポートと、入口端面と、出口ポートを有する出口端面と、を備え、上記ヘリカルロータと上記ハウジングとの間に圧縮チャンバが形成されて、該圧縮チャンバが上記ヘリカルロータの回転によって上記入口ポートから上記出口ポートへ進んでこれにより次第に小さくなる、スクリュータイプのオイル噴射式真空ポンプ要素であって、上記オイル噴射式真空ポンプ要素が、第1の圧縮チャンバから上記出口端面にある第2の圧縮チャンバまで延びる接続部を備え、上記第1の圧縮チャンバが、上記第2の圧縮チャンバよりも低圧であり、上記ヘリカルロータの回転時に上記第2の圧縮チャンバが上記出口ポートと接触することができ、上記接続部は、上記第2の圧縮チャンバの圧力が低下するように上記第2の圧縮チャンバから上記第1の圧縮チャンバへの流れを可能にするようなものであり、上記接続部が上記出口ポートに直接接続されない、ことを特徴とする。
上記ヘリカルロータの回転により、上記第1の圧縮チャンバは次第に小さくなって、最終的には第2の圧縮チャンバになり、この時点で新しい第1の圧縮チャンバが形成される。
第2の圧縮チャンバは、圧縮サイクルの終わりの圧縮チャンバであり、ここに出口ポートを介して真空ポンプ要素から放出できる圧縮ガスが存在する。当然ながら、第2の圧縮チャンバは入口ポートに接続されていない。
本発明によるオイル噴射式真空ポンプ要素の利点は、高圧の第2の圧縮チャンバから低圧の第1の圧縮チャンバへの接続部を介してガス及びオイルの流れが可能にされることで、入口と第2の圧縮チャンバとの間の圧力差が低減されることである。その結果、ヘリカルロータのプロファイル間のチャンネルを介した流れ、又は入口に接続された圧縮チャンバから上記第2の圧縮チャンバを分離するロータプロファイルのセクションにおいてロータと出口端面との間の流れが遙かに低速になることから、キャビテーションを阻止することができる。
実際に、第2の圧縮チャンバの低い圧力に起因して、上記チャンネル前後の圧力差が小さ過ぎて、キャビテーションを引き起こすことができるチャンネルを通る流れを生じさせることができない。
接続部の正確な位置及びその設計は、ヘリカルロータのプロファイル並びに出口ポートの形状及び位置によって決まることになる。これら両方は、関連する真空ポンプ要素に応じて大きく異なる。
各事例において、接続部が出口ポートと接触することを阻止する必要があり、すなわち、接続部は、出口ポートと直接接続されてはならない。
本発明の特徴をより良好に示すことを意図して、限定ではなく例証として添付図面を参照しながら、本発明によるオイル噴射式真空ポンプ要素の幾つかの好ましい実施形態について以下で説明する。
スクリュータイプのオイル噴射式真空ポンプ要素を概略的に示す。 図1のII−IIに沿ったオイル噴射式真空ポンプ要素の概略断面図である。 本発明によるオイル噴射式真空ポンプ要素の図2と同様の断面図である。 ヘルカルロータの異なる位置における図3の断面図である。 図3の代替の実施形態を示す。 図3の代替の実施形態を示す。 図3の代替の実施形態を示す。
図1に示すオイル噴射式真空ポンプ要素1は、スクリュータイプの一要素である。要素1は基本的に、2つの協働するヘルカルロータ3が回転可能に設けられたハウジング2を備える。
ハウジング2は、入口側5に入口端面4と、出口側7に出口端面6とを含む。
入口ポート8は、ハウジング2に付加される。入口ポート8は、図1において破線で示される。
出口ポート9は、出口端面6の位置にてハウジングに付加される。これは図2に示される。圧縮チャンバ11a,11bは、ヘリカルロータ3のローブ10とハウジング2との間に形成される。ヘリカルロータ3の回転によって、これらの圧縮チャンバ11a,11bは、入口ポート8から出口ポート9に移動する。
圧縮チャンバ11a,11bが入口ポート8と接触している限りはチャンバの体積は増大し、よってガスの負圧が増大することになる。圧縮チャンバ11a,11bがもはや入口ポート8と接触しなくなると、圧縮チャンバ11a,11bの体積は、ヘリカルロータ3が更に回転した時に減少することになり、ガス(例えば、空気)がこれらのチャンバにおいて圧縮されるようになる。
第1の圧縮段階において入口ポート8を介して圧縮チャンバ11aに入る空気は、ヘリカルロータ3の回転によって出口ポート9に移送され、これにより高圧にまで圧縮される。
ヘリカルロータ3の回転中のある時点で、圧縮チャンバ11bが出口ポート9と接触し、この圧縮チャンバ11bにおいて圧縮された空気は、最終圧縮段階の間に取り除くことができる。
図2には、上述の2つの圧縮段階に属する付随の圧縮チャンバ11a,11b、すなわち、入口ポート8及び出口端面6と接触する第1の圧縮チャンバ11aと、入口ポート8と接触せずに出口端面6とのみ接触する第2の圧縮チャンバ11bとが示されている。
この図面で解るように、これら2つの圧縮チャンバ11a,11bは、ヘリカルロータ3の1つのセクションによって互いに分離され、これにより「ノズル」形状を有するチャンネル12がヘリカルロータ3のプロファイル間に形成される。このチャンネル12を介して第2の圧縮チャンバ11bから第1の圧縮チャンバ11aの方向で空気及び/又はオイルの流れが可能であり、これによりチャンネル12の形式により、キャビテーションが生じる可能性があるほど、流れ速度が極めて高くなる。
本発明によるオイル噴射式真空ポンプ要素1において、出口端面に接続部が、この事例では溝13の形態で付加される。
溝13は、第1の圧縮チャンバ11aから第2の圧縮チャンバ11bに延びる。
これによって、溝13の第1の端部14aは、最終的には第1の圧縮チャンバ11aと部分的に重なり合うことになり、溝13の第2の端部14bは、第2の圧縮チャンバ11bと重なり合うことになる。
この溝13を介して第1の圧縮チャンバ11aまでの第2の圧縮チャンバ11bからのガス及び/又はオイルの流れが高圧で可能であり、第2の圧縮チャンバ11bの圧力が低下することになる。
このようにして、ガス及び/又はオイルの流れが上述のチャンネル12を介してより低速になるように、第2の圧縮チャンバ11bの圧力が高くなりすぎるのを防ぐことができる。
このようにして、キャビテーション及びその有害な影響が阻止される。
図示の実施例において、溝13は、入口ポート8に接続された第1の圧縮チャンバ11aと接触しているが、これは必須ではない。本発明においては、溝13が接続されている該当する第1の圧縮チャンバ11aが、第2の圧縮チャンバ11bよりも低圧であることだけが必要である。本発明によれば、接続部は、溝13が出口ポート9に直接接続されないように設計される。
これは図3において明確に解り、溝13は、出口ポート9からある離れた距離にて留まり、溝13の第2の端部14b及び出口ポート9とは接触しないようになる。
これにより、溝13及び第1の圧縮チャンバ11aを介して出口ポート9から入口ポート8への直接の漏洩流が可能とはならないことが確保される。
図3の状況において、溝13の第2の端部14bは、第2の圧縮チャンバ11bと接触していない。ヘリカルロータ3が更に回転すると、これにより第2の圧縮チャンバ11bが次第に小さくなり、この端部14bは、第2の圧縮チャンバ11bと次第に重なり合うことになる。その結果、溝13によりチャンバが依然として第1の圧縮チャンバ11aと接触しているので、第2の圧縮チャンバ11bの圧力の増大が相殺され、第2の圧縮チャンバ11bから第1の圧縮チャンバ11aへのガス及び/又はオイルの流れが可能となる。
図4は、第2の圧縮チャンバ11bの体積が実質的にゼロに達した状況を示している。これにより溝13の第2の端部14bは、依然として第2の圧縮チャンバ11bに接続されている。
この時点では、第2の圧縮チャンバ11bの圧力は、極めて高くなる可能性があるが、溝13により、第1の圧縮チャンバ11aへの接続部を通じたキャビテーションを阻止するのには十分に低くなる。
これにより溝13が第2の圧縮チャンバ11bと接触する第2の端部14bの位置は、第2の圧縮チャンバ11bへの接続部が出口ポート9と接触することなく実現されるように好適に選ぶ必要がある。
溝13及び詳細には第2の端部14bの最終位置は、ロータプロファイル及び出口ポート9の形状によって決まることになる。
溝13の最終形態及びサイズ、及びひいては溝13を介して流れることができるガス及び/又はオイルの流量は、2つの基準、すなわち、第2の圧縮チャンバ11bの圧力がキャビテーションを阻止するのに十分なほどに低下することができるように、流量が十分に高い必要があること、及びこの事例ではオイル噴射式真空ポンプ要素1の性能又は効率が低下することになる理由から、流量が過度に高くならない場合があること、によって決まることになる。溝13を介して流れることができる流量は、溝13の最小断面によって決まることになる。
好ましくは、mm2単位の溝13の最小断面は、リットル/秒単位の要素1の最大体積流量の0.01〜0.04倍の間である。
しかしながら、mm2単位のこの最小断面が、リットル/秒単位の要素1の最大体積流量の0.01〜0.1又は0.01〜0.08、又は0.01〜0.06倍であることを排除するものではない。より小さな最小断面を有する溝13は、キャビテーションを阻止するのに十分なほど第2の圧縮チャンバ11bの圧力を低下させるように十分な流れを可能にすることができないことになる。
より大きな最小断面を有する溝13は、第2の圧縮チャンバ11bから第1の圧縮チャンバ11aへの大きな流れを可能にし、オイル噴射式真空ポンプ要素1の効率が過剰なほど低下することになる。
好ましくは、出口端面6にて第2の圧縮チャンバ11bに接続される溝13の端部14bは、溝と上記の圧縮チャンバ11bとの間の最大接触領域が、リットル/秒単位の要素1の最大体積流量の0.01〜0.04倍であるmm2単位の面積を有するように設計される。上記の最大接触領域が、リットル/秒単位の要素1の最大体積流量の0.01〜0.1又は0.01〜0.08、又は0.01〜0.06倍であることを排除するものではない。溝13と第2の圧縮チャンバ11bとの間の接触領域は、溝13自体の最大断面よりも小さいことが可能であるので、好ましくは、所望の効果を得るために、上記の接触領域がより高い規定条件であることで十分である。溝13の最終設計に関しては、別の異なる選択肢も可能である。
好ましくは、溝は、少なくとも1つのスロット形セクション15を含む。
ここでのスロット形セクション15は、溝13を通る流れ方向で見た断面が変化しない又は実質的に変化しない、溝13の一部であることを意味する。
このセクション15は、直線状又は曲線状とすることができる。
図3〜6において、溝13は、スロット形セクション15のみを含む。
これらの図面で解るように、スロット形状の溝13は、異なる向きを有する。また、このスロット形セクション15に接続される溝13が拡大セクション16を含むことも可能であり、これにより溝13が少なくとも第1の圧縮チャンバ11aと部分的に重なり合う。これは図7に示されており、ここでは、溝13の第1の端部14aが拡大セクション16によって形成されて、スロット形セクション15によって形成された第2の端部14bよりもより広い断面を有することが解る。この拡大セクション16の正確な形状は、第二義的に重要である。第1の端部14aについての唯一の条件は、溝13が常に第1の圧縮チャンバ11aに接続されるようにこの端部14aが十分に延びることである。
好ましくは、溝13と第1の圧縮チャンバ11aとの間の重なり合いは、第1の圧縮チャンバ11aの体積がゼロに達するまでヘリカルロータ3の回転時に第1の圧縮チャンバ11aと第2の圧縮チャンバ11bとの間の接続部が溝13によって保持されるようなものである。
この時点で、第2の圧縮チャンバ11bの圧力が極めて高く、第2の圧縮チャンバ11bはもはや出口ポート9に接続されていないので、この第2の圧縮チャンバ11bの圧力は、上記のノズル形チャンネル12のみを介して放出することができるようになる。これを阻止するために、第2の圧縮チャンバ11bが溝13を介して第1の圧縮チャンバ11aに及ぶひいては入口ポート8に接続されるのを確保する。このようにして、この圧縮チャンバ11bの体積がゼロに達してキャビテーションを阻止できる時点で、この段階の間に第2の圧縮チャンバ11bの圧力が高くなりすぎるのを防ぐことができる。上記で示された実施例において、出口端面6における溝13によって常に接続がされているが、第2の圧縮チャンバ11bと少なくとも部分的に重なり合う出口端面6の溝部と、第2の圧縮チャンバ11bよりも低圧で第1の圧縮チャンバ11aに通じて接続されたチャンネル又はパイプとによって接続が実現されることを排除するものではない。
既に述べたように、この圧縮チャンバ11aは、入口ポート8に接続された圧縮チャンバ11aとすることができるが、これは本発明において必須ではない。このチャンネル又はこのパイプは、ハウジング自体又はその他に組み込むことができるが、当然ながら、ハウジング上に構築することもできる。
このような実施形態において、好ましくは、溝部とチャンネルの最小断面並びに溝部と第2の圧縮チャンバ11bの間の最大触領域の両方が、上記の条件を確実に満たす必要があり、すなわち、mm2単位のこの最小断面及びこの最大接触領域が、リットル/秒単位の要素1の最大体積流量の0.01〜0.1倍、好ましくは0.01〜0.08倍、より好ましくは又は0.01〜0.06倍、更により好ましくは0.01〜0.04倍である。
上記の溝部は、例えば図7に示すように、溝13のスロット形セクション15の形態をとることができる。好ましくは、チャンネル又はパイプは、第2の圧縮チャンバ11bの体積がゼロに達するまでヘリカルロータ3の回転時に第1の圧縮チャンバ11aとチャンネル又はパイプとの間の接続部が保持されるようなものであることも確保される。
本発明は、一例として記載され且つ図面に示された実施形態に限定されず、本発明によるオイル噴射式真空ポンプ要素は、本発明の範囲から逸脱することなく、あらゆる種類の形態及び寸法で実現することができる。
1 オイル噴射式真空ポンプ要素
2 ハウジング
3 ヘリカルロータ
6 出口端面
8 入口ポート
9 出口ポート

Claims (9)

  1. 2つの協働するヘリカルロータ(3)がハウジング(2)内に設けられ、前記ハウジング(2)が、入口ポート(8)と、入口端面(4)と、出口ポート(9)を有する出口端面(6)と、を備え、前記ヘリカルロータ(3)と前記ハウジング(2)との間に圧縮チャンバ(11a,11b)が形成されて、該圧縮チャンバ(11a,11b)が前記ヘリカルロータ(3)の回転によって前記入口ポート(8)から前記出口ポート(9)へ進んでこれにより次第に小さくなる、スクリュータイプのオイル噴射式真空ポンプ要素(1)において、
    前記オイル噴射式真空ポンプ要素(1)が、第1の圧縮チャンバ(11a)から前記出口端面(6)にある第2の圧縮チャンバ(11b)まで延びる接続部を備え、前記第1の圧縮チャンバ(11a)が、前記第2の圧縮チャンバ(11b)よりも低圧であり、前記ヘリカルロータ(3)の回転時に前記第2の圧縮チャンバ(11b)が前記出口ポート(9)と接触することができ、前記接続部は、前記第2の圧縮チャンバ(11b)の圧力が低下するように前記第2の圧縮チャンバ(11b)から前記第1の圧縮チャンバ(11a)への流れを可能にするようなものであり、前記接続部が前記出口ポート(9)に直接接続されない、ことを特徴とするオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  2. 前記第1の圧縮チャンバ(11a)が、前記入口ポート(8)と及び前記出口端面(6)と接触する、ことを特徴とする請求項1に記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  3. 前記接続部が、前記出口端面(6)に付加される溝(13)によって実現され、該溝(13)が、前記第1の圧縮チャンバ(11a)から前記第2の圧縮チャンバ(11b)に延びる、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  4. 前記溝(13)が少なくともスロット形直線状又は曲線状セクション(15)を含む、ことを特徴とする請求項3に記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  5. 前記溝(13)が、前記スロット形セクション(15)に隣接して拡大セクション(16)を含み、該拡大セクション(16)により前記溝(13)が前記第1の圧縮チャンバ(11a)と少なくとも部分的に重なり合う、ことを特徴とする請求項4に記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  6. 前記接続部が、前記第2の圧縮チャンバ(11b)と少なくとも部分的に重なり合う前記出口端面(6)における溝部と、前記第1の圧縮チャンバ(11a)に通じて接続されたチャンネル又はパイプとによって実現され、前記チャンネル又はパイプが前記ハウジング又はその他に組み込まれている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  7. mm2単位の前記接続部の最小断面が、リットル/秒単位の前記オイル噴射式真空ポンプ要素(1)の最大体積流量の0.01〜0.1倍、好ましくは0.01〜0.08倍、より好ましくは又は0.01〜0.06倍、更により好ましくは0.01〜0.04倍である、ことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  8. 前記出口端面(6)にて前記第2の圧縮チャンバ(11b)に接続される前記接続部の端部(14b)は、前記接続部と前記第2の圧縮チャンバ(11b)との間の最大接触領域が、リットル/秒単位の前記オイル噴射式真空ポンプ要素(1)の最大体積流量の0.01〜0.1倍、好ましくは0.01〜0.08倍、より好ましくは又は0.01〜0.06倍、更により好ましくは0.01〜0.04倍であるmm2単位の面積を有するように設計される、ことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
  9. 前記接続部と前記第1の圧縮チャンバ(11a)との間の重なり合いは、前記第2の圧縮チャンバ(11b)の体積がゼロ又は実質的にゼロに達するまで前記ヘリカルロータ(3)の回転時に前記第1の圧縮チャンバ(11a)と前記第2の圧縮チャンバ(11b)との間の接続部が保持されるようなものである、ことを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載のオイル噴射式真空ポンプ要素(1)。
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