JP2018084453A - 変位検出装置およびこれを備えたレンズ鏡筒、撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、従来よりも消費電力が低い変位検出装置およびこれを用いたレンズ鏡筒、撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の変位検出装置は、複数の検出電極群を有する第1電極部と、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する第2電極部と、を有する。前記複数の検出電極群は、複数の第1検出電極を有する第1検出電極群と、複数の第2検出電極を有する第2検出電極群を含む。前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最大になる状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とするとき、前記複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている。
【選択図】 図5
【解決手段】 本発明の変位検出装置は、複数の検出電極群を有する第1電極部と、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する第2電極部と、を有する。前記複数の検出電極群は、複数の第1検出電極を有する第1検出電極群と、複数の第2検出電極を有する第2検出電極群を含む。前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最大になる状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とするとき、前記複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている。
【選択図】 図5
Description
本発明は、変位検出装置およびこれを備えたレンズ鏡筒と、このレンズ鏡筒を搭載可能なビデオカメラやデジタルスチルカメラなどの撮像機器に関する。
従来から、電気的手段により操作リングの回転を検出し、その回転に応じて電動で合焦用レンズを駆動する、いわゆるマニュアルフォーカス(MF)機能を有するレンズ鏡筒として特許文献1に記載のレンズ鏡筒が知られている。
特許文献1には、回転操作部の周方向に所定の間隔で設けられた複数のスリット(切り欠き)の通過を一対のフォトインタラプタで検出し、その検出信号に基づいて回転操作部の回転方向および回転量を検出するレンズ鏡筒が開示されている。特許文献1のレンズ鏡筒は、回転操作部の回転情報(回転方向および回転量)に応じてステッピングモータでスクリューを回転させ、スクリューに螺合するナットの動きに従動させることで手動合焦動作モード(MF機能)を実現している。
ところで、特許文献1のレンズ鏡筒は、MF機能を実現するため、一対のフォトインタラプタを用いた非接触式の構成で、回転操作部の回転を検出する。このため、フォトインタラプタは、比較的大きな消費電流が必要となる。
そこで本発明は、従来よりも消費電力が低い変位検出装置およびこれを用いたレンズ鏡筒、撮像装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の変位検出装置は、
複数の検出電極群を有する第1電極部と、
所定の周期パターンを有し、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する第2電極部と、
前記第1電極部と前記第2電極部との間の静電容量に基づいて変位を検出する検出手段とを有し、
前記複数の検出電極群は、複数の第1検出電極を有する第1検出電極群と、前記所定の周期パターンに関して前記第1検出電極群に対して180度の位相差を有するとともに複数の第2検出電極を有する第2検出電極群を含み、
前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最大になる状態を最大出力状態とするとき、
前記最大出力状態において、前記第1検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積は、前記第2検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積よりも大きく、
前記最大出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とするとき、
前記複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている、
ことを特徴とする。
複数の検出電極群を有する第1電極部と、
所定の周期パターンを有し、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する第2電極部と、
前記第1電極部と前記第2電極部との間の静電容量に基づいて変位を検出する検出手段とを有し、
前記複数の検出電極群は、複数の第1検出電極を有する第1検出電極群と、前記所定の周期パターンに関して前記第1検出電極群に対して180度の位相差を有するとともに複数の第2検出電極を有する第2検出電極群を含み、
前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最大になる状態を最大出力状態とするとき、
前記最大出力状態において、前記第1検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積は、前記第2検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積よりも大きく、
前記最大出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とするとき、
前記複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている、
ことを特徴とする。
本発明によれば、従来よりも消費電力が低い変位検出装置およびこれを用いたレンズ鏡筒、撮像装置を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(撮像装置の構成)
まず、図1を参照して、本発明の各実施例における変位検出装置を搭載可能な撮像装置(撮像装置本体(一眼レフカメラ)、および、撮像装置本体に着脱可能なレンズ鏡筒(交換レンズ)の構成について説明する。図1は、撮像装置100のブロック図である。図1中において、各ブロックを繋ぐ実線は電気的な接続を示し、破線は機械的な接続を示している。
まず、図1を参照して、本発明の各実施例における変位検出装置を搭載可能な撮像装置(撮像装置本体(一眼レフカメラ)、および、撮像装置本体に着脱可能なレンズ鏡筒(交換レンズ)の構成について説明する。図1は、撮像装置100のブロック図である。図1中において、各ブロックを繋ぐ実線は電気的な接続を示し、破線は機械的な接続を示している。
撮像装置100は、撮像素子を保持するカメラ2(撮像装置本体、カメラ本体)と、カメラ2に着脱可能な交換レンズ1(レンズ鏡筒)とを備えている。交換レンズ1は、後述の操作角検出器109(変位検出装置)と、操作角検出器109による変位の検出結果に基づいて駆動するフォーカスレンズ106(レンズユニット)を備えている。201はカメラマイコン(制御手段)、202は接点である。カメラマイコン201は、後述のようにカメラ2の各部を制御すると共に、交換レンズ1の装着時には接点202を介して交換レンズ1との通信を行う。
203は、2段ストローク式のレリーズスイッチである。レリーズスイッチ203から出力された信号は、カメラマイコン201に入力される。カメラマイコン201は、レリーズスイッチ203から入力された信号に従い、1段目ストロークスイッチ(SW1)がONであれば、測光装置(不図示)による露光量の決定や後述のAF動作などを行い、撮影準備状態に入る。またカメラマイコン201は、2段目ストロークスイッチ(SW2)がONになるまでレリーズスイッチ203が操作されたことを検出すると、撮像部204に撮影開始命令を送信して実際の露光動作を行わせる。撮像部204は、CMOSセンサやCCDセンサなどの撮像素子を有し、交換レンズ1を介して形成された光学像を光電変換して画像信号を出力する。
205は焦点検出部である。焦点検出部205は、カメラ2が後述のAFモードに設定されている場合にレリーズスイッチ203のSW1がONされると、カメラマイコン201から送信される焦点検出開始命令に従い、焦点検出エリア内に存在する物体(被写体)に対して焦点検出を行う。焦点検出部205は、焦点検出の結果、この物体に焦点を合せるために必要な、フォーカスレンズ106の光軸方向における移動情報(移動方向および移動量)を決定する。206は表示部であり、撮像部204により得られた撮影画像などを表示する。
101は、交換レンズ1のレンズマイコン(制御手段)である。レンズマイコン101は、後述のように交換レンズ1の各部の制御を行うと共に、接点102を介してカメラ2との通信を行う。103は、オートフォーカスとマニュアルフォーカスとを切り替えるAF/MFスイッチであり、使用者がAF(オートフォーカス)モードとMF(マニュアルフォーカス)モードからフォーカスモードの選択をするために用いられる。
AFモードにおいて、カメラマイコン201は、レリーズスイッチ203のSW1のONに応じて焦点検出部205により決定された焦点検出結果を、レンズマイコン101へ送信する。レンズマイコン101は、この焦点検出結果に基づいて、電気エネルギーにより駆動力を発生するフォーカス駆動モータ104を起動する。フォーカス駆動モータ104の駆動力は、フォーカス駆動機構105へ伝達される。そしてフォーカス駆動機構105は、フォーカス駆動モータ104の駆動力に従い、フォーカスレンズ106が光軸方向に必要移動量だけ駆動される。フォーカス駆動モータ104としては、ステッピングモータや超音波モータなどが適用可能である。フォーカス駆動機構105としては、いわゆるバー・スリーブ支持の直動機構や、3本のカム溝を有するカム環と固定部に設けられた3本の直進溝との協働による、いわゆる回転カム機構などが適用可能である。
107は位置検出エンコーダ(位置検出手段)である。位置検出エンコーダ107は、例えば、フォーカスレンズ106の光軸方向における位置に対応する情報を出力する絶対値エンコーダである。位置検出エンコーダ107としては、基準位置を決定するフォトインタラプタを有し、微細間隔のインクリメンタル信号(例えば、ステッピングモータの駆動パルス数やMRセンサのような繰り返し信号)の積算値で絶対位置を検出可能な構成が適用可能である。
AFモードにおいて、レンズマイコン101は、焦点検出部205の焦点検出結果に基づいて決定されたフォーカスレンズ106の必要移動量に応じて、フォーカス駆動モータ104を駆動制御する。フォーカスレンズ106の必要移動量と、位置検出エンコーダ107の検出結果である実際の移動量とが互いに等しくなると、レンズマイコン101は、フォーカス駆動モータ104を停止し、フォーカス制御が終了したことをカメラマイコン201に送信する。
一方、MFモードにおいて、使用者はMF操作リング108(可動部材)を操作することにより、フォーカス制御が可能である。109は、MF操作リング108の回転角度(変位)を検出する操作角検出器(変位検出装置)である。使用者が表示部206により被写体の焦点状態を確認しながらMF操作リング108を回転させると、レンズマイコン101は、操作角検出器109の出力信号を読み取りフォーカス駆動モータ104を駆動し、フォーカスレンズ106を光軸方向に移動させる。MF操作リング108の回転を操作角検出器109で細かく検出することにより、使用者は微妙なフォーカス制御を行うことが可能であり、MFモードにおける操作性が向上する。操作角検出器109による検出の詳細については、後述する。
(レンズ鏡筒の構成)
次に、図2を参照して、交換レンズ1の構成について説明する。図2は、交換レンズ1の構成図である。図2(a)は、交換レンズ1の外観図である。図2(a)に示されるように、AF/MFスイッチ103は、交換レンズ1の後端部(図2(a)中の右側)の側面に配置されている。回転可能に支持されたMF操作リング108は、交換レンズ1の先端部(図2(a)中の左側)に配置されている。
次に、図2を参照して、交換レンズ1の構成について説明する。図2は、交換レンズ1の構成図である。図2(a)は、交換レンズ1の外観図である。図2(a)に示されるように、AF/MFスイッチ103は、交換レンズ1の後端部(図2(a)中の右側)の側面に配置されている。回転可能に支持されたMF操作リング108は、交換レンズ1の先端部(図2(a)中の左側)に配置されている。
図2(b)は、図2(a)中の楕円Aの範囲の拡大図であり、MF操作リング108の周辺の要部断面図を示す。11は可動電極(第2電極部)である。可動電極11は、MF操作リング108の回転中心軸と同軸の内周壁に一体的に設けられた導電性の電極である。12は案内筒(固定部材)である。13は、可動電極11に対向して案内筒12と一体的に設けられた固定電極(第1電極部)である。
14は前枠であり、図示しない部分において案内筒12と一体化している。MF操作リング108は、案内筒12および前枠14により、光軸OAの前後方向の面12a、14aに対して所定の隙間を有して挟み込まれ、円筒面12b、14bの嵌合支持により定位置での回転が可能である。本実施例において、可動電極11は、導電性の電極としての別部品の金属リングをMF操作リング108の内周壁に配置し、この金属リングをMF操作リング108と一体的に構成されている。
固定電極13は、フレキシブル基板の銅箔パターンを電極として、案内筒12の外周壁に粘着テープや接着により固定されている。ただし本実施例はこれに限定されるものではなく、メッキや蒸着、導電物質のスクリーン印刷などの技術を用いてMF操作リング108の内周壁や案内筒12の外周壁に後述する電極パターンを直接形成してもよい。
次に、図3を参照して、可動電極11および固定電極13の構成について説明する。図3は、可動電極11および固定電極13の分解斜視図である。図3(a)は、MF操作リング108と可動電極11と固定電極13との関係図を示す。図3(b)は、図3(a)からMF操作リング108を省略した図を示す。図3に示されるように、可動電極11は、導電性を有する短冊状の電極部の有無の繰り返しパターンが光軸周り方向の全周において繋がった円筒形状を有する。固定電極13は、可動電極11に対向して設けられ、可動電極11と同軸の円筒形状を有する有限角度範囲のフレキシブル基板である。
(変位検出装置の構成)
次に、図4を参照して、本発明の実施例1として、MF操作リング108の回転角度を検出する操作角検出器109の検出原理について詳述する。説明および理解を容易にするため、検出方向である回転方向に展開した平面状態で説明を進める。
次に、図4を参照して、本発明の実施例1として、MF操作リング108の回転角度を検出する操作角検出器109の検出原理について詳述する。説明および理解を容易にするため、検出方向である回転方向に展開した平面状態で説明を進める。
図4は、可動電極11および固定電極13の詳細図である。図4(a)は固定電極13の展開図、図4(b)は可動電極11の展開図、図4(c)は固定電極13と可動電極11とを重ねた展開図をそれぞれ示している。図4中の矢印Bで示される方向が検出方向(回転方向)である。
まず、図4(a)を参照して、固定電極13の電極パターンについて説明する。ただし、各電極の検出方向の長さについては、図5を参照して後述する。図4(a)に示されるように、固定電極13は、基準電極部13a(GND電極)、および、検出電極群13b、13c、13d、13eを有する。検出電極群13b、13c、13d、13eは、それぞれ、S1+電極、S1−電極、S2+電極、S2−電極であるとともに、第1検出電極群、第2検出電極群、第3検出電極群、第4検出電極群である。各検出電極群13b〜13eは複数の検出電極からなる。
検出電極群13b(S1+電極)は検出電極13fと検出電極13gを、検出電極群13c(S1−電極)は検出電極13hと検出電極13iを不図示の配線で繋いだものである。検出電極群13d(S2+電極)は検出電極13jと検出電極13kを、検出電極群13e(S2−電極)は検出電極13mと検出電極13nを不図示の配線で繋いだものである。図4(a)において、各電極の境界は互いに隣接して描かれているが、実際にはわずかの隙間を空けて互いに絶縁されている。
図4(b)は、図3に示される円筒形状の可動電極11の展開図である。可動電極11のうち斜線部の領域は、導電性を有する電極部である。11aは、検出出力を変化させる役割を有する繰り返しパターン電極であり、11b、11cは、繰り返しパターン電極11aのそれぞれを繋げて導通させる導通電極である。図4(c)は、固定電極13と可動電極11とを重ねて示している。図4(c)において、可動電極11は破線及び斜線で示されている。図4(c)において、長さhは繰り返しパターン電極11aと検出電極群13b〜13eとが検出方向Bに対して直交する方向において互いに重なっている領域(長さ)を示し、コンデンサとして静電容量を形成する領域である。図4(d)は、固定電極13および可動電極11を検出方向Bおよび長さhの方向の両方向に直交する方向から見た図である。図4(d)において、長さdはコンデンサとしてのギャップ(間隔)である。静電容量Cは、対向する電極が互いに重なっている面積とギャップの誘電率とに比例し、ギャップdに反比例する。すなわち、C=ε・S÷d(C:静電容量、ε:誘電率、S:面積、d:ギャップ)のように表される。
(固定電極13と可動電極11との関係)
次に、図5を参照して、固定電極13と可動電極11との関係について説明する。図5は、固定電極13と可動電極11との関係図である。図5の上側において、図4(a)と同様に、固定電極13の各電極パターンが示されている。図5の下側において、可動電極11の繰り返しパターン電極11aが斜線で示されている。繰り返しパターン電極11aは、図4(c)に示されるように検出電極群13b〜13eのそれぞれと重なった長さhの領域によりコンデンサを形成する。図5は、ステータス0〜7、および、ステータス0の順に、可動電極11が検出方向Bにおいて左側から右側に移動していく過程での特徴的な8つの状態を示している。可動電極11および固定電極13は、図4(c)に示されるように重なることによりコンデンサを形成するが、理解を容易にするため、これらを並べた図5を参照して説明する。
次に、図5を参照して、固定電極13と可動電極11との関係について説明する。図5は、固定電極13と可動電極11との関係図である。図5の上側において、図4(a)と同様に、固定電極13の各電極パターンが示されている。図5の下側において、可動電極11の繰り返しパターン電極11aが斜線で示されている。繰り返しパターン電極11aは、図4(c)に示されるように検出電極群13b〜13eのそれぞれと重なった長さhの領域によりコンデンサを形成する。図5は、ステータス0〜7、および、ステータス0の順に、可動電極11が検出方向Bにおいて左側から右側に移動していく過程での特徴的な8つの状態を示している。可動電極11および固定電極13は、図4(c)に示されるように重なることによりコンデンサを形成するが、理解を容易にするため、これらを並べた図5を参照して説明する。
繰り返しパターン電極11aの繰り返しのピッチ(複数の第2電極の周期)をPとし、本実施例では、1ピッチ内の電極の有無(割合)は半々であるとして説明する。以下の説明では、斜線で示される繰り返しパターン電極11aの一つを便宜的に面積「1」とする。各ステータス間での可動電極11の移動量は(1/8)Pであり、ステータス0とステータス4はピッチPに対して位相が互いに180度ずれた(異なる)状態である。
固定電極13の基準電極部13a(GND電極)は、可動電極11の繰り返しパターン電極11aと、主に、左右のそれぞれ2Pの長さの合計4Pの長さで重なっている。また基準電極部13a(GND電極)の一部は、長さ11Pのうち、左右の長さ2Pの間の長さ7Pの領域において、繰り返しパターン電極11aと重なっている。すなわち、基準電極部13aは、検出方向BにおいてPの整数倍の長さを有し、本実施例において、左右の長さ2P×2=4Pまたは、全体の長さ11Pである。なお、基準電極部13aの一部が繰り返しパターン電極11aと重なっている長さ7Pの領域の効果については、後述する。
基準電極部13a(GND電極)の長さは、ピッチPの整数倍である。このため、基準電極部13a(GND電極)と可動電極11の電極部(繰り返しパターン電極11a)との重なり領域の面積は常に一定である。従って、ギャップが一定であれば、静電容量も一定である。検出電極13f、検出電極13gは電極長さ0.5Pで電極の中心間距離が1Pである。検出電極13h、検出電極13iも同様に電極長さ0.5Pで電極の中心間距離が1Pである。
すなわち、検出電極群13b(S1+電極)および検出電極群13c(S1−電極)は共に、電極長さは1.5Pであり、互いに180度の位相差を有する。言い換えると、S1+検出電極群15とS1−検出電極群16は、検出方向Bにおいて、繰り返しパターン電極11aの繰り返し周期の半ピッチ分(180度の位相差、1/2ピッチ)ずれて配置されている。
すなわち、(M+0.5)×P(Mは自然数)の式で表される長さにおいて、Mが1の場合に相当する。検出電極群13b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aとの重なり領域の面積は、ステータス0では「2」、ステータス4では「0」、ステータス7を経てステータス0の面積「2」に戻る。以降、この変化を繰り返す。ギャップが一定であれば、この重なり領域の面積変化とともに静電容量は変化する。
より詳細には、ステータス0(最大出力状態)において、繰り返しパターン電極11aのうち検出電極群13bが設けられている領域と対向する複数の電極(図5中ステータス0において紙面下側から4番目及び5番目の電極)を複数の第4対向電極とする。このとき、検出電極群13bが備える複数の検出電極の各々(13f及び13g)の中心は、複数の第4対向電極の各々の中心と略一致している。
なお、ここでいう略一致とは次のように言い換えることもできる。すなわち、検出電極群13bが備える複数の検出電極の各々(13f及び13g)の中心と複数の第4対向電極の各々の中心とのずれ量をD2とし、検出電極群13bが備える複数の検出電極の各々の幅をW2とする。このとき、最大出力状態において、0≦D2/W2≦0.20あるいは0≦D2/W2≦0.15あるいは0≦D2/W2≦0.10を満足する状態を前述の略一致している状態と言い換えても良い。
また、ステータス4(最小出力状態)において、繰り返しパターン電極11aのうち検出電極群13bが設けられている領域と対向する電極(図5中ステータス4において紙面下側から4番目の電極)を第3対向電極とする。このとき、検出電極群13bが備える複数の検出電極の各々(13f及び13g)の中心は、第3対向電極の中心と位置が異なる。言い換えれば、最大出力状態において、検出電極群13bが備える複数の検出電極の各々(13f及び13g)は、第3対向電極と対向していない。
前述の各検出電極群の長さは次のように言い換えることもできる。すなわち、繰り返しパターン電極11a(複数の第2電極)の周期をPとし、M1及びM2を自然数とし、繰り返しパターン電極11aが配列されている方向を所定の方向とする。このとき、検出電極群13bは、所定の方向において、(M1+0.5)×Pの長さを有し、検出電極群13cは、所定の方向において、(M2+0.5)×Pの長さを有する。前述のように検出電極群13bと検出電極群13cは互いに同じ長さを有していても良い。
なお、ここでいう検出電極群の長さとは検出電極群が設けられている領域の長さと考えることもできる。検出電極群が設けられている領域とは、例えば後述の図14に示すように、各検出電極群が備える検出電極のうち最も端に設けられた検出電極を含む領域(図14に示す括弧で示される領域)のことをいう。
言い換えれば、第1検出電極群が設けられている領域とは、複数の第2電極が配列されている方向において、複数の第1検出電極のうち最も互いに離れている2つの第1検出電極間の領域である。同様に、第2検出電極群が設けられている領域とは、複数の第2電極が配列されている方向において、複数の第2検出電極のうち最も互いに離れている2つの第2検出電極間の領域である。
一方、検出電極群13c(S1−電極)は、検出電極群13b(S1+電極)に対して180度の位相差を有する。このため、検出電極群13c(S1−電極)と繰り返しパターン電極11aとの重なり領域の面積は、ステータス0では「0」、ステータス4では「2」となり、ギャップが一定であれば、静電容量も重なり面積と共に変化する。
より詳細には、ステータス0(最大出力状態)において、繰り返しパターン電極11aのうち検出電極群13cが設けられている領域と対向する電極(図5中ステータス0において紙面下側から6番目の電極)を第1対向電極とする。このとき、検出電極群13cが備える複数の検出電極のうち少なくとも一つ(13hあるいは13i)の中心は第1対向電極の中心と位置が異なる。言い換えれば、最大出力状態において、検出電極群13cが備える複数の検出電極のうち少なくとも一つ(13hあるいは13i)は第1対向電極と対向していない。
また、ステータス4(最小出力状態)において、繰り返しパターン電極11aのうち検出電極群13cが設けられている領域と対向する複数の電極(図5中ステータス4において紙面下側から5番目及び6番目の電極)を複数の第2対向電極とする。このとき、検出電極群13cが備える複数の検出電極(13h及び13i)の各々の中心は、複数の第2対向電極の各々の中心と略一致している。
なお、ここでいう略一致とは次のように言い換えることもできる。すなわち、検出電極群13cが備える複数の検出電極の各々(13h及び13i)の中心と複数の第2対向電極の各々の中心とのずれ量をD1とし、検出電極群13cが備える複数の検出電極の各々の幅をW1とする。このとき、最小出力状態において、0≦D1/W1≦0.20あるいは0≦D1/W1≦0.15あるいは0≦D1/W1≦0.10を満足する状態を前述の略一致している状態と言い換えても良い。
以上まとめると、最大出力状態においては、検出電極群13bが設けられている領域と可動電極11が重なる面積は、検出電極群13cが設けられている領域と可動電極11が重なる面積よりも大きい。そして、最小出力状態においては、検出電極群13bが設けられている領域と可動電極11が重なる面積は、検出電極群13cが設けられている領域と可動電極11が重なる面積よりも小さい。
このように、検出電極群13b(S1+電極)および検出電極群13c(S1−電極)に関し、静電容量は互いに逆に変化する。本実施例において、検出電極群13b(S1+電極)および検出電極群13c(S1−電極)は、一組の変位検出電極対である。
これらの検出電極群13b,13cが、複数の検出電極で構成されており、静電容量が互いに逆に変化する関係は、次の構成に相当する。検出電極群13b(S1+電極)が最大出力になる、ステータス0のときを考える。このとき、検出電極群13b(S1+電極)が設けられている領域と可動電極11の繰り返しパターン電極11aとの重なり領域の面積は、検出電極群13c(S1−電極)が設けられている領域と繰り返しパターン電極11aの重なり面積より大きい。また、繰り返しパターン電極11aのうち、検出電極群13c(S1−電極)が設けられている領域と重なる部分の中心は、検出電極13h、検出電極13iの各電極中心とは位置異なる。これによる効果は後述する。
検出電極13jと検出電極13kおよび検出電極13mと検出電極13nも電極長さ0.5Pで電極の中心間距離が1Pである。検出電極群13d(S2+電極)および検出電極群13e(S2−電極)もそれぞれ(M+0.5)×P(Mは自然数)の式で表される長さを有し、互いに180度の位相差を有する一組の変位検出電極対である。また、検出電極群13d(S2+電極)および検出電極群13e(S2−電極)に関し、前式中のMは検出電極群13b(S1+電極)および検出電極群13c(S1−電極)と同様に1である。
図5に示されるように、これら二組の変位検出電極対は、検出方向BにおいてピッチPに換算して3P+(1/4)Pの位相ずれを有し、二組の静電容量は互いに(1/4)Pだけずれた変化を示す。すなわち、検出電極群13d(S2+電極)と繰り返しパターン電極11aとの重なり領域の面積は、ステータス2では「2」であり、ステータス6では「0」となる。一方、検出電極群13e(S2−電極)は、検出電極群13d(S2+電極)に対して180度の位相差を有する。このため、検出電極群13d(S2+電極)および検出電極群13e(S2−電極)の同ステータスにおける重なり領域の面積は、互いに逆の関係となる。
(固定電極13と可動電極11により形成される電場形状)
次に、図6を参照して、本実施例における固定電極13と可動電極11により形成される電場形状を説明する。図6は固定電極13の検出電極群13b(S1+電極)の2つの電極13f、13gと可動電極11の繰り返しパターン電極11aを検出方向Bおよび長さhの方向の両方向に直交する方向から見た図である。本来はギャップに対して固定電極13と可動電極11の厚みは十分に小さいが、説明のため、強調して大きく示している。図6(a)はステータス0、図6(b)はステータス4の状態を示している。図6(a)は検出電極群13b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aの重なり領域の面積が最も大きくなる最大出力状態で、電極と一点鎖線で囲まれた部分に電場が形成される。図6(b)は検出電極群13b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aの重なり領域の面積が最も小さくなる最小出力状態で、電極と一点鎖線で囲まれた部分に電場が形成される。
次に、図6を参照して、本実施例における固定電極13と可動電極11により形成される電場形状を説明する。図6は固定電極13の検出電極群13b(S1+電極)の2つの電極13f、13gと可動電極11の繰り返しパターン電極11aを検出方向Bおよび長さhの方向の両方向に直交する方向から見た図である。本来はギャップに対して固定電極13と可動電極11の厚みは十分に小さいが、説明のため、強調して大きく示している。図6(a)はステータス0、図6(b)はステータス4の状態を示している。図6(a)は検出電極群13b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aの重なり領域の面積が最も大きくなる最大出力状態で、電極と一点鎖線で囲まれた部分に電場が形成される。図6(b)は検出電極群13b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aの重なり領域の面積が最も小さくなる最小出力状態で、電極と一点鎖線で囲まれた部分に電場が形成される。
(コンデンサの等価回路および信号処理部)
次に、図7を参照して、本実施例における固定電極13と可動電極11とにより形成されるコンデンサの等価回路および信号処理部について説明する。図7は、固定電極13と可動電極11との等価回路図および信号処理ブロック図である。
次に、図7を参照して、本実施例における固定電極13と可動電極11とにより形成されるコンデンサの等価回路および信号処理部について説明する。図7は、固定電極13と可動電極11との等価回路図および信号処理ブロック図である。
固定電極13は、基準電極部13a(GND電極)、検出電極群13b(S1+電極)、検出電極群13c(S1−電極)、検出電極群13d(S2+電極)、検出電極群13e(S2−電極)を有する。図7に示されるように、固定電極13を構成する各電極は、可動電極11に対してコンデンサを形成する。ここで、基準電極部13aおよび検出電極群13b〜13eにより形成されるコンデンサの静電容量をそれぞれCG、CS1、CS2、CS3、CS4とする。ギャップdが一定である場合、静電容量CS1、CS2、CS3、CS4は、可動電極11の移動により変化する可変コンデンサである。一方、静電容量CGは、可動電極11の移動により変化しない固定値のコンデンサである。
15はアナログスイッチアレイ、16は静電容量検出回路、および、17は演算回路(検出手段または信号処理手段)である。アナログスイッチアレイ15は、アナログスイッチ15b、15c、15d、15eを有する。本実施例において、アナログスイッチ15b〜15eは、検出電極群13b〜13eに直列でそれぞれ接続されている。演算回路17は、時分割で、アナログスイッチ15b〜15eを一つずつ短絡状態に設定する。静電容量検出回路16は、静電容量CGと、静電容量CGと直列に繋がっている静電容量CS1、CS2、CS3、CS4のそれぞれとを合成した静電容量(合成静電容量)を検出する。演算回路17は、静電容量検出回路16による検出結果に基づいて、信号S1、S2をそれぞれ出力する。これらの信号の詳細については、後述する。
(コンデンサの静電容量に基づく出力信号)
次に、図8を参照して、固定電極13と可動電極11とにより形成されるコンデンサの静電容量に基づく出力信号について説明する。図8は、固定電極13と可動電極11とにより形成される静電容量に基づく出力信号のシミュレーション結果を示すグラフである。図8は、特に、検出電極群13b(S1+電極)、検出電極群13c(S1−電極)に対応するコンデンサの静電容量に関して示している。図8において、横軸は図5を参照して説明したステータス0〜7および0、縦軸は静電容量(合成容量、差動信号)をそれぞれ示している。
次に、図8を参照して、固定電極13と可動電極11とにより形成されるコンデンサの静電容量に基づく出力信号について説明する。図8は、固定電極13と可動電極11とにより形成される静電容量に基づく出力信号のシミュレーション結果を示すグラフである。図8は、特に、検出電極群13b(S1+電極)、検出電極群13c(S1−電極)に対応するコンデンサの静電容量に関して示している。図8において、横軸は図5を参照して説明したステータス0〜7および0、縦軸は静電容量(合成容量、差動信号)をそれぞれ示している。
図8は、静電容量CGとCS1との合成容量CG_S1、および、静電容量CGとCS2との合成容量CG_S2を示すグラフである。直列に繋がった二つのコンデンサの合成容量CG_S1、CG_S2は、それぞれ、その逆数が二つのコンデンサの逆数の和に等しい。すなわち、1/CG_S1=1/CG+1/CS1、および、1/CG_S2=1/CG+1/CS2が成立する。これは、図8中の実線71a(CG_S1)、実線71b(CG_S2)で示される合成容量に相当する。
図8において、実線71a(CG_S1)は、検出電極群13b(S1+電極)と基準電極部13a(GND電極)との合成容量を示す。また、実線71b(CG_S2)は、検出電極群13c(S1−電極)と基準電極部13a(GND電極)との合成容量を示す。検出電極群13c(S1−電極)は、検出電極群13b(S1+電極)に対して180度の位相差を有する。このため、実線71b(CG_S2)のステータス4における出力値は、実線71a(CG_S1)のステータス0における出力値と等しい。実線71cは、変位検出電極対の差動出力(差動信号)を示している。実線71cは、実線71a(CG_S1)と実線71b(CG_S2)の差動信号S1を示す。
すなわち、実線71cは、実線71a(CG_S1)から実線71b(CG_S2)を減算した信号に相当する。これらの差動演算は、図7に示される演算回路17により行われる。検出電極群13d(S2+電極)、検出電極群13e(S2−電極)についても同様に、基準電極部13a(GND電極)との合成容量CG_S3、CG_S4の差動信号S2を演算する。
レンズマイコン101が演算回路17からこの差動信号を随時読み込むことにより、MF操作リング108の回転をより細かく検出することが可能となるため、MFモードでの操作性を更に向上させることができる。また本実施例において、変位検出のための複数の変位検出電極対および参照電極対からの静電容量情報は、差動演算により得られる。このため、浮遊容量や各電極間や近辺の物質間に生じる寄生容量に対してより安定した変位検出を行うことができる。
(比較例における固定電極13と可動電極11の関係)
次に、図9を参照して、本発明の比較例における、各検出電極群13b〜13eに複数の検出電極を設けずに、一体の矩形形状を設けた場合の固定電極13と可動電極11の関係を説明する。図5と同様に、図9の上側に固定電極13の各電極パターン、下側に可動電極11の繰り返しパターン電極11aが斜線で示されている。図9は、ステータス0〜7、および、ステータス0の順に、可動電極11が検出方向Bにおいて左側から右側に移動していく過程での特徴的な8つの状態を示している。
次に、図9を参照して、本発明の比較例における、各検出電極群13b〜13eに複数の検出電極を設けずに、一体の矩形形状を設けた場合の固定電極13と可動電極11の関係を説明する。図5と同様に、図9の上側に固定電極13の各電極パターン、下側に可動電極11の繰り返しパターン電極11aが斜線で示されている。図9は、ステータス0〜7、および、ステータス0の順に、可動電極11が検出方向Bにおいて左側から右側に移動していく過程での特徴的な8つの状態を示している。
検出電極群130b(S1+電極)、検出電極群130c(S1−電極)は、電極長さが1.5Pであり、互いに180度の位相差を有する。検出電極群130b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aとの重なり領域の面積は、ステータス0では「2」、ステータス4では「1」、ステータス7を経てステータス0の面積「2」に戻る。以降、この変化を繰り返す。また、検出電極群130c(S1−電極)と繰り返しパターン電極11aとの重なり領域の面積は、ステータス0では「1」、ステータス4では「2」となる。検出電極群130d(S2+電極)、検出電極群130e(S2−電極)も電極長さが1.5Pであり、互いに180度の位相差を有する一組の変位検出電極対である。
ここで、検出電極群に複数の検出電極を設けた場合と、一体の矩形形状を設けた場合を比較する。検出電極群130b(S1+電極)の重なり領域の面積が最大になる最大出力状態(ステータス0)での面積はどちらも「2」である。一方、検出電極群130b(S1+電極)の重なり領域の面積が最小になる最小出力状態(ステータス4)での面積は検出電極群に複数の検出電極を設けた場合が「0」、一体の矩形形状を設けた場合が「1」になる。
(比較例における電場形状)
次に、図10を参照して、各検出電極群13b〜13eに複数の検出電極を設けずに、一体の矩形形状を設けた場合の固定電極13と可動電極11により形成される電場形状を説明する。図10は、固定電極13の検出電極群130b(S1+電極)と可動電極11の繰り返しパターン電極11aを検出方向Bと長さhに対して直交する方向から見た図である。図10(a)はステータス0、図10(b)ステータス4の状態を示している。
次に、図10を参照して、各検出電極群13b〜13eに複数の検出電極を設けずに、一体の矩形形状を設けた場合の固定電極13と可動電極11により形成される電場形状を説明する。図10は、固定電極13の検出電極群130b(S1+電極)と可動電極11の繰り返しパターン電極11aを検出方向Bと長さhに対して直交する方向から見た図である。図10(a)はステータス0、図10(b)ステータス4の状態を示している。
図10(a)は検出電極群130b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aの重なり領域の面積が最も大きくなる最大出力状態で、電極と一点鎖線で囲まれた部分に電場が形成される。図6(a)と比べると、一体の矩形形状になった部分まで電場が形成されている。
このため、ステータス0における重なり領域の面積は複数検出電極を設けた場合、一体の矩形形状を設けた場合共に「2」であるが、出力値は一体の矩形形状を設けた場合の方が大きくなる。図10(b)は検出電極群130b(S1+電極)と繰り返しパターン電極11aの重なり領域の面積が最も小さくなる最小出力状態で、電極と一点鎖線で囲まれた部分に電場が形成される。
(比較例における出力信号)
次に、図11を参照して、各検出電極群13b〜13eに複数の検出電極を設けずに、一体の矩形形状を設けた場合の出力信号について説明する。図11は、固定電極13と可動電極11とにより形成される静電容量に基づく出力信号のシミュレーション結果を示すグラフである。横軸がステータス、縦軸が出力を示している。破線710aが実線71a、破線710bが実線71b、破線710cが実線71cに対応していて、実線が検出電極に複数の検出電極を設けた場合、破線が一体の矩形形状を設けた場合の出力を示している。
次に、図11を参照して、各検出電極群13b〜13eに複数の検出電極を設けずに、一体の矩形形状を設けた場合の出力信号について説明する。図11は、固定電極13と可動電極11とにより形成される静電容量に基づく出力信号のシミュレーション結果を示すグラフである。横軸がステータス、縦軸が出力を示している。破線710aが実線71a、破線710bが実線71b、破線710cが実線71cに対応していて、実線が検出電極に複数の検出電極を設けた場合、破線が一体の矩形形状を設けた場合の出力を示している。
つまり、破線710aは、検出電極群130b(S1+電極)と基準電極部13a(GND電極)との合成容量を示す。また、破線710bは、検出電極群130c(S1−電極)と基準電極部13a(GND電極)との合成容量を示す。破線710cは、変位検出電極対の差動出力(差動信号)を示している。破線710cは、破線710aと破線710bの差動信号S1を示す。すなわち、破線710cは、破線710cから破線710bを減算した信号に相当する。
破線710aと実線71aを比較すると、破線710aの出力が大きい。これは、検出電極に一体の矩形形状を設けた場合に、複数の検出電極を設けた場合では電極がなかった部分まで電場が形成されているためである。このため、一体の矩形形状を設けた場合の方が、複数の検出電極を設けた場合よりも出力が大きくなる。これは、破線710bと実線71bに関しても同様である。
一方、差動信号の破線710cと実線71cを比較すると、実線71cの振幅が大きい。これは、繰り返しパターン電極11aと検出電極の重なり領域の面積が最小になる位相での重なり領域の面積が、複数の検出電極を設けた場合よりも一体の矩形を設けた場合が0.5P分多いためである。このため、検出電極に一体の矩形形状を設けた検出電極群130b(S1+電極)は、出力最大状態と出力最小状態の差が小さくなってしまう。これによって、破線710cの振幅が実線71cよりも小さくなっている。
(本実施例と比較例との性能差)
このように、本実施例においては、最大出力状態において、複数の第2電極のうち検出電極群13cが設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とする。このとき、複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている。言い換えれば、最大出力状態において、複数の第2検出電極の各々は第1対向電極とは対向しない。
このように、本実施例においては、最大出力状態において、複数の第2電極のうち検出電極群13cが設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とする。このとき、複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている。言い換えれば、最大出力状態において、複数の第2検出電極の各々は第1対向電極とは対向しない。
ここでいう第1対向電極とは、図5に示すステータス0(最大出力状態)において、繰り返し電極パターン11aのうち検出電極13cが設けられている領域と対向する電極(図5中ステータス0において紙面下側から6番目の電極)のことをいう。図9に示す比較例において、第1対向電極の中心と検出電極群130cの中心が一致している。
すなわち、検出電極に一体の矩形形状を設けた比較例よりも、複数の検出電極を設けた本実施例の方が、最大出力状態において、検出電極13cと繰り返しパターン11aとの重なり面積を小さくすることができる。その結果、比較例と比較して本実施例の方が差動信号出力の振幅を大きくできる。
差動信号の出力振幅が大きくできると、出力に発生するノイズに対するS/Nが大きくなる。このため、レンズマイコン101が演算回路17から読み込んだ差動信号の分解能が高くなる。これによって、MF操作リング108の回転をより細かく検出することが可能となるため、MFモードでの操作性を更に向上させることができる。
本実施例中で、繰り返しパターン電極11aの1ピッチ内の電極の有無(割合)は半々であるとしたが、これ以外の割合でも本実施例の効果が損なわれることはない。また、検出電極の長さを0.5Pとしたが、これ以外の長さでも本実施例の効果が損なわれることはない。
(本実施例によって得られる効果)
このように、本実施例における操作角検出器109は、複数の検出電極群を有する固定電極13(第1電極部)と、所定の周期パターンを有し、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する可動電極11(第2電極部)を備える。さらに、操作角検出器109は、固定電極13と可動電極11との間の静電容量に基づいて変位を検出する演算回路17(検出手段)とを備えている。
このように、本実施例における操作角検出器109は、複数の検出電極群を有する固定電極13(第1電極部)と、所定の周期パターンを有し、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する可動電極11(第2電極部)を備える。さらに、操作角検出器109は、固定電極13と可動電極11との間の静電容量に基づいて変位を検出する演算回路17(検出手段)とを備えている。
そして、前述の複数の検出電極群は、複数の第1検出電極を有する検出電極群13b(第1検出電極群)を含んでいる。さらに、前記所定の周期パターンに関して検出電極群13bに対して180度の位相差を有するとともに複数の第2検出電極を有する検出電極群13c(第2検出電極群)を含んでいる。
ここで、検出電極群13bと検出電極群13cが重なる面積が最大になる状態を最大出力状態とする。このとき、最大出力状態において、検出電極群13bが設けられている領域と可動電極11が重なる面積は、検出電極群13cが設けられている領域と可動電極11が重なる面積よりも大きい。
そして、最大出力状態において、複数の第2電極のうち検出電極群13cが設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とする。このとき、複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている。
このような構成によって、本実施例における操作角検出器109は、フォトインタラプのように光を発する必要がないため、フォトインタラプタを用いた従来の変位検出装置と比較して消費電力を低くすることができる。
(その他の効果)
また、フォトインタラプタは、遮光部とスリット部で出力信号が変化しており、遮光部の幅内やスリットの幅内での移動では、フォトインタラプタの出力が変化しにくい。このため、一対のフォトインタラプタのいずれの出力も変化しない範囲では、回転操作部の回転を検出することができないため、回転検出の分解能を更に高めることは困難である。
また、フォトインタラプタは、遮光部とスリット部で出力信号が変化しており、遮光部の幅内やスリットの幅内での移動では、フォトインタラプタの出力が変化しにくい。このため、一対のフォトインタラプタのいずれの出力も変化しない範囲では、回転操作部の回転を検出することができないため、回転検出の分解能を更に高めることは困難である。
これに対して、本実施例における操作角検出器109では、前述のように、差動信号出力の振幅が大きくできる。差動信号の出力振幅が大きくできると、出力に発生するノイズに対するS/Nが大きくなる。このため、レンズマイコン101が演算回路17から読み込んだ差動信号の分解能が高くなる。その結果、フォトインタラプタを用いた従来の変位検出装置と比較して分解能を高くすることができる。なお、以後の本発明の各実施例においても本実施例と同様の効果を得ることができる。
次に、図12、図13を参照して、本発明の実施例2について説明する。本実施例は、検出電極の長さおよび位置が実施例1とは異なる。
図12は、固定電極の検出電極群132b(S1+電極)と、位相が180度異なる検出電極群132c(S1−電極)及び可動電極の繰り返しパターン電極112aを示している。検出電極群132b(S1+電極)は繰り返しパターン電極112aとの重なり領域の面積が最大になる最大出力状態に、検出電極群132c(S1−電極)は繰り返しパターン電極112aとの重なり領域の面積が最小になる最小出力状態に相当する。
検出電極群132b(S1+電極)、検出電極群132c(S1−電極)は、複数の検出電極132f〜132kで構成される。可動電極の繰り返しパターン電極112aの長さ0.5Pに対して、複数の検出電極132f〜132kの各電極長さは0.4Pである。また、図12(a)の各検出電極の中心(図12(a)中の一点鎖線)間距離は1Pである。すなわち、N×P(Nは自然数)の式で表される長さにおいて、Nが1の場合に相当する。
言い換えれば、繰り返しパターン電極112aの周期をPとし、N1及びN2を自然数とするとき、第2検出電極群としての検出電極群132cが備える複数の第2検出電極の各々の中心間距離はN1×Pとなっている。同様に、第1検出電極群としての検出電極群132bが備える複数の第1検出電極の各々の中心間距離はN2×Pとなっている。
本実施例のように繰り返しパターン電極112aの長さと複数の検出電極132f〜132kの長さが一致していない場合でも、実施例1と同様に、検出電極に一体の矩形形状を設けた場合に比べて差動信号の出力振幅は大きくなる。これは、実施例1と同様に、検出電極部と繰り返しパターン電極112aの重なり領域の面積が最小になる最小出力状態における、重なり領域の面積が少ないためである。
次に、図12(b)のように、複数の検出電極132f〜132kの中心間距離がN×P(Nは自然数)近傍にない場合を説明する。電極132fと電極132gの中心間距離が1.25P、電極132gと電極132hの中心間距離が0.75Pである。この場合、電極132f、電極132hと繰り返しパターン電極112aの中心が一致する位相(重なり領域の面積最大の位相)のとき、電極132g、電極132hと繰り返しパターン電極112aの中心が一致しない。
すなわち、電極132f、電極132hの出力が最大になるときの位相と、電極132gの出力が最大になるときの位相がずれる。出力が最小になるときの位相においても同様に、ある電極が出力最小になる位相と、他の電極の出力が最小になるときの位相がずれる。
次に、図13を参照して、配置を図12(a)、図12(b)のようにしたときの出力信号について説明する。図13は、固定電極13と可動電極11とにより形成される静電容量に基づく出力信号を示すグラフである。横軸がステータス、縦軸が出力を示している。実線72a、一点鎖線720aは、検出電極群132b(S1+電極)と基準電極部13a(GND)の合成容量を示している。実線72b、一点鎖線720bは、検出電極群132c(S1−電極)と基準電極部13a(GND)の合成容量を示している。実線72c、一点鎖線720cは、変位検出電極対の差動出力(差動信号)を示している。実線72cは、実線72aと実線72bの差動信号を示し、一点鎖線720cは、一点鎖線720aと一点鎖線720bの差動信号を示している。
前述のように、一点鎖線で示される出力値は、電極132gと、電極132f、電極132hの出力が最大になる位相がずれているため、ピークがずれた山を重ねたような形になる。このため、出力形状が非対称ないびつ形状になる。このように出力形状がいびつになると、MF操作リング108の回転を安定させて動かすことが難しくなる。また、一点鎖線720cの出力振幅は、実線72cの出力振幅よりも小さい。これも、電極132gと、電極132f、電極132hの出力が最大になる位相がずれているためである。
このため、図12(a)のように、複数の検出電極132f〜132kの各電極の中心間距離がN×P(Nは自然数)近傍になることが望ましい。これにより、可動電極が検出方向Bに動いている最中でも、電極132f、電極132g、電極132hと繰り返しパターン電極112aの重なり領域の面積が近くなる。すなわち、出力形状がいびつになることと、出力振幅が小さくなることを防ぐことができる。このため、MF操作リング108の回転を安定させて動かすことができる効果が得られる。
次に、図14を参照して、本発明の実施例3について説明する。本実施例は、検出電極の形状および位置が実施例1、2とは異なる。
図14は、固定電極の検出電極群133b(S1+電極)と、位相が180度異なる検出電極群133c(S1−電極)及び可動電極の繰り返しパターン電極113aを示している。検出電極群133b(S1+電極)、検出電極群133c(S1−電極)はそれぞれ複数の電極133f、133g、133h、133iで構成される。電極133fと電極133gの中心間距離は2Pである。すなわち、N×P(Nは自然数)の式で表される長さにおいて、Nが2の場合に相当する。このように、電極133fと電極133gの中心間距離が2P以上でも、繰り返しパターン電極113aと検出電極群133b(S1+電極)のステータスごとの重なり領域の面積は実施例1の場合と同様であり、同様の出力が得られる。
次に、図15を参照して、本発明の実施例4について説明する。本実施例は、検出電極の形状が実施例1、2、3とは異なる。
図15は、検出電極群134b、検出電極群134cを、複数の電極134f、134gを繰り返しパターン電極114aと重なる範囲(図4(c)の長さhの範囲)で繋いだ形で構成している。言い換えれば、第1検出電極群としての検出電極群134bは、複数の第1検出電極(134f及び134g)と、複数の第1検出電極間をつなぐ第1連結電極を備えている。同様に、第3検出電極群としての検出電極群134cは、複数の第2検出電極と、複数の第2検出電極間をつなぐ第2連結電極を備えている。そして、最大出力状態において、第2検出電極のうち少なくとも一つの中心は、第1対向電極(図15において第2連結電極と対向する可動電極)の中心と位置が異なる。
複数の電極134f、134gの高さTに対する繋ぎ部高さEの割合が半分とすると、変位検出電極対の差動出力(差動信号)は、図11の実線71cと破線710cの中間付近になる。この場合も、検出電極に一体の矩形形状を設けた場合に比べて、差動信号の出力振幅向上効果があるため、MF操作リング108の回転をより細かく検出することが可能となり、MFモードでの操作性を更に向上させることができる。
また、実施例1〜3では、二つの電極を繋ぐ配線(不図示)を繰り返しパターン電極114aと重なる範囲(図4(c)の長さhの範囲)外に必要となる。それに対して本実施例では、複数の電極134f、134gを繋ぐ配線を繰り返しパターン電極114aと重なる範囲(図4(c)の長さhの範囲)外に別に用意する必要がないため、固定電極の配線も含めた幅(紙面上下方向)を小さくできる。
次に、図16、図17を参照して、本発明の実施例3について説明する。本実施例は、検出電極の形状および位置が実施例1〜4とは異なる。
図16は、固定電極の検出電極群135b(S1+電極)と、位相が180度異なる検出電極群135c(S1−電極)及び可動電極の繰り返しパターン電極115aを示している。検出電極群135b(S1+電極)、検出電極群135c(S1−電極)はそれぞれ複数の電極135f、135g、135h、135iで構成される。電極135fと電極135gは、各電極長さが0.4Pであり、二つの電極の端から端までの距離が1.5Pになるように形成している。このように形成すると、電極135fと電極135gの電極中心間の距離がN×Pにならない。
図17は、固定電極13と可動電極11とにより形成される静電容量に基づく出力信号を示すグラフである。横軸がステータス、縦軸が出力を示している。実線76a、76b、76cが電極135fと電極135gの電極中心間距離が1Pとなる配置とした時の出力値であり、一点鎖線760a、760b、760cが電極135fと電極135gが本実施例の配置としたときの出力値である。実線76a、一点鎖線760aは、検出電極群135b(S1+電極)と基準電極部13a(GND)の合成容量を示している。
実線76b、一点鎖線760bは、検出電極群135c(S1−電極)と基準電極部13a(GND)の合成容量を示している。実線76c、一点鎖線760cは、変位検出電極対の差動出力(差動信号)を示している。実線76cは、実線76aと実線76bの差動信号を示し、一点鎖線760cは、一点鎖線760aと一点鎖線760bの差動信号を示している。
本実施例では、電極135fと電極135gの電極中心間の距離がN×Pにならないため、実施例2で説明したように、各電極の出力ピークになる位相がずれる。このため、ピークがズレた山を重ねたような形になり、出力振幅が小さくなる。しかし、このような場合でも、検出電極群135b(S1+電極)に一体の矩形形状を設けた場合と比較した時に、差動信号の出力振幅が大きい効果は失われない。
次に、図18を参照して、本発明の実施例6について説明する。図18は、本実施例における交換レンズ1aの構成図である。
図18(a)は、交換レンズ1aの外観図である。108aは、MF操作リング(可動部材)である。図18(b)は、MF操作リング108aの斜視図である。111は可動電極である。実施例1の可動電極11は円筒形状の電極であるが、本実施例の可動電極111は円盤状の電極である。図18(b)に示されるように、可動電極111は、放射方向に延びた電極が円周方向に扇状電極の有無の繰り返しパターンを有して構成されており、可動電極111のうちいわゆる櫛歯部分は外側で繋がって互いの扇状電極が導通している。
図18(c)は、可動電極111が一体化されたMF操作リング108aと、基準電極および検出電極を含む固定電極113とを光軸方向から見た図である。図18(d)は、固定電極113を含むハード基板のみを示している。周方向に長い扇状の固定電極113には、実施例1にて説明した基準電極および検出電極が周方向に沿って同様に配置されている。可動電極111および固定電極113は、光軸方向に一定のギャップを保って対向して設けられている。本実施例の構成においても、実施例1と同様の変位検出が可能である。
(変形例)
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
例えば、各実施例において、第1電極(固定電極13)は固定部材(案内筒12)に設けられており、第2電極(可動電極11)は可動部材(MF操作リング108)に設けられている。ただし、各実施例はこれに限定されるものではなく、第1電極を可動部材に設け、第2電極を固定部材に設けてもよい。
11 可動電極(第2電極部)
11a 繰り返しパターン(複数の第2電極)
13 固定電極(第1電極部)
13a 基準電極部
13b 検出電極群(第1検出電極群)
13c 検出電極群(第2検出電極群)
13f、13g 検出電極(複数の第1検出電極)
13h、13i 検出電極(複数の第2検出電極)
17 演算回路(検出手段)
109 操作角検出器(変位検出装置)
11a 繰り返しパターン(複数の第2電極)
13 固定電極(第1電極部)
13a 基準電極部
13b 検出電極群(第1検出電極群)
13c 検出電極群(第2検出電極群)
13f、13g 検出電極(複数の第1検出電極)
13h、13i 検出電極(複数の第2検出電極)
17 演算回路(検出手段)
109 操作角検出器(変位検出装置)
Claims (20)
- 複数の検出電極群を有する第1電極部と、
所定の周期パターンを有し、前記第1電極部に対して相対移動可能な複数の第2電極を有する第2電極部と、
前記第1電極部と前記第2電極部との間の静電容量に基づいて変位を検出する検出手段とを有し、
前記複数の検出電極群は、複数の第1検出電極を有する第1検出電極群と、前記所定の周期パターンに関して前記第1検出電極群に対して180度の位相差を有するとともに複数の第2検出電極を有する第2検出電極群を含み、
前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最大になる状態を最大出力状態とするとき、
前記最大出力状態において、前記第1検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積は、前記第2検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積よりも大きく、
前記最大出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する電極を第1対向電極とするとき、
前記複数の第2検出電極のうち少なくとも一つの第2検出電極は、前記少なくとも一つの第2検出電極の中心が前記第1対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている、
ことを特徴とする変位検出装置。 - 前記第2電極部の前記所定の周期パターンは、所定の方向において所定の周期を有する繰り返しパターンである、
ことを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。 - 前記第1電極部は前記所定の方向において前記所定の周期の整数倍の長さを有する基準電極部をさらに有する、
ことを特徴とする請求項2に記載の変位検出装置。 - 前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最小になる状態を最小出力状態とし、前記最小出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する複数の電極を複数の第2対向電極とするとき、
前記最小出力状態において、
前記複数の第2検出電極の各々の中心は、前記複数の第2対向電極の各々の中心と略一致している、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最小になる状態を最小出力状態とし、前記最小出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第2検出電極群が設けられている領域と対向する複数の電極を複数の第2対向電極とし、前記複数の第2検出電極の各々の中心と前記複数の第2対向電極の各々の中心とのずれ量をD1とし、前記複数の第2検出電極の各々の幅をW1とするとき、
前記最小出力状態において、
0≦D1/W1≦0.1
を満足する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記複数の第2電極の周期をPとし、N1を自然数とするとき、
前記複数の第2検出電極は、前記複数の第2検出電極の各々の中心間距離がN1×Pになるように設けられている、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記最大出力状態において、
前記複数の第2検出電極の各々は前記第1対向電極と対向しない、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記複数の第2電極の周期をPとし、M1を自然数とするとき、
前記第1検出電極群は、所定の方向において、(M1+0.5)×Pの長さを有する、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記第1検出電極群は2つの前記第1検出電極を有する第1検出電極対である、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記複数の第2電極の周期をPとし、M2を自然数とするとき、
前記第2検出電極群は、所定の方向において、(M2+0.5)×Pの長さを有する、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記第2検出電極群は2つの前記第2検出電極を有する第2検出電極対である、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記第1検出電極群と前記第2電極部が重なる面積が最小になる状態を最小出力状態とするとき、
前記最小出力状態において、前記第1検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積は、前記第2検出電極群が設けられている領域と前記第2電極部が重なる面積よりも小さく、
前記最小出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第1検出電極群が設けられている領域と対向する電極を第3対向電極とするとき、
前記複数の第1検出電極のうち少なくとも一つの第1検出電極は、前記少なくとも一つの第1検出電極の中心が前記第3対向電極の中心とは位置が異なるように設けられている、
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記最大出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第1検出電極群が設けられている領域と対向する複数の電極を複数の第4対向電極とするとき、前記複数の第1検出電極の各々の中心は、前記複数の第4対向電極の各々の中心と略一致している、
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記最大出力状態において、前記複数の第2電極のうち前記第1検出電極群が設けられている領域と対向する複数の電極を複数の第4対向電極とし、前記複数の第1検出電極の各々の中心と前記複数の第4対向電極の各々の中心とのずれ量をD2とし、前記複数の第1検出電極の各々の幅をW2とするとき、
前記最大出力状態において、
0≦D2/W2≦0.20
を満足する、
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記複数の第2電極の周期をPとし、N2を自然数とするとき、
前記複数の第1検出電極は、前記第1検出電極の各々の中心間距離がN2×Pになるように設けられている、
ことを特徴とする請求項1乃至14のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記最小出力状態において、
前記複数の第1検出電極の各々は前記複数の第3対向電極と対向しない、
ことを特徴とする請求項12乃至15のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記複数の第2電極が配列されている方向において、
前記第1検出電極群が設けられている領域と、前記第2検出電極群が設けられている領域との長さは同じである、
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 前記第1電極部は、複数の第3検出電極を備える第3検出電極群と、複数の第4検出電極群を備える第4検出電極群をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1乃至17のいずれか一項に記載の変位検出装置。 - 請求項1乃至18のいずれか一項に記載の変位検出装置と、
前記変位検出装置による前記変位の検出結果に基づいて駆動するレンズユニットと、を備える、
ことを特徴とするレンズ鏡筒。 - 請求項19に記載のレンズ鏡筒と、
撮像素子と、
前記撮像素子を保持するカメラ本体と、を備える、
ことを特徴とする撮像装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2020202945B1 (en) * | 2020-05-04 | 2020-08-20 | OES Limited | Optical Trial Frame |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61271411A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Mitsutoyo Mfg Corp | 静電容量型エンコ−ダ |
JP2005221472A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Olympus Corp | 静電型エンコーダ及び静電型変位測定方法 |
US20060028215A1 (en) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | John Berting | System and method for measurement of small-angle or small-displacement |
JP2007093287A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Tietech Co Ltd | リニアモータ |
JP2009169266A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nikon Corp | レンズ鏡筒およびカメラシステム |
WO2010023766A1 (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | パイオニア株式会社 | 変位センサ |
JP2010160141A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-07-22 | Fanuc Ltd | 低消費電流静電容量型検出装置 |
JP2016133374A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 株式会社ミツトヨ | 変位測定装置および変位測定方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006028215A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Kenji Suzuki | 環境適用型エマルジョン燃料とその製造方法及び製造装置 |
JP4466662B2 (ja) * | 2007-03-06 | 2010-05-26 | 株式会社デンソー | 半導体装置の金属電極形成方法 |
CN101561275B (zh) * | 2009-05-27 | 2012-01-04 | 上海交通大学 | 利用电磁和电荷弛豫工作的悬浮转子微陀螺 |
CN102087091B (zh) * | 2010-11-09 | 2012-11-07 | 浙江大学 | 基于柱状电容传感器的主轴六自由度位移解耦测量方法 |
KR102037515B1 (ko) * | 2013-08-29 | 2019-10-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 정전용량식 터치 감지 패널 |
CN104913712A (zh) * | 2014-03-13 | 2015-09-16 | 深圳市联思精密机器有限公司 | 一种容栅位移传感器 |
-
2016
- 2016-11-22 JP JP2016226712A patent/JP2018084453A/ja active Pending
-
2017
- 2017-11-20 CN CN201780072108.3A patent/CN109983308A/zh active Pending
- 2017-11-20 WO PCT/JP2017/041698 patent/WO2018097105A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-05-16 US US16/414,658 patent/US20190271573A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61271411A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Mitsutoyo Mfg Corp | 静電容量型エンコ−ダ |
JP2005221472A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Olympus Corp | 静電型エンコーダ及び静電型変位測定方法 |
US20060028215A1 (en) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | John Berting | System and method for measurement of small-angle or small-displacement |
JP2007093287A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Tietech Co Ltd | リニアモータ |
JP2009169266A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nikon Corp | レンズ鏡筒およびカメラシステム |
WO2010023766A1 (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | パイオニア株式会社 | 変位センサ |
JP2010160141A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-07-22 | Fanuc Ltd | 低消費電流静電容量型検出装置 |
JP2016133374A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 株式会社ミツトヨ | 変位測定装置および変位測定方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021518915A (ja) * | 2019-01-04 | 2021-08-05 | 重慶理工大学 | 交番電界に基づく二次元タイムグレーティング変位センサ |
JP7093845B2 (ja) | 2019-01-04 | 2022-06-30 | 通用技術集団国測時柵科技有限公司 | 交番電界に基づく二次元タイムグレーティング変位センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190271573A1 (en) | 2019-09-05 |
WO2018097105A1 (ja) | 2018-05-31 |
CN109983308A (zh) | 2019-07-05 |
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