JP2018096756A - 温度センサ - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する。本実施形態の温度センサは、温度検出機能および圧力検出機能を備えるWLP(ウェハレベルパッケージ)である。図1に示すように、本実施形態の温度センサは、センサ基板10と、キャップ基板20と、接合部材30と、支持部材40と、回路基板50と、ゲージ抵抗60と、ワイヤ70と、樹脂封止体80とを備える。
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してゲージ抵抗60の位置を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
16 ゲージ抵抗
60 ゲージ抵抗
80 樹脂封止体
Claims (5)
- 測定媒体の中に置かれる基板(10)と、
前記基板の一部を内側に含む樹脂封止体(80)と、
前記基板のうち前記樹脂封止体から露出した部分に配置され、前記測定媒体の温度に応じた信号を出力する第1温度検出部(16)と、
前記樹脂封止体の内側に配置され、前記樹脂封止体の温度に応じた信号を出力する第2温度検出部(60)と、を備え、
前記第1温度検出部および前記第2温度検出部が出力する信号に基づいて、前記第1温度検出部の異常を検出する温度センサ。 - 前記第1温度検出部から入力される信号と前記第2温度検出部から入力される信号との差が所定の値よりも大きいとき、前記第1温度検出部に異常が発生していることを示す信号を出力する異常検出部(59)を備える請求項1に記載の温度センサ。
- 前記基板を第1基板として、
前記樹脂封止体の内側に配置された第2基板(50)を備え、
前記第2温度検出部は、前記第2基板に配置されている請求項1または2に記載の温度センサ。 - 前記第2基板に形成された拡散層(51)、を備え、
前記第2温度検出部は、前記拡散層の一部で構成されている請求項3に記載の温度センサ。 - 前記第2温度検出部は、前記基板のうち前記樹脂封止体の内側の部分に配置されている請求項1または2に記載の温度センサ。
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