JP2018012178A - テーブル上面の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】保持テーブルの上面形状を短時間で容易に検査すること。【解決手段】テーブル上面の検査方法は、板状ワーク(W)を吸引保持する保持テーブル(31)と、保持テーブルが保持した板状ワークを研削砥石(48)を環状に配設した研削ホイール(46)で研削する研削手段(41)とを備える研削装置(30)において保持テーブルの上面(32)形状を検査するテーブル上面の検査方法であって、保持テーブルの上面を覆う面積の平坦面を有するブロック(B)を載置し平坦面で上面を覆う載置工程と、保持テーブルを吸引源(51)に連通させブロックを吸引した吸引圧力を測定する測定工程と、測定工程で測定した吸引圧力値(a1、a2、a3)を予め設定する基準値(t)と比較させ、吸引圧力値が基準値に達していないときは上面の形状が正常ではないと判断する構成とした。【選択図】図6
Description
本発明は、保持テーブルの上面形状を検査するテーブル上面の検査方法に関する。
板状ワークを保持テーブルに保持させ研削砥石で研削する研削装置では、保持テーブルの上面を円錐状に形成し、円錐状の斜面に平行になるように研削砥石の研削面を位置づけ、保持テーブルの中心から外周に向かう半分の領域を使って板状ワークを研削する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。保持テーブルに円錐状に保持された板状ワークは、研削砥石の研削面が板状ワークの中心から外周に向かう半分の領域に円弧状に当てられることで研削される。この研削方法は板状ワークの厚み精度を調節するには適しているが、保持テーブルが円錐状に形成されているため研削砥石の板状ワークに対する接触面積が小さくなり、板状ワークの研削に時間がかかる場合がある。
保持テーブルの上面を平面に形成して、研削砥石の研削面が保持テーブルの上面の中心を通過するように研削砥石を板状ワークに接触させて板状ワークを研削すると、保持テーブルの外周の一端から他端に抜ける広い領域を使って研削することができる。これにより、研削砥石の板状ワークに対する接触面積を大きくすることができるため、研削時間の短縮が可能になる。
保持テーブルの上面の中心を通過しつつ外周の一端から他端に抜ける広い領域を使って板状ワークを研削する場合、研削砥石の板状ワークに対する接触面積が大きい状態を維持するためには、保持テーブルの上面の形状が良好であることが重要になる。保持テーブルの上面形状を検査するためには、研削砥石を回転させるスピンドル軸にダイヤルゲージを取り付け、ダイヤルゲージを保持テーブルの上面で移動させて上面の高さを測定する方法が考えられる。これにより、保持テーブルの上面形状が異常か正常かを判断できる。しかしながら、ダイヤルゲージの取り付けや測定作業は煩雑であり、時間が掛かる場合がある。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、保持テーブルの上面形状を短時間で容易に検査することができるテーブル上面の検査方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様のテーブル上面の検査方法は、板状ワークを吸引保持する保持テーブルと、保持テーブルが保持した板状ワークを研削砥石を環状に配設した研削ホイールで研削する研削手段とを備える研削装置において保持テーブルの上面形状を検査するテーブル上面の検査方法であって、保持テーブルの上面を覆う面積の平坦面を有するブロックを載置し該平坦面で該上面を覆う載置工程と、保持テーブルを吸引源に連通させ該ブロックを吸引した吸引圧力を測定する測定工程と、測定工程で測定した吸引圧力値を予め設定する基準値と比較させ、吸引圧力値が該基準値に達していないときは上面の形状が正常ではないと判断する判断工程と、を備える。
この構成によれば、保持テーブルの上面でブロックを吸引し、その吸引圧力を測定した吸引圧力値を用いて上面形状を判断するため、測定のための操作が容易であり測定に時間が掛からない。よって、保持テーブルの上面形状を短時間で容易に検査することができる。
本発明によれば、保持テーブルの上面形状を短時間で容易に検査することができる。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るテーブル上面の検査方法について説明する。
まず、本実施の形態に係るテーブル上面の検査方法に用いる研削装置について説明する。図1は、本実施の形態に係る研削方法に用いる研削装置の斜視図である。図1Aは、本実施の形態に係る研削装置に板状ワークが載置されていない状態を示し、図1Bは、本実施の形態に係る研削装置に板状ワークが載置され研削されている状態を示している。
図1A及び図1Bに示すように、研削装置30には保持テーブル31が設けられている。保持テーブル31の下方には、保持テーブル31を回転させる回転手段(不図示)が設けられている。保持テーブル31の上面32には、多孔質のポーラス材によって板状ワークW(図1Aでは不図示)を吸着する保持面33が形成されている。保持面33は、保持テーブル31内の流路35(図4参照)を通じて吸引源51(図4参照)に接続されており、保持面33に生じる負圧によって板状ワークWが吸引保持される。なお、板状ワークWは、研削対象になる板状のワークであればよく、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ基板等でもよい。
保持テーブル31の上方に配置される研削手段41は、モータ等の駆動源を含むスピンドル43の下端にマウント44を設けて構成されている。マウント44の下面には、ホイール基台47に複数の研削砥石48が真円の環状に配設された研削ホイール46が回転可能に装着されている。研削ホイール46の径は板状ワークWの直径と略同一となっている。研削ホイール46は、スピンドル43の駆動によって回転される。複数の研削砥石48は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンド等のボンド剤で固めたセグメント砥石で構成される。研削砥石48により、保持テーブル31に保持された板状ワークWが研削される。
板状ワークWの研削時には、板状ワークWは保持テーブル31の保持面33に載置され、負圧により保持テーブル31に吸引保持される。板状ワークWは保持テーブル31の回転により回転し、回転する研削ホイール46が板状ワークWの上面11に近付けられる。そして、研削砥石48が板状ワークWに接触しながら通過することで板状ワークWが研削される。
次いで、板状ワークWに対する研削砥石48の接触領域について、図2を参照して説明する。図2は、板状ワークに対する研削砥石の接触領域の変化を比較説明する図であり、図2Aは、本実施の形態に係る接触領域、図2Bは、比較例に係る接触領域を図示している。通常、板状ワークWは、研削砥石48との接触面積が大きくなるほど早く研削される。板状ワークWと研削砥石48との接触面積を大きくするため、本実施の形態では、図2Aに示すように、保持テーブル31の上面32の外周における一端C1から中心Oを通って他端C2に抜ける領域R1の全体に研削砥石48が通るように、板状ワークWが研削される。このとき、板状ワークWに形成される研削痕は円弧状の領域R2のようになり、保持テーブル31が回転することにより板状ワークWの全面が研削される。
これに対し、図2Bに示す比較例として保持テーブル71の上面72が円錐状に形成されている場合を考えると、研削砥石78は円錐状の斜面に平行になるように板状ワークWに接触される。この比較例では、図2Bに示すように、保持テーブル31の中心Oから外周に向かう半分の領域R3に研削砥石78が通るように、板状ワークWは研削される。このとき、板状ワークWに形成される研削痕は領域R4のようになり、図2Aに示す領域R2よりも小さくなる。言い換えると、比較例に比べ、本実施の形態の方が、板状ワークWは領域R2で研削されて研削砥石48の板状ワークWに対する接触面積を大きくすることができ、板状ワークWの研削時間を短くすることができる。本実施の形態では、研削砥石48と板状ワークWとの接触領域の調整は、保持テーブル31の回転軸31aの傾き又はスピンドル43の回転軸43a(いずれも図1参照)の傾きを調整することにより行うことができる。
図2Aに示す本実施の形態のように、板状ワークWが領域R2で研削砥石48に研削されるためには、研削砥石48が保持テーブル31の領域R1全体を通るように保持テーブル31の上面32が形成されている必要がある。保持テーブル31の上面32が良好に形成されていない場合、保持テーブル31の回転軸31aの傾き又はスピンドル43の回転軸43aの傾きを調整するだけでは、板状ワークWの領域R2の全体に研削砥石48を接触させることができない。すなわち、研削砥石48が保持テーブル31の領域R1の一部のみを通って板状ワークWを研削することになるため、研削砥石48の板状ワークWに対する接触面積は小さくなって板状ワークWの研削時間が長くなる。このため、保持テーブル31の上面32形状を検査し、保持テーブル31の上面32の形状が良好でない場合は、保持テーブル31を研削砥石48で研削するセルフグラインドが行われている。
ここで、保持テーブルの上面の形状を検査する従来方法を説明すると、ダイヤルゲージで保持テーブルの上面を測定するものが知られている。従来方法においては、研削手段のスピンドルに測定治具を介してダイヤルゲージが取り付けられる。ダイヤルゲージは、下端を保持テーブルの上面に接触させた状態でスピンドルが回転すると、研削ホイールと同じ軌道を描いて保持テーブルの上面を移動する位置に取り付けられている。これにより上面の高さ位置がダイヤルゲージによって測定され、測定値から上面の形状が判断される。しかしながら、ダイヤルゲージが所定の位置にくるように測定治具を用いてスピンドルに取り付ける作業は煩雑であり、ダイヤルゲージの取り付け作業から上面の高さ位置の測定までに時間が掛かる。また、ダイヤルゲージの取り付けが適切に行われていないと測定誤差が生じて上面の形状を正確に判断できない場合がある。そこで、本実施の形態においては、保持テーブル31にて従来から測定される吸引圧力の測定値に基づき、保持テーブル31の上面32の形状を検査することとしている。
ここで、保持テーブル31の上面32の形状について説明する。図3は、保持テーブルの上面の形状の説明図である。
図3Aは、保持テーブル31の上面32が平坦な形状である場合を示している。図3Bは、保持テーブル31の上面32の中央O付近が凹状の形状である場合を示している。図3Cは、保持テーブル31の上面32の中央O付近が凸状の形状である場合を示している。本実施の形態においては、図3Aから図3Cに示す上面32の形状を判断できるよう、保持テーブル31の上面32を検査している。
次に、図4から図6を参照して、本実施の形態に係るテーブル上面の検査方法について詳細に説明する。本実施の形態に係るテーブル上面の検査方法は、載置工程、測定工程、判断工程を含む。
まず、本実施の形態に係る載置工程について説明する。図4は、本実施の形態に係る載置工程の説明図である。図4に示すように、載置工程で用いる研削装置30において、保持面33は、配管36を介して吸引源51に接続されており、配管36には圧力計52が接続されている。圧力計52には、後述する判断部53が接続されている。載置工程では、まず、保持テーブル31の上面32にブロックBが載置され、上面32が覆われる。ブロックBは板状に形成され、厚さ方向両側に一対の主面B1、B2を備えている。これらの主面B1、B2は平坦面に形成され、保持テーブル31の上面32と同じ又はそれ以上の面積を有している。ブロックBは一方の主面B1、B2(本実施の形態では主面B2)を上面32に向けて、上面32の全面を覆うように載置される。
次に本実施の形態に係る測定工程について説明する。図5は、本実施の形態に係る測定工程の説明図である。図5に示すように、測定工程では保持テーブル31の上面32がブロックBで覆われている。配管36に設けられるバルブ(不図示)を開くことにより、吸引源51と上面32に形成された保持面33とを連通させ、保持面33に生じる負圧によってブロックBが保持テーブル31に吸引保持される。このとき、ブロックBに対する吸引圧力が圧力計52により測定される。一般に保持面33で板状ワークWが保持されると、圧力計52で吸引圧力値が測定され、保持面33でブロックBが保持される場合も同様に圧力計52で吸引圧力値が測定される。
次に、測定工程でのブロックBの載置状況と吸引圧力値について説明すると共に、本実施の形態に係る判断工程について説明する。図6は、本実施の形態に係るブロックの載置状況と吸引圧力値との関係及び判断工程の説明図である。図6Aから図6Cにおいて、左図は、上面がセルフグラインドされている状態を示し、右図は、本実施の形態に係るブロックが上面に載置されている状態を示している。
判断工程では、判断部53において測定工程で測定した吸引圧力値と、予め設定する基準値tとを比較する。そして、基準値tに吸引圧力値が達しないときは、上面32の形状が正常でないと判断される。以下に具体例を挙げて説明する。ここで、判断部53は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等によって構成されている。メモリは、用途に応じてROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。また、基準値tはブロックBで上面32を完全又は概ね完全に閉塞したときの圧力値とされる。
図6A左図に示すように、保持テーブル31の上面32と研削砥石48が平行になるように接触されて上面32がセルフグラインドされるとき、上面32は平坦に研削される。このとき、図6A右図に示すように、保持テーブル31の上面32にブロックBが載置されると(載置工程)、上面32はブロックBに隙間なく覆われる。この状態で吸引圧力を測定すると(測定工程)、ブロックBは保持面33で吸引保持されるため、吸引圧力値a1は基準値tより小さくなり(例えば負圧の基準値tに負圧の吸引圧力値a1が達する)、判断部53は上面32の形状は正常であると判断する(判断工程)。
この場合、上面32の検査終了後に板状ワークW(不図示)を上面32に載置すると、板状ワークWは上面32の平坦な形状に沿って保持される。よって、図2Aに示すように保持テーブル31の領域R1内に位置する板状ワークWの全領域が研削砥石48に接触する。言い換えると、板状ワークWが研削砥石48で研削されるとき、領域R1内に研削砥石48と板状ワークWとが離れる領域がなくなり、板状ワークWは領域R2で研削される。このため、板状ワークWと研削砥石48との接触面積は大きくなる。
図6B左図に示すように、研削砥石48が保持テーブル31の上面32の中心O付近に強く当たるように上面32がセルフグラインドされるとき、上面32は中央O付近が凹状の形状になるように研削される。このとき、図6B右図に示すように、上面32はブロックBに、中央O付近では隙間をあけて外周付近では閉じるように覆われる(載置工程)。この状態で吸引圧力を測定すると(測定工程)、ブロックBは保持面33で吸引保持されるため、吸引圧力値a2は基準値tより小さくなり、判断部53は上面32の形状は正常であると判断する(判断工程)。
この場合、上面32の検査終了後に板状ワークW(不図示)を上面32に載置すると、板状ワークWは上面32の凹状の形状に沿って保持される。上面32の中央O付近では研削砥石48が離れ易く、領域R1(図2A参照)全体で研削砥石48が離れないように板状ワークWを研削することが難しい。このとき、保持テーブル31の回転軸31aの傾き又はスピンドル43の回転軸43aの傾きを調整する。これにより、中央O付近を含む領域R1内に位置する板状ワークWの全領域を研削砥石48に接触させることができ、板状ワークWは領域R2で研削される。このため、板状ワークWと研削砥石48との接触面積は大きくなる。
図6C左図に示すように、研削砥石48が保持テーブル31の上面32の中心O付近に弱く当たるように上面32がセルフグラインドされるとき、上面32は中央O付近が凸状の形状になるように研削される。このとき、図6C右図に示すように、上面32はブロックBに、外周側で外部に連なる隙間が形成されるように覆われる(載置工程)。この状態で吸引圧力を測定すると(測定工程)、吸引漏れにより吸引圧力値a3は基準値tより大きくなるため(例えば負圧の基準値tに負圧の吸引圧力値a3が達しない)、判断部53は上面32の形状は正常ではないと判断する(判断工程)。
この場合、上面32の検査終了後に板状ワークW(不図示)を上面32に載置すると、板状ワークWは上面32の凸状の形状に沿って保持される。上面32の外周の一端C1付近及び他端C2付近(図2参照)では研削砥石48が離れ易く、領域R1(図2A参照)全体で研削砥石48が離れないように板状ワークWを研削することができない。
保持テーブル31の上面32の中央O付近が凸状の形状である場合、上面32は円錐状、又は円錐台状に形成されている場合がある。どちらの形状に形成されているかによって保持テーブル31の回転軸31aの傾き及びスピンドル43の回転軸43aの傾きの調整が異なるため、回転軸31a及び回転軸43aの調整が難しい。このため、領域R1内に位置する板状ワークWの全領域を研削砥石48に接触させることができず、板状ワークWを領域R2で研削することができない場合がある。したがって、判断部53は上面32のセルフグランディングを再び行わせるよう、研削手段41を制御する。
このように、判断工程においては、判断部53が測定工程で測定した吸引圧力値a1、a2、a3と基準値tを比べることにより、保持テーブル31の上面32の形状について正常か否かを判断することができる。また、圧力計52としては、板状ワークWの吸引保持状態を確認するための従来(既存)の圧力計をそのまま用いることができる。このため、測定工程において、測定の度に配管36に圧力計52を接続する必要がなく、更には、ダイヤルゲージ等の部材を研削装置30に取り付ける必要もない。しかも、従来の板状ワークWが保持面33に吸引保持される構成を利用することができるため、保持テーブル31の上面32をブロックBで覆うという簡易な構成で短時間に保持テーブル31の上面32の形状を検査することができる。
以上のように、本実施の形態に係るテーブル上面の検査方法では、保持テーブル31の上面32でブロックBを吸引し、その吸引圧力を測定した吸引圧力値a1、a2、a3を用いて上面32形状を判断するため、測定のための操作が容易であり測定に時間が掛からない。よって、保持テーブルの上面形状を短時間で容易に検査することができる。
上記実施の形態においては、ブロックBの主面B1、B2が平坦面に形成される構成としたが、保持テーブル31の上面32を覆うことができれば、主面B1又は主面B2のいずれか一方が平坦であればよい。
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
以上説明したように、本発明は、保持テーブルの上面形状を短時間で容易に検査することができるという効果を有し、特に、保持テーブルの上面形状を検査する方法に有用である。
30 研削装置
31 保持テーブル
32 (保持テーブルの)上面
41 研削手段
46 研削ホイール
48 研削砥石
51 吸引源
a1、a2、a3 吸引圧力値
B ブロック
t 基準値
W 板状ワーク
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B ブロック
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W 板状ワーク
Claims (1)
- 板状ワークを吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した板状ワークを研削砥石を環状に配設した研削ホイールで研削する研削手段とを備える研削装置において該保持テーブルの上面形状を検査するテーブル上面の検査方法であって、
該保持テーブルの上面を覆う面積の平坦面を有するブロックを載置し該平坦面で該上面を覆う載置工程と、
該保持テーブルを吸引源に連通させ該ブロックを吸引した吸引圧力を測定する測定工程と、
該測定工程で測定した吸引圧力値を予め設定する基準値と比較させ、該吸引圧力値が該基準値に達していないときは該上面の形状が正常ではないと判断する判断工程と、を備えるテーブル上面の検査方法。
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JPH06341830A (ja) * | 1993-06-02 | 1994-12-13 | Murata Mfg Co Ltd | ワークの反り選別装置 |
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2016
- 2016-07-22 JP JP2016144139A patent/JP2018012178A/ja active Pending
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