JP2018061946A - 排ガスおよび排液の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン系材料をエッチングした際に発生する排ガスを、水を吸収剤とするスクラバに導き、前記吸収剤を前記スクラバ内で循環させ、前記排ガスに含まれるフッ酸成分と硝酸成分を前記吸収剤内に濃縮する。また、シリコン系材料をエッチングした直後に、前記シリコン系材料を溜水槽内に浸漬させ、前記シリコン系材料に付着しているフッ酸成分と硝酸成分を前記溜水槽内で濃縮させ、前記溜水槽内での浸漬後に前記シリコン系材料を純水にてリンスして、該純水を排液として系外に排出する。
【選択図】図1
Description
2)SiO2+4HF→SiF4↑+2H2O
SiO2+6HF→H2SiF6
3)H2SiF6→SiF4↑+2HF
H2SiF6+H2O→H2SiO3+6HF
2、3 溜水槽
4、5 リンス槽
6 フード
7 排気ダクト
8 スクラバ
8A 充填剤槽
8B 吸収剤槽
9 送液ポンプ
10 排風器
11 排ガス
12 給水ライン
13 送液ライン
20 シリコン材料
Claims (2)
- シリコン系材料をエッチングした際に発生する排ガスを、水を吸収剤とするスクラバに導き、前記吸収剤を前記スクラバ内で循環させ、前記排ガスに含まれるフッ酸成分と硝酸成分を前記吸収剤内に濃縮する、排ガスの処理方法。
- シリコン系材料をエッチングした直後に、前記シリコン系材料を溜水槽内に浸漬させ、前記シリコン系材料に付着しているフッ酸成分と硝酸成分を前記溜水槽内で濃縮させ、前記溜水槽内での浸漬後に前記シリコン系材料を純水にてリンスして、該純水を排液として系外に排出する、排液の処理方法。
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CN108816029A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-11-16 | 浙江中宁硅业有限公司 | 一种利用低浓度hf酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备 |
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CN108816029A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-11-16 | 浙江中宁硅业有限公司 | 一种利用低浓度hf酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备 |
CN108816029B (zh) * | 2018-08-02 | 2023-10-13 | 浙江中宁硅业有限公司 | 一种利用低浓度hf酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备 |
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