JP2018056380A - スイッチング素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 スイッチング素子は、半導体基板と、半導体基板の上面に設けられたトレンチと、トレンチの内面を覆うゲート絶縁膜と、トレンチ内に配置され、ゲート絶縁膜によって半導体基板から絶縁されているゲート電極を備えている。半導体基板が、ゲート絶縁膜に接しているn型のソース領域と、ソース領域の下側でゲート絶縁膜に接しているp型のボディ領域と、ボディ領域の下側でゲート絶縁膜に接しており、ボディ領域によってソース領域から分離されているn型のドリフト領域と、トレンチの底面においてゲート絶縁膜に接しているp型の底部領域と、トレンチの側面においてゲート絶縁膜に接しており、ボディ領域と底部領域を接続しているp型の接続領域を備えている。接続領域の厚みは、底部領域側端部からボディ領域側端部に向かうにつれて薄くなる。
【選択図】 図2
Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:半導体基板
22:トレンチ
24:ゲート絶縁膜
26:ゲート電極
28:層間絶縁膜
30:ソース領域
32:ボディ領域
34:ドリフト領域
35:ドレイン領域
36:底部領域
38:接続領域
70:上部電極
72:下部電極
Claims (1)
- スイッチング素子であって、
半導体基板と、
前記半導体基板の上面に設けられたトレンチと、
前記トレンチの内面を覆うゲート絶縁膜と、
前記トレンチ内に配置されており、前記ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているゲート電極、
を備えており、
前記半導体基板が、
前記ゲート絶縁膜に接しているn型のソース領域と、
前記ソース領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しているp型のボディ領域と、
前記ボディ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域によって前記ソース領域から分離されているn型のドリフト領域と、
前記トレンチの底面において前記ゲート絶縁膜に接しているp型の底部領域と、
前記トレンチの側面において前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域と前記底部領域を接続しているp型の接続領域、
を備えており、
前記接続領域の厚みは、前記底部領域側端部から前記ボディ領域側端部に向かうにつれて薄くなる、
スイッチング素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016191827A JP2018056380A (ja) | 2016-09-29 | 2016-09-29 | スイッチング素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016191827A JP2018056380A (ja) | 2016-09-29 | 2016-09-29 | スイッチング素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018056380A true JP2018056380A (ja) | 2018-04-05 |
Family
ID=61833166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016191827A Pending JP2018056380A (ja) | 2016-09-29 | 2016-09-29 | スイッチング素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2018056380A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013012590A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置 |
JP2014107571A (ja) * | 2012-11-26 | 2014-06-09 | Infineon Technologies Austria Ag | 半導体素子 |
-
2016
- 2016-09-29 JP JP2016191827A patent/JP2018056380A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JP2013012590A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置 |
JP2014107571A (ja) * | 2012-11-26 | 2014-06-09 | Infineon Technologies Austria Ag | 半導体素子 |
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