JP2000111334A - 表面追従型測定機 - Google Patents
表面追従型測定機Info
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- JP2000111334A JP2000111334A JP10277851A JP27785198A JP2000111334A JP 2000111334 A JP2000111334 A JP 2000111334A JP 10277851 A JP10277851 A JP 10277851A JP 27785198 A JP27785198 A JP 27785198A JP 2000111334 A JP2000111334 A JP 2000111334A
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- G—PHYSICS
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
とも一方を交換しても、測定力を能率的にかつ正確に適
正測定力に設定することができる表面追従型測定機を提
供する。 【解決手段】 測定力指令値テーブル49に、スタイラ
スホルダの種類(H1,H2)、スタイラスの種類(S
1,S2,S3)、測定方向(上向き、または、下向
き)、検出器の傾き角度の各組合せに対応して、測定ア
ームに最適な測定力を与える測定力指令値α1,α2,
α3……を記憶しておく。測定に際して、それらの組合
せが指定されると、CPUは、指定された組合せに対応
する測定力指令値を測定力指令値テーブル49の中から
読み出し、その測定力指令値を測定力調整手段に与え
る。
Description
に関する。詳しくは、スタイラスを被測定物の表面に接
触させ、この状態で両者を相対移動させながら被測定物
の表面粗さや輪郭を測定する表面追従型測定機に関す
る。
の測定機として、表面粗さ・輪郭測定機が知られてい
る。中でも、この種の測定機のうち接触式の測定機とし
て、図8に示すように、図示しない移動機構によって被
測定物に対して移動されるフレーム10と、このフレー
ム10に軸12を介して揺動可能に支持され先端にスタ
イラス15を有する測定アーム11と、この測定アーム
11のスタイラス15が被測定物の表面に所定測定力で
接するように測定アーム11の測定力を調整するバラン
スウエイト16と、前記測定アーム11の揺動変位量を
検出する差動トランスなどの変位検出手段21とからな
る検出器5を備えた構成の測定機が知られている。
定物の各種表面形状に追従できるように、先端部分のス
タイラス15およびこれを保持するスタイラスホルダ1
4が交換可能に構成されている。測定に際しては、被測
定物の表面形状に対応するスタイラス15およびスタイ
ラスホルダ14に交換し、この状態において、測定アー
ム11のスタイラス15を被測定物の表面に接触させた
のち、移動手段によって測定アーム11を被測定物の表
面に沿って移動させる。すると、被測定物の表面形状に
応じて測定アーム11が揺動するので、その揺動変位量
が変位検出手段21によって検出される。この測定アー
ム11の揺動変位量と移動量とから被測定物の表面形状
などを求めることができる。
測定機では、被測定物の表面形状に対応して、スタイラ
ス15およびスタイラスホルダ14を交換する毎に、テ
ンションゲージや電子はかりなどを用いて、バランスウ
エイト16を調整し(バランスウエイト16の位置を測
定アーム11の長手方向へ移動し)、スタイラス15と
被測定物との接触力、つまり、測定力が所定値になるよ
うに調整作業を行う必要があったため、作業効率が悪い
うえ、測定者にとって大きな負担になっていた。
めになされたもので、被測定物の表面形状に対応して、
スタイラスおよびスタイラスホルダの少なくとも一方を
交換しても、作業者に負担をかけることなく、測定力を
能率的にかつ正確に適正測定力に設定することができる
表面追従型測定機を提供することにある。
め、本発明の表面追従型測定機は、被測定物に対して相
対移動可能な本体と、この本体に変位可能に支持され、
先端に交換可能なスタイラスホルダおよびスタイラスを
有する測定アームと、この測定アームの変位を検出する
変位検出手段と、前記測定アームにかかる測定力を調整
可能な測定力調整手段と、前記測定アームの複数種類の
スタイラスホルダおよび複数種類のスタイラスの組合せ
にそれぞれ対応して予め測定力指令値を記憶した測定力
指令値テーブルと、前記測定アームのスタイラスホルダ
およびスタイラスの少なくとも一方を交換したとき、交
換したスタイラスホルダの種類およびスタイラスの種類
を指定する指定手段と、この指定手段によって指定され
たスタイラスホルダの種類およびスタイラスの種類の組
合せに対応する測定力指令値を前記測定力指令値テーブ
ルから読み出し、その測定力指令値を前記測定力調整手
段に与える制御手段と、を備えたことを特徴とする。
タイラスが被測定物の表面に接した状態において、本体
と被測定物とが相対移動すると、測定アームのスタイラ
スが被測定物の表面を追従しながら変位するので、測定
アームも被測定物の表面粗さや輪郭形状によって変位さ
れる。すると、この変位が変位検出手段によって検出さ
れ、この検出値から被測定物の表面粗さや輪郭形状が求
められる。ここで、被測定物の表面形状に対応して、測
定アームのスタイラスホルダおよびスタイラスの少なく
とも一方を交換したのち、交換したスタイラスホルダの
種類およびスタイラスの種類を指定手段によって指定す
ると、指定されたスタイラスホルダの種類およびスタイ
ラスの種類の組合せに対応する測定力指令値が測定力指
令値テーブルの中から読み出され、この測定力指令値が
測定力調整手段に与えられる。つまり、測定力調整手段
によって、測定力がその測定力指令値に制御されるか
ら、測定アームのスタイラスホルダおよびスタイラスの
少なくとも一方を交換した場合でも、作業者に負担をか
けることなく、測定アームにかかる測定力を能率的かつ
正確に適正測定力に設定することができる。
定物に対して相対移動可能な本体と、この本体に変位可
能に支持され、先端に交換可能なスタイラスホルダおよ
びスタイラスを有する測定アームと、この測定アームの
変位を検出する変位検出手段と、前記測定アームにかか
る測定力を調整可能な測定力調整手段と、前記測定アー
ムの複数種類のスタイラスホルダ、複数種類のスタイラ
ス、測定方向および前記本体の傾き角度の組合せにそれ
ぞれ対応して予め測定力指令値を記憶した測定力指令値
テーブルと、前記本体の傾き角度を検出する角度検出手
段と、前記測定アームのスタイラスホルダおよびスタイ
ラスの少なくとも一方を交換したとき、交換したスタイ
ラスホルダの種類およびスタイラスの種類を指定すると
ともに、測定方向を指定する指定手段と、この指定手段
によって指定されたスタイラスホルダの種類、スタイラ
スの種類および測定方向と、前記角度検出手段によって
検出された本体の傾き度との組合せに対応する測定力指
令値を前記測定力指令値テーブルから読み出し、その測
定力指令値を前記測定力調整手段に与える制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
ーブルには、測定アームの複数種類のスタイラスホル
ダ、複数種類のスタイラス、測定方向および本体の傾き
角度の組合せにそれぞれ対応して予め測定力指令値が記
憶されているから、つまり、スタイラスホルダの種類や
スタイラスの種類の組合せだでけでなく、測定方向(た
とえば、上向き、下向きなど)および本体の傾き角度を
含めて最適な測定力を設定することができる。従って、
測定アームにかかる測定力をより正確に適正測定力にす
ることができる。この際、本体の傾き角度については、
角度検出手段によって自動的に検出されるから、つま
り、作業者が本体の傾き角度を手動入力しなくてもよい
から、作業者の負担を軽減しつつ、正確な測定力を設定
できる。
出する測定力検出手段を含み、前記制御手段は、前記測
定力指令値テーブルから読み出した測定力指令値を前記
測定力調整手段に与えるとともに、前記測定力検出手段
によって検出された測定力検出値が測定力指令値になる
ように、前記測定力調整手段を制御するようにしてもよ
い。このようにすれば、測定力検出手段によって検出さ
れた測定力検出値が測定力指令値になるように、測定力
調整手段が制御されるから、測定力を測定力指令値に正
確に設定することができる。
に基づいて説明する。図1は本実施形態の表面追従型測
定機を示している。同表面追従型測定機は、被測定物1
を載置する測定台2と、この測定台2上に立設されたコ
ラム3と、このコラム3に沿って上下方向(Z方向)へ
昇降可能に設けられたスライダ6と、このスライダ6に
旋回装置7を介して旋回可能に取り付けられた検出器送
り装置4と、この検出器送り装置4の下方に接続されそ
の検出器送り装置4によって移動(通常X方向へ移動)
される検出器5とから構成されている。なお、旋回装置
7の旋回角度、つまり、検出器5の傾き角度は、角度検
出手段8によって検出されている。
検出器送り装置4に接続される本体としてのフレーム1
0を備える。フレーム10には、揺動可能な測定アーム
11と、この測定アーム11の揺動変位量を検出する差
動トランスなどからなる変位検出手段21と、前記測定
アーム11にかかる測定力を調整可能な測定力調整手段
31とがそれぞれ設けられている。前記測定アーム11
は、前記フレーム10の下部に軸12を支点として揺動
可能に支持されたウエイト棒13と、このウエイト棒1
3の先端に交換可能に連結されたスタイラスホルダ14
と、このスタイラスホルダ14の先端に交換可能に取り
付けられたスタイラス15とを備える。
数種類が用意され、この中から被測定物1の測定面に適
したものが選択されてウエイト棒13に取り付けられる
ようになっている。たとえば、図3(A)(B)に示す
ように、ストレート管状のスタイラスホルダH1、およ
び、先端が直角に曲がった心違いスタイラスホルダH2
などの中から選択されたいずれかのスタイラスホルダが
交換可能に取り付けられるようになっている。また、ス
タイラス15も、予め複数種類が用意され、この中から
被測定物1の測定面に適したものが選択されてスタイラ
スホルダ14に取り付けられるようになっている。たと
えば、図4(A)(B)(C)に示すように、先端片側
を斜めにカットした片角スタイラスS1、先端両側を斜
めにカットした両角スタイラスS2、および、先端を円
錐状にカットした円錐スタイラスS3などの中から、選
択されたいずれかのスタイラスが交換可能に取り付けら
れるようになっている。
1に所定の測定力を付加できる構造に構成されている。
たとえば、図5に示すように、前記フレーム10の下面
に取り付けられた回転力発生部(ロータリソレノイドや
正逆回転可能なモータなど)32と、この回転力発生部
32の主軸に取り付けられたワイヤ巻付用プーリ33
と、前記測定アーム11のウエイト棒13を挟んで両側
に配置されかつ前記フレーム10に図示しないプレート
を介して取り付けられた方向転換用プーリ34,35
と、これらプーリ33,34,35に掛け回され、両端
を前記ウエイト棒13の上下面に固定したワイヤ36と
を備える構造に構成されている。
向へ回転すると、ワイヤ36を介してウエイト棒13が
反時計方向へ回動付勢され、これにより、測定アーム1
1には下向きの測定力が加えられるようになっている。
また、回転力発生部32が図5中時計方向へ回転する
と、ワイヤ36を介してウエイト棒13が時計方向へ回
動付勢され、これにより、測定アーム11には上向きの
測定力が加えられるようになっている。この場合には、
スタイラス15が上向きになるように、スタイラスホル
ダ14が図中二点鎖線の状態で取り付けられる。つま
り、測定方向(上向き測定、あるいは、下向き測定)に
よって、スタイラスホルダ14の取付姿勢や、測定力を
加える方向が変えられるようになっている。
置のブロック図である。同図に示すように、前記角度検
出手段8は、インターフェース41およびA/D変換器
42を介して制御手段としてのCPU45に接続されて
いる。また、前記測定力調整手段31は、インターフェ
ース43およびD/A変換器44を介して前記CPU4
5に接続されている。CPU45には、記憶手段として
のメモリ46、指定手段としての入力装置47および表
示手段としての表示装置48がそれぞれ接続されてい
る。
憶するエリアのほかに、測定力指令値テーブル49が設
けられている。測定力指令値テーブル49には、図7に
示すように、スタイラスホルダ14の種類(H1,H
2)、スタイラス15の種類(S1,S2,S3)、測
定方向(上向き、または、下向き)、検出器5(本体1
0)の傾き角度(0°,15°,30°,45°,60
°,75°)の組合せに対応して、測定アーム11に最
適な測定力を与えるための測定力指令値(ここでは、回
転力発生部を動作させるための電流値など)α1,α
2,α3……が記憶されている。たとえば、スタイラス
ホルダH1とスタイラスS1との組合せの場合には、測
定方向が上向きのとき、傾き角度が0°,15°,30
°,45°,60°,75°の条件での最適な測定力指
令値α1……α6が記憶されている。
規にスタイラスホルダ14とスタイラス15との組合せ
に対応する測定力指令値を、入力装置47から作業者が
適宜登録できるようになっている。また、測定力指令値
テーブル49に既に登録されている測定力指令値につい
ても、入力装置47からの作業者の操作によって、簡易
に適宜変更できるようになっている。
8を見ながら、交換された(使用する)スタイラスホル
ダ14の種類およびスタイラス15の種類のほか、測定
方向(上向き、または、下向き)を指定できるようにな
っている。なお、検出器5(本体10)の傾き角度につ
いては、角度検出手段8からの信号が、インターフェー
ス41およびA/D変換器42を介してCPU45に入
力されている。CPU45は、入力装置47によって指
定されたスタイラスホルダ14の種類およびスタイラス
15の種類および測定方向(上向き、または、下向き)
と、角度検出手段8から与えられる検出器5(本体1
0)の傾き角度との組合せに対応する測定力指令値を前
記メモリ46の測定力指令値テーブル49から読み出
し、その測定力指令値を前記測定力調整手段31に与え
る。
に際して、被測定物1の表面形状に対応して最適なスタ
イラスホルダ14およびスタイラス15に交換したの
ち、入力装置47において、交換したスタイラスホルダ
14の種類(H1,H2)およびスタイラス15の種類
(S1,S2,S3)、測定方向(上向き、または、下
向き)を指定する。
ラスホルダ14の種類(H1,H2)、スタイラス15
の種類(S1,S2,S3)および測定方向(上向き、
または、下向き)と、角度検出手段8で検出された角度
との組合せに対応す測定力指令値を測定力指令値テーブ
ル49の中から読み出し、この測定力指令値を測定力調
整手段31に与える。これにより、測定力調整手段31
において、回転力発生部32は、与えられた測定力指令
値で駆動される結果、測定アーム11に作用する測定力
がその測定力指令値に制御される。
に適正測定力でスタイラス15が接した状態において、
検出器送り装置4を作動させると、検出器5が移動され
る。すると、スタイラス15が被測定物1の表面を追従
しながら上下方向へ変位するので、測定アーム11が揺
動される。すると、その測定アーム11の揺動量が変位
検出手段21によって検出され、この検出値から被測定
物1の表面粗さや輪郭形状が求められる。
値テーブル49に、スタイラスホルダ14の種類(H
1,H2)、スタイラス15の種類(S1,S2,S
3)、測定方向(上向き、または、下向き)、検出器5
(本体10)の傾き角度(0°,15°,30°,45
°,60°,75°)の各組合せに対応して、測定アー
ム11に最適な測定力を与える測定力指令値を記憶して
おき、測定に際して、それらの組合せを指定すれば、そ
の組合せに対応する測定力指令値が測定力指令値テーブ
ル49の中から読み出され、その測定力指令値が測定力
調整手段31に与えられるから、自動的に最適な測定力
に設定することができる。よって、作業者に負担をかけ
ることなく、測定力を能率的にかつ正確に適正測定力に
設定することができる。
(本体10)の傾き角度については、角度検出手段8に
よって自動的に検出されるから、作業者が手動入力する
必要がない。つまり、入力装置47から手動で入力する
手間が省けるから、作業者の負担をより軽減することが
できる。また、従来のように、測定アーム11の長手方
向へバランスウエイトを移動可能に設けなくてもよいか
ら、検出器5の筐体から外部へ突出する部分がなくな
り、装置全体もコンパクト化できる。
構成に限定されず、本発明の目的を達成せきる範囲での
変形、改良は、本発明に含まれる。たとえば、測定力調
整手段31については、前記実施形態で述べた構成に限
らず、フレーム10にリニアガイドを介して可動部材を
図2中上下方向へ移動可能に設け、この可動部材をリン
クを介して前記測定アーム11に連結するとともに、可
動部材を摺動させるアクチュエータを設けた構成でもよ
い。この場合、アクチュエータとしては、磁石とコイル
とからなるボイスコイル、あるいは、リニアモータなど
でもよく、要するに、測定アーム11にかかる測定力を
変化させることができるものであれいずれでもよい。
ーブル49に検出器5(本体10)の傾き角度を15°
間隔で記憶したが、角度検出手段8で検出される傾き角
度がその間の角度の場合には、その前後の角度に対応す
る測定力指令値を基に比例計算によって測定力指令値を
算出するようにすればよい。また、測定力指令値テーブ
ル49から読み出された測定力指令値を、入力装置47
における作業者の操作によって、適宜変更できるように
してもよい。このようにすると、測定しようとする被測
定物の材質が傷がつきやすいものの場合でも、測定力指
令値を低く変更することにより、傷などの発生も防止で
きる。
測定力調整手段31に与えるだけであったが、歪みゲー
ジなどの測定力検出手段によって、測定アーム11にか
かる測定力を検出し、この測定力検出値をCPU45へ
与え、CPU45において、測定力検出値が測定力指令
値になるように測定力調整手段31を制御するようにす
れば、より正確に測定力を設定することができる。
定力指令値テーブルに、複数種類のスタイラスホルダお
よび複数種類のスタイラスの組合せにそれぞれ対応し
て、測定アームに最適な測定力を与える測定力指令値を
記憶しておき、測定に際して、それらの組合せを指定す
ると、その組合せに対応する測定力指令値を読み出し、
その読み出した測定力指令値を測定力調整手段に与える
ようにしたので、自動的に最適な測定力に設定すること
ができる。よって、作業者に負担をかけることなく、測
定力を能率的にかつ正確に適正測定力に設定することが
できる。
正面図である。
図である。
を示す斜視図である。
図である。
である。
図である。
示す図である。
図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 被測定物に対して相対移動可能な本体
と、 この本体に変位可能に支持され、先端に交換可能なスタ
イラスホルダおよびスタイラスを有する測定アームと、 この測定アームの変位を検出する変位検出手段と、 前記測定アームにかかる測定力を調整可能な測定力調整
手段と、 前記測定アームの複数種類のスタイラスホルダおよび複
数種類のスタイラスの組合せにそれぞれ対応して予め測
定力指令値を記憶した測定力指令値テーブルと、 前記測定アームのスタイラスホルダおよびスタイラスの
少なくとも一方を交換したとき、交換したスタイラスホ
ルダの種類およびスタイラスの種類を指定する指定手段
と、 この指定手段によって指定されたスタイラスホルダの種
類およびスタイラスの種類の組合せに対応する測定力指
令値を前記測定力指令値テーブルから読み出し、その測
定力指令値を前記測定力調整手段に与える制御手段と、 を備えたことを特徴とする表面追従型測定機。 - 【請求項2】 被測定物に対して相対移動可能な本体
と、 この本体に変位可能に支持され、先端に交換可能なスタ
イラスホルダおよびスタイラスを有する測定アームと、 この測定アームの変位を検出する変位検出手段と、 前記測定アームにかかる測定力を調整可能な測定力調整
手段と、 前記測定アームの複数種類のスタイラスホルダ、複数種
類のスタイラス、測定方向および前記本体の傾き角度の
組合せにそれぞれ対応して予め測定力指令値を記憶した
測定力指令値テーブルと、 前記本体の傾き角度を検出する角度検出手段と、 前記測定アームのスタイラスホルダおよびスタイラスの
少なくとも一方を交換したとき、交換したスタイラスホ
ルダの種類およびスタイラスの種類を指定するととも
に、測定方向を指定する指定手段と、 この指定手段によって指定されたスタイラスホルダの種
類、スタイラスの種類および測定方向と、前記角度検出
手段によって検出された本体の傾き度との組合せに対応
する測定力指令値を前記測定力指令値テーブルから読み
出し、その測定力指令値を前記測定力調整手段に与える
制御手段と、 を備えたことを特徴とする表面追従型測定機。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の表面追
従型測定機において、 前記測定アームにかかる測定力を検出する測定力検出手
段を含み、 前記制御手段は、前記測定力指令値テーブルから読み出
した測定力指令値を前記測定力調整手段に与えるととも
に、前記測定力検出手段によって検出された測定力検出
値が測定力指令値になるように、前記測定力調整手段を
制御することを特徴とする表面追従型測定機。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27785198A JP3992853B2 (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 表面追従型測定機 |
US09/378,998 US6209217B1 (en) | 1998-09-30 | 1999-08-23 | Surface-following type measuring machine |
DE19947001A DE19947001B4 (de) | 1998-09-30 | 1999-09-30 | Instrument zur Messung der Oberflächenkontur |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27785198A JP3992853B2 (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 表面追従型測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000111334A true JP2000111334A (ja) | 2000-04-18 |
JP3992853B2 JP3992853B2 (ja) | 2007-10-17 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6209217B1 (ja) |
JP (1) | JP3992853B2 (ja) |
DE (1) | DE19947001B4 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017296A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Ulvac Japan Ltd | 触針式表面形状測定器及びそれの探針の取付け方法 |
JP2007198791A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2007327826A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Ulvac Japan Ltd | 表面形状測定用触針式段差計の力の補正方法 |
JP2011027440A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Canon Inc | 形状測定方法及び形状測定装置 |
JP2011089830A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Mitsutoyo Corp | 測定力制御装置 |
CN102654395A (zh) * | 2012-04-26 | 2012-09-05 | 华中科技大学 | 一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法 |
JP2012225743A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2014081341A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Mitsutoyo Corp | 測定機及びその測定力調整方法 |
US9091521B2 (en) | 2011-11-29 | 2015-07-28 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring apparatus |
JP6368986B1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-08-08 | 株式会社東京精密 | 検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
JP2021081275A (ja) * | 2019-11-18 | 2021-05-27 | 株式会社東京精密 | 表面性状測定方法及び表面性状測定装置 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3443050B2 (ja) * | 1999-10-21 | 2003-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 姿勢調整装置 |
US6543150B2 (en) * | 2000-05-01 | 2003-04-08 | Mitutoyo Corporation | Form measuring sensor and form measuring instrument |
US6516528B1 (en) * | 2000-10-24 | 2003-02-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | System and method to determine line edge roughness and/or linewidth |
JP3967274B2 (ja) * | 2003-02-27 | 2007-08-29 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置 |
JP3834817B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2006-10-18 | 株式会社東京精密 | 測定ヘッド |
JP2005055282A (ja) * | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定方法及び測定装置 |
FR2870933B1 (fr) * | 2004-05-28 | 2008-03-14 | Essilor Int | Appareil de lecture de contour comportant un capteur d'effort |
JP4570437B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2010-10-27 | 株式会社東京精密 | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 |
DE102005010352B3 (de) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | T & S Gesellschaft für Längenprüftechnik mbH | Messtaster und Tastschnittverfahren zur Ermittlung der Form eines Werkstücks |
JP2006300823A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 |
JP4923441B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2012-04-25 | 株式会社ジェイテクト | 形状測定器 |
DE102006021124B4 (de) * | 2006-05-04 | 2010-04-22 | Hommel-Etamic Gmbh | Taster zur Abtastung der Oberfläche eines Werkstücks |
FR2972526B1 (fr) * | 2011-03-10 | 2016-05-20 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de mesure de l'etat de surface d'une surface |
US8701301B2 (en) * | 2011-04-19 | 2014-04-22 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring instrument |
CN103185541A (zh) * | 2011-12-29 | 2013-07-03 | 杭州工具量具有限公司 | 一种基于dsp芯片***高精度粗糙仪 |
FR2991041B1 (fr) | 2012-05-24 | 2014-07-04 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'estimation d'une rugosite d'une surface |
JP6122312B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-04-26 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
DE102013015237A1 (de) * | 2013-09-13 | 2015-03-19 | Blum-Novotest Gmbh | Rauheits-Messinstrument zum Einsatz in einer Werkzeugmaschine und Verfahren zur Rauheitsmessung in einer Werkzeugmaschine |
FR3017206B1 (fr) * | 2014-02-03 | 2016-02-19 | Messier Bugatti Dowty | Mesure de caracteristiques dimensionnelles d'une piece de production |
JP6282517B2 (ja) * | 2014-04-09 | 2018-02-21 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
WO2016057222A2 (en) * | 2014-10-06 | 2016-04-14 | Us Synthetic Corporation | Probes, styli, systems incorporating same and methods of manufacture |
DE102017113695B3 (de) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Carl Mahr Holding Gmbh | Wippenloses Messsystem für ein Messgerät |
DE102017113699B3 (de) | 2017-06-21 | 2018-06-28 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messsystem mit einer Kugelführungseinheit für ein Messgerät |
JP7073211B2 (ja) * | 2018-06-30 | 2022-05-23 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置の制御方法 |
DE102019130009A1 (de) | 2019-11-07 | 2021-05-12 | EMUGE-Werk Richard Glimpel GmbH & Co. KG Fabrik für Präzisionswerkzeuge | Werkzeug zur spanlosen Erzeugung oder Nachbearbeitung eines Gewindes, Verfahren zum Herstellen des Werkzeugs und Verfahren zum Herstellen eines Gewindes |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2691887A (en) * | 1951-11-16 | 1954-10-19 | Leitz Ernst Gmbh | Apparatus for determining the contour of interior surfaces of workpieces |
US4166323A (en) * | 1973-09-14 | 1979-09-04 | Maag Gear-Wheel & Machine Co. Ltd. | Gear tester for profile and lead testing |
JPS5822084Y2 (ja) * | 1978-02-22 | 1983-05-11 | 株式会社三豊製作所 | 形状測定器 |
US4377911A (en) * | 1981-02-18 | 1983-03-29 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Contour measuring instrument |
US4669300A (en) * | 1984-03-30 | 1987-06-02 | Sloan Technology Corporation | Electromagnetic stylus force adjustment mechanism |
DE4013742C2 (de) * | 1990-04-28 | 1994-06-30 | Focus Mestechnik Gmbh & Co Kg | Abtastkopf für eine Maschine zum Ausmessen der Mikrooberflächenkontur von Werkstücken |
JPH05332859A (ja) | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Mitsutoyo Corp | 力検出器 |
JP3231428B2 (ja) | 1992-11-04 | 2001-11-19 | 株式会社ミツトヨ | 水準器 |
-
1998
- 1998-09-30 JP JP27785198A patent/JP3992853B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-08-23 US US09/378,998 patent/US6209217B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-09-30 DE DE19947001A patent/DE19947001B4/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017296A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Ulvac Japan Ltd | 触針式表面形状測定器及びそれの探針の取付け方法 |
JP2007198791A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2007327826A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Ulvac Japan Ltd | 表面形状測定用触針式段差計の力の補正方法 |
JP2011027440A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Canon Inc | 形状測定方法及び形状測定装置 |
JP2011089830A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Mitsutoyo Corp | 測定力制御装置 |
JP2012225743A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
US9091521B2 (en) | 2011-11-29 | 2015-07-28 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring apparatus |
CN102654395A (zh) * | 2012-04-26 | 2012-09-05 | 华中科技大学 | 一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法 |
JP2014081341A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Mitsutoyo Corp | 測定機及びその測定力調整方法 |
JP6368986B1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-08-08 | 株式会社東京精密 | 検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
WO2018180900A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 株式会社東京精密 | 検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
JP2018163093A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社東京精密 | 検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
US10724841B2 (en) | 2017-03-27 | 2020-07-28 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Detector, surface property measuring machine, and roundness measuring machine |
JP2021081275A (ja) * | 2019-11-18 | 2021-05-27 | 株式会社東京精密 | 表面性状測定方法及び表面性状測定装置 |
JP7392254B2 (ja) | 2019-11-18 | 2023-12-06 | 株式会社東京精密 | 表面性状測定方法及び表面性状測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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