JP2018095927A - ターゲット用シャッタ機構およびそれを備えた成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 チャンバ
3 ターゲット
6 シャッタ
10シャッタ機構
11A〜11D 第1〜第4のシャッタ板
13A〜13D 第1〜第4の回転支持部部
14 駆動部
30 基材対向面
SA〜SD 第1〜第4の回転軸
W 基材
Claims (6)
- スパッタリングに用いられるターゲットを開閉自在に覆うシャッタ機構であって、
前記ターゲットにおいてスパッタリングによって成膜される基材に対向する基材対向面と前記基材との間の位置において当該基材対向面に沿う方向に移動可能であり、当該基材対向面と前記基材との間の位置で互いに接触または近接することが可能な縁部をそれぞれ有する第1のシャッタ板および第2のシャッタ板を有するシャッタと、
前記基材対向面の法線方向に延びる第1の回転軸回りに前記第1のシャッタ板を回転自在に支持する第1の回転支持部と、
前記基材対向面の法線方向に延びる第2の回転軸回りに前記第2のシャッタ板を回転自在に支持する第2の回転支持部と、
前記第1のシャッタ板および第2のシャッタ板を前記第1の回転軸回りおよび前記第2の回転軸回りに回転駆動する駆動部と、
を備え、
前記第1の回転支持部および前記第2の回転支持部は、前記第1のシャッタ板および前記第2のシャッタ板の前記第1の回転軸回りおよび前記第2の回転軸回りのそれぞれの回転により、前記基材対向面と前記基材との間の位置において当該第1のシャッタ板および当該第2のシャッタ板の前記縁部同士が互いに接触または近接する状態で当該第1のシャッタ板および当該第2のシャッタ板が前記基材対向面を閉じる閉位置と前記縁部同士が離間するように当該第1のシャッタ板および当該第2のシャッタ板がそれぞれ前記基材対向面と前記基材との間の位置から退避した開位置との間で移行できるように、当該第1のシャッタ板および当該第2のシャッタ板を回転自在に支持し、
前記第1の回転軸および前記第2の回転軸は、前記第1のシャッタ板および前記第2のシャッタ板のそれぞれの前記縁部が前記開位置において前記基材対向面の外周の縁の少なくとも一部に沿うように、前記閉位置において前記縁部が互いに接触または近接する領域を挟んで両側に分かれて配置されている、
ターゲット用シャッタ機構。 - 前記第1の回転軸および前記第2の回転軸は、これらの間に前記基材対向面を挟むように当該基材対向面の両側に配置されている、
請求項1に記載のターゲット用シャッタ機構。 - 前記ターゲットの前記基材対向面は、矩形形状を有し、
前記閉位置における前記縁部が互いに接触または近接する領域は、当該基材対向面の2つの対角線のうちの特定の1つの対角線に沿って配置され、
前記第1の回転軸および前記第2の回転軸は、前記特定の1つの対角線の両側に分かれて配置されている、
請求項2に記載のターゲット用シャッタ機構。 - 前記第1の回転軸は、前記特定の1つの対角線の延長線と前記基材対向面における外周の縁における互いに対向する2つの辺のうちの一方の辺とのなす角度を二等分する半直線の上に配置され、
前記第2の回転軸は、前記特定の1つの対角線の延長線と前記基材対向面における外周の縁における互いに対向する2つの辺のうちの他方の辺とのなす角度を二等分する半直線の上に配置されている、
請求項3に記載のターゲット用シャッタ機構。 - 前記シャッタは、前記基材対向面と前記基材との間の位置において当該基材対向面に沿う方向に移動可能であり、当該基材対向面と前記基材との間の位置で互いに接触または近接することが可能な縁部をそれぞれ有する第3のシャッタ板および第4のシャッタ板をさらに有し、
前記第3のシャッタ板および前記第4のシャッタ板は、前記第1のシャッタ板および前記第2のシャッタ板に対して前記基材対向面と前記基材との間の位置において前記基材対向面に沿う方向にずれた位置に配置され、
前記第1のシャッタ板、前記第2のシャッタ板、前記第3のシャッタ板、および前記第4のシャッタ板によって、前記基材対向面を開閉するように前記シャッタが構成され、
前記シャッタ機構は、前記基材対向面の法線方向に延びる第3の回転軸回りに前記第3のシャッタ板を回転自在に支持する第3の回転支持部と、前記基材対向面の法線方向に延びる第4の回転軸回りに前記第4のシャッタ板を回転自在に支持する第4の回転支持部とをさらに備え、
前記駆動部は、前記第3のシャッタ板および第4のシャッタ板を前記第3の回転軸回りおよび前記第4の回転軸回りに回転駆動し、
前記第3の回転支持部および前記第4の回転支持部は、前記第3のシャッタ板および前記第4のシャッタ板の前記第3の回転軸回りおよび前記第4の回転軸回りのそれぞれの回転により、前記基材対向面と前記基材との間の位置において当該第3のシャッタ板および当該第4のシャッタ板の前記縁部同士が互いに接触または近接する状態で当該第3のシャッタ板および当該第4のシャッタ板が前記基材対向面を閉じる閉位置と前記縁部同士が離間するように当該第3のシャッタ板および当該第4のシャッタ板がそれぞれ前記基材対向面と前記基材との間の位置から退避した開位置との間で移行できるように、当該第3のシャッタ板および当該第4のシャッタ板を回転自在に支持し、
前記第3の回転軸および前記第4の回転軸は、前記第3のシャッタ板および前記第4のシャッタ板のそれぞれの前記縁部が前記開位置において前記基材対向面の外周の縁の少なくとも一部に沿うように、前記閉位置において前記縁部が互いに接触または近接する領域を挟んで両側に分かれて配置されている、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のターゲット用シャッタ機構。 - 請求項1に記載のターゲット用シャッタ機構と、
基材を収容する成膜チャンバと、
基材対向面を有し、当該基材対向面が前記基材を向くように前記成膜チャンバに設置された前記ターゲットと、
を備え、
前記シャッタ機構の前記第1のシャッタ板および前記第2のシャッタ板は、前記成膜チャンバの内部において前記基材対向面と前記基材との間の位置に開閉自在に配置されている、
ことを特徴とする成膜装置。
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