JP2018072185A - 押圧装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびロボット - Google Patents
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Abstract
【課題】温度の影響を受け難く、押圧力をより正確に検出することのできる押圧装置、この押圧装置を備えた信頼性の高い電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびロボットを提供すること。
【解決手段】押圧装置は、対象物を押圧する押圧部と、前記押圧部により前記対象物に加わる押圧力を検出するセンサー部と、を有し、前記センサー部は、樹脂およびカーボンナノチューブを含む感圧部を有している。また、前記押圧部を移動させる移動機構を有している。また、前記センサー部は、前記押圧部に対して、前記対象物を押圧する方向の上流側に位置している。
【選択図】図3
【解決手段】押圧装置は、対象物を押圧する押圧部と、前記押圧部により前記対象物に加わる押圧力を検出するセンサー部と、を有し、前記センサー部は、樹脂およびカーボンナノチューブを含む感圧部を有している。また、前記押圧部を移動させる移動機構を有している。また、前記センサー部は、前記押圧部に対して、前記対象物を押圧する方向の上流側に位置している。
【選択図】図3
Description
本発明は、押圧装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびロボットに関するものである。
特許文献1に記載のICハンドラーでは、検査対象であるICをICソケットに押圧した状態で、そのICの電気的特性を検査するようになっている。そして、このようなICハンドラーでは、ICソケットへのICの押圧力を検出するための圧力センサーを備えており、圧力センサーでの検出結果をフィードバックすることで、ICをICソケットに適切な押圧力で押圧することができるようになっている。
しかしながら、特許文献1のICハンドラーでは、圧力センサーの構成が不明であるため、圧力センサーの構成によっては、温度変化(検査環境の温度)によって出力が変動し、正確な押圧力を検出できないおそれがある。
本発明の目的は、温度の影響を受け難く、押圧力をより正確に検出することのできる押圧装置、この押圧装置を備えた信頼性の高い電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびロボットを提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の押圧装置は、対象物を押圧する押圧部と、
前記押圧部により前記対象物に加わる押圧力を検出するセンサー部と、を有し、
前記センサー部は、樹脂およびカーボンナノチューブを含む感圧部を有していることを特徴とする。
これにより、温度の影響を受け難く、押圧力をより正確に検出することのできる押圧装置が得られる。
前記押圧部により前記対象物に加わる押圧力を検出するセンサー部と、を有し、
前記センサー部は、樹脂およびカーボンナノチューブを含む感圧部を有していることを特徴とする。
これにより、温度の影響を受け難く、押圧力をより正確に検出することのできる押圧装置が得られる。
本発明の押圧装置では、前記押圧部を移動させる移動機構を有していることが好ましい。
これにより、より確実に、押圧部で対象物を押圧することができる。
これにより、より確実に、押圧部で対象物を押圧することができる。
本発明の押圧装置では、前記センサー部は、前記押圧部に対して、前記対象物とは反対側に位置していることが好ましい。
これにより、押圧部と対象物との間にセンサー部が介在しないため、押圧部で対象物をより効率的に押圧することができる。
これにより、押圧部と対象物との間にセンサー部が介在しないため、押圧部で対象物をより効率的に押圧することができる。
本発明の押圧装置では、前記押圧部に対して、前記対象物とは反対側に位置し、前記押圧部を加熱する加熱部を有していることが好ましい。
これにより、加熱部によって加熱された押圧部によって、対象物を加熱することができる。
これにより、加熱部によって加熱された押圧部によって、対象物を加熱することができる。
本発明の押圧装置では、前記加熱部は、前記センサー部よりも前記押圧部寄りに位置していることが好ましい。
これにより、加熱部と押圧部とをより近づけて配置することができ、加熱部の熱を押圧部に効率的に伝えることができる。
これにより、加熱部と押圧部とをより近づけて配置することができ、加熱部の熱を押圧部に効率的に伝えることができる。
本発明の押圧装置では、前記センサー部と前記加熱部との間に配置されている断熱部を有していることが好ましい。
これにより、センサー部の加熱が抑制される。また、加熱部の熱を押圧部により効率的に伝えることができる。
これにより、センサー部の加熱が抑制される。また、加熱部の熱を押圧部により効率的に伝えることができる。
本発明の押圧装置では、前記加熱部は、前記センサー部に対して、前記押圧部とは反対側に位置していることが好ましい。
これにより、センサー部と押圧部との距離が近くなり、押圧力をセンサー部でより精度よく検出することができる。
これにより、センサー部と押圧部との距離が近くなり、押圧力をセンサー部でより精度よく検出することができる。
本発明の押圧装置では、前記樹脂は、熱可塑性樹脂を含んでいることが好ましい。
これにより感圧部の製造が容易となる。
これにより感圧部の製造が容易となる。
本発明の押圧装置では、前記樹脂は、ポリカーボネートを含んでいることが好ましい。
これにより、感圧部を十分に硬くすることができ、センサー部の機械的強度が向上する。
これにより、感圧部を十分に硬くすることができ、センサー部の機械的強度が向上する。
本発明の押圧装置では、前記樹脂は、熱硬化性樹脂を含んでいることが好ましい。
これにより、熱的に安定な感圧部となる。
これにより、熱的に安定な感圧部となる。
本発明の押圧装置では、前記センサー部は、一対の電極を有し、
前記一対の電極は、前記感圧部に対して互いに反対側に位置していることが好ましい。
これにより、センサー部の構成が簡単となる。
前記一対の電極は、前記感圧部に対して互いに反対側に位置していることが好ましい。
これにより、センサー部の構成が簡単となる。
本発明の押圧装置では、前記押圧部が前記対象物を押圧していない状態で、前記センサー部を与圧する与圧部を有していることが好ましい。
これにより、センサー部の応答性が向上する。
これにより、センサー部の応答性が向上する。
本発明の電子部品搬送装置は、本発明の押圧装置を有していることを特徴とする。
これにより、押圧装置の効果を享受でき、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。
これにより、押圧装置の効果を享受でき、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。
本発明の電子部品検査装置は、本発明の電子部品搬送装置と、
検査部と、を有していることを特徴とする。
これにより、電子部品搬送装置(押圧装置)の効果を享受でき、信頼性の高い電子部品検査装置が得られる。
検査部と、を有していることを特徴とする。
これにより、電子部品搬送装置(押圧装置)の効果を享受でき、信頼性の高い電子部品検査装置が得られる。
本発明のロボットは、本発明の押圧装置を有していることを特徴とする。
これにより、押圧装置の効果を享受でき、信頼性の高いロボットが得られる。
これにより、押圧装置の効果を享受でき、信頼性の高いロボットが得られる。
以下、本発明の押圧装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびロボットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品検査装置を示す斜視図である。図2は、図1に示す電子部品検査装置が有するZステージを示す斜視図である。図3は、図1に示す電子部品検査装置が有する電子部品保持部を示す断面図である。図4は、センサー部の荷重−抵抗特性を示すグラフである。図5および図6は、それぞれ、図3に示す電子部品保持部の変形例を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図3中の上側を「上」とも言い、下側を「下」とも言う。また、図1等に示すように、以下では、説明の便宜上、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とし、また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」ともいう。
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品検査装置を示す斜視図である。図2は、図1に示す電子部品検査装置が有するZステージを示す斜視図である。図3は、図1に示す電子部品検査装置が有する電子部品保持部を示す断面図である。図4は、センサー部の荷重−抵抗特性を示すグラフである。図5および図6は、それぞれ、図3に示す電子部品保持部の変形例を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図3中の上側を「上」とも言い、下側を「下」とも言う。また、図1等に示すように、以下では、説明の便宜上、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とし、また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」ともいう。
図1に示す電子部品検査装置1000は、対象物としての電子部品Qの電気的特性を検査する装置である。電子部品Qとしては、特に限定されず、例えば、半導体素子またはそのパッケージ、半導体ウェハ、CLD、OLED、有機EL等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー(加速度センサー、角速度センサー、圧力センサー、温度センサー等)、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイス等などが挙げられる。なお、本明細書において「電子部品」とは、完成した電子部品の他、電子部品を構成するための材料(例えば、半導体ウェハ等)や、電子部品の一部の部材等も含む広い概念である。
図1に示すように、電子部品検査装置1000は、電子部品Qを搬送する電子部品搬送装置1100と、電子部品Qの電気的特性を検査する検査部1900(検査用ソケット)と、を有している。また、電子部品搬送装置1100は、基台1200と、基台1200の側方に配置された支持台1300とを有している。また、基台1200には、検査対象の電子部品Qが載置されている上流側ステージ1210(検査前ステージ)と、検査済みの電子部品Qが載置されている下流側ステージ1220(検査後ステージ)と、が設けられている。そして、基台1200の、上流側ステージ1210と下流側ステージ1220との間に、検査部1900が設けられている。
また、支持台1300には、支持台1300に対してY軸方向に移動可能なYステージ1310が設けられている。また、Yステージ1310には、Yステージ1310に対してX軸方向に移動可能なXステージ1320が設けられている。また、Xステージ1320には、Xステージ1320に対してZ軸方向に移動可能なZステージ1330が設けられている。また、Zステージ1330には、電子部品Qを保持する電子部品保持部1(押圧装置)が設けられている。すなわち、電子部品搬送装置1100は、押圧装置としての電子部品保持部1を有している。
なお、図2に示すように、Zステージ1330は、X軸方向およびY軸方向に移動可能な微調整プレート1331と、微調整プレート1331に対してZ軸まわりに回動可能な回動部1332とを有している。そして、回動部1332に電子部品保持部1が取り付けられている。また、Zステージ1330には、微調整プレート1331をX軸方向に移動させるための駆動源1333x(例えば、圧電アクチュエーター)と、微調整プレート1331をY軸方向に移動させるための駆動源1333y(例えば、圧電アクチュエーター)と、回動部1332をZ軸まわりに回動させるための駆動源1333θ(例えば、圧電アクチュエーター)と、が内蔵されている。
このような電子部品検査装置1000では、まず、電子部品保持部1が上流側ステージ1210で搬送された電子部品Qを保持し、検査部1900まで搬送する。そして、電子部品保持部1で電子部品Qを把持しつつ、検査部1900に押し付けた状態で電子部品Qの電気的特性の検査が行われる。そして、検査が終了すると、電子部品保持部1が電子部品Qを下流側ステージ1220に搬送する。この作業が繰り返されることで、複数の電子部品Qの検査が行われる。
次に、押圧装置としての電子部品保持部1について説明する。図示しないが、電子部品保持部1は、例えば、ねじ止め等によって、着脱可能に回動部1332に固定されている。そのため、例えば、電子部品保持部1のメンテナンスや交換を容易に行うことができる。
図3に示すように、押圧装置としての電子部品保持部1は、対象物としての電子部品Qを押圧する押圧部としてのコンタクトプッシャー7と、コンタクトプッシャー7により電子部品Qに加わる押圧力を検出するセンサー部3と、を有している。そして、センサー部3は、樹脂311およびカーボンナノチューブ312を含む感圧部31を有している。このような構成によれば、センサー部3で電子部品Qに加わる押圧力を検出することができるため、コンタクトプッシャー7で電子部品Qを適した押圧力で押圧することができる。そのため、例えば、押圧力が強すぎることによる電子部品Qの破損や、押圧力が弱すぎることによる電子部品Qと検査部1900との接触不良等を効果的に抑制することができ、検査部1900で適切な検査を行うことができる。また、感圧部31をシート状にでき、センサー部3の小型化(薄型化)および軽量化を図ることができる。また、感圧部31が、温度の影響を受け難くなり、温度変化による検出信号の変動(ドリフト)を低減することができる。そのため、小型で、温度の影響を受け難くいセンサー部3となる。また、このような電子部品保持部1を有する電子部品搬送装置1100および電子部品検査装置1000は、それぞれ、電子部品保持部1の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
以下、このような電子部品保持部1について詳細に説明する。図3に示すように、電子部品保持部1は、回動部1332の下面に設けられた移動機構としてのエアシリンダー2と、エアシリンダー2の先端側(下側)に設けられたセンサー部3および与圧部4と、与圧部4の先端側(下側)に設けられた断熱部5と、断熱部5の先端側(下側)に設けられたブロック8と、ブロック8の先端側(下側)に設けられた加熱部としてのヒーター6と、ヒーター6の先端側(下側)に設けられた押圧部としてのコンタクトプッシャー7とを有している。
(エアシリンダー)
電子部品保持部1は、押圧部であるコンタクトプッシャー7をZ軸方向(押圧方向)に移動させる移動機構としてのエアシリンダー2を有している。このようなエアシリンダー2によれば、より確実に、コンタクトプッシャー7で電子部品Qを上流側ステージ1210や検査部1900に向けて押圧することができる。そのため、電子部品保持部1で上流側ステージ1210に載置された電子部品Qを保持する場合には、エアシリンダー2の駆動によってコンタクトプッシャー7を電子部品Qに押し当て、コンタクトプッシャー7(後述する吸着パッド92)を電子部品Qに密着させることで、より確実に、電子部品保持部1で電子部品Qを保持することができる。また、電子部品保持部1で保持した電子部品Qの電気的特性の検査を行う場合には、エアシリンダー2の駆動によってコンタクトプッシャー7で電子部品Qを検査部1900に押し当て、電子部品Qを検査部1900に密着させることで、これらの導通を良好な状態で確保し、より確実に、電子部品Qの電気的特性の検査を行うことができる。
電子部品保持部1は、押圧部であるコンタクトプッシャー7をZ軸方向(押圧方向)に移動させる移動機構としてのエアシリンダー2を有している。このようなエアシリンダー2によれば、より確実に、コンタクトプッシャー7で電子部品Qを上流側ステージ1210や検査部1900に向けて押圧することができる。そのため、電子部品保持部1で上流側ステージ1210に載置された電子部品Qを保持する場合には、エアシリンダー2の駆動によってコンタクトプッシャー7を電子部品Qに押し当て、コンタクトプッシャー7(後述する吸着パッド92)を電子部品Qに密着させることで、より確実に、電子部品保持部1で電子部品Qを保持することができる。また、電子部品保持部1で保持した電子部品Qの電気的特性の検査を行う場合には、エアシリンダー2の駆動によってコンタクトプッシャー7で電子部品Qを検査部1900に押し当て、電子部品Qを検査部1900に密着させることで、これらの導通を良好な状態で確保し、より確実に、電子部品Qの電気的特性の検査を行うことができる。
図3に示すように、エアシリンダー2は、回動部1332の下面に固定されたシリンダチューブ21を有している。シリンダチューブ21は、有底筒状のチューブ本体211と、チューブ本体211の開口を塞ぐフロントプレート212とを有し、チューブ本体211とフロントプレート212とで形成されるシリンダ室内にピストン22がZ軸方向に移動可能に配設されている。また、ピストン22は、シリンダ室内に位置するピストン本体221と、ピストン本体221の下端部に固定され、シリンダ室外に位置する連結ブロック222とを有している。
シリンダ室は、ピストン22(ピストン本体221)によって、その上側に位置する第1室D1と、下側に位置する第2室D2とに区画されている。また、ピストン22は、スプリングSPによって上方に持ち上げられ、エアシリンダー2が作動していない状態では、ピストン22の上面(上端)がチューブ本体211の底面と当接する位置(以下、この位置を「最上端位置」とも言う)となっている。
また、図3に示すように、シリンダチューブ21には、第1室D1に繋がるエアー導入口23が形成され、エアー導入口23には、連結ポート24が接続されている。また、連結ポート24は、図示しない電空レギュレーターに連結されており、電空レギュレーターから第1室D1にエアーが供給されると、そのエアーの圧力によって、ピストン22が最上端位置からスプリングSPの弾性力に抗して下方に移動する。第1室D1を所定のエアー圧とすることによって、検査部1900に配置された電子部品Qを適した圧力で押圧することができる。そのため、電子部品Qと検査部1900との導通を確実に図ることができると共に、電子部品Qの破損を抑制することができる。
以上、移動機構としてのエアシリンダー2について説明した。なお、移動機構の構成としては、コンタクトプッシャー7をZ軸方向に移動させることができれば、特に限定されない。例えば、圧電モーター等の駆動源を用いて、コンタクトプッシャー7をZ軸方向に移動させる構成であってもよい。
(センサー部3)
図3に示すように、電子部品保持部1は、コンタクトプッシャー7により電子部品Qに加わる押圧力を検出するセンサー部3を有している。センサー部3は、コンタクトプッシャー7に対して、対象物である電子部品Qとは反対側(電子部品Qを押圧する方向とは反対側)に位置している。すなわち、電子部品保持部1が電子部品Qを保持した状態で、センサー部3は、コンタクトプッシャー7に対して、電子部品Qと反対側に位置している。このような配置とすることで、コンタクトプッシャー7と電子部品Qとの間に介在する部材を減らすことができ、コンタクトプッシャー7により電子部品Qを効率的に押圧することができる。
図3に示すように、電子部品保持部1は、コンタクトプッシャー7により電子部品Qに加わる押圧力を検出するセンサー部3を有している。センサー部3は、コンタクトプッシャー7に対して、対象物である電子部品Qとは反対側(電子部品Qを押圧する方向とは反対側)に位置している。すなわち、電子部品保持部1が電子部品Qを保持した状態で、センサー部3は、コンタクトプッシャー7に対して、電子部品Qと反対側に位置している。このような配置とすることで、コンタクトプッシャー7と電子部品Qとの間に介在する部材を減らすことができ、コンタクトプッシャー7により電子部品Qを効率的に押圧することができる。
図3に示すように、センサー部3は、感圧部31と、感圧部31を挟むように配置された一対の電極32、33とを有している。
感圧部31は、感圧導電性樹脂で構成されている。具体的には、感圧部31は、ベースとなる絶縁性の樹脂311と、樹脂311中に混合された導電性材料(フィラー)としてのカーボンナノチューブ312とを含んでいる。このような構成によれば、図示するように、感圧部31をシート状に成形することができ、センサー部3の小型化(薄型化)および軽量化を図ることができる。特に、導電性材料としてカーボンナノチューブ312を用いることで、センサー部3が受ける力とセンサー部3から出力される検出信号との関係を線形(線形に近い関係)にすることができる。また、カーボンナノチューブ312がフィラーとして機能し、感圧部31の機械的強度が高まり、へたりが小さく、経年劣化の小さい感圧部31となる。
また、導電性材料としてカーボンナノチューブ312を用いることで、感圧部31が温度の影響を受け難くなり、温度変化による検出信号の変化(変動)を低減することができる。そのため、例えば、過度な温度補正の必要がなく(補正回路に頼ることなく)、精度よく押圧力を検出することができる。この点について詳しく説明する。図4に示すグラフは、導電性材料としてカーボンナノチューブを用いた場合の、センサー部3に加わる力(荷重)と電極32、33間の抵抗値との関係を示すグラフである。このグラフから分かるように、20℃と85℃の場合とで、荷重−抵抗値特性がほとんど一致している。そのため、上述したように、導電性材料としてカーボンナノチューブ312を用いることで、感圧部31が温度の影響を受け難くなり、温度変化による検出信号の変動(ドリフト)を低減することができる。特に、本実施形態では、ヒーター6を有しており、ヒーター6からの熱が伝わってセンサー部3の温度が変動することがある。そのため、センサー部3を上述した構成とすることで、その効果をより顕著に発揮することができる。
樹脂311は、熱可塑性樹脂を含んでいることが好ましい。これにより、例えば、樹脂311とカーボンナノチューブ312との混練が容易となり、分散性も良好であり、感圧部31の製造が容易となる。なお、熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリアミド、熱可塑性ポリイミド、芳香族ポリエステル等の液晶ポリマー、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネート(PC)、ポリエステルカーボネート(PPC)、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテル、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を混合して用いることができる。また、これらの中でも、樹脂311は、ポリカーボネートを含んでいることが好ましい。これにより、前述した効果(混練容易性)がより顕著となる。また、より硬い樹脂311となるため、センサー部3の機械的強度を高めることができる。また、樹脂311の経年的な変形やへたりが抑えられ、経時的な検出特性の低下を抑制することができる。なお、ポリエステルカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン等によっても、ポリカーボネートと同等の効果を発揮することができる。また、樹脂311の硬さとしては、特に限定されないが、例えば、ヤング率が1GPa以上であることが好ましい。
また、樹脂311は、熱硬化性樹脂を含んでいてもよい。熱硬化性樹脂を用いることで、感圧部31が熱的に安定し(例えば、80℃程度の高温でも十分な硬さを維持でき)、温度の影響をより受け難くなると共に、高温時でも機械的強度を保つことができる。なお、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル(不飽和ポリエステル)樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を混合して用いることができる。
このような感圧部31の厚さとしては、特に限定されないが、例えば、0.05mm以上、5mm以下であることが好ましい。これにより、その機能を十分に発揮することができ、かつ、十分に薄い感圧部31となる。そのため、センサー部3の検出特性を維持しつつ、センサー部3の小型化(軽量化)を図ることができる。
また、図3に示すように、センサー部3は、一対の電極32、33を有している。また、一対の電極32、33は、感圧部31に対して互いに反対側に位置している。具体的には、感圧部31の上側(エアシリンダー2側)に電極32が配置されており、下側(コンタクトプッシャー7側)に電極33が配置されている。このように、感圧部31を間に挟んで電極32、33を配置することで、電極32、33を互いに邪魔されることなく配置することができるため、電極32、33の配置の自由度が高まると共に、その配置が簡単となる。そのため、センサー部3の構成が簡単なものとなる。なお、電極32、33の形状としては、特に限定されない。
このようなセンサー部3では、Z軸方向の力、具体的には、コンタクトプッシャー7で電子部品Qを押圧することにより発生する力F(電子部品Qからの反力)を受けると、力Fの大きさに応じて電極32、33間の電気抵抗が変化する。そのため、電極32、33間の抵抗値に基づいて力Fを検出することができる。
また、図3に示すように、センサー部3は、電極32を支持する支持基板34と、電極33を支持する支持基板35とを有している。支持基板34は、電極32の上側に位置し、支持基板34の下面に電極32が形成されている。一方、支持基板35は、電極33の下側に位置し、支持基板35の上面に電極33が形成されている。そして、支持基板34、35で感圧部31を挟み込むことにより、電極32、33が感圧部31と接触している。すなわち、本実施形態では、電極32、33は、感圧部31と接触しているだけで、接合(接着)されていない。
なお、支持基板34、35としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、フレキシブル基板、リジッド基板等の各種プリント基板を用いることができる。このように、支持基板34、35としてプリント基板を用いることで、支持基板34、35への電極32、33の形成が容易となる。
以上、センサー部3について説明した。なお、センサー部3の構成としては、これに限定されず、例えば、支持基板34、35を省略し、感圧部31の表裏面に電極32、33を形成(配置)してもよい。
(与圧部4)
図3に示すように、電子部品保持部1は、コンタクトプッシャー7が電子部品Qを押圧していない状態で、センサー部3をZ軸方向に与圧する与圧部4を有している。このように、センサー部3を与圧しておくことで、力Fが加わった際のセンサー部3の応答性が良くなり、小さい力Fでもより確実に検出することができるようになる等、検出特性が向上する。そのため、センサー部3は、より精度よく、力Fを検出することができる。また、センサー部3を厚さ方向に圧縮する方向の力(Z軸方向上側の力)のみならず、センサー部3を厚さ方向に伸張する方向の力(Z軸方向下側の力)を検出できるようになる。そのため、センサー部3は、コンタクトプッシャー7の押圧力のみならず、例えば、上流側ステージ1210や検査部1900から電子部品Qを搬送する際の、電子部品Qの上流側ステージ1210や検査部1900との引っ掛かりを検知することができる。そのため、上流側ステージ1210、検査部1900、電子部品Q等の破損を抑制することができる。
図3に示すように、電子部品保持部1は、コンタクトプッシャー7が電子部品Qを押圧していない状態で、センサー部3をZ軸方向に与圧する与圧部4を有している。このように、センサー部3を与圧しておくことで、力Fが加わった際のセンサー部3の応答性が良くなり、小さい力Fでもより確実に検出することができるようになる等、検出特性が向上する。そのため、センサー部3は、より精度よく、力Fを検出することができる。また、センサー部3を厚さ方向に圧縮する方向の力(Z軸方向上側の力)のみならず、センサー部3を厚さ方向に伸張する方向の力(Z軸方向下側の力)を検出できるようになる。そのため、センサー部3は、コンタクトプッシャー7の押圧力のみならず、例えば、上流側ステージ1210や検査部1900から電子部品Qを搬送する際の、電子部品Qの上流側ステージ1210や検査部1900との引っ掛かりを検知することができる。そのため、上流側ステージ1210、検査部1900、電子部品Q等の破損を抑制することができる。
図3に示すように、このような与圧部4は、上方に開口する凹部411を有するベース41と、凹部411内に設けられたリッド42と、ベース41を上方(リッド42側)へ付勢する付勢部43とを有している。また、付勢部43は、ベース41に固定されたバネ部材で構成され、弾性変形した状態でリッド42に接触している。このような構成の与圧部4では、凹部411内にセンサー部3を配置し、リッド42とベース41とでセンサー部3を挟み込むことで、センサー部3をZ軸方向に与圧している。具体的には、リッド42の下面に支持基板34が固定され、凹部411の底面に支持基板35が固定され、さらに、支持基板34、35の間に感圧部31が挟み込まれている。そして、付勢部43の付勢力によってベース41が上方へ付勢されることで、センサー部3がZ軸方向に与圧されている。
ベース41およびリッド42の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、アルミニウム、マグネシウム、チタン、タングステン等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも1種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
以上、与圧部4について説明した。なお、与圧部4の構成としては、センサー部3を与圧することができれば、特に限定されない。
(ヒーター)
図3に示すように、電子部品保持部1は、コンタクトプッシャー7に対して、対象物である電子部品Qとは反対側(電子部品Qを押圧する方向とは反対側)に位置し、コンタクトプッシャー7を加熱する加熱部としてのヒーター6を有している。このように、ヒーター6を備えていることで、ヒーター6により加熱されたコンタクトプッシャー7で電子部品Qを加熱することができる。そのため、検査部1900で、電子部品Qの高温時における電気的特性を検査することが可能となる。よって、電子部品検査装置1000(電子部品搬送装置1100)の利便性が向上する。
図3に示すように、電子部品保持部1は、コンタクトプッシャー7に対して、対象物である電子部品Qとは反対側(電子部品Qを押圧する方向とは反対側)に位置し、コンタクトプッシャー7を加熱する加熱部としてのヒーター6を有している。このように、ヒーター6を備えていることで、ヒーター6により加熱されたコンタクトプッシャー7で電子部品Qを加熱することができる。そのため、検査部1900で、電子部品Qの高温時における電気的特性を検査することが可能となる。よって、電子部品検査装置1000(電子部品搬送装置1100)の利便性が向上する。
特に、本実施形態では、ヒーター6は、前述したセンサー部3よりも下側(コンタクトプッシャー7寄り)に位置している。言い換えると、ヒーター6は、センサー部3とコンタクトプッシャー7との間に位置している。そのため、ヒーター6とコンタクトプッシャー7との間に介在する部材を減らすことができ、ヒーター6とコンタクトプッシャー7とをより近づけて配置することができる。よって、ヒーター6の熱をコンタクトプッシャー7に効率的に伝えることができ、コンタクトプッシャー7に保持された電子部品Qを効率的に加熱することができる。
図3に示すように、このようなヒーター6は、ヒーターブロック61と、ヒーターブロック61に埋設された棒状のヒーター素子62(加熱素子)とを有している。そして、ヒーター素子62の駆動を図示しない制御部によって制御することで、ヒーターブロック61を所定の温度に加熱することができる。
また、ヒーターブロック61は、硬質で高い熱伝導率を有している。ヒーターブロック61の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、金、白金、銀、銅、アルミニウム、マグネシウム、チタン、タングステン等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも1種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
また、ヒーター素子62としては、特に限定されず、例えば、アルミナヒーター、窒化アルミヒーター、窒化珪素ヒーター、窒化硼素ヒーター等の各種セラミックヒーター、ニクロム線等の電熱線を用いた各種カートリッジヒーター等を用いることができる。また、ヒーター素子62は、棒状に限定されず、例えば、面状であってもよい。
また、図3に示すように、ヒーターブロック61には、温度センサー63が埋設されている。温度センサー63によってヒーターブロック61の温度を検出することで、間接的に、電子部品Qの温度を検出することができる。なお、温度センサー63としては、特に限定されず、例えば、白金センサー、熱電対、サーミスター等を用いることができる。なお、電子部品Qがサーマルダイオード等の温度センサーを内蔵している場合には、温度センサー63を省略し、電子部品Q側の温度センサーによって電子部品Qの温度を検出してもよい。
以上、ヒーター6について説明した。なお、ヒーター6の構成としては、電子部品Qを加熱することができれば、特に限定されない。また、例えば、高温環境での電子部品Qの検査が必要ない場合や、電子部品検査装置1000側にヒーターが内蔵されている場合等には、ヒーター6を省略してもよい。
(断熱部)
図3に示すように、電子部品保持部1は、センサー部3とヒーター6との間に配置されている断熱部5を有している。このような断熱部5は、ブロック状をなしており、その上面側で与圧部4に固定されており、下面側でヒーターブロック61に固定されている。これにより、ヒーター6の熱がセンサー部3に伝わり難くなり、センサー部3の過度な温度上昇が抑制される。また、断熱部5により、上側への熱の移動が抑制されるため、下側にあるコンタクトプッシャー7に熱を効率的に伝えることができる。そのため、電子部品Qを効率的に加熱することができる。
図3に示すように、電子部品保持部1は、センサー部3とヒーター6との間に配置されている断熱部5を有している。このような断熱部5は、ブロック状をなしており、その上面側で与圧部4に固定されており、下面側でヒーターブロック61に固定されている。これにより、ヒーター6の熱がセンサー部3に伝わり難くなり、センサー部3の過度な温度上昇が抑制される。また、断熱部5により、上側への熱の移動が抑制されるため、下側にあるコンタクトプッシャー7に熱を効率的に伝えることができる。そのため、電子部品Qを効率的に加熱することができる。
また、断熱部5は硬質で高い熱抵抗を有している。断熱部5としては、特に限定されず、例えば、硬質ポリウレタンフォーム等の硬質な発泡プラスチックで構成することができる。
以上、断熱部5について説明した。なお、断熱部5の構成としては、センサー部3への熱の移動を抑制することができれば、特に限定されない。また、例えば、ヒーター6が省略されている場合等、センサー部3に過度な熱が伝わるおそれのない場合には、断熱部5を省略してもよい。また、例えば、本実施形態では、断熱部5と与圧部4のベース41とが別部材で構成されているが、例えば、図5および図6に示すように、断熱部5がベース41の一部(底部)を兼ねていてもよいし、全部を兼ねていてもよい。すなわち、断熱部5の上面にセンサー部3が配置された構成としてもよい。これにより、部品点数を削減でき、電子部品保持部1の小型化を図ることができる。
(ブロック)
図3に示すように、電子部品保持部1は、断熱部5とヒーター6との間に配置されているブロック8を有している。また、ブロック8には、その下面中央部と側面とに開放する真空案内路81が形成されている。そして、真空案内路81には連結ポート82が取り付けられている。さらに、連結ポート82は、図示しない気体吸引部および気体供給部に接続されている。
図3に示すように、電子部品保持部1は、断熱部5とヒーター6との間に配置されているブロック8を有している。また、ブロック8には、その下面中央部と側面とに開放する真空案内路81が形成されている。そして、真空案内路81には連結ポート82が取り付けられている。さらに、連結ポート82は、図示しない気体吸引部および気体供給部に接続されている。
このようなブロック8の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、金、白金、銀、銅、アルミニウム、マグネシウム、チタン、タングステン等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも1種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
(コンタクトプッシャー)
図3に示すように、電子部品保持部1は、ヒーター6の下側に配置されているコンタクトプッシャー7を有している。コンタクトプッシャー7は、電子部品Qと接触し、電子部品Qを上流側ステージ1210や検査部1900に向けて押圧する部分である。このようなコンタクトプッシャー7は、硬質で高い熱伝導率を有している。コンタクトプッシャー7の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、金、白金、銀、銅、アルミニウム、マグネシウム、チタン、タングステン等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも1種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
図3に示すように、電子部品保持部1は、ヒーター6の下側に配置されているコンタクトプッシャー7を有している。コンタクトプッシャー7は、電子部品Qと接触し、電子部品Qを上流側ステージ1210や検査部1900に向けて押圧する部分である。このようなコンタクトプッシャー7は、硬質で高い熱伝導率を有している。コンタクトプッシャー7の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、金、白金、銀、銅、アルミニウム、マグネシウム、チタン、タングステン等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも1種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
以上、コンタクトプッシャー7について説明した。なお、コンタクトプッシャー7の構成としては、電子部品Qを押圧することができれば、特に限定されない。
また、ヒーターブロック61およびコンタクトプッシャー7の中央部には、これらを貫き、真空案内路81に繋がる収容孔が形成され、収容孔には吸引管91が配設されている。また、吸引管91の先端部には、吸着パッド92(吸着孔)が設けられている。そのため、連結ポート82から気体吸引部でエアーを吸引し、吸引管91内を負圧状態にすることにより、吸着パッド92で電子部品Qを吸着保持できる。反対に、連結ポート82から気体供給部でエアーを供給し、吸引管91内の負圧状態を解除することにより、吸着パッド92で吸着保持している電子部品Qを放すことができる。
<第2実施形態>
図7は、本発明の第2実施形態に係る押圧装置(電子部品保持部)を示す断面図である。図8は、図7に示す押圧装置(電子部品保持部)の変形例を示す断面図である。
図7は、本発明の第2実施形態に係る押圧装置(電子部品保持部)を示す断面図である。図8は、図7に示す押圧装置(電子部品保持部)の変形例を示す断面図である。
本実施形態に係る電子部品保持部1は、主に、与圧部の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態の電子部品保持部1と同様である。
なお、以下の説明では、第2実施形態の電子部品保持部1に関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
図7に示すように、本実施形態の与圧部4は、リッド42からセンサー部3に向けて突出する押圧部44を有している。そして、この押圧部44によってセンサー部3が押圧されている。このような構成によれば、押圧部44が局所的に(前述した第1実施形態と比較して狭い領域で)センサー部3を押圧するため、与圧や力Fを効率的にセンサー部3に伝えることができる。
また、押圧部44は、湾曲面で構成されたドーム状の先端部を有し、この先端部がセンサー部3に接触している。このように、センサー部3との接触部を湾曲形状とすることで、押圧部44との接触によるセンサー部3の損傷を抑制することができる。ただし、押圧部44の形状としては、特に限定されない。また、押圧部44は、複数個あってもよい。例えば、X軸方向およびY軸方向の少なくとも1方向に複数個並んで配置されていてもよい。
なお、本実施形態では、押圧部44がリッド42と一体形成されているが、別体で形成されていてもよい。また、本実施形態では、押圧部44がセンサー部3(支持基板34)と接触しているが、例えば、図8に示すように、押圧部44とセンサー部3との間に保護板45を設け、押圧部44がセンサー部3に直接接触しない構成としてもよい。このように、保護板45を設けることで、押圧部44からセンサー部3を保護することができ、センサー部3の損傷等を効果的に抑制することができる。なお、保護板45は、硬質で高い剛性を有するのが好ましい。このような保護板45の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、アルミニウム、マグネシウム、チタン、タングステン等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも1種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第3実施形態>
図9は、本発明の第3実施形態に係る押圧装置(電子部品保持部)を示す断面図である。図10は、センサー部の電極の配置を示す平面図である。
図9は、本発明の第3実施形態に係る押圧装置(電子部品保持部)を示す断面図である。図10は、センサー部の電極の配置を示す平面図である。
本実施形態に係る電子部品保持部1は、主に、センサー部の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態の電子部品保持部1と同様である。
なお、以下の説明では、第3実施形態の電子部品保持部1に関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
図9に示すように、本実施形態のセンサー部3は、感圧部31と、感圧部31の下面側に位置する一対の電極32、33と、電極32、33を支持する支持基板35と、を有している。すなわち、電極32、33は、感圧部31に対して互いに同じ側に位置している。このような構成とすることで、例えば、前述した第1実施形態と比較して、センサー部3を薄型化することがでる。なお、本実施形態では、電極32、33が、感圧部31の下面側に位置しているが、感圧部31の上面側に位置していてもよい。
図10に示すように、電極32、33は、それぞれ、櫛歯状をなしており、互いに噛み合うようにして配置されている。すなわち、電極32の電極指321と電極33の電極指331とが交互に並ぶように、電極32、33が配置されている。これにより、電極32、33を共に感圧部31の全域に広げて配置することができるため、センサー部3は、力Fをより確実に検出することができる。
このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第4実施形態>
図11は、本発明の第4実施形態に係る押圧装置(電子部品保持部)を示す断面図である。
図11は、本発明の第4実施形態に係る押圧装置(電子部品保持部)を示す断面図である。
本実施形態に係る電子部品保持部は、主に、センサー部および与圧部の配置が異なること以外は、前述した第1実施形態の電子部品保持部と同様である。
なお、以下の説明では、第4実施形態の電子部品保持部に関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
図11に示すように、本実施形態のヒーター6は、センサー部3に対して、コンタクトプッシャー7とは反対側に位置している。言い換えると、ヒーター6とコンタクトプッシャー7との間にセンサー部3が位置している。このような構成によれば、例えば、前述した第1実施形態と比較して、センサー部3とコンタクトプッシャー7との距離が近くなり、力Fをセンサー部3でより精度よく検出することができる。なお、このような配置では、ヒーター6の熱がセンサー部3に伝わってしまうが、前述したように、センサー部3は、温度変化による検出信号の変動(ドリフト)がほとんど発生しない。したがって、本実施形態のセンサー部3は、前述した第1実施形態と同様に、優れた検出特性を発揮することができる。すなわち、熱の影響を受け難い構成のセンサー部3であるため、本実施形態のような配置とすることができるとも言える。
また、本実施形態では、センサー部3および与圧部4を貫通するように、吸引管91および吸着パッド92が設けられている。ただし、図11と異なり、吸引管91および吸着パッド92がセンサー部3および与圧部4を迂回するような構成とすることもできる。
このような第4実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第5実施形態>
図12は、本発明の第5実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
図12は、本発明の第5実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
図12に示すロボット2000は、精密機器やこれを構成する部品(対象物)の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。このようなロボット2000は、ロボット本体2100と、ロボット本体2100に接続可能な電子部品保持部1とを有している。
また、ロボット本体2100は、床や天井に固定されているベース2200と、ベース2200に対して回動可能に接続されているアーム2300と、アーム2300の駆動を制御するロボット制御部2400とを有している。また、アーム2300は、ベース2200に回動自在に連結された第1アーム2310と、第1アーム2310に回動自在に連結された第2アーム2320と、第2アーム2320に回動自在に連結された第3アーム2330と、第3アーム2330に回動自在に連結された第4アーム2340と、第4アーム2340に回動自在に連結された第5アーム2350と、第5アーム2350に回動自在に連結された第6アーム2360と、を有している。そして、第6アーム2360に押圧装置としての電子部品保持部1が接続されている。なお、この電子部品保持部1としては、前述した第1、第2、第3および第4実施形態のいずれの電子部品保持部1を用いることができ、また、本発明のその他の構成のものを用いることもできる。
このようなロボット2000は、押圧装置としての電子部品保持部1を有している。そのため、前述した電子部品保持部1の効果を享受でき、信頼性の高いロボット2000となる。
<第6実施形態>
図13は、本発明の第6実施形態に係るロボットを示す側面図である。
図13は、本発明の第6実施形態に係るロボットを示す側面図である。
図13に示すロボット3000は、水平多関節ロボット(スカラロボット)である。このようなロボット3000は、ロボット本体3100と、ロボット本体3100に接続可能な電子部品保持部1と、を有している。なお、電子部品保持部1については、前述した通りである。
また、ロボット本体3100は、床や天井に固定されている基台3200と、基台3200に対して回動可能に接続されているアーム3300と、を有している。また、アーム3300は、基台3200に回動自在に連結された第1アーム3310と、第1アーム3310に回動自在に連結された第2アーム3320と、第2アーム3320に設けられた作業ヘッド3330と、を有している。
作業ヘッド3330は、第2アーム3320の先端部に配置されている。また、作業ヘッド3330は、同軸的に配置されたスプラインナット3331およびボールネジナット3332と、スプラインナット3331およびボールネジナット3332に挿通されたスプラインシャフト3333とを有している。スプラインシャフト3333は、第2アーム3320に対して、その軸まわりに回転可能であり、かつ、上下方向に昇降可能となっている。そして、このようなスプラインシャフト3333の先端部(下端部)に押圧装置としての電子部品保持部1が取り付けられている。
このようなロボット3000は、押圧装置としての電子部品保持部1を有している。そのため、前述した電子部品保持部1の効果を享受でき、信頼性の高いロボット3000となる。
以上、本発明の押圧装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびロボットについて、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、前述した実施形態では、押圧装置としての電子部品保持部が、移動機構(エアシリンダー)と、センサー部と、与圧部と、断熱部と、加熱部(ヒーター)と、押圧部(コンタクトプッシャー)とを有する構成について説明したが、電子部品保持部の構成としては、センサー部(感圧部)および押圧部を有していれば良く、その他の構成については任意であり、特に限定されない。そのため、例えば、移動機構(エアシリンダー)、与圧部、断熱部、加熱部(ヒーター)のうちの少なくとも1つを省略してもよいし、これら以外の要素を有していてもよい。
また、前述した実施形態では、電子部品搬送装置を電子部品検査装置に適用した場合について説明したが、電子部品搬送装置は、電子部品検査装置に適用されなくてもよく、他の装置に適用されてもよい。この場合、対象物としては、電子部品(すなわち、検査が必要なもの)に限定されない。
1…電子部品保持部、2…エアシリンダー、21…シリンダチューブ、211…チューブ本体、212…フロントプレート、22…ピストン、221…ピストン本体、222…連結ブロック、23…エアー導入口、24…連結ポート、3…センサー部、31…感圧部、311…樹脂、312…カーボンナノチューブ、32、33…電極、321、331…電極指、34、35…支持基板、4…与圧部、41…ベース、411…凹部、42…リッド、43…付勢部、44…押圧部、45…保護板、5…断熱部、6…ヒーター、61…ヒーターブロック、62…ヒーター素子、63…温度センサー、7…コンタクトプッシャー、8…ブロック、81…真空案内路、82…連結ポート、91…吸引管、92…吸着パッド、1000…電子部品検査装置、1100…電子部品搬送装置、1200…基台、1210…上流側ステージ、1220…下流側ステージ、1300…支持台、1310…Yステージ、1320…Xステージ、1330…Zステージ、1331…微調整プレート、1332…回動部、1333x…駆動源、1333y…駆動源、1333θ…駆動源、1900…検査部、2000…ロボット、2100…ロボット本体、2200…ベース、2300…アーム、2310…第1アーム、2320…第2アーム、2330…第3アーム、2340…第4アーム、2350…第5アーム、2360…第6アーム、2400…ロボット制御部、3000…ロボット、3100…ロボット本体、3200…基台、3300…アーム、3310…第1アーム、3320…第2アーム、3330…作業ヘッド、3331…スプラインナット、3332…ボールネジナット、3333…スプラインシャフト、D1…第1室、D2…第2室、F…力、Q…電子部品、SP…スプリング
Claims (15)
- 対象物を押圧する押圧部と、
前記押圧部により前記対象物に加わる押圧力を検出するセンサー部と、を有し、
前記センサー部は、樹脂およびカーボンナノチューブを含む感圧部を有していることを特徴とする押圧装置。 - 前記押圧部を移動させる移動機構を有している請求項1に記載の押圧装置。
- 前記センサー部は、前記押圧部に対して、前記対象物とは反対側に位置している請求項1または2に記載の押圧装置。
- 前記押圧部に対して、前記対象物とは反対側に位置し、前記押圧部を加熱する加熱部を有している請求項1ないし3のいずれか1項に記載の押圧装置。
- 前記加熱部は、前記センサー部よりも前記押圧部寄りに位置している請求項4に記載の押圧装置。
- 前記センサー部と前記加熱部との間に配置されている断熱部を有している請求項5に記載の押圧装置。
- 前記加熱部は、前記センサー部に対して、前記押圧部とは反対側に位置している請求項4に記載の押圧装置。
- 前記樹脂は、熱可塑性樹脂を含んでいる請求項1ないし7のいずれか1項に記載の押圧装置。
- 前記樹脂は、ポリカーボネートを含んでいる請求項8に記載の押圧装置。
- 前記樹脂は、熱硬化性樹脂を含んでいる請求項1ないし9のいずれか1項に記載の押圧装置。
- 前記センサー部は、一対の電極を有し、
前記一対の電極は、前記感圧部に対して互いに反対側に位置している請求項1ないし10のいずれか1項に記載の押圧装置。 - 前記押圧部が前記対象物を押圧していない状態で、前記センサー部を与圧する与圧部を有している請求項1ないし11のいずれか1項に記載の押圧装置。
- 請求項1ないし12のいずれか1項に記載の押圧装置を有していることを特徴とする電子部品搬送装置。
- 請求項13に記載の電子部品搬送装置と、
検査部と、を有していることを特徴とする電子部品検査装置。 - 請求項1ないし12のいずれか1項に記載の押圧装置を有していることを特徴とするロボット。
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Cited By (3)
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JP2020020678A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | Thk株式会社 | アクチュエータの荷重検出器 |
JPWO2020246009A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | ||
JP2021196365A (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-27 | エーティーアイ インダストリアル オートメーション, インコーポレイテッドAti Industrial Automation, Inc. | 制御された熱伝導を有するロボットの力/トルクセンサ |
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2016
- 2016-10-31 JP JP2016212646A patent/JP2018072185A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020020678A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | Thk株式会社 | アクチュエータの荷重検出器 |
JPWO2020246009A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | ||
WO2020246009A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | オムロン株式会社 | 触覚センサ、ロボットハンド、及びロボット |
CN113874178A (zh) * | 2019-06-06 | 2021-12-31 | 欧姆龙株式会社 | 触觉传感器、机械手以及机器人 |
JP7306454B2 (ja) | 2019-06-06 | 2023-07-11 | オムロン株式会社 | 触覚センサ、ロボットハンド、及びロボット |
JP2021196365A (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-27 | エーティーアイ インダストリアル オートメーション, インコーポレイテッドAti Industrial Automation, Inc. | 制御された熱伝導を有するロボットの力/トルクセンサ |
US11491663B2 (en) | 2020-06-16 | 2022-11-08 | Ati Industrial Automation, Inc. | Robotic force/torque sensor with controlled thermal conduction |
JP7179918B2 (ja) | 2020-06-16 | 2022-11-29 | エーティーアイ インダストリアル オートメーション, インコーポレイテッド | 制御された熱伝導を有するロボットの力/トルクセンサ |
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