JP2018011053A - 半導体装置、及び半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の導電体と、その上の第1の絶縁体と、その上の第1の酸化物と、その上の第2の酸化物と、その上に、離間して配置された第2の導電体及び第3の導電体と、第1の絶縁体、第2の酸化物、第2の導電体及び第3の導電体の上に配置された第3の酸化物と、その上の第2の絶縁体と、その上の第4の導電体と、第1の絶縁体、第2の絶縁体及び第4の導電体の上に配置された第3の絶縁体と、を有し、第2の酸化物は、エネルギーバンドの伝導帯下端のエネルギーが低い領域と、エネルギーバンドの伝導帯下端のエネルギーが高い領域と、を有し、第3の酸化物の伝導帯下端のエネルギーは、第2の酸化物の伝導帯下端のエネルギーが低い領域における伝導帯下端のエネルギーより高く、第1の酸化物及び第2の酸化物は、側面が第3の酸化物に覆われる半導体装置。
【選択図】図1
Description
<トランジスタの構成>
図1(A)は、本発明の一態様であるトランジスタの上面図である。また、図1(B)は、図1(A)にA1−A2の一点鎖線で示す部位の断面図である。つまりトランジスタのチャネル形成領域におけるチャネル長方向の断面図をしめす。図1(C)は、図1(A)にA3−A4の一点鎖線で示す部位の断面図である。つまりトランジスタのチャネル幅方向の断面図をしめす。図1(A)の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。なお、トランジスタのチャネル長方向とは、基板と水平な面内において、ソース(ソース領域またはソース電極)及びドレイン(ドレイン領域またはドレイン電極)間において、キャリアが移動する方向を意味し、チャネル幅方向は、基板と水平な面内において、チャネル長方向に対して垂直の方向を意味する。
本実施の形態に示すトランジスタを設ける基板としては、例えば、絶縁体基板、半導体基板または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板(イットリア安定化ジルコニア基板など)、樹脂基板などがある。また、半導体基板としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの単体半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導体基板、例えばSOI(Silicon On Insulator)基板などがある。導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、これらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。
トランジスタを、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。例えば絶縁体401、絶縁体408a、絶縁体408b及び絶縁体420として、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いればよい。また、絶縁体303に水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いてもよい。絶縁体401、絶縁体303、絶縁体408a、絶縁体408b及び絶縁体420は、絶縁体402などより、水または水素などの不純物が透過しにくい絶縁性材料を用いて形成することが好ましい。
導電体404、導電体310、導電体416a1、導電体416a2としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウムなどから選ばれた金属元素を1種以上含む材料を用いることができる。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
<トランジスタの作製方法>
以下では、本発明の一態様に係る図1に示すトランジスタの作製方法を図1および図7乃至図10を用いて説明する。図7乃至図10では、図1(B)に示す一点鎖線A1−A2の断面に対応する断面図と、図1(C)に示す一点鎖線A3−A4の断面に対応する断面図と、を示している。
本実施の形態では、半導体装置の一形態を、図11乃至図13を用いて説明する。
本発明の一態様である半導体装置を使用した、記憶装置の一例を図11に示す。
図11に示す記憶装置は、トランジスタ800のゲートの電位が保持可能という特性を有することで、以下に示すように、情報の書き込み、保持、読み出しが可能である。
図11に示す記憶装置は、トランジスタ800を有さない構成としてもよい。トランジスタ800を有さない場合も、先に述べた記憶装置と同様の動作により情報の書き込みおよび保持動作が可能である。
本発明の一態様の記憶装置の一例を、図11に示す。記憶装置は、トランジスタ900、トランジスタ800、トランジスタ700、容量素子600を有する。トランジスタ700はトランジスタ800の上方に設けられ、容量素子600はトランジスタ800、およびトランジスタ700の上方に設けられている。
記憶装置の変形例の一例を、図12に示す。図12は、図11と、トランジスタ800の構成が異なる。
記憶装置の変形例の一例を、図13に示す。図13は、図11と、容量素子600の配置などが異なる。なお、図13ではトランジスタ900を図示していない。
以下に、試料1Aの作製方法を説明する。
次に、試料1Aの電気特性として、Id−Vg特性を測定した。
次に、試料1Aの信頼性試験を行った。信頼性試験としては、Bias Temperature(BT)ストレス試験を行った。BTストレス試験は、トランジスタの信頼性試験の中で最も重要な信頼性試験項目の一つである。
002 領域
301 絶縁体
302 絶縁体
303 絶縁体
310 導電体
310a 導電体
310A 導電膜
310b 導電体
310B 導電膜
310ca 導電体
310cb 導電体
310cc 導電体
310da 導電体
310db 導電体
310dc 導電体
310ea 導電体
310eb 導電体
310ec 導電体
401 絶縁体
402 絶縁体
404 導電体
404a 導電体
404A 導電膜
404b 導電体
404B 導電膜
404c 導電体
404C 導電膜
404d 導電体
404e 導電体
404f 導電体
404g 導電体
404h 導電体
404i 導電体
404j 導電体
404k 導電体
406a 酸化物
406A 酸化膜
406b 酸化物
406B 酸化膜
406c 酸化物
406C 酸化膜
406d 酸化物
408a 絶縁体
408b 絶縁体
410 絶縁体
412 絶縁体
412a 絶縁体
412A 絶縁膜
416a1 導電体
416a2 導電体
416A 導電膜
416B 導電膜
417a1 バリア膜
417a2 バリア膜
417A バリア膜
418 バリア膜
418b バリア膜
418A バリア膜
419a1 導電体
419a2 導電体
419A 導電膜
420 絶縁体
422 絶縁体
600 容量素子
612 導電体
616 導電体
630 絶縁体
632 絶縁体
634 絶縁体
650 絶縁体
700 トランジスタ
710 絶縁体
718 導電体
785 導電体
787 導電体
800 トランジスタ
811 基板
812 半導体領域
814 絶縁体
816 導電体
818a 低抵抗領域
818b 低抵抗領域
820 絶縁体
822 絶縁体
824 絶縁体
826 絶縁体
828 導電体
830 導電体
850 絶縁体
852 絶縁体
854 絶縁体
856 導電体
858 絶縁体
900 トランジスタ
3001 配線
3002 配線
3003 配線
3004 配線
3005 配線
3006 配線
3007 配線
3008 配線
3009 配線
3010 配線
Claims (14)
- 第1の導電体と、
前記第1の導電体の上に配置された第1の絶縁体と、
前記第1の絶縁体の上に配置された第1の酸化物と、
前記第1の酸化物の上に配置された第2の酸化物と、
前記第2の酸化物の上に、離間して配置された第2の導電体及び第3の導電体と、
前記第1の絶縁体、前記第2の酸化物、前記第2の導電体及び前記第3の導電体の上に配置された第3の酸化物と、
前記第3の酸化物の上に配置された第2の絶縁体と、
少なくとも一部が前記第2の酸化物と重なるように、前記第2の絶縁体の上に配置された第4の導電体と、
前記第1の絶縁体、前記第2の絶縁体及び前記第4の導電体の上に配置された第3の絶縁体と、を有し、
前記第2の酸化物は、
エネルギーバンドの伝導帯下端のエネルギーが低い領域と、
エネルギーバンドの伝導帯下端のエネルギーが高い領域と、を有し、
前記伝導帯下端のエネルギーが低い領域は、
前記伝導帯下端のエネルギーが高い領域よりもキャリアが多く、
前記第3の酸化物の伝導帯下端のエネルギーは、前記第2の酸化物の前記伝導帯下端のエネルギーが低い領域における伝導帯下端のエネルギーより高く、
前記第1の酸化物及び前記第2の酸化物は、側面が前記第3の酸化物に覆われる、ことを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電体と、
前記第1の導電体の上に配置された第1の絶縁体と、
前記第1の絶縁体の上に配置された第1の酸化物と、
前記第1の酸化物の上に配置された第2の酸化物と、
前記第2の酸化物の上に、離間して配置された第2の導電体及び第3の導電体と、
前記第1の絶縁体、前記第2の酸化物、前記第2の導電体及び前記第3の導電体の上に配置された第3の酸化物と、
前記第3の酸化物の上に配置された第2の絶縁体と、
少なくとも一部が前記第2の酸化物と重なるように、前記第2の絶縁体の上に配置された第4の導電体と、
前記第1の絶縁体、前記第2の絶縁体及び前記第4の導電体の上に配置された第3の絶縁体と、を有し、
前記第2の酸化物は、
第1の領域と、第2の領域と、を有し、
前記第1の領域は、元素M(MはAl、Ga、Si、B、Y、Ti、Fe、Ni、Ge、Zr、Mo、La、Ce、Nd、Hf、Ta、W、Mg、V、Be、またはCuのいずれか一つ、または複数)を含み、
前記第2の領域は、InまたはZnのいずれか一方または双方を含み、
前記第1の領域、及び前記第2の領域は、モザイク状に配置され、
前記第3の酸化物は、In、Zn、及び元素Mを含み、
前記第3の酸化物における、Inに対する元素Mの原子数比が、前記第2の酸化物における、Inに対する元素Mの原子数比より大きく、
前記第1の酸化物及び前記第2の酸化物は、側面が前記第3の酸化物に覆われる、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2において、
前記第1の領域、または前記第2の領域は、周辺部がボケており、クラウド状である、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2または請求項3において、
前記第2の酸化物における、In、Zn及び元素Mの原子数比は、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍である、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2乃至請求項4のいずれか一項において、
前記第3の酸化物における、In、Zn及び元素Mの原子数比は、In:M:Zn=1:1:1またはその近傍である、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項において、
前記第2の酸化物は、
第1の結晶部と、第2の結晶部と、を有し、
前記第1の結晶部は、c軸配向性の領域を有し、
前記第2の結晶部は、ナノ結晶領域を有する、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項において、
前記第3の酸化物は、前記第2の酸化物より高い結晶性を有する、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、
前記第3の酸化物は、c軸配向性の領域を有する、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか一項において、
前記第3の酸化物の一部は、前記第1の絶縁体の上面に接する、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一項において、
前記第3の絶縁体の一部は、前記第1の絶縁体の上面に接する、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項において、
前記第2の導電体の一方の側端部は、前記第1の酸化物の一方の側端部及び前記第2の酸化物の一方の側端部と略一致し、
前記第3の導電体の一方の側端部は、前記第1の酸化物の他方の側端部及び前記第2の酸化物の他方の側端部と略一致する、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項11のいずれか一項において、
前記第3の酸化物の一部は、前記第2の導電体及び前記第3の導電体が前記第2の酸化物に重ならない領域において、前記第2の酸化物の上面に接し、
前記第2の絶縁体は、前記第3の酸化物の上面に接し、
前記第3の絶縁体の一部は、前記第4の導電体が前記第2の絶縁体に重ならない領域において、前記第2の絶縁体の上面に接する、ことを特徴とする半導体装置。 - 第1の導電体を形成する工程と、
前記第1の導電体の上に第1の絶縁体を形成する工程と、
前記第1の絶縁体の形成後に第1の熱処理を行う工程と、
前記第1の絶縁体の上に第1の酸化物を形成する工程と、
前記第1の酸化物の上に、基板温度を100℃以上140℃未満とし、酸素ガスの割合を0%以上30%以下として成膜した、第2の酸化物を形成する工程と、
前記第2の酸化物の上に、離間して第2の導電体及び第3の導電体を形成する工程と、
前記第1の絶縁体、前記第2の酸化物、前記第2の導電体及び前記第3の導電体の上に、基板温度を室温以上200℃未満とし、酸素ガスの割合を70%以上として成膜し、前記第1の酸化物及び前記第2の酸化物を覆って、第3の酸化物を形成する工程と、
前記第3の酸化物の上に第2の絶縁体を形成する工程と、
前記第2の絶縁体の形成後に第2の熱処理を行う工程と、
前記第2の絶縁体の上に第4の導電体を形成する工程と、
前記第4の導電体の成膜後に第3の熱処理を行う工程と、
前記第3の熱処理後に、少なくとも一部が前記第2の酸化物と重なるように、前記第4の導電体の一部を選択的に除去して、第5の導電体を形成する工程と、
前記第1の絶縁体、前記第2の絶縁体及び前記第5の導電体の上に第3の絶縁体を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項13において、前記第1乃至第3の熱処理を窒素ガス雰囲気で行う、ことを特徴とする半導体装置の作製方法。
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