JP2018140457A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ・・・ 研削手段
21・・・ 研削砥石
22・・・ スピンドル
23・・・ スピンドル送り機構
23a・・・リニアガイド
3 ・・・ ウェハチャック(保持手段)
31・・・ チャック
32・・・ エアベアリング
32a・・・ロータ
32b・・・ステータ
4 ・・・ コラム
5 ・・・ インデックステーブル
6 ・・・ チャック傾斜機構
61・・・ チルトテーブル
62・・・ 固定支持部
62a・・・ボルト
63・・・ 上流側可動支持部
64・・・ 下流側可動支持部
7 ・・・ スケール
8 ・・・ ドレスユニット(ドレス手段)
81・・・ ドレスボード
81a・・・ドレス材
81b・・・ドレス台金
82・・・ ドレスベース機構
82a・・・ロータ
82b・・・ステータ
82c・・・ベース部材
83・・・ ドレスユニット送り機構
83a・・・リニアガイド
83b・・・ボールネジスライダ機構
84・・・ タッチセンサ
84a・・・旋回中心
85・・・ ノズル
9 ・・・ ドレスユニット傾斜機構
91・・・ チルトテーブル
92・・・ 固定支持部
93・・・ 上流側可動支持部
94・・・ 下流側可動支持部
10 ・・・ 制御装置
W ・・・ ウェハ
Claims (6)
- ウェハを保持する保持手段と、前記ウェハを研削する研削砥石を有する研削手段と、を備えた研削装置であって、
前記研削砥石をドレスするドレス手段と、
該ドレス手段を前記研削砥石の回転軸に対してチルト可能なドレス手段傾斜機構と、
該ドレス手段傾斜機構のチルト角を調整する制御手段と、
を備えていることを特徴とする研削装置。 - 前記保持手段は、前記ウェハを前記研削砥石の回転軸に対してチルト可能な保持手段傾斜機構を備え、
前記制御手段は、前記ドレス手段傾斜機構のチルト角と前記保持手段傾斜機構のチルト角とを一致させることを特徴とする請求項1記載の研削装置。 - 前記ドレス手段傾斜機構は、垂直方向に伸縮自在で、前記ドレス手段が載置される第1のチルトテーブルを傾斜させる第1の可動支持部を備え、
前記保持手段傾斜機構は、平面視で前記研削砥石を挟んで前記第1の可動支持部と対称な位置に配置され、垂直方向に伸縮自在で、前記ウェハを保持するチャックを載置する第2のチルトテーブルを傾斜させる第2の可動支持部を備え、
前記制御手段は、前記第1の可動支持部の昇降量を前記第2の可動支持部の昇降量に応じて制御することを特徴とする請求項2記載の研削装置。 - 前記ドレス手段は、該ドレス手段を垂直昇降させる第1の昇降部を備え、
前記研削手段は、前記研削砥石を垂直昇降させる第2の昇降部を備え、
前記第1の昇降部と前記第2の昇降部とは、平行に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の研削装置。 - 前記第1の昇降部は、平面視で前記研削砥石の回転軸と前記第2の可動支持部と間に配置されていることを特徴とする請求項4記載の研削装置。
- 前記第1の昇降部は、ボールねじであることを特徴とする請求項4又は5記載の研削装置。
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