JP2018113613A - 撮像素子および電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】画質の低減を抑制することができるようにする。【解決手段】フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイを備えるようにする。本開示は、撮像素子、撮像装置、情報処理装置、画像処理装置、電子機器等に適用することができる。【選択図】図7

Description

本技術は、撮像素子および電子機器に関し、特に、画質の低減を抑制することができるようにした撮像素子および電子機器に関する。
従来のイメージセンサにおいては、画素と垂直信号線との接続点とその垂直信号線の負荷MOSトランジスタのゲート電極との間の寄生容量により、接続点の電圧VSLの振幅量に依存してゲート電極に加わるバイアス電圧VLOADが変動した。画素アレイの各垂直信号線の負荷MOSトランジスタのゲート電極は水平方向に全列において共通に接続されていたので、そのバイアス電圧VLOADの変動によって他の垂直信号線において出力される信号レベルが変動し、撮像画像にストリーキングと称される横帯状のノイズが発生するおそれがあった。
そこで、画素領域端に電圧VSLを制限するためのトランジスタを設けることが考えられた(例えば、特許文献1参照)。
特開2013−102312号公報
しかしながら、この方法の場合、入射光を光電変換する画素とは別に、その電圧VSLを制限するためのトランジスタを設ける必要があり、回路規模が増大するおそれがあった。
本技術は、このような状況に鑑みて提案されたものであり、回路規模の増大を抑制しながら画質の低減を抑制することができるようにすることを目的とする。
本技術の一側面は、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、前記他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイを備える撮像素子である。
前記他の画素は、前記読み出し画素に対して所定の位置に配置される画素であるようにすることができる。
前記他の画素は、前記読み出し画素周辺の画素であるようにすることができる。
前記他の画素は、前記読み出し画素に隣接する画素であるようにすることができる。
複数の前記他の画素に前記所定の電圧が印加されるようにすることができる。
前記複数の他の画素は、前記読み出し画素と同一の垂直信号線に接続される、前記読み出し画素の両隣の画素であるようにすることができる。
前記所定の電圧は、前記他の画素の、前記他の画素が読み出し画素である場合に状態がオンにされる選択トランジスタのゲートに印加されるようにすることができる。
前記選択トランジスタのゲートに電圧を印加する電圧印加部をさらに備えることができる。
前記電圧印加部は、前記所定の電圧を生成する電圧生成部と、前記選択トランジスタに印加する電圧を選択する選択部と、前記選択部を制御して、前記他の画素の前記選択トランジスタのゲートに前記所定の電圧を印加させる制御部とを備えることができる。
前記画素アレイの各画素は、フローティングディフュージョンと前記フローティングディフュージョンに蓄積される電荷に相当する電圧を増幅する増幅トランジスタとの間に、前記所定の電圧の印加を制御するトランジスタを備え、前記他の画素の前記トランジスタの状態がオンにされるように構成されるようにすることができる。
前記画素アレイの各画素は、複数のフォトダイオードを備えることができる。
互いに積層される複数の半導体基板を備え、前記画素アレイは、前記複数の半導体基板のいずれかに形成されるようにすることができる。
本技術の他の側面は、被写体を撮像する撮像部と、前記撮像部による撮像により得られた画像データを画像処理する画像処理部とを備え、前記撮像部は、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、前記他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイを備える電子機器である。
本技術の一側面においては、画素アレイにおいて、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに、他の画素から垂直信号線に電流が流れるように、所定の電圧が印加される。
本技術のさらに他の側面は、電子機器において、被写体を撮像する撮像部と、撮像部による撮像により得られた画像データを画像処理する画像処理部とが備えられ、さらにその撮像部の画素アレイにおいては、D相読み出しの際に、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに、他の画素から垂直信号線に電流が流れるように、所定の電圧が印加される。
本技術によれば、撮像画像を得ることが出来る。また本技術によれば、画質の低減を抑制することができる。
イメージセンサの主な構成例を示す図である。 振幅制限部の主な構成例を示す図である。 電流経路の例を説明する図である。 P相とD相の電流経路の変化の例を説明する図である。 イメージセンサの主な構成例を示す図である。 単位画素の主な構成例を示す図である。 電圧印加部の主な構成例を示す図である。 電圧供給制御処理の流れの例を説明するフローチャートである。 電流経路の例を説明する図である。 各信号を説明するための回路例を示す図である。 状態遷移の例を示す図である。 各状態における各信号の例を説明する図である。 単位画素の主な構成例を示す図である。 単位画素の主な構成例を示す図である。 イメージセンサの主な構成例を示す図である。 撮像装置の主な構成例を示す図である。
以下、本開示を実施するための形態(以下実施の形態とする)について説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.ストリーキング
2.第1の実施の形態(非読み出し画素へのクリップ用電圧印加)
3.第2の実施の形態(増幅トランジスタへのクリップ用電圧印加)
4.第3の実施の形態(共有画素)
5.第4の実施の形態(複数基板)
6.第5の実施の形態(撮像装置)
7.その他
<1.ストリーキング>
<ストリーキングの発生>
従来のイメージセンサにおいては、画素と垂直信号線との接続点とその垂直信号線の負荷MOSトランジスタのゲート電極との間の寄生容量により、接続点の電圧VSLの振幅量に依存してゲート電極に加わるバイアス電圧VLOADが変動した。画素アレイの各垂直信号線の負荷MOSトランジスタのゲート電極は水平方向に全列において共通に接続されていたので、そのバイアス電圧VLOADの変動によって他の垂直信号線において出力される信号レベルが変動し、撮像画像にストリーキングと称される横帯状のノイズが発生するおそれがあった。
例えば、白色の画素信号が得られる画素が接続される垂直信号線においては、電圧VSLの振幅量が大きくなる。このように電圧VSLの振幅量が大きくなるとバイアス電圧VLOADも大きく変動する。そして、この変動が大きくなりすぎてD相信号判別のタイミングまでに電圧が戻らない場合、読み出される画素信号の信号レベルが本来の信号レベルから変動してしまうおそれがあった。
そして、上述のようにバイアス電圧VLOADの変動は他の垂直信号線にも伝搬するので、他の垂直信号線に接続される、上述の白色の画素信号が得られる画素と読み出しタイミングが同一の画素において得られる画素信号の信号レベルも本来の信号レベルから変動してしまうおそれがあった。このような画素信号の信号レベルの変化は、例えば本来の黒色よりも黒い色となるなど視覚上にも影響を及ぼす可能性があり、撮像画像全体においては、横帯状のノイズ(ストリーキング)等として現れるおそれがあった。つまり、撮像画像の主観画質が低減するおそれがあった。
<VSLの制限>
そこで、例えば特許文献1に記載のように、画素領域端に電圧VSLを制限(クリッピング)するためのトランジスタを設けることが考えられた。
図1に示されるように、従来のイメージセンサの画素領域10には、単位画素11が行列状(アレイ状)に配置されている。その単位画素11のカラム(列)毎に設けられた垂直信号線12には、そのカラムの単位画素11が接続されている。そして、画素領域10の端には振幅制限部13が設けられている。振幅制限部13は、単位画素のカラム毎に振幅制限回路21を有する。各振幅制限部21は、互いに異なる垂直信号線に接続され、その垂直信号線の電圧VSLの振幅量を制限する。
振幅制限部21は、図2に示されるように、縦続接続された増幅用トランジスタ(AmpTr)31と選択用トランジスタ(SelTr)32とにより構成されている。選択用トランジスタ32のゲートには選択信号SELが供給され、入力電極は増幅用トランジスタ31の出力電極に接続され、出力電極は垂直信号線に接続されている。また、増幅用トランジスタ31のゲート電極には所定の基準電圧Vcが供給され、入力電極は電源電圧に接続されている。
選択信号SELを用いて選択用トランジスタ32をON状態とすることにより、電圧VSLがクリッピングされる。したがって、不要な電圧VSLの増大を抑制することができる。これによりバイアス電圧VLOADの変動を制限することができ、ストリーキングの発生を抑制することができる。
しかしながらこの方法の場合、振幅制限部21を設ける必要があり、振幅制限部21が存在しないイメージセンサに比べて回路規模が増大するおそれがあった。回路規模が増大することによりその回路の設置面積が増大するので、開発設計の難易度が増大したり、半導体基板を大きくする必要が生じたりするおそれがあった。また、開発設計の難易度が増大することにより、開発設計の作業量や期間が増大するおそれがあり、開発設計のコストが増大するおそれがあった。また、回路規模の増大により回路が複雑になって製造の歩留まりが低減し、製造コストが増大するおそれがあった。また、半導体基板が大きくする必要が生じるおそれもあり、その場合も製造コストが増大するおそれがあった。
また、画素領域10の広さが一定であるとすると、振幅制限部21を設けることにより、その分、光電変換を行う領域(有効画素領域)が狭くなる。そのため、画素数が低減したり、各画素の受光領域が狭くなったりして撮像画像の画質が低減するおそれがあった。
さらに、この方法の場合、電圧VSLの振幅を制限する場合としない場合とで電流経路が変化し、それが新たなストリーキングの発生要因となるおそれがあった。例えば、相関二重サンプリング(CDS(Correlated Double Sampling))を行う場合、P相読み出し時のVSL電圧は基準電圧Vcより十分高いので、増幅用トランジスタ31はONしない。したがって、図3において、画素11−2が、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素であるとすると、P相読み出しにおいては、点線矢印41のような経路で電流が流れる。すなわち、読み出し画素に電流が流れる。
これに対して、D相読み出し時のVSL電圧は基準電圧Vcより十分高くないので、増幅用トランジスタ31がONする。したがって、この場合、図3に示される実線矢印42のような経路で電流が流れる。すなわち、振幅制限部21に電流が流れる。
このように電流経路が変化すると、それによって読み出し画素の電源の電圧降下が変化するおそれがあった。例えば図4Aに示される矢印51のように、読み出し画素に電流が流れている場合、その読み出し画素の選択画素制御用のVDDHPXの電圧降下は比較的大きくなる。これに対して、例えば図4Bに示される矢印52のように、電流経路が変化して読み出し画素を通らなくなると、読み出し画素の選択画素制御用のVDDHPXの電圧降下は図4Aの場合に比べて小さくなる。つまり、P相とD相とでこの電圧降下が異なることになる。フローティングディフュージョンと電源との間に容量性の結合をもつため、上述のように電源の電圧降下が変動すると出力が変動してしまう。そしてその電流経路の変化が大きいほど(電流経路変化前後の経路が互いから離れる程)この電圧降下の差が大きくなる。つまり、P相とD相の電圧降下が異なると出力が変動することになり、これが新たなストリーキング発生の要因となるおそれがあった。
また、振幅制限部21は、画素領域の端に設けられている(位置が固定されている)のに対し、読み出し画素の位置はどの画素を読み出し画素とするかによって可変である。つまり、振幅制限部21を基準とする読み出し画素の相対位置は可変である。振幅制限部21による振幅制限効果は、この振幅制限部21に対する読み出し画素の相対位置に依存する傾向があった。例えば、振幅制限部21から距離が遠い画素程、VSLの寄生抵抗の影響で振幅制限効果が小さくなるおそれがあった。
さらに、各カラムの振幅制限部21のトランジスタの閾値ばらつきが振幅制限効果にばらつきを発生させるおそれがあった。
<2.第1の実施の形態>
<非読み出し画素へのクリップ用電圧印加>
そこで、撮像素子が、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイを備えるようにする。
このようにすることにより、回路規模を増大させずにストリーキングの発生を抑制し、撮像画像の画質の低減を抑制することができる。
<イメージセンサ>
図5は、本技術を適用した撮像素子の一実施の形態であるイメージセンサの主な構成例を示す図である。
図5に示されるイメージセンサ100は、被写体からの光を光電変換して画像データとして出力するデバイスである。例えば、イメージセンサ100は、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)を用いたCMOSイメージセンサ、CCD(Charge Coupled Device)を用いたCCDイメージセンサ等として構成される。
図1に示されるように、イメージセンサ100は、画素アレイ部111、行走査回路112、通信・タイミング制御部113、参照信号生成部(DAC(Digital Analog Converter))114、列走査回路115、およびカラム処理部116を有する。
画素アレイ部111には、複数の単位画素131が行列状(アレイ状)に配置される。各単位画素131は、行駆動信号線121を介して行走査回路112に接続される。行走査回路112は、その行駆動信号線121を介して単位画素131の駆動を制御することにより、行アドレスや行走査を制御する。なお、行駆動信号線121のそれぞれにはV0,V1,・・・,Vmの記号が付されており、各行駆動信号線121は、行V0,V1,・・・,Vmのようにも記述される。
また、各単位画素131は、列毎に垂直信号線122に接続されている。なお、垂直信号線122のそれぞれにはH0,H1,・・・,Hnの記号が付されており、各垂直信号線122は、列H0,H1,・・・,Hnのようにも記述される。各単位画素131からはアナログ信号(読み出し信号)が、行駆動信号線121毎に垂直信号線122に読み出される。各垂直信号線122には、読み出し信号を読み出すための動作電流(読み出し電流)を供給する読み出し電流源132が接続されている。この読み出し電流源132は、例えば、負荷MOSトランジスタにより構成される。単位画素131内の増幅用トランジスタとこの負荷MOSトランジスタで構成されるソースフォロワ回路により単位画素131から読み出し信号が読み出される。その読み出し信号は、垂直信号線122を介して、カラム処理部116に伝送される。
通信・タイミング制御部113は、イメージセンサ100の通信制御および信号を順次読み出すための制御を行う。参照信号生成部114は、参照電圧(RAMP)を時間変化させたスロープ状の波形の参照信号を生成する。列走査回路115は、列アドレスや列走査を制御する。
カラム処理部116は、垂直信号線122を介して列(カラム)毎に伝送される読み出し信号を処理する。カラム処理部116は、カラム毎に設けられたカラムA/D変換部141を有する。カラムA/D変換部141は、自身に対応する垂直信号線122を介して伝送される読み出し信号(アナログ信号)をデジタル信号に変換(A/D変換)する。各カラムA/D変換部141は、列走査回路115の制御に従って順次駆動する。したがって、各カラムの読み出し信号は、順次A/D変換され、デジタルデータとして順次イメージセンサ100の外部に出力される(データ出力)。
カラムA/D変換部141は、比較部151、カウンタ(U/D CNT)152、およびメモリ153を有する。比較部151は、任意の列Hxの読み出し信号の電圧を、参照信号生成部114により生成された参照信号の電圧と比較し、その比較結果をカウンタ152に供給する。
なお、イメージセンサ100は、単位画素131からの信号の読み出しにおいて、相関二重サンプリング(CDS(Correlated Double Sampling))を行う。比較部151への参照信号の入力と同時に、カウンタ152でP相のカウントがなされる。このときカウンタ152は、クロックのダウンカウントを行う。 参照信号と列Hxの読み出し信号の電圧が等しくなったとき、比較部151の出力は反転する。カウンタ152は、比較部151の出力が反転したとき、比較期間に応じたカウント値を、P相のA/D変換値として保持する。P相のA/D変換は、画素のリセットレベルの変換なので、信号の取りうる範囲はかなり限定される為、D相と比べて変換時間は短くて済む。
D相の読み出し時においては、単位画素131から入射光量に応じた信号成分が読み出され、P相の読み出しと同様の動作が行われるが、この時カウンタ152はアップカウントを行う。参照信号と垂直信号線122の読み出し信号の電圧が等しくなったとき、比較部151の出力は再び反転する。この時カウンタ152内では、P相のリセットレベルの変換結果との差分が保持されていることになる。これにより相関2重サンプリングが行われる。
以上のA/D変換期間終了後、カウンタ152内のデータがメモリ153に転送され、次の行Vx+1のA/D変換が開始される。メモリ153内のデータは、それと同期間に並行して列走査回路115により順に選択され、センス回路を用いて読み出される。
図5に代表されるA/D変換方式では、A/D変換の分解能(1LSB(Least Significant Bit)の大きさ)は、参照信号を変化させている間のカウンタのカウントスピードと、参照信号の傾きによって決定される。この参照信号の傾きをアナログゲインと定義し、参照信号の傾きが大きい場合を低ゲイン、参照信号の傾きが小さい場合を高ゲインとする。低ゲインではよりダイナミックレンジの大きな読み出し信号をA/D変換可能であるが、分解能が粗い。逆に高ゲインの場合は、低ゲインと比較してA/D変換可能なダイナミックレンジは小さいが、分解能が細かく、小さなアナログ信号をより大きなデジタル信号に変換できる。
<単位画素構成>
図6は、単位画素131の主な構成例を示す回路図である。図6に示されるように、単位画素131は、フォトダイオード181、フローティングディフュージョン182、転送トランジスタ183、リセットトランジスタ184、増幅トランジスタ185、および選択トランジスタ186を有する。
フォトダイオード181は、光を受光して電荷に変換する光電変換機能とともに、その電荷を蓄積する電荷蓄積機能の各機能を兼ね備えている。フォトダイオード181のアノードは画素領域のグランドに接続され(接地され)、カソードは転送トランジスタ183を介してフローティングディフュージョン(FD)182に接続される。もちろん、フォトダイオード181のカソードが画素領域の電源(画素電源)に接続され、アノードが転送トランジスタ183を介してフローティングディフュージョン(FD)182に接続され、光電荷を光正孔として読み出す方式としてもよい。
フローティングディフュージョン(FD)182は、電荷を電圧に変換することを目的とするノードであり、転送トランジスタ183、リセットトランジスタ184、および増幅トランジスタ185の間に形成される浮遊拡散層である。フローティングディフュージョン182は容量を有し、電荷を蓄積する電荷蓄積機能を有する。したがって、図6においては、フローティングディフュージョン182がキャパシタとして示されている。このフローティングディフュージョン182の容量は、転送トランジスタ183の拡散層の接合容量とその拡散層につくゲートのオーバーラップ容量、拡散層とソースフォロアアンプへと接続する配線につく寄生容量などにより構成される。
転送トランジスタ(TRG)183は、フォトダイオード181からの光電荷の読み出しを制御する。転送トランジスタ183は、ドレインがフローティングディフュージョン182に接続され、ソースがフォトダイオード181のカソードに接続される。また、転送トランジスタ183のゲートには、転送制御信号が供給される。フォトダイオード181からの光電荷の読み出しは、この転送制御信号により制御される。例えば、転送制御信号(すなわち、転送トランジスタ183のゲート電位)がオフ状態の場合フォトダイオード181からの光電荷の転送が行われず、オン状態の場合フォトダイオード181に蓄積された光電荷がフローティングディフュージョン182に転送される。つまり、転送トランジスタ183は、スイッチとして機能する。
リセットトランジスタ(RST)184は、単位画素131内の電荷(例えばフォトダイオード181やフローティングディフュージョン182の電荷)をリセットする。リセットトランジスタ184は、ドレインが電源電位に接続され、ソースがフローティングディフュージョン182に接続される。また、リセットトランジスタ184のゲートには、リセット制御信号が供給される。単位画素131内の電荷のリセットは、このリセット制御信号により制御される。例えば、リセット制御信号(すなわち、リセットトランジスタ184のゲート電位)がオフ状態の場合リセットは行われず、オン状態のとき、単位画素131内の電荷がリセットされる。
増幅トランジスタ185は、フローティングディフュージョン182の電位変化を増幅し、読み出し信号(アナログ信号)として出力する。増幅トランジスタ185は、ゲートがフローティングディフュージョン182に接続され、ドレインが電源電位に接続され、ソースが選択トランジスタ186のドレインに接続されている。例えば、増幅トランジスタ185は、リセットされた状態のフローティングディフュージョン182の電位に対応するリセット信号(リセットレベル)を選択トランジスタ186に出力する。また、増幅トランジスタ185は、フォトダイオード181から光電荷が転送された状態のフローティングディフュージョン182の電位に対応する光蓄積信号(信号レベル)を選択トランジスタ186に出力する。
選択トランジスタ186は、増幅トランジスタ185から供給される読み出し信号の垂直信号線(VSL)122への出力を制御する。選択トランジスタ186は、ドレインが増幅トランジスタ185のソースに接続され、ソースが垂直信号線122に接続されている。また、選択トランジスタ186のゲートには、選択制御信号が供給される。増幅トランジスタ185から供給される読み出し信号の垂直信号線(VSL)122への出力は、この選択制御信号により制御される。例えば、選択制御信号(すなわち、選択トランジスタ186のゲート電位)がオフ状態の場合、この単位画素131から読み出し信号(リセット信号や画素信号等)が垂直信号線122に出力されない。これに対して、選択制御信号がオン状態の場合、増幅トランジスタ185から出力される読み出し信号(リセット信号や画素信号等)が、垂直信号線122に出力される(この単位画素131からリセット信号や画素信号等が読み出される)。
つまり、この選択制御信号(選択トランジスタ186のゲート電位)は、その単位画素131が信号を読み出す対象(読み出し画素とも称する)である場合、オン状態とされ、読み出し画素で無い場合、基本的にオフ状態とされる。ただし、垂直信号線122を伝送される信号(電圧)の振幅を制限する(クリップする)ために、読み出し画素に対して所定の位置にある単位画素131の選択トランジスタ186のゲートに、選択制御信号として所定の電圧が印加される。つまり、この場合、その電圧が印加される単位画素131は、垂直信号線122を流れる信号の振幅を制限する振幅制限部として機能する。
<電圧印加部構成>
行走査回路112は、図7に示されるような電圧印加部200を有する。電圧印加部200は、選択制御信号として、各単位画素131の選択トランジスタ186のゲートに電圧を印加する。図7に示されるように、電圧印加部200は、クリップ電圧生成部211、スイッチ212−1乃至スイッチ212−4、並びに、制御部213を有する。なお、各スイッチを互いに区別して説明する必要が無い場合、スイッチ212と称する。また、図7においては4つのスイッチ212が示されているが、このスイッチ212は、単位画素131の各行に対して設けられる。
クリップ電圧生成部211は、垂直信号線122を伝送される信号(電圧)の振幅を制限する(クリップする)ために選択トランジスタ186のゲートに印加する電圧であるクリップ電圧を生成する。
スイッチ212は、自身が対応する単位画素131の選択トランジスタ186に印加する電圧を選択する。スイッチ212には、クリップ電圧生成部211より供給されるクリップ電圧、SEL ON用電源から供給される、選択トランジスタ186をオン状態にする電圧であるSEL ON電圧、および、SEL OFF用電源から供給される、選択トランジスタ186をオフ状態にする電圧であるSEL OFF電圧が供給される。スイッチ212は、それらの3種の電圧の中から、制御部213により指定される電圧を選択し、選択した電圧を、自身に対応する単位画素131の選択トランジスタ186のゲートに印加する。
例えば、スイッチ212−1は、単位画素131−1の選択トランジスタ186のゲートに、選択した電圧を印加する。また、スイッチ212−2は、単位画素131−2の選択トランジスタ186のゲートに、選択した電圧を印加する。また、スイッチ212−3は、単位画素131−3の選択トランジスタ186のゲートに、選択した電圧を印加する。また、スイッチ212−4は、単位画素131−4の選択トランジスタ186のゲートに、選択した電圧を印加する。
制御部213は、各スイッチ212を制御し、各単位画素131の選択トランジスタ186のゲートに印加する電圧を選択させる。例えば、制御部213は、読み出し画素に対応するスイッチ212にSEL ON電圧を選択させ、読み出し画素に対して所定の位置の単位画素131に対応するスイッチ212にクリップ電圧を選択させ、それら以外の単位画素131に対応するスイッチ212にSEL OFF電圧を選択させる。例えば、単位画素131−2を読み出し画素とし、その両隣の単位画素131−1および単位画素131−3を、振幅制限部として機能させる場合、制御部213は、スイッチ212−2にSEL ON電圧を選択させ、スイッチ212−1およびスイッチ212−3にクリップ電圧を選択させ、スイッチ212−4にSEL OFF電圧を選択させる。
<クリップ電圧とVSLクリップレベル>
このクリップ電圧の大きさは任意であり、垂直信号線を流れる信号(VSL)のクリップしたいレベル(VSLクリップレベルとも称する)に依存する。クリップ電圧とVSLクリップレベルとの関係は、任意である。例えば、以下の式(1)のように表すようにしてもよい。
Figure 2018113613
・・・(1)
式(1)において、Vthは、VSLのクリップに用いる選択トランジスタ186の閾値を示し、βは、クリップに用いる選択トランジスタ186の利得係数を示し、Iは、読み出し電流源132の電流を示す。また、VSLクリップレベルの算出方法は任意であるが、例えば、以下の式(2)のように求めるようにしてもよい。
P相レベル−VSLクリップレベル=A/Dレンジ
・・・(2)
<電圧供給制御処理の流れ>
制御部213は、電圧供給制御処理を実行することにより、以上のような制御を行う。図8のフローチャートを参照して、その電圧供給制御処理の流れの例を説明する。
電圧供給制御処理が開始されると、ステップS101において、制御部213は、読み出し画素に対応するスイッチ212を制御してSEL ON電圧を選択させ、その他の単位画素131に対応するスイッチ212を制御してSEL OFF電圧を選択させる。
その制御に従って、読み出し画素に対応するスイッチ212は、SEL ON電圧を選択して読み出し画素の選択トランジスタ186のゲートに印加する。これにより読み出し画素の選択トランジスタ186がオン状態になる。また、その他の単位画素131に対応するスイッチ212は、SEL OFF電圧を選択して自身が対応する単位画素131の選択トランジスタ186のゲートに印加する。これにより読み出し画素以外の単位画素131の選択トランジスタ186がオフ状態になる。
ステップS102において、制御部213は、読み出し画素に対して所定の位置の単位画素131に対応するスイッチ212を制御してクリップ電圧を選択させる。そのスイッチ212は、その制御に従ってクリップ電圧を選択し、自身が対応する単位画素131の選択トランジスタ186のゲートに印加する。このようにすることにより、D相読み出し時において、その単位画素131の選択トランジスタ186に、垂直信号線122に流れる信号の振幅を制限するための電流が流れる。つまり、その単位画素131が振幅制限部として機能し、それにより、垂直信号線122に流れる信号の振幅が制限される。
ステップS103の処理が終了すると、電圧供給制御処理が終了する。
<電流経路>
このような制御による電流経路の変化の様子の例を図9に示す。図8のステップS101の処理により、読み出し画素である単位画素131−2の選択トランジスタ186のゲートにSEL ON電圧が印加され、その他の画素の選択トランジスタ186のゲートにSEL OFF電圧が印加される。また、図8のステップS102の処理により、例えば、読み出し画素に隣接する単位画素131−1と単位画素131−3の選択トランジスタ186のゲートにクリップ電圧が印加される。ただし、P相読み出し時の場合、VSL電圧は基準電圧Vcより十分高いので、単位画素131−1および単位画素131−3の増幅用トランジスタ185はONしない。したがって、電流は、図9の点線矢印221のように、読み出し画素を介して垂直信号線122に流れる。
これに対して、D相読み出し時の場合、VSL電圧は基準電圧Vcより十分高くないので、単位画素131−1および単位画素131−3の増幅用トランジスタ185がONする。したがって、図9の実線矢印222および実線矢印223のように、電流が単位画素131−1および単位画素131−3を介して垂直信号線122に流れるようになる。これにより、式(1)で示されるように、クリップ電圧に応じた電圧(VSLクリップレベル)でVSLの振幅が制限されるようになるので、ストリーキングの発生が抑制される。すなわち、撮像画像の画質の低減を抑制することができる。
そして、本技術の場合、他のタイミングにおいて光電変換を行う単位画素を利用してVSLの振幅を制限することができるので、単位画素の他に振幅制限部を設ける必要がない。すなわち、特許文献1に記載の方法に比べて回路規模の増大を抑制しながら画質の低減を抑制することができる。
そのため、本技術を適用することにより、特許文献1に記載の方法に比べて、開発設計の難易度の増大を抑制し、小型化をより容易化することができ、開発設計や製造のコストの増大を抑制することができる。また、本技術を適用することにより、特許文献1に記載の方法に比べて、画素領域をより有効に利用することができるので、画素数の低減を抑制したり、各画素の受光領域の低減を抑制したりすることができ、撮像画像の画質低減を抑制することができる。
また、本技術の場合、振幅制限に利用する単位画素を読み出し画素近傍に位置させることができるので、図9に示されるように電流経路の変化を、図3を参照して説明した特許文献1に記載の方法の場合よりも少なくすることができる。したがって、本技術を適用することにより、この電流経路の変化による新たなストリーキングの発生を抑制することができる。
<画素の切り替え>
信号の読み出しは、単位画素131の行毎に行われる。つまり、各カラムにおいて、読み出し画素が1つずつ切り替えられて、各単位画素131から信号が順次読み出される。電圧印加部200は、その読み出し画素の切り替えに応じて、振幅制限に利用する単位画素131、すなわち、クリップ電圧を印加する単位画素131を切り替える。これにより、読み出し画素の位置に関わらず、読み出し画素からみて所定の位置の単位画素131を振幅制限に利用することができる。
例えば、図10に示されるカラムについて説明する。図10においては、1カラムの連続する4つの単位画素131(単位画素131−1乃至単位画素131−4)を示している。これらの4つの単位画素131について、図11に示されるように状態Aと状態Bの2つの状態について説明する。
状態Aは、ある読み出し周期における各単位画素131の状態を示している。状態Aにおいては、単位画素131−2(画素B)が読み出し画素とされ、その画素Bと同一の垂直信号線122に接続される(つまり、画素Bと同一のカラムの)、画素Bの両隣の単位画素131−1(画素A)および単位画素131−3(画素B)がVSLの振幅制限(クリップ)に利用される。そしてそれ以外の単位画素131−4(画素D)は、信号の読み出しも振幅制限の利用も行われない「非使用」とされる。
状態Bは、状態Aの次の読み出し周期における各単位画素131の状態を示している。したがって状態Bにおいては、単位画素131−3(画素C)が読み出し画素とされ、その画素Cと同一の垂直信号線122に接続される(つまり、画素Cと同一のカラムの)、画素Cの両隣の単位画素131−2(画素B)および単位画素131−4(画素D)がVSLの振幅制限(クリップ)に利用される。そしてそれ以外の単位画素131−1(画素A)は、信号の読み出しも振幅制限の利用も行われない「非使用」とされる。
このような各状態の各単位画素131に供給される各制御信号のレベルは、図12のようになる。状態Aの場合、画素Bは、読み出し画素であるので、そのリセット制御信号(RST2)はオフ(Low)にされ、選択制御信号(SEL2)の信号レベルはオン(SEL ON電圧)にされる。そして、転送制御信号(TRG2)がオンされて、画素信号が読み出される。
画素Aおよび画素Cは、読み出し画素でない(非読み出し画素である)ので、それらのリセット制御信号(RST1,RST3)はオン(High)にされ、転送制御信号(TRG1,TRG3)はオフ(Low)にされる。ただし、画素Aおよび画素Cは、画素Bに隣接し、VSLの振幅制限に利用されるので、それらの選択制御信号(SEL1,SEL3)の信号レベルはクリップ電圧にされる。
画素Dは、読み出し画素でなく(非読み出し画素であり)、VSLの振幅制限にも利用されないので、リセット制御信号(RST4)はオン(High)にされ、選択制御信号(SEL4)は、オフ(SEL OFF電圧)にされ、転送制御信号(TRG4)はオフ(Low)にされる。
状態Bの場合、読み出し画素が画素Cに遷移しているので、画素Cのリセット制御信号(RST3)はオフ(Low)にされ、選択制御信号(SEL3)の信号レベルはオン(SEL ON電圧)にされる。そして、転送制御信号(TRG3)がオンされて、画素信号が読み出される。
画素Bおよび画素Dは、読み出し画素でない(非読み出し画素である)ので、それらのリセット制御信号(RST2,RST4)はオン(High)にされ、転送制御信号(TRG2,TRG4)はオフ(Low)にされる。ただし、画素Bおよび画素Dは、画素Cに隣接し、VSLの振幅制限に利用されるので、それらの選択制御信号(SEL2,SEL4)の信号レベルはクリップ電圧にされる。
画素Aは、読み出し画素でなく(非読み出し画素であり)、VSLの振幅制限にも利用されないので、リセット制御信号(RST1)はオン(High)にされ、選択制御信号(SEL1)は、オフ(SEL OFF電圧)にされ、転送制御信号(TRG1)はオフ(Low)にされる。
このように、電圧印加部200は、読み出し画素の遷移に応じてVSLの振幅制限に利用する画素を遷移させる。したがって本技術の場合、読み出し画素と振幅制限に利用する画素との位置関係を、読み出し画素の位置に依存せずに一定とすることができる。したがって、本技術を適用することにより、特許文献1に記載の方法に比べて、読み出し画素の位置による振幅制限効果の大きさの変化を低減させることができる。付言するに、本技術を適用することにより、読み出し画素の位置に関わらず、振幅制限に利用する単位画素を読み出し画素近傍に位置させることができる。したがって、読み出し画素の位置に関わらず、電流経路の変化による新たなストリーキングの発生を抑制することができる。
また、本技術の場合、上述のように、振幅制限に複数の単位画素を利用することができるので、振幅制限効果を平均化することができ、トランジスタの特性のバラつきによる振幅制限効果のばらつきを抑制することができる。
<その他>
なお、図7を参照して電圧印加部200の主な構成例を説明したが、電圧印加部200の構成は任意であり、図7の例に限定されない。例えば、電圧印加部200が、SEL ON用電源やSEL OFF用電源を備えるようにしてもよいし、クリップ電圧生成部211を省略し、外部からクリップ電圧が供給されるようにしてもよい。これらの電圧は、イメージセンサ100内で生成されるようにしてもよいし、イメージセンサ100の外部から供給されるようにしてもよい。
また、単位画素131の行毎に1出力のスイッチ212が設けられるように説明したが、スイッチ212が複数の出力を有し、複数行の単位画素131に対して電圧を印加することができるようにしてもよい。その場合、各行に対して互いに独立して電圧を印加することができるようにしてもよい。例えば、単位画素131の行数分の出力を備え、各行に対して、入力される3種の電圧のうちの任意の電圧を選択して印加することができる1つのスイッチ212を設けるようにしてもよい。
また、制御部213が、電圧印加部200の外部に設けられるようにしてもよい。制御部213はイメージセンサ100の任意の位置に設置するようにしてもよいし、イメージセンサ100の外部に設けるようにしてもよい。
なお、クリップ電圧(すなわち、VSLクリップレベル)は任意であり、可変であってもよい。例えば、イメージセンサ100の動作モードや画像等に応じてそれを設定することができるようにしてもよい。また、VSL振幅制限に利用する単位画素131の選択トランジスタ186のゲートへのクリップ電圧の印加(選択制御信号の信号レベルをクリップ電圧とするの)は、D相読み出し期間のみとしてもよい。換言するに、VSL振幅制限に利用する単位画素131においても、P相読み出し期間は、選択トランジスタ186のゲートにはSEL OFF電圧が印加される(選択制御信号の信号レベルがオフ(Low)にされる)ようにしてもよい。また、以上においては信号読み出しにおいて相関二重サンプリングを行うように説明したが、信号の読み出し方法は任意であり、相関二重サンプリング以外であってもよい。
また、以上においては、読み出し画素の両隣の単位画素131をVSL振幅制限に利用するように説明したが、VSL振幅制限に利用する単位画素131の位置は任意であり、隣接していなくてもよい。例えば、読み出し画素の周辺の単位画素131をVSL振幅制限に利用するようにしてもよい。例えば、読み出し画素の近傍の単位画素131をVSL振幅制限に利用するようにしてもよい。例えば、読み出し画素から数画素離れた位置の単位画素131をVSL振幅制限に利用するようにしてもよい。ただし、読み出し画素により近い単位画素131をVSL振幅制限に利用する方が、振幅制限効果をより大きくすることができるだけでなく、電流経路の変化をより少なくすることができ、電流経路の変化によるストリーキングの発生を抑制することができる。
また、例えば、読み出し画素の一方の側の単位画素131をVSL振幅制限に利用するようにし、読み出し画素の他方の側の単位画素131はVSL振幅制限に利用しないようにしてもよい。また、VSL振幅制限に利用する単位画素131の数は任意であり、1画素でもよいし、3画素以上であってもよい。
さらに、VSL振幅制限に利用する単位画素131の数や読み出し画素に対する相対位置を可変とするようにしてもよい。例えば、読み出し画素の位置に応じて、VSL振幅制限に利用する単位画素131の数や相対位置を変えることができるようにしてもよい。例えば、画素アレイの中央付近の行の単位画素131を読み出し画素とする場合、その読み出し画素の両隣の単位画素131をVSL振幅制限に利用するようにし、画素アレイの端部の行の単位画素131を読み出し画素とする場合、その読み出し画素よりも画素アレイの中央側に位置する単位画素131をVSL振幅制限に利用するようにしてもよい。その際、振幅制限効果の差が抑制されるように、VSL振幅制限に利用する単位画素の数や相対位置を設定するようにしてもよい。
<3.第2の実施の形態>
<増幅トランジスタへのクリップ用電圧印加>
以上においては、選択トランジスタ186のゲートにクリップ電圧を印加するように説明したが、これに限らず、増幅トランジスタ185にクリップ電圧を印加するようにしてもよい。その場合の単位画素131の構成例を図13に示す。図13に示されるように、この場合、単位画素131は、図6を参照して説明した構成に加え、クリップ用トランジスタ301を有する。
クリップ用トランジスタ(Clip)301は、増幅トランジスタ185のゲートへのクリップ電圧の印加を制御する。クリップ用トランジスタ301は、ドレインがクリップ電圧を供給する電位(すなわち、クリップ電圧生成部211が生成する電位)に接続され、ソースがフローティングディフュージョン182に接続される。また、クリップ用トランジスタ301のゲートには、制御部213からクリップ制御信号が供給される。つまり、増幅トランジスタ185のゲートへのクリップ電圧の印加は、このクリップ制御信号により制御される。例えば、クリップ制御信号(すなわち、クリップ用トランジスタ301のゲート電位)がオフ状態の場合、増幅トランジスタ185のゲートにクリップ電圧が印加されないので、この単位画素131は、通常の読み出し画素または非読み出し画素として駆動する。これに対して、クリップ制御信号がオン状態の場合、クリップ用トランジスタ301を介してクリップ電圧が増幅トランジスタ185のゲートに印加される。そして、選択制御信号をオン状態とすることにより選択トランジスタ186もオン状態となり、この単位画素131を、第1の実施の形態の場合と同様にVSL振幅制限に利用することができる。
この場合、電圧印加部200の制御部213は、スイッチ212を制御するとともに、このクリップ制御信号の供給も行う。スイッチ212にはSEL ON電圧とSEL OFF電圧の2種類の電圧が供給され、スイッチ212は、制御部213の制御に従って、そのいずれか一方を選択し、選択トランジスタ186のゲートに印加する。つまり、選択トランジスタ186は、従来の場合と同様に、オン状態かオフ状態として動作し、増幅トランジスタ185と垂直信号線122との接続を制御する。制御部213は、スイッチ212とクリップ用トランジスタ301を制御することにより、各単位画素131を読み出し画素とするか、非読み出し画素とするか、VSL振幅制限に利用するかを制御する。
したがって、この場合も、第1の実施の形態の場合と同様の効果を得ることができる。
<4.第3の実施の形態>
<共有画素>
単位画素131の構成は任意であり、図6や図13を参照して説明した例に限定されない。例えば、フォトダイオードを複数有し、その複数のフォトダイオードでフローティングディフュージョン182を共有するようにしてもよい。例えば、図14に示されるように、2つのフォトダイオードによりフローティングディフュージョン182を共有するようにしてもよい。
図14の例の場合、単位画素131−1は、図6に示される構成のフォトダイオード181の代わりに、フォトダイオード401およびフォトダイオード411を有し、転送トランジスタ183の代わりに転送トランジスタ402および転送トランジスタ412を有する。
フォトダイオード401は、フォトダイオード181と同様の素子であり、アノードが画素領域のグランドに接続され(接地され)、カソードが転送トランジスタ402を介してフローティングディフュージョン(FD)182に接続される。転送トランジスタ402は、転送トランジスタ183と同様の素子であり、ドレインがフローティングディフュージョン182に接続され、ソースがフォトダイオード401のカソードに接続され、ゲートには、転送制御信号が供給される。
フォトダイオード411も、フォトダイオード401と同様の素子であり、アノードが画素領域のグランドに接続され(接地され)、カソードが転送トランジスタ412を介してフローティングディフュージョン(FD)182に接続される。転送トランジスタ412も、転送トランジスタ402と同様の素子であり、ドレインがフローティングディフュージョン182に接続され、ソースがフォトダイオード411のカソードに接続され、ゲートには、転送制御信号が供給される。
転送トランジスタ402と転送トランジスタ412は、少なくともいずれか一方がオフ状態にされる。つまり、フォトダイオード401およびフォトダイオード411が同時にフローティングディフュージョン182に接続されないように制御される。このようにしてフローティングディフュージョン182が時分割で共有され、フォトダイオード401に蓄積された電荷と、フォトダイオード411に蓄積された電荷とが順次読み出される。
単位画素131−2も単位画素131−1と同様の構成を有する。つまり、単位画素131−2は、図6に示される構成のフォトダイオード181の代わりに、フォトダイオード421およびフォトダイオード431を有し、転送トランジスタ183の代わりに転送トランジスタ422および転送トランジスタ432を有する。
フォトダイオード421は、フォトダイオード181と同様の素子であり、アノードが画素領域のグランドに接続され(接地され)、カソードが転送トランジスタ422を介してフローティングディフュージョン(FD)182に接続される。転送トランジスタ422は、転送トランジスタ183と同様の素子であり、ドレインがフローティングディフュージョン182に接続され、ソースがフォトダイオード421のカソードに接続され、ゲートには、転送制御信号が供給される。
フォトダイオード431も、フォトダイオード421と同様の素子であり、アノードが画素領域のグランドに接続され(接地され)、カソードが転送トランジスタ432を介してフローティングディフュージョン(FD)182に接続される。転送トランジスタ432も、転送トランジスタ422と同様の素子であり、ドレインがフローティングディフュージョン182に接続され、ソースがフォトダイオード431のカソードに接続され、ゲートには、転送制御信号が供給される。
転送トランジスタ422と転送トランジスタ432は、少なくともいずれか一方がオフ状態にされる。つまり、フォトダイオード421およびフォトダイオード431が同時にフローティングディフュージョン182に接続されないように制御される。このようにしてフローティングディフュージョン182が時分割で共有され、フォトダイオード421に蓄積された電荷と、フォトダイオード431に蓄積された電荷とが順次読み出される。
つまり、以上のような2単位画素分の構成で、図10に示される4単位画素分と同等の読み出し信号を得ることができる。つまり、このようにフローティングディフュージョン182を複数の画素により共有することにより、回路規模をより小さくすることができ、それによりコストの増大を抑制する等の効果を得ることができる。
そして、単位画素131がこのような構成の場合であっても、第1の実施の形態や第2の実施の形態の場合と同様に、本技術を適用することができ、同様の効果を得ることができる。
<5.第4の実施の形態>
<複数基板>
イメージセンサ100は、複数の半導体基板により構成されるようにしてもよい。例えば、イメージセンサ100が、互いに積層される複数の半導体基板により構成されるようにしてもよい。その場合、上述した回路構成が各半導体基板にどのように配置されるようにしてもよい。図15は、複数の半導体基板からなるイメージセンサの主な構成例を示す図である。図15に示されるイメージセンサ500は、イメージセンサ100と同様の機能を有する。ただし、イメージセンサ500は、半導体基板501および半導体基板502の、互いに積層される複数の半導体基板により構成される。
半導体基板501には、例えば、単位画素131がアレイ状に配置される領域である画素アレイ部511や、比較部151が形成される領域であるコンパレータ512等が形成される。また、半導体基板501には、例えば、制御信号ならびに電力供給用のTCV(コンタクト用ビア)が形成される領域であるTCV513、カラム部・画素信号用のTCVが形成される領域であるTCV514、および、垂直信号用のTCVが形成される領域であるTCV515等が形成される。
半導体基板502には、例えば、垂直デコーダやドライバ等が形成される領域である垂直デコーダ・ドライバ521や水平走査回路が形成される領域である水平相殺回路522等が形成される。半導体基板502には、また、例えば、制御信号ならびに電力供給用のTCV(コンタクト用ビア)が形成される領域であるTCV523、カラム部・画素信号用のTCVが形成される領域であるTCV524、および、垂直信号用のTCVが形成される領域であるTCV525等が形成される。さらに、半導体基板502には、また、ISP(Image Signal Processor)、マイクロプロセッサ、メモリ等が形成される領域(画像信号処理部)、参照信号生成部が形成される領域(参照信号生成(DAC))、タイミング制御回路が形成される領域(タイミング制御回路)、インターフェイスが形成される領域(I/F)等が形成されるようにしてもよい。
このような構成において、電圧印加部200は任意の領域に形成されるようにしてもよい。例えば、半導体基板502の水平走査回路522に形成されるようにしてもよい。また、例えば、半導体基板502の垂直デコーダ・ドライバ521に形成されるようにしてもよい。さらに、複数の領域に形成されるようにしてもよい。例えば、電圧印加部200の構成を複数に分け、それぞれが互いに異なる領域に形成されるようにしてもよい。
このようにすることにより、1つの半導体基板に形成される回路構成を低減させることができるので、回路や基板の小型化を実現することができる。これにより、フォトダイオードを大きくして感度を向上させたり、コストの増大を抑制したりすることができる。
また、以上においては、本技術を適用した回路基板の例として、半導体基板を例に説明したが、これに限らず、本技術は、例えばプリント基板等の、半導体基板以外の回路基板にも適用することができる。
<6.第5の実施の形態>
<撮像装置>
なお、本技術は、撮像素子以外にも適用することができる。例えば、撮像装置のような、撮像素子を有する装置(電子機器等)に本技術を適用するようにしてもよい。図16は、本技術を適用した電子機器の一例としての撮像装置の主な構成例を示すブロック図である。図16に示される撮像装置600は、被写体を撮像し、その被写体の画像を電気信号として出力する装置である。
図16に示されるように撮像装置600は、光学部611、CMOSイメージセンサ612、画像処理部613、表示部614、コーデック処理部615、記憶部616、出力部617、通信部618、制御部621、操作部622、およびドライブ623を有する。
光学部611は、被写体までの焦点を調整し、焦点が合った位置からの光を集光するレンズ、露出を調整する絞り、および、撮像のタイミングを制御するシャッタ等よりなる。光学部611は、被写体からの光(入射光)を透過し、CMOSイメージセンサ612に供給する。
CMOSイメージセンサ612は、入射光を光電変換して画素毎の信号(画素信号)をA/D変換し、CDS等の信号処理を行い、処理後の撮像画像データを画像処理部613に供給する。
画像処理部613は、CMOSイメージセンサ612により得られた撮像画像データを画像処理する。より具体的には、画像処理部613は、CMOSイメージセンサ612から供給された撮像画像データに対して、例えば、混色補正や、黒レベル補正、ホワイトバランス調整、デモザイク処理、マトリックス処理、ガンマ補正、およびYC変換等の各種画像処理を施す。画像処理部613は、画像処理を施した撮像画像データを表示部614に供給する。
表示部614は、例えば、液晶ディスプレイ等として構成され、画像処理部613から供給された撮像画像データの画像(例えば、被写体の画像)を表示する。
画像処理部613は、さらに、画像処理を施した撮像画像データを、必要に応じて、コーデック処理部615に供給する。
コーデック処理部615は、画像処理部613から供給された撮像画像データに対して、所定の方式の符号化処理を施し、得られた符号化データを記憶部616に供給する。また、コーデック処理部615は、記憶部616に記録されている符号化データを読み出し、復号して復号画像データを生成し、その復号画像データを画像処理部613に供給する。
画像処理部613は、コーデック処理部615から供給される復号画像データに対して所定の画像処理を施す。画像処理部613は、画像処理を施した復号画像データを表示部614に供給する。表示部614は、例えば、液晶ディスプレイ等として構成され、画像処理部613から供給された復号画像データの画像を表示する。
また、コーデック処理部615は、画像処理部613から供給された撮像画像データを符号化した符号化データ、または、記憶部616から読み出した撮像画像データの符号化データを出力部617に供給し、撮像装置600の外部に出力させるようにしてもよい。また、コーデック処理部615は、符号化前の撮像画像データ、または、記憶部616から読み出した符号化データを復号して得られた復号画像データを出力部617に供給し、撮像装置600の外部に出力させるようにしてもよい。
さらに、コーデック処理部615は、撮像画像データ、撮像画像データの符号化データ、または、復号画像データを、通信部618を介して他の装置に伝送させるようにしてもよい。また、コーデック処理部615は、撮像画像データや画像データの符号化データを、通信部618を介して取得するようにしてもよい。コーデック処理部615は、通信部618を介して取得した撮像画像データや画像データの符号化データに対して、適宜、符号化や復号等を行う。コーデック処理部615は、得られた画像データまたは符号化データを、上述したように、画像処理部613に供給したり、記憶部616、出力部617、および通信部618に出力するようにしてもよい。
記憶部616は、コーデック処理部615から供給される符号化データ等を記憶する。記憶部616に格納された符号化データは、必要に応じてコーデック処理部615に読み出されて復号される。復号処理により得られた撮像画像データは、表示部614に供給され、その撮像画像データに対応する撮像画像が表示される。
出力部617は、外部出力端子等の外部出力インターフェイスを有し、コーデック処理部615を介して供給される各種データを、その外部出力インターフェイスを介して撮像装置600の外部に出力する。
通信部618は、コーデック処理部615から供給される画像データや符号化データ等の各種情報を、所定の通信(有線通信または無線通信)の通信相手である他の装置に供給する。また、通信部618は、所定の通信(有線通信または無線通信)の通信相手である他の装置から、画像データや符号化データ等の各種情報を取得し、それをコーデック処理部615に供給する。
制御部621は、撮像装置600の各処理部(点線620内に示される各処理部、操作部622、並びに、ドライブ623)の動作を制御する。
操作部622は、例えば、ジョグダイヤル(商標)、キー、ボタン、またはタッチパネル等の任意の入力デバイスにより構成され、例えばユーザ等による操作入力を受け、その操作入力に対応する信号を制御部621に供給する。
ドライブ623は、自身に装着された、例えば、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、または半導体メモリなどのリムーバブルメディア624に記憶されている情報を読み出す。ドライブ623は、リムーバブルメディア624からプログラムやデータ等の各種情報を読み出し、それを制御部621に供給する。また、ドライブ623は、書き込み可能なリムーバブルメディア624が自身に装着された場合、制御部621を介して供給される、例えば画像データや符号化データ等の各種情報を、そのリムーバブルメディア624に記憶させる。
以上のような撮像装置600のCMOSイメージセンサ612として、各実施の形態において上述した本技術を適用する。すなわち、CMOSイメージセンサ612として、上述したイメージセンサ100が用いられる。これにより、CMOSイメージセンサ612は、回路規模の増大を抑制しながら撮像画像の画質の低減を抑制することができる。したがって撮像装置600は、被写体を撮像することにより、より高画質な撮像画像を得ることができる。
<7.その他>
本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
また、本技術は、装置またはシステムを構成するあらゆる構成、例えば、システムLSI(Large Scale Integration)等としてのプロセッサ、複数のプロセッサ等を用いるモジュール、複数のモジュール等を用いるユニット、ユニットにさらにその他の機能を付加したセット等(すなわち、装置の一部の構成)として実施することもできる。
なお、本明細書において、システムとは、複数の構成要素(装置、モジュール(部品)等)の集合を意味し、全ての構成要素が同一筐体中にあるか否かは問わない。したがって、別個の筐体に収納され、ネットワークを介して接続されている複数の装置、及び、1つの筐体の中に複数のモジュールが収納されている1つの装置は、いずれも、システムでもある。
また、以上において1つの装置(または1つの処理部)として説明した構成を分割し、複数の装置(または複数の処理部)として構成するようにしてもよい。逆に、以上において複数の装置(または複数の処理部)として説明した構成をまとめて1つの装置(または1つの処理部)として構成されるようにしてもよい。また、以上において説明した各装置(または各処理部)の構成に上述した以外の構成を付加するようにしてももちろんよい。さらに、システム全体としての構成や動作が実質的に同じであれば、ある装置(または、ある処理部)の構成の一部を他の装置(または他の処理部)の構成に含めるようにしてもよい。
なお、本明細書において複数説明した本技術は、矛盾が生じない限り、それぞれ独立に単体で実施することができる。もちろん、任意の複数の本技術を併用して実施することもできる。例えば、いずれかの実施の形態において説明した本技術の一部または全部を、他の実施の形態において説明した本技術の一部または全部と組み合わせて実施することもできる。また、上述した任意の本技術の一部または全部を、上述していない他の技術と併用して実施することもできる。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1) フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、前記他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイ
を備える撮像素子。
(2) 前記他の画素は、前記読み出し画素に対して所定の位置に配置される画素である
(1)に記載の撮像素子。
(3) 前記他の画素は、前記読み出し画素周辺の画素である
(2)に記載の撮像素子。
(4) 前記他の画素は、前記読み出し画素に隣接する画素である
(2)に記載の撮像素子。
(5) 複数の前記他の画素に前記所定の電圧が印加される
(1)乃至(4)のいずれかに記載の撮像素子。
(6) 前記複数の他の画素は、前記読み出し画素と同一の垂直信号線に接続される、前記読み出し画素の両隣の画素である
(5)に記載の撮像素子。
(7) 前記所定の電圧は、前記他の画素の、前記他の画素が読み出し画素である場合に状態がオンにされる選択トランジスタのゲートに印加される
(1)乃至(6)のいずれかに記載の撮像素子。
(8) 前記選択トランジスタのゲートに電圧を印加する電圧印加部をさらに備える
(7)に記載の撮像素子。
(9) 前記電圧印加部は、
前記所定の電圧を生成する電圧生成部と、
前記選択トランジスタに印加する電圧を選択する選択部と、
前記選択部を制御して、前記他の画素の前記選択トランジスタのゲートに前記所定の電圧を印加させる制御部と
を備える(8)に記載の撮像素子。
(10) 前記画素アレイの各画素は、フローティングディフュージョンと前記フローティングディフュージョンに蓄積される電荷に相当する電圧を増幅する増幅トランジスタとの間に、前記所定の電圧の印加を制御するトランジスタを備え、
前記他の画素の前記トランジスタの状態がオンにされるように構成される
(1)乃至(9)のいずれかに記載の撮像素子。
(11) 前記画素アレイの各画素は、複数のフォトダイオードを備える
(1)乃至(10)のいずれかに記載の撮像素子。
(12) 互いに積層される複数の半導体基板を備え、
前記画素アレイは、前記複数の半導体基板のいずれかに形成される
(1)乃至(11)のいずれかに記載の撮像素子。
(13) 被写体を撮像する撮像部と、
前記撮像部による撮像により得られた画像データを画像処理する画像処理部と
を備え、
前記撮像部は、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、前記他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイ
を備える電子機器。
100 イメージセンサ, 111 画素アレイ部, 122 垂直信号線, 131 単位画素, 181 フォトダイオード, 182 フローティングディフュージョン, 183 転送トランジスタ, 184 リセットトランジスタ, 185 増幅トランジスタ, 186 選択トランジスタ, 200 電圧印加部, 211 クリップ電圧生成部, 212 スイッチ, 213 制御部, 301 クリップ用トランジスタ, 401 フォトダイオード, 402 転送トランジスタ, 411 フォトダイオード, 412 転送トランジスタ, 421 フォトダイオード, 422 転送トランジスタ, 431 フォトダイオード, 432,転送トランジスタ, 500 イメージセンサ, 501および502 半導体基板, 511 画素アレイ部, 521 垂直デコーダ・ドライバ, 522 水平走査回路, 600 撮像装置, 612 CMOSイメージセンサ

Claims (13)

  1. フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、前記他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイ
    を備える撮像素子。
  2. 前記他の画素は、前記読み出し画素に対して所定の位置に配置される画素である
    請求項1に記載の撮像素子。
  3. 前記他の画素は、前記読み出し画素周辺の画素である
    請求項2に記載の撮像素子。
  4. 前記他の画素は、前記読み出し画素に隣接する画素である
    請求項2に記載の撮像素子。
  5. 複数の前記他の画素に前記所定の電圧が印加される
    請求項1に記載の撮像素子。
  6. 前記複数の他の画素は、前記読み出し画素と同一の垂直信号線に接続される、前記読み出し画素の両隣の画素である
    請求項5に記載の撮像素子。
  7. 前記所定の電圧は、前記他の画素の、前記他の画素が読み出し画素である場合に状態がオンにされる選択トランジスタのゲートに印加される
    請求項1に記載の撮像素子。
  8. 前記選択トランジスタのゲートに電圧を印加する電圧印加部をさらに備える
    請求項7に記載の撮像素子。
  9. 前記電圧印加部は、
    前記所定の電圧を生成する電圧生成部と、
    前記選択トランジスタに印加する電圧を選択する選択部と、
    前記選択部を制御して、前記他の画素の前記選択トランジスタのゲートに前記所定の電圧を印加させる制御部と
    を備える請求項8に記載の撮像素子。
  10. 前記画素アレイの各画素は、フローティングディフュージョンと前記フローティングディフュージョンに蓄積される電荷に相当する電圧を増幅する増幅トランジスタとの間に、前記所定の電圧の印加を制御するトランジスタを備え、
    前記他の画素の前記トランジスタの状態がオンにされるように構成される
    請求項1に記載の撮像素子。
  11. 前記画素アレイの各画素は、複数のフォトダイオードを備える
    請求項1に記載の撮像素子。
  12. 互いに積層される複数の半導体基板を備え、
    前記画素アレイは、前記複数の半導体基板のいずれかに形成される
    請求項1に記載の撮像素子。
  13. 被写体を撮像する撮像部と、
    前記撮像部による撮像により得られた画像データを画像処理する画像処理部と
    を備え、
    前記撮像部は、フォトダイオードに蓄積された電荷に対応する信号を読み出す対象である読み出し画素でない他の画素のトランジスタのゲートに所定の電圧が印加され、前記他の画素から垂直信号線に電流が流れるように構成される画素アレイ
    を備える電子機器。
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Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4742666B2 (ja) * 2005-04-28 2011-08-10 株式会社ニコン 固体撮像装置
JP5282690B2 (ja) * 2009-07-23 2013-09-04 ソニー株式会社 画素回路、固体撮像素子、およびカメラシステム
JP2012191379A (ja) * 2011-03-10 2012-10-04 Nikon Corp 撮像装置
JP6529109B2 (ja) * 2014-11-26 2019-06-12 オリンパス株式会社 撮像装置、画像処理方法
WO2016190116A1 (ja) * 2015-05-26 2016-12-01 ソニー株式会社 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及び、電子機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020095659A1 (ja) * 2018-11-09 2020-05-14 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置及び電子機器
US11570390B2 (en) 2018-11-09 2023-01-31 Sony Semiconductor Solutions Corporation Solid-state imaging device and electronic device

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