JP2018066996A - 装置、機器、マイクロリソグラフィシステム、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)装置は、4自由度(DOF)まで容易に調整可能であり、クランプされていないときは追加の2つのDOFにおいても移動可能である。
(b)装置は、比較的低いクランプ力でクランプされたときにも、高い滑り摩擦を示す。
(c)装置は、クランプ中、位置又は角度についてわずかなシフト又はシフト無しを示す。
(d)複数の平行なフレクシャブレードは、接続されたマスの間での良好な拘束のために、鉛直方向及び一垂直(水平)方向に高い剛性を提供する。
(e)他の水平方向における剛性は低く、これは例えば、過度な拘束の無いマス間における、異なる熱膨張を許容する。
本実施例は、以下の形態的パラメータを有する装置に関する。
ブレード厚さ:0.25mm
ブレード長さ:15mm
ブレード幅 :60mm
kz = 1.9×109 N/m
kradial = 5.3×105 N/m
ktangent = 6.7×108 N/m
σmax = 31.6 MPa
Claims (38)
- それぞれマルチプルブレードの第1セット及び第2セットによって移動可能に互いに接続される第1部分及び第2部分であり、前記第1セット及び前記第2セットはオーバラップ領域で互いに交互配置され、前記オーバラップ領域は圧縮されたときに前記第1セット及び前記第2セットの互いの変位を抑制して第1及び第2直交方向における第1剛性と第3直交方向における第2剛性とを生じさせ、前記第1剛性は前記第2剛性に比べて大きい、前記第1部分及び前記第2部分、を備える、装置。
- 前記ブレードは、少なくともオーバラップ領域において互いに平行である、請求項1に記載の装置。
- 前記オーバラップ領域に関連して配置され、前記オーバラップ領域に作用する圧縮力を増大させること、及び前記オーバラップ領域に作用する圧縮力を減少させることを選択的に動作可能な圧縮力コンポーネントをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 圧縮力コンポーネントの動作と協調して対象物に対して変位力を生むアクチュエータをさらに備える、請求項3に記載の装置。
- 前記装置に保持される対象物に対して変位力を生むアクチュエータをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記変位アクチュエータによる前記変位力の適用は、オーバラップ領域における圧縮の減少に協調される、請求項5に記載の装置。
- 前記変位アクチュエータは、前記装置に対して対称に配置される、請求項5に記載の装置。
- 前記アクチュエータは、前記オーバラップ領域が圧縮されていないときに前記対象物の移動を促し、前記オーバラップ領域が圧縮されているときは前記対象物の移動を促さない、請求項5に記載の装置。
- 前記第1及び第2セットにおける各ブレードは、長さ、厚さ、及び幅を有し、
前記長さに平行な第1方向及び前記第1方向に垂直な第2方向における剛性を提供するために、かつ、前記第1及び第2方向に垂直な第3方向に柔軟性を提供するために、前記幅は前記厚さよりも大きい、請求項1に記載の装置。 - 前記第1セットのブレードは、シムによって互いに分かれており、
前記第2セットのブレードは、シムによって互いに分かれている、
請求項1に記載の装置。 - クランプ指示に応じて前記オーバラップ領域を圧縮し、クランプ解除指示に応じて前記オーバラップ領域の圧縮を減じる又は取り除く、圧縮アクチュエータをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 第1マス及び第2マスの間の配置のための保持装置であり、前記保持装置は、オーバラップ領域で互いに交互配置されるマルチプルブレードの第1セット及び第2セットによって移動可能に互いに接続される第1部分及び第2部分を含み、前記オーバラップ領域は、圧縮されたときに前記第1セット及び前記第2セットの互いの変位を抑制する、前記保持装置と、
前記オーバラップ領域に対して圧縮力を適用可能な圧縮装置と、
前記第1及び第2マスの1つに接続され、前記第1及び第2マスの少なくとも1つを他のマスに対して移動させるような変位力を適用可能なアクチュエータと、
を備える装置。 - 圧縮されたオーバラップ領域を有する前記保持装置は、第1及び第2直交方向に第1剛性を、第3直交方向に第2剛性を示し、
前記第1剛性は、前記第2剛性に比べて大きい、請求項12に記載の装置。 - 前記保持装置、前記圧縮装置、及び前記アクチュエータに接続されるコントローラをさらに備え、
前記コントローラは、前記オーバラップ領域に対して減少圧縮力を適用したときに前記マスの少なくとも1つの移動を促進するよう、また、前記オーバラップ領域に対して増加圧縮力を適用したときに前記マスの前記少なくとも1つの移動を促進しないよう、前記アクチュエータに指示する、請求項12に記載の装置。 - 前記アクチュエータは、リングスタック型のニューマチックアクチュエータを含む、請求項12に記載の装置。
- 第2マスに対して移動可能な第1マスと、
前記第1及び第2マスの間で延在する少なくとも1つのカップリングと、を備え、
各カップリングは前記第1及び第2マスにそれぞれ接続される第1及び第2部分を有する保持装置を含み、前記第1及び第2部分はオーバラップ領域で互いに交互配置されるマルチプルブレードの第1セット及び第2セットによって移動可能に互いに接続され、前記オーバラップ領域は圧縮されたときに前記第1セット及び前記第2セットの互いの変位を抑制して第1及び第2直交方向における第1剛性と第3直交方向における第2剛性とを有する前記第1マスの部分の支持を提供し、前記第1剛性は前記第2剛性に比べて大きい、
機器。 - 前記カップリングは、選択された時間で前記オーバラップ領域に対して力を与えて前記オーバラップ領域を圧縮するように構成される圧縮装置をさらに含む、請求項16に記載の機器。
- 選択された時間で前記第2マスに対して第1マスを移動させるように構成される少なくとも1つのアクチュエータをさらに備える、請求項16に記載の機器。
- 選択された時間において前記第2マスに対して第1マスを移動させる少なくとも1つのアクチュエータと、
前記アクチュエータが前記第1マスを移動させていないとき、選択された時間において前記オーバラップ領域に対して力を与えて前記オーバラップ領域を圧縮する圧縮装置とをさらに備える、請求項16に記載の機器。 - 前記アクチュエータ及び前記圧縮装置に接続され、前記アクチュエータによる移動の際に第1力を与え、前記アクチュエータによる移動が無い際に第2力を与えるように、前記第1マスの移動と前記オーバラップ領域への力の適用を制御するコントローラをさらに備え、
前記第1力に比べて前記第2力が大きい、請求項19に記載の機器。 - ベースと、
前記ベースに対して変位可能なテーブルと、
前記テーブルと前記ベースの間で延在する少なくとも1つのカップリングと、
前記テーブル及び前記ベースにそれぞれ接続される第1及び第2部分を有する保持装置を含む少なくとも1つのカップリングであり、前記第1及び第2部分はオーバラップ領域で互いに交互配置されるマルチプルブレードの第1セット及び第2セットによって移動可能に互いに接続され、前記オーバラップ領域は圧縮されたときに前記第1セット及び前記第2セットの互いの変位を抑制して第1及び第2直交方向における第1剛性と第3直交方向における第2剛性とを有する前記テーブルの部分の支持を提供し、前記第1剛性は前記第2剛性に比べて大きい、前記少なくとも1つのカップリングと、
を備えるステージ機器。 - 前記カップリングの各々は、選択された時間で前記オーバラップ領域に対して力を与えて前記オーバラップ領域を圧縮するように構成される圧縮装置をさらに含む、請求項21に記載のステージ機器。
- 選択された時間において前記ベースに対して前記テーブルを移動させる少なくとも1つのアクチュエータをさらに備える、請求項21に記載のステージ機器。
- 選択された時間において前記ベースに対して前記テーブルを移動させる少なくとも1つのアクチュエータと、
前記アクチュエータが前記テーブルを移動させていないとき、選択された時間において前記オーバラップ領域に対して力を与えて前記オーバラップ領域を圧縮する圧縮装置と、
をさらに備える、請求項21に記載のステージ機器。 - 前記アクチュエータ及び前記圧縮装置に接続され、前記アクチュエータによる移動の際に比較的小の力を与え、前記アクチュエータによる移動が無い際に比較的大の力を与えるように、前記テーブルの移動と前記オーバラップ領域への力の適用を制御するコントローラをさらに備える、請求項24に記載の機器。
- 前記テーブルの部分間で延在しかつ前記部分を前記ベースに対して保持するマルチカップリングをさらに備え、カップリングの各々はそれぞれが向きを有する保持装置を含み、その向きによって前記ベースに対する前記テーブルの熱膨張が解放されるように前記保持装置の前記第3方向が配される、請求項21に記載の機器。
- 前記向きは径方向である、請求項26に記載の機器。
- 請求項21に記載のステージ機器を備える精密システム。
- 請求項21に記載のステージ機器を備えるマイクログラフィシステム。
- 第1マスと、
第2マスと、
前記第1及び第2マスに搭載されかつ前記第1及び第2マスの間で延在する少なくとも1つの保持装置であり、前記保持装置はマルチプルブレードの第1セットと、オーバラップ領域で前記ブレードの第1セットと交互配置されるマルチプルパラレルブレードの第2セットと、前記オーバラップ領域に配されかつ選択可能な方法で前記オーバラップ領域にクランプ力を作用させる圧縮装置と、を備え、前記ブレードの第1セットは前記第1マスに搭載され、前記ブレードの第2セットは前記第2マスに搭載される、前記保持装置と、
を備える機器。 - クランプ指示に応じて前記オーバラップ領域にクランプ力を作用させ、また、クランプ解除指示に応じて前記オーバラップ領域に対するクランプ力を減じる又は取り除く、アクチュエータをさらに備える、請求項30に記載の機器。
- 前記第1及び第2セットにおける各ブレードは、長さ、厚さ、及び幅を有し、
前記長さに平行な第1方向及び前記第1方向に垂直な第2方向における を前記保持装置に提供するために、かつ、前記第1及び第2方向に垂直な第3方向に柔軟性を前記保持装置に提供するために、前記幅は前記厚さよりも大きく、
前記アクチュエータは、前記第3方向に実質的に平行な方向の前記クランプ力を作用させる、請求項31に記載の機器。 - 前記第1及び第2マスの間で延在する複数の支持装置をさらに備え、各支持装置は前記第2マスに対して前記第1マスの部分をそれぞれ支持する。請求項31に記載の機器。
- 前記第1及び第2セットにおける各ブレードは、長さ、厚さ、及び幅を有し、
前記長さに平行な第1方向及び前記第1方向に垂直な第2方向における剛性を提供するために、かつ、前記第1及び第2方向に垂直な第3方向に柔軟性を提供するために、前記幅は前記厚さよりも大きく、
前記第1マスは前記第2マスに対する伸長方向を有し、
前記支持装置の少なくとも1つは、その第3方向が前記伸長方向と平行になるように配される、請求項33に記載の機器。 - 前記第1マスは熱膨張に関する複数の方向を有し、
少なくとも1つの保持装置が熱膨張の方向に沿って配置され、それぞれの第3方向が熱膨張の方向と平行になるように、前記第1及び第2マスの間に前記支持装置が搭載される、請求項31に記載の機器。 - 前記熱膨張の方向は、径方向である、請求項35に記載の機器。
- 請求項30に記載の機器を備えるマイクログラフィシステム。
- リソグラフィプロセスを含むデバイス製造方法であって、
請求項37のマイクロリソグラフィシステムを用いて基板を露光することと、
露光された基板を処理してデバイスを形成すること、
を含む、デバイス製造方法。
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