JP2018066590A - 検査装置、検査システム、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】迷光の影響の軽減に有利な検査装置を提供する。
【解決手段】物体の外観の検査を行う検査装置であって、第1入射角の第1照明光で前記物体の面を照明する第1照明部と、前記第1入射角より大きい第2入射角の第2照明光で前記物体の面を照明する第2照明部と、前記物体をその上方から撮像する撮像部と、前記撮像部により得られた画像データに基づいて、前記検査に関する処理を行う処理部と、を有し、前記第1照明部から前記第2照明部への光の入射の制限を行うように構成されている、ことを特徴とする検査装置を提供する。
【選択図】図2
【解決手段】物体の外観の検査を行う検査装置であって、第1入射角の第1照明光で前記物体の面を照明する第1照明部と、前記第1入射角より大きい第2入射角の第2照明光で前記物体の面を照明する第2照明部と、前記物体をその上方から撮像する撮像部と、前記撮像部により得られた画像データに基づいて、前記検査に関する処理を行う処理部と、を有し、前記第1照明部から前記第2照明部への光の入射の制限を行うように構成されている、ことを特徴とする検査装置を提供する。
【選択図】図2
Description
本発明は、物体の外観を検査する検査装置、検査システム、および物品の製造方法に関する。
外観検査では、目視による検査に代わって、ワーク(物体)を照明して撮像し、その画像から良品か不良品かを判定する検査装置の導入が進みつつある。このような検査装置に適用可能な照明として、位置や形状の測定や検査などの色々な用途に応用することを目的とした照明システムが提案されている(特許文献1参照)。かかる照明システムは、複数の光源をドーム型に配置して、多様な方向からワークを照明することで、ワークの欠陥を可視化する。
特許文献1に開示された照明システムでは、ワークを照明する方向(即ち、照明に使用する光源)を切り換えて複数の画像を取得するが、ワークからの反射光の他に、照明に使用していない光源や構造体で反射された光(迷光)が撮像素子に到達しうる。
例えば、多数のLED素子がアレイ状に配列されたLEDアレイを光源として用いる場合、光量の低減を抑えるために、LED素子が配列された基板や基板を格納する筐体の内面が白く塗装されていることが多い。また、照明の均一性を向上させるために、LEDアレイの前に拡散板を配置することがある。白い塗装や拡散板は反射率が高いため、例えば、あるLEDアレイからの光が他のLEDアレイに入射すると、迷光が発生しやすくなる。特に、光量を増加させるために大型のLEDアレイを用いると、白い塗装や拡散板の面積が増えるため、迷光の影響も大きくなる。また、低い位置に配置されたLEDアレイでワークを照明する場合、入射角(ワークの法線と照明光の光軸とのなす角度)と検出角(ワークの法線と撮像光の光軸とのなす角度)との差が大きいため、ワークで散乱されて撮像素子に入射する光の量が小さくなる。他方、低い位置に配置されたLEDアレイからの光が高い位置に配置されたLEDアレイに入射することで発生した迷光は、高い角度からワークを照明する。従って、そのような場合、撮像素子の方向に散乱される迷光の割合が多くなるため、迷光に対して敏感となり、ワークの欠陥のコントラストが低下するという問題が生じうる。具体的には、例えば、ワークを照明する正規の光に対する迷光の割合が数%であっても、正規光および迷光の画像への寄与度は互いに同程度となりうる。
本発明は、迷光の影響の軽減に有利な検査装置を提供することを例示的目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての検査装置は、物体の外観の検査を行う検査装置であって、第1入射角の第1照明光で前記物体の面を照明する第1照明部と、前記第1入射角より大きい第2入射角の第2照明光で前記物体の面を照明する第2照明部と、前記物体をその上方から撮像する撮像部と、前記撮像部により得られた画像データに基づいて、前記検査に関する処理を行う処理部と、を有し、前記第1照明部から前記第2照明部への光の入射の制限を行うように構成されている、ことを特徴とする。
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、例えば、迷光の影響の軽減に有利な検査装置を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、本発明の一側面としての検査システム1の構成を示す概略図である。検査システム1は、被検査体としてのワーク(物体)11の外観の検査を行うシステムである。検査システム1は、ワーク11を検査システム1の所定の位置に搬送する搬送部12と、ワーク11の外観を検査する検査装置10とを有する。
搬送部12は、例えば、ワーク11を検査装置10による検査位置に搬送するためのコンベアを含む搬送装置である。但し、ワーク11は、ロボットや手動で搬送してもよい。ワーク11は、例えば、工業製品に利用される金属部品や樹脂部品などを含む。ワーク11の表面には、傷やむら、凹凸などの欠陥が存在する場合がある。検査装置10は、ワーク11の外観の検査を行う。検査装置10は、例えば、ワーク11に存在する欠陥を検出し、かかるワーク11を良品と不良品とに分類する。
検査装置10は、ワーク11の外観を検査する外観検査装置である。検査装置10は、照明部101と、撮像部102と、画像処理部103と、制御部104と、表示部105とを有する。また、検査装置10は、ユーザからの指示を画像処理部103や制御部104に送信するためのキーボードやマウスなどを含む入力部も有する。
照明部101は、後述するように、第1照明部と、第2照明部とを含み、ワーク11を照明する。撮像部102は、撮像光学系や撮像素子を含み、ワーク11をその上方から撮像する。撮像部102は、例えば、ワーク11の上方に配置され、照明部101によって照明されたワーク11を撮像して画像(画像データ)を取得する。撮像部102は、取得した画像(画像データ)を画像処理部103に転送する。画像処理部103は、撮像部102により得られた画像データに基づいて、ワーク11の検査に関する処理を行う。例えば、画像処理部103は、撮像部102から転送された画像データに画像処理を施し、画像処理を施した画像データに基づいて、ワーク11の良否を判定する。制御部104は、検査システム1の全体(動作)を制御する。例えば、制御部104は、予め設定された照明及び撮像タイミングに基づいて、照明部101及び撮像部102を制御して照明及び撮像を行う。表示部105は、画像処理部103から送信された画像や検査結果(良否判定)などの情報を表示する。なお、図1では、照明部101をドーム型の筐体(反射板)として図示しているが、実際には、複数の光源がドーム型に配置されているだけであって、このような筐体が存在しているわけでない。
図2は、検査装置10の主要部の構成を示す概略図である。照明部101は、ワーク11を取り囲むようにワーク11が配置される位置に対して複数の方位に配置された第1照明部111a及び112a、及び、第2照明部111b及び112bを含む。本実施形態では、第1照明部111aと第2照明部112bとは、互いに180度異なる2つの方位にそれぞれ配置され、第1照明部112aと第2照明部111bとは、互いに180度異なる2つの方位にそれぞれ配置されている。第1照明部111a及び112aのそれぞれは、複数の発光素子(例えば、LED素子)及びかかる発光素子が配列された基板とを含むアレイに加えて、光を反射する反射板及び光を拡散する拡散板のうち少なくとも一方を含む。同様に、第2照明部111b及び112bのそれぞれは、複数の発光素子(例えば、LED素子)及びかかる発光素子が配列された基板とを含むアレイに加えて、光を反射する反射板及び光を拡散する拡散板のうち少なくとも一方を含む。
第1照明部111a及び112aは、ワーク11の面に光を照射する方向とワーク11の面とのなす角度が第1角度θ1である。換言すれば、第1照明部111a及び112aは、第1入射角の第1照明光でワーク11の面を照明する。第2照明部111b及び112bは、ワーク11の面に光を照射する方向とワーク11の面とのなす角度が第1角度θ1より大きい第2角度θ2である。換言すれば、第2照明部111b及び112bは、第1入射角より大きい第2入射角の第2照明光でワーク11の面を照明する。このように、第1照明部111a及び112aは、ワーク11からみると低い仰角で配置され、ローアングル照明を実現する。第2照明部111b及び112bは、ワーク11からみると高い仰角で配置され、ハイアングル照明を実現する。図2では、2つの方位に配置された第1照明部111a及び112a、及び、第2照明部111b及び112bを示している。但し、実際には、ローアングル照明及びハイアングル照明を実現するために、撮像部102の光軸116を中心軸として複数の第1照明部及び第2照明部が配置されている。
本実施形態では、制御部104は、複数の方位に配置された第1照明部111a及び112aを逐次的に制御して1つの第1照明部111a又は112aによりワーク11を照明する。また、制御部104は、1つの第1照明部111a又は112aで照明されたワーク11を撮像部102により撮像する。この際、第1照明部111a(112a)から照射された光が第2照明部112b(111b)で反射され、迷光として撮像部102に入射することがある。
そこで、本実施形態では、第1照明部111a(112a)から第2照明部112b(111b)への光の入射の制限を行うように構成されている。例えば、第1照明部111a(112a)から照射された光が少なくとも第1照明部111aと対向する方位に配置された第2照明部112b(111b)に入射することを制限するために、遮光部材113が配置されている。遮光部材113は、例えば、図2に示すように、第1照明部111aの基板の第2照明部111bの側(第2照明部側)の側面に取り付けられている(固定されている)。同様に、第1照明部112aから照射された光が少なくとも第1照明部112aと対向する方位に配置された第2照明部111bに入射することを制限するために、遮光部材114が配置されている。遮光部材114は、例えば、図2に示すように、第1照明部112aの基板の第2照明部112bの側(第2照明部側)の側面に取り付けられている(固定されている)。
遮光部材113は、第1照明部111aから照射された光のうち、少なくとも第1照明部111aと対向する位置に配置された第2照明部112bに向かう光(第2照明部112bの反射板及び拡散板の少なくとも一方に入射する光)を遮る板部材である。また、遮光部材113は、第2照明部111bからワーク11に照射される光を遮らないように構成されている。遮光部材114は、第1照明部112aから照射された光のうち、少なくとも第1照明部111aと対向する位置に配置された第2照明部111bに向かう光(第2照明部111bの反射板及び拡散板の少なくとも一方に入射する光)を遮る板部材である。また、遮光部材114は、第2照明部112bからワーク11に照射される光を遮らないように構成されている。
ここで、遮光部材113の長さL(L1≦L≦L2)を数値的に説明する。L1は、第1照明部111aから照射された光のうち、第1照明部111aと対向する方位に配置された第2照明部112bに向かう光の少なくとも一部を遮光又は反射するために必要となる長さである。L2は、第1照明部111aと同じ方位に配置された第2照明部111bから照射され、ワーク11の端を照射する光を遮光又は反射しないために必要となる長さである。
図2に示すように、第1照明部111aから第2照明部112bに向かう光121としては、第1照明部111aの中心から射出されて第2照明部112bを直接照射する光が考えられる。従って、遮光部材113は、光121を遮光可能な長さL1以上の長さを有することで、第2照明部112で反射されて迷光となる光を低減することができる。また、第2照明部111bからワーク11に照射される光120としては、第2照明部111bの中心から射出されてワーク11の左端を照射する光が考えられる。従って、遮光部材113は、光120を遮光又は反射しない長さL2以下の長さに制限される。
ここで、図2に示すように、ワーク11の中心130に対する第1照明部111aの中心131の高さをz1、水平方向の距離をx1とし、ワーク11の中心130に対する第2照明部111bの中心132の高さをz2、水平方向の距離をx2とする。また、第1照明部111aの幅をLsとする。この場合、遮光部材113の長さL1は、以下の式(1)で表される。
L1=Ls/2・tanβ ・・・(1)
ここで、βは、以下の3つの式の解である。
β=π/2−θ1−θ
tanθ1=z1/x1
tanθ=(z2−z1)/(x2+x1)
遮光部材113の長さL2は、第2照明部111bからの光120よりも遮光部材113の先端が右側に存在するように(光120を遮らないように)、距離x1及びx2、高さz1及びz2、ワーク11の幅Lwに基づいて、以下の(2)で表される。
L2=√((x1−Ls/2・sinθ1−x’)2+(z1+Ls/2・sinθ1−z’)2) ・・・(2)
ここで、x’及びy’は、以下の5つの式の解である。
x’=−(b1−b2)/(tanθ1−tanγ)
y’=tanγ・x’+b2
b1=Ls/(2cosθ1)
b2=−Lw・tanγ/2
tanγ=z2/(x2−Lw/2)
第1照明部111aと第1照明部112aとは、ワーク11の中心130に対して等距離で同じ高さに配置されている。従って、遮光部材114の長さも同様に、長さL1及びL2によって決定される。
L1=Ls/2・tanβ ・・・(1)
ここで、βは、以下の3つの式の解である。
β=π/2−θ1−θ
tanθ1=z1/x1
tanθ=(z2−z1)/(x2+x1)
遮光部材113の長さL2は、第2照明部111bからの光120よりも遮光部材113の先端が右側に存在するように(光120を遮らないように)、距離x1及びx2、高さz1及びz2、ワーク11の幅Lwに基づいて、以下の(2)で表される。
L2=√((x1−Ls/2・sinθ1−x’)2+(z1+Ls/2・sinθ1−z’)2) ・・・(2)
ここで、x’及びy’は、以下の5つの式の解である。
x’=−(b1−b2)/(tanθ1−tanγ)
y’=tanγ・x’+b2
b1=Ls/(2cosθ1)
b2=−Lw・tanγ/2
tanγ=z2/(x2−Lw/2)
第1照明部111aと第1照明部112aとは、ワーク11の中心130に対して等距離で同じ高さに配置されている。従って、遮光部材114の長さも同様に、長さL1及びL2によって決定される。
遮光部材113及び114は、光を吸収する部材又は反射する部材で構成されている。例えば、遮光部材113及び114には、ブラックアルマイト処理、黒色又は光を吸収する色の塗装処理、鏡面処理などが施されている。
図2では、ハイアングル照明として、同じ高さに配置された第2照明部111b及び112bを例に説明したが、実際には、複数の高さに第2照明部が配置されている。この場合においても、遮光部材113及び114の長さは、同様の考えで、即ち、第1照明部111a及び111bに最も近い第2照明部を基準として、L1以上L2以下の範囲で決定すればよい。
また、遮光部材113の長さL1及びL2は、本実施形態では、幾何学的な計算によって決定しているが、これに限定されるものではなく、例えば、撮像部102で得られる計測光と迷光との比に基づいて決定することも可能である。ここでは、第1照明部111aからワーク11に照明され、撮像部102に直接到達した光を計測光、第1照明部111aからワーク11に照明され、第2照明部112bやその他の部材で反射してから撮像部102に到達した光を迷光とする。例えば、撮像部102で得られる計測光と迷光との強度比が閾値以下となるように、遮光部材113の長さL1及びL2を決定する。かかる閾値は、撮像部102におけるワーク11の欠陥の明るさやコントラストによって決定する。
図3は、第1照明部111aと第2照明部111bとを支持する支持部材115の構成を示す概略図である。第1照明部111aと第2照明部111bとは、支持部材115によって、一体的に配置されている。上述したように、遮光部材113は、第1照明部111aの基板の第2照明部側の側面に取り付けられているが、支持部材115に取り付けてもよい。
また、遮光部材113は、光121を遮ることができればよいため、第1照明部111aの上方かつ第2照明部111bの下方に配置されていればよい。従って、図4に示すように、第2照明部111bの基板の第1照明部111aの側の側面に、遮光部材113が取り付けられていてもよい。遮光部材114についても同様である。
また、本実施形態では、第1照明部から照射された光が第2照明部に入射することを制限するために、遮光部材113及び114を例に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図5に示すように、第1照明部111aからの光が第2照明部112bに入射しないように、第1照明部111aから射出される光の角度(射出角)を制限してもよい。第1照明部111bについても同様である。
本実施形態における検査装置10(検査システム1)は、例えば、物品を製造するのに用いられる。本実施形態における物品の製造方法は、検査装置10を用いて物体の外観の検査を行う工程と、かかる工程において検査の行われた物体を検査に基づいて処理する工程と、を含む。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
1:検査システム 10:検査装置 101:照明部 111a、112a:第1照明部 111b、112b:第2照明部 102:撮像部 103:画像処理部 104:制御部
Claims (11)
- 物体の外観の検査を行う検査装置であって、
第1入射角の第1照明光で前記物体の面を照明する第1照明部と、
前記第1入射角より大きい第2入射角の第2照明光で前記物体の面を照明する第2照明部と、
前記物体をその上方から撮像する撮像部と、
前記撮像部により得られた画像データに基づいて、前記検査に関する処理を行う処理部と、を有し、
前記第1照明部から前記第2照明部への光の入射の制限を行うように構成されている、
ことを特徴とする検査装置。 - 複数の方位のそれぞれに前記第1照明部を有し、複数の前記第1照明部のうちの1つで照明された前記物体を前記撮像部により撮像することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記第1照明部の上方かつ前記第2照明部の下方に配置された前記制限のための遮光部材を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記遮光部材は、前記第2照明部からの前記第2照明光を遮らないように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 前記第2照明部は、前記第2照明光を反射する反射板および前記第2照明光を拡散する拡散板のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記遮光部材は、前記第1照明部に取り付けられていることを特徴とする請求項3乃至5のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記制限は、前記第1照明部からの前記第1照明光の射出角を制限することによりなされることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記第1照明部と前記第2照明部とは、互いに180度異なる2つの方位にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記第1照明部及び前記第2照明部を支持する支持部材を有することを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 物体の外観の検査を行う検査システムであって、
請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の検査装置と、
前記物体を前記検査装置による検査位置に搬送する搬送装置と、
を有することを特徴とする検査システム。 - 請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の検査装置を用いて物体の外観の検査を行う工程と、
前記工程において前記検査の行われた前記物体を前記検査に基づいて処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2016203816A JP2018066590A (ja) | 2016-10-17 | 2016-10-17 | 検査装置、検査システム、および物品の製造方法 |
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2020134174A (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | 検査装置 |
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2016
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JP2020134174A (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | 検査装置 |
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