JP2018169422A - 波長変換素子およびレーザ照射装置 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 177
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 85
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 59
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 59
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 42
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 42
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 42
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 39
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
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- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
Description
・LTは、260nm以下の波長のレーザに対し、レーザ透過時の吸収量が多く、また、レーザを照射した際の損傷が激しい。
・LN、LBOは、レーザを照射した際の損傷が激しく、また、300nm以下の波長への変換が困難である。
・KTPは、300nm以下の波長への変換が困難である。
・CLBO、LBOは、潮解性を有するため、湿度対策が必要となる。
・その他の非線形結晶材料の多くも、レーザに対する損傷に弱い、潮解性を有する、変換できる波長域に制限がある(波長の透過域が狭い)等の問題を有している。
・レーザ耐性が高い(損傷しにくい)、
・潮解性が無い、
・短波長の透過域が広い、
・熱耐久性が高い、
・安価、メンテナンスフリー、小型化が容易、
といった多くのメリットを有している。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。図1は、非線形結晶として水晶を用いた波長変換素子10−1の断面図である。
実施の形態1で示した波長変換素子10−1のように、複数の水晶板11を金属拡散層12によって貼り合わせ、かつ、金属拡散層12の存在しない開口領域を設ける構造では、この開口領域において、貼り合わされる水晶板11の間にギャップ空間が形成される。このギャップ空間内の媒質(ギャップ内媒質)と水晶板11との屈折率が異なる場合、ギャップ内媒質と水晶板11との界面で反射が生じ、この反射によって透過レーザにおけるエネルギ損失が生じる可能性がある。
実施の形態1に係る波長変換素子10−1および実施の形態2に係る波長変換素子10−2において、三角柱プリズム13および四角柱プリズム15は、水晶板11に対して、例えば接着剤を用いた接着により、所定の位置に固定することができる。しかしながら、このような接着によるプリズム固定方法では、プリズムの設計変更やプリズムの小型化が可能となった場合、プリズムのみの交換が不可能であり、素子全体の交換が必要となる。
本実施の形態4では、本発明が適用されたレーザ照射装置について図5,図6を参照して説明する。
11 水晶板
12 金属拡散層
12A,12B 金属パターン
13 三角柱プリズム
14 反射防止膜
15 四角柱プリズム
16 パッケージ
161 第1パッケージ部材
162 第2パッケージ部材
50−1,50−2 レーザ照射装置
51 レーザ光源
52 透過・反射板
53 集光レンズ
L1 基本波(基準レーザ光)
L2 第2高調波(変換レーザ光)
Claims (6)
- 非線形光学特性を有する結晶による分極反転構造が形成されてなる疑似位相整合を有する波長変換素子であって、
前記結晶には水晶が用いられ、複数の水晶板を貼り合わせた構造とされており、
前記波長変換素子における第1の主面側および第2の主面側には、それぞれ複数のプリズムが配置されており、
前記複数のプリズムは、前記波長変換素子の所定の入射位置から所定の入射角度でレーザ光が入射された場合に、前記レーザ光を前記波長変換素子の前記第1の主面側のプリズムと前記第2の主面側のプリズムとの間で繰り返し反射させることが可能な構成となっていることを特徴とする波長変換素子。 - 請求項1に記載の波長変換素子であって、
前記複数のプリズムは、前記波長変換素子内において前記第1の主面側から前記第2の主面側に進むレーザ光の光路と、前記第2の主面側から前記第1の主面側に進むレーザ光の光路とが平行となるようにレーザ光を反射させる構成となっていることを特徴とする波長変換素子。 - 請求項2に記載の波長変換素子であって、
前記複数のプリズムは、前記波長変換素子の前記第1の主面の所定の位置から入射面に対してブリュースター角となる入射角度でレーザ光が入射された場合に、前記レーザ光を前記第1の主面側のプリズムと前記第2の主面側のプリズムとの間で繰り返し反射させることが可能な構成となっており、
前記複数の水晶板は、貼り合わされる全ての水晶板の重心に対する近似直線が、該波長変換素子の光入射面に対してレーザ光がブリュースター角で入射された場合の屈折光の光路と平行となるように貼り合わされていることを特徴とする波長変換素子。 - 請求項2に記載の波長変換素子であって、
前記複数のプリズムは、前記波長変換素子の前記第1の主面に対して垂直となる入射角度でレーザ光が入射された場合に、前記レーザ光を前記第1の主面側のプリズムと前記第2の主面側のプリズムとの間で繰り返し反射させることが可能な構成となっていることを特徴とする波長変換素子。 - 請求項1から4の何れか一項に記載の波長変換素子であって、
貼り合わされた前記複数の水晶板と、前記複数のプリズムとを、両側から挟み込んで固定するパッケージを有しており、
前記複数のプリズムは、前記パッケージによって前記水晶板に対して位置決めされることを特徴とする波長変換素子。 - レーザ光源と波長変換素子とを有し、前記レーザ光源から発射される基準レーザ光を前記波長変換素子に透過させ、該透過によって波長変換された変換レーザ光を外部に照射するレーザ照射装置であって、
前記波長変換素子は、前記請求項1から5のいずれか一項に記載された波長変換素子であることを特徴とするレーザ照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017064260A JP6880916B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017064260A JP6880916B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018169422A true JP2018169422A (ja) | 2018-11-01 |
JP6880916B2 JP6880916B2 (ja) | 2021-06-02 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017064260A Active JP6880916B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6880916B2 (ja) |
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JP2018173523A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社大真空 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
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