JP2018163093A - 検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係る表面性状測定機の全体構成を示す図であり、図1(A)は正面図、図1(B)は側面図である。また、図1(C)は、図1(B)に示す状態から姿勢を変更した状態の側面図である。図1に示すように、真円度測定機10は、本体ベース(基台)12上に測定対象物となるワークWを載置する回転ステージ(回転台)14が設けられている。回転ステージ14は、X方向微動つまみ(不図示)及びY方向微動つまみ(不図示)によってX方向及びY方向に微動送りがされ、X方向傾斜つまみ(不図示)及びY方向傾斜つまみ(不図示)によってX方向及びY方向に傾斜が調整されるようになっている。
図2は、従来の検出器24の構成の一例を示す図である。
図7は、本実施形態に係る検出器24の構成の一例を示す図である。検出器24は、円筒状の検出器本体100、スタイラス102、接触子104、保持部106、回転軸108、測定部110、及びアーム部112を有する。
図10〜図12は、他の実施形態に係る検出器24の構成の一例を示す図である。なお、図7に示した検出器24と共通する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図10及び図11に示す検出器24は、スタイラス102の形状がそれぞれ異なる。また、図12に示す検出器24は、接触子104の形状がそれぞれ異なる。
図14は、検出器24の円弧補正を説明するための図である。
Δθ=ΔD/LD …(式1)
Δθ=ΔC/LS …(式2)
ΔX=ΔC×cosθ …(式3)
また、式1〜式3により、以下の式が成立する。
ここで、cosθが円弧補正の項である。
ここまでは、測定部110として、てこ式検出器を用いた場合について説明したが、測定部110はてこ式検出器に限定されない。例えば、平行リンク機構検出器を用いることも可能である。
これまで説明した検出器24は、表面性状測定機に適用することができるが、特に真円度測定機に用いることで、以下の特有の効果を奏する。
本発明の技術的範囲は、上記の実施形態に記載の範囲には限定されない。各実施形態における構成等は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各実施形態間で適宜組み合わせることができる。
12 本体ベース
14 回転ステージ
16 コラム
18 キャリッジ
20 アーム
22 検出器ホルダ
24 検出器
100 検出器本体
100A 下端
102 スタイラス
102A 第1部分
102B 第2部分
102C 第3部分
102D 第4部分
104 接触子
106 保持部
108 回転軸
110 測定部
112 アーム部
120A 回転軸
120B 回転軸
120C 回転軸
120D 回転軸
122 固定リンク
124A 可動リンク
124B 可動リンク
126 揺動リンク
128 変位センサ
O1 中心
O2 中心
P1 接触点
P2 接触点
P3 接触点
P4 接触点
P5 接触点
P6 接触点
P7 接触点
P8 接触点
S 仮想延長面
W ワーク
a 検出器軸
b 本体軸
c スタイラス軸
Claims (8)
- 測定対象物の表面に接触する接触子を支持するスタイラスと、
前記スタイラスを保持する保持部と、
前記保持部を回転軸によって揺動自在に保持し、前記保持部の変位を検出する測定部と、
前記測定部を収納する本体部と、
を備え、
前記保持部は、前記スタイラスの軸であるスタイラス軸と前記本体部の軸である本体軸とを平行に、かつ前記スタイラス軸と前記本体軸とを前記本体軸及び前記回転軸に直交する第1方向にオフセットして前記スタイラスを保持する検出器。 - 前記本体軸と前記接触子の前記測定対象物に接触する位置との前記第1方向の距離は、前記本体軸と前記本体部の外周面との前記第1方向の距離よりも大きい請求項1に記載の検出器。
- 前記本体部は、円筒形状を有する請求項1又は2に記載の検出器。
- 前記接触子は、球形状、円錐形状、多角錐形状、円盤形状、又は斧形状である請求項1から3のいずれか1項に記載の検出器。
- 前記測定部は、前記回転軸まわりに回転自在に前記保持部を軸支する請求項1から4のいずれか1項に記載の検出器。
- 前記測定部は、
一対の回転軸が設けられる固定リンクと、
一端が前記一対の回転軸にそれぞれ回動自在に軸支される一対の可動リンクと、
前記一対の可動リンクのそれぞれの他端に設けられた回転軸に揺動自在に軸支され、前記スタイラスを保持する揺動リンクと、
から構成される平行リンク機構を有する請求項1から4のいずれか1項に記載の検出器。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の検出器と、
前記測定対象物の測定面に前記接触子を接触させ、前記測定対象物と前記接触子とを相対的に移動させる相対移動部と、
前記検出器の検出結果に基づいて前記測定対象物の表面性状を測定する表面性状測定部と、
を備えた表面性状測定機。 - 請求項7に記載の表面性状測定機を備えて構成され、
前記相対移動部は、前記測定対象物を回転させる回転ステージを備え、
前記表面性状測定部は、前記測定対象物の真円度を測定する真円度測定機。
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