JP7501167B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
る。
X線を用いて撮像することにより検査対象を検査するX線検査装置であって、
前記検査対象に照射するX線を発生するX線発生器と、
前記検査対象を透過したX線を検出するX線検出器と、
前記撮像に関する条件である撮像条件の設定を受け付ける設定受付部と、
X線を用いた前記検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定された前記撮像条件に対する所要時間を推定する所要時間推定部と、
前記所要時間を表示する所要時間表示部と、
を備えたことを特徴とする。
前記X線検出器の視野に対応する前記検査対象の領域である単位撮像領域を設定する単位撮像領域設定部を、備え、
前記設定受付部は、前記検査対象に含まれる被検査物に対して、前記撮像条件の設定を受け付け、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に対して設定された前記撮像条件に応じて、前記単位撮像領域を設定し、
前記撮像条件は、前記単位撮像領域を、前記X線発生器において発生したX線が照射する時間である露光時間と、前記単位撮像領域を撮像する回数である撮像回数とを含み、
前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間を含むようにしてもよい。
前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間の、すべての前記単位撮像領域についての和を含み、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に応じて、該単位撮像領域の数が少なくなるように前記単位撮像領域を設定するようにしてもよい。
前記所要時間は、前記検査対象を、検査のための所定位置に位置決めするための時間を含むようにしてもよい。
前記所要時間は、前記検査対象を前記X線検査装置内に搬入する時間及び該X線装置内から搬出する時間を含むようにしてもよい。
以下、本発明の適用例について、図面を参照しつつ説明する。
できる。
以下では、本発明の実施例1に係るX線検査装置1について、図面を用いて、より詳細に説明する。ただし、この実施の形態に記載されている装置の構成は各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣旨のものではない。
図1は、X線検査装置1の概略構成を示す機能ブロック図である。ここでは、X線のCT画像を用いるX線検査装置について説明する。
X線検査装置1は、検査対象を、複数の撮像位置から撮像して3次元データを取得する装置であり、主として、撮像部11、演算部12、UI部13、検査対象搬送部14及びバス15を含んで構成される。バス15は、各部を接続してデータが送受信される伝送路である。検査対象としては、例えば、基板が挙げられるがこれに限られない。
X線発生器111は、検査対象に対してX線を照射する装置である。
X線検出器112は、X線発生器111から出力され、検査対象を透過したX線を検出して画像化する2次元X線検出器であり、例えば、I.I.(Image Intensifier)管や
FPD(フラットパネルディテクタ)を用いることができる。
ステージ113は、検査対象を複数の撮像位置から撮像するために、X線発生器111、X線検出器112及び検査対象の全部又は一部のX方向、Y方向及びZ方向の相対位置を変更する機構である。
位置決め部114は、検査対象を検査のための所定位置に位置決めする手段であり、検査対象のXY平面内の位置を検出するためのCCDカメラ、このXY平面に直交するZ方向の位置を検出する変位センサ、及び、これらの検出結果を処理し、検査対象を所定の位置に位置決めする機構を含む。
撮像条件記憶部115は、メモリ(例えば、後述する補助記憶部によって構成される)の所定領域であり、撮像条件を、当該撮像条件のもとで検査を行ったときの検査時間と関連付けて記憶している。
当てる。ここでは、画角は、本発明の単位撮像領域に対応し、画角割当部は、本発明の単位撮像領域設定部に対応する。
撮像条件設定UI131は、検査対象に含まれる被検査物ごとの撮像条件の入力を受け付けるユーザインタフェースであり、例えば、図3に示すようなユーザインタフェースによって構成される。
検査時間表示UI132は、検査時間推定部123によって推定された検査時間を表示するユーザインタフェースである。検査時間表示UI132は、本発明の所要時間表示部に対応する。
次に、検査時間表示処理の手順について説明する。
画面に左上部には、四角形状の検査対象表示領域1311が配置されている。この検査対象表示領域1311には、検査対象の所定領域を示す画像が表示される。検査対象表示領域1311に表示される所定領域は、検査対象の全部でもよいし一部でもよい。ここでは、検査対象である基板の所定領域を高さ方向(Z方向)から見た状態を示す。検査対象表示領域1311に表示されるのは、検査対象のCADデータ又はこれに基づいて生成した画像でもよいし、検査対象のサンプルを撮影した画像であってもよい。
1311c、D部品1311d、E部品1311e、F部品1311f、G部品1311g、H部品1311hが表示されている。ここで、A部品1311a,B部品1311b、E部品1311e、F部品1311f、G部品1311g、H部品1311hは、電子部品等の被検査物であり、C部品1311c、D部品1311dは、位置決め部114のCCDカメラにより撮像されるフィデューシャルマークである。
、検査時間が適切でないと判断した場合には、キャンセルボタン1316を選択することにより、撮像条件を変更する。このとき、被検査物の選択からやり直してもよい。
、推定検査時間を算出する(ステップS4)。
また、上述の画角間の移動、位置決め部114による位置決め、検査対象搬送部14による検査対象の搬入及び搬出が、本発明の所定の処理の例である。
詳細には、図5に示す例では、B部品1311bに対して、投影枚数が256枚であるから、画角13113で示される画角について、異なる角度から256回撮像する。各撮像時のX線の露光時間が85msecであるから、B部品の撮像時間は露光時間に撮像回数を乗じた85(msec)×256/1000=21.8秒となる。同様に、E部品1311eに対して、投影枚数が256枚、であるから、画角13111で示される画角について、異なる角度から256回撮像する。各撮像時のX線の露光時間が85msecであるから、E部品1311eの撮像時間は露光時間に撮像回数を乗じた85(msec)×256/1000=21.8秒となる。図4に示す例では、B部品1311b及びE部品1311eを含む画角13111について、X線の露光時間85msecで異なる角度から64回撮像するので、撮像時間は85(msec)×64/1000=5.4秒である。このため、画角13111について、図4に示す例から図5に示す例へと撮像条件を変更したことによる、撮像時間の増分は、21.8-5.4=16.4秒となる。新たに割り当てられた画角13113に対する上述の撮像時間21.8秒を加えると、図4に示す例から図5に示す例のように撮像条件が変更されたことによる、撮像時間の増分は、38.2秒となる。従って、撮像条件の変更後の推定検査時間は、撮像条件の変更前の推定検査時間31.2秒から38.2秒増加した69.4秒となる。
<発明1>
X線を用いて撮像することにより検査対象を検査するX線検査装置(1)であって、
前記検査対象に照射するX線を発生するX線発生器(111)と、
前記検査対象を透過したX線を検出するX線検出器(112)と、
前記撮像に関する条件である撮像条件の設定を受け付ける設定受付部(131)と、
X線を用いた前記検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定さ
れた前記撮像条件に対する所要時間を推定する所要時間推定部(123)と、
前記所要時間を表示する所要時間表示部(132)と、
を備えたことを特徴とするX線検査装置(1)。
111 :X線発生器
112 :X線検出器
123 :検査時間推定部
131 :撮像条件設定UI
132 :検査時間表示UI
Claims (4)
- X線を用いて撮像することにより検査対象を検査するX線検査装置であって、
前記検査対象に照射するX線を発生するX線発生器と、
前記検査対象を透過したX線を検出するX線検出器と、
前記撮像に関する条件である撮像条件の設定を受け付ける設定受付部と、
前記X線検出器の視野に対応する前記検査対象の領域である単位撮像領域を設定する単位撮像領域設定部と、
X線を用いた前記検査対象の撮像を含む所定の処理に要する所要時間であって、設定された前記撮像条件に対する所要時間を推定する所要時間推定部と、
前記所要時間を表示する所要時間表示部と、
を備え、
前記設定受付部は、前記検査対象に含まれる被検査物に対して、前記撮像条件の設定を受け付け、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に対して設定された前記撮像条件に応じて、前記単位撮像領域を設定し、
前記撮像条件は、前記単位撮像領域を、前記X線発生器において発生したX線が照射する時間である露光時間と、前記単位撮像領域を撮像する回数である撮像回数とを含み、
前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間を含むことを特徴とするX線検査装置。 - 前記所要時間は、前記露光時間に前記撮像回数を乗じた、前記単位撮像領域を撮像する時間の、すべての前記単位撮像領域についての和を含み、
前記単位撮像領域設定部は、前記被検査物に応じて、該単位撮像領域の数が少なくなるように前記単位撮像領域を設定することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記所要時間は、前記検査対象を、検査のための所定位置に位置決めするための時間を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線検査装置。
- 前記所要時間は、前記検査対象を前記X線検査装置内に搬入する時間及び該X線検査装
置内から搬出する時間を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のX線検査装置。
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