JP2018104737A - 縦型ウエハボートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この縦型ウエハボートは、SiCの基材表面にCVD(化学気相成長)法によるSiCコーティングを施し、高純度のSiC被覆層を基材表面に形成したものである。この縦型ウエハボートにあっては、基材内部から外方への不純物の拡散を抑制することができる。
そのため、前記ウエハの傷やスリップ発生を抑制する方法として、例えば、特許文献1のようにダイヤモンド砥石を用いてウエハ当接部のみを研磨して表面粗さを小さくする方法が提案されている。
そのため、前記エッジ部を丸くする方法として、例えば、特許文献2のようにブラシまたは弾性部材によって運ばれる砥粒により研磨して丸みをつける方法が提案されている。
さらに言えば、特許文献2の研磨方法では、ウエハ支持面を支柱側まで均一に研磨することは困難であり、ウエハ支持面とエッジ部を同時に研磨することは困難である。
なお、前記縦型ウエハボート1は、SiC質基材にSiC膜が被覆されているものが好ましい。前記SiC質基材としては、反応焼結SiCすなわちカーボン成分を含むSiC焼成体にSiを含浸し、前記カーボン成分とSiの一部が反応し、SiC化されたSi−SiCであることが好ましく、SiCの成形体を高温で熱処理した再結晶質SiC、焼結助剤を添加し焼結した自焼結SiC等でもよい。前記SiC膜としては、高純度で結晶質のSiC膜を形成することができるCVDによるSiC膜が好ましい。
更に、ブラシ10aは捻りブラシで示されているが、これに限定されるものではなく、金属板10bの周端付近の片面にブラシを固定した植込ブラシであっても良い。
まず、SiC質基材を支柱2、天板3、底板4の所定の形状に機械加工して制作する。その後、支柱2、天板3、底板4を組み立て、表面にSiC被覆膜をCVD法により形成する。
そして、ウエハWが接する部分あるいは接する可能性のある部分である、ウエハ載置面2a1と、このウエハ載置面2a1の周端である側面エッジ部2a2及び先端エッジ部2a3を研磨部材10により研磨する。
更に、研磨部材10を回転させ、ブラシ10aがウエハ載置面2a1および側面エッジ部2a2の研磨を開始するとともに、研磨部材10を載置部2a先端側に移動させる。
(実施例1)
先ず、反応焼結法によってSi−SiC基材からなる3本の支柱、天板、底板を製作した。そして、これら部材を組立て、6インチ用のボートを製作した。
更に、CVD炉内70torr、1200℃の条件下で、メチルトリクロロシランとH2ガスを、流量比3:30で適量導入し、前記6インチ用のボートを構成する支柱、天板、底板の表面に、厚さ50μmの第1のSiC被覆膜を形成した。
続いて、研磨部材を、ブラシがウエハ載置面および側面エッジ部に接触する位置に移動させた。ここで、研磨部材をウエハ載置面と並行方向に1000rpmで回転させ、ブラシがウエハ載置面2a1および側面エッジ部2a2の研磨を開始するとともに、研磨部材10を速度50mm/minで載置部先端側に移動させた。
研磨後のウエハ支持部の外観を図5に示す。
ウエハ載置面、側面エッジ部、先端エッジ部は均一に研磨され、ウエハ載置部側面は研磨されておらず、SiC被覆膜が形成されたままであった。
研磨後のウエハ載置面の表面粗さRaは0.1μm以上0.3μm以下であった。一方、ウエハ載置部側面の表面粗さRaは2.5μmであった。
実施例1と同様に、反応焼結法によってSi−SiC基材からなる3本の支柱、天板、底板を製作した。そして、これら部材を組立て、6インチ用のボートを製作した。
更に、CVD炉内70torr、1200℃の条件下で、メチルトリクロロシランとH2ガスを、流量比3:30で適量導入し、前記6インチ用のボートを構成する支柱、天板、底板の表面に、厚さ50μmの第1のSiC被覆膜を形成した。
その後、ウエハ支持部同士の間よりも厚い従来の面取り用ブラシを用いて研磨した。研磨後のウエハ支持部外観を図7に示す。
側面エッジ部および先端エッジ部およびウエハ支持部側面は研磨されていたが、ウエハ載置面は研磨されていなかった。
2 支柱
2a ウエハ載置部
2a1 ウエハ載置面
2a2 側面エッジ部(ウエハ載置面周端)
2a3 先端エッジ部(ウエハ載置面周端)
2b1 ウエハ載置部側面(先端側)
2b2 ウエハ載置部側面(側面側)
2c 支柱側面
3 天板
4 底板
10 研磨部材
10a ブラシ
10b 金属板
Claims (1)
- ウエハを載置するための複数の載置部が形成された複数本の支柱と、前記支柱の上下端部を固定する天板および底板とを備えた、SiC質基材の表面にSiC被覆膜が形成された縦型ウエハボートの製造方法であって、
すくなくともウエハ載置部下面に非接触状態で、ウエハ載置面と支柱側面とが交わる方向に、周端にブラシが配置された板状の研磨部材を移動させる第1の工程と、
前記ブラシが前記ウエハ載置面および前記ウエハ載置面の周端のエッジ部に接触する位置に前記研磨部材を移動させる第2の工程と、
前記研磨部材を回転させ、前記ブラシが前記ウエハ載置面および前記エッジ部を研磨しながら前記研磨部材を前記載置部先端側に移動させる第3の工程と、
を備えることを特徴とする縦型ウエハボートの製造方法。
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JP2016249841A JP2018104737A (ja) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 縦型ウエハボートの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020077724A (ja) * | 2018-11-07 | 2020-05-21 | クアーズテック株式会社 | ウェハボート |
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