JP2018005821A - 光学計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学計測装置3は、PLC1から一定の通信周期でフィールドバス2に送信された同期信号を受信するとともに、同期信号に同期して光学計測装置3による測定結果(測定値)と、同期監視信号とを出力するように構成されたインターフェース部31と、通信周期とは独立した測定周期で光学的な測定を実行して測定結果を生成するとともに、同期監視信号を生成するように構成された計測部32とを備える。計測部32は、測定を開始した後のインターフェース部31による同期信号の受信に同期して、同期監視信号をオン状態に設定し、測定結果がインターフェース部31から出力される場合に、インターフェース部31による同期信号の受信に同期して、同期監視信号をオフ状態に設定する。
【選択図】図10
Description
図1は、本実施の形態に係る計測システム100の構成例を示す模式図である。図1を参照して、計測システム100は、PLC1と、フィールドバス2と、光学計測装置3と、サーボモータ4とを含む。
図2は、EtherCATによるスレーブの同期を説明するための模式的なブロック図である。図2を参照して、制御システムSYSは、マスタ装置1aと、スレーブ装置3−1〜3−3と、マスタ装置1aおよびスレーブ装置3−1〜3−3を接続するフィールドバス2によって構成される。
図4は、フィールドバスに接続された光学計測装置の測定周期と、EtherCATの通信周期とが同期していない場合の課題点を説明するためのタイミング図である。図4を参照して、一般的に光学計測装置(たとえば光学式変位センサ)では、光学計測装置自体の測定周期にしたがって撮像を行う。光学計測装置は、通信周期記の1サイクルごとに測定値を出力する。
本実施の形態では、光学計測装置は、測定のタイミングをフィールドバスの通信周期に同期させる。これにより、測定のタイミングがフィールドバスの通信周期に関連付けられる。
図10は、本実施の形態に係る光学計測装置の詳細な構成を示したブロック図である。図10を参照して、センサコントローラ11は、インターフェース部31と、計測部32と、クロック33とを含む。計測部32は、投受光制御部41と、センサ制御部42と、演算部43と、信号生成部44とを含む。
図11は、本実施の形態に係る光学計測装置3による、同期監視信号の出力の例を模式的に示したタイミング図である。図10および図11を参照して、時刻tAにおいて、光学計測装置3は、通信周期に同期して測定を開始するとともに、同期監視信号をオフ状態からオン状態に変化させる。したがって時刻tAにおいて、同期監視信号は、第1の状態であるオン状態に設定される。
図13は、本実施の形態に係る光学計測装置3によって実行される、同期監視信号の出力に関する一連の処理のフローチャートである。図10および図13を参照して、SYNC割込みの発生により、処理が開始されるとともに、SYNC割込みのたびに図13に示された一連の処理が繰り返して実行される。
図14は、図1に示された計測システム100の応用例を示した概略図である。図1および図14を参照して、計測対象物51は、ステージ5(図1参照)を駆動するサーボモータ4によって、二次元方向(X方向およびY方向)に走査される。センサヘッド12は、センサヘッド12から計測対象物51までの距離(Z方向の変位)を測定する。位置データと、光学計測装置3の測定値とが、PLC1に送られて、PLC1は、その内部で実行されるプログラムによって、位置データと光学計測装置3の測定値とを紐づける。図1および図14に示された構成によれば、ステージ5の加減速の影響を受けにくい変位の計測を実現できる。したがって正確な測定が可能な3次元形状測定システムを実現することができる。
Claims (6)
- マスタ装置およびスレーブ装置の間で時刻を同期させる同期機能を有する産業用ネットワークに接続可能に構成された光学計測装置であって、
前記マスタ装置から一定の通信周期で前記産業用ネットワークに送信された同期信号を受信するとともに、前記同期信号に同期して、前記光学計測装置による測定結果と、第1の状態および第2の状態を有する同期監視信号とを出力するように構成されたインターフェース部と、
前記通信周期とは独立した測定周期で光学的な測定を実行して前記測定結果を生成するとともに、前記同期監視信号を生成するように構成された計測部とを備え、
前記計測部は、前記測定を開始した後の前記インターフェース部による前記同期信号の受信に同期して、前記同期監視信号を前記第1の状態に設定し、前記測定結果が前記インターフェース部から出力される場合に、前記インターフェース部による前記同期信号の受信に同期して、前記同期監視信号を前記第2の状態に設定する、光学計測装置。 - 前記計測部は、前記インターフェース部が前記同期信号を受信するタイミングに同期して、前記同期監視信号を前記第1の状態に設定する、請求項1に記載の光学計測装置。
- 前記計測部は、前記インターフェース部が前記同期信号に同期して前記測定結果を出力するタイミングで、前記同期監視信号を前記第2の状態に設定する、請求項2に記載の光学計測装置。
- 前記計測部は、開始のタイミングが異なる複数の前記測定を並列に実行可能なように構成され、前記複数の前記測定により、前記同期監視信号を前記第1の状態に設定するタイミングと、前記同期監視信号を前記第2の状態に設定するタイミングとが重なる場合には、前記同期監視信号の状態が変化するように、前記同期監視信号を前記第1の状態および前記第2の状態のいずれかに設定する、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の光学計測装置。
- 前記計測部は、開始のタイミングが異なる複数の前記測定を並列に実行可能であるとともに、前記複数の前記測定にそれぞれ対応した複数の前記同期監視信号を生成可能であるように構成され、前記複数の前記測定のうちの第1の測定の開始に応じて、前記複数の前記同期監視信号のうち、前記第1の測定に対応する第1の同期監視信号を前記第1の状態に設定し、前記第1の同期監視信号を前記第2の状態に設定する前に、前記第1の測定の次の第2の測定を開始するとともに、前記複数の前記同期監視信号のうち、前記第2の測定に対応する第2の同期監視信号を前記第1の状態に設定する、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の光学計測装置。
- 前記通信周期は前記測定周期よりも短い、または、前記通信周期は、前記測定周期よりも長く、かつ、前記計測部による測定処理時間を前記測定周期に加えた時間よりも短い、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の光学計測装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019133521A (ja) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | オムロン株式会社 | データサンプリング装置、及びデータサンプリング方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018072225A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | オムロン株式会社 | 制御システム、その制御方法およびそのプログラム |
JP6919596B2 (ja) * | 2018-03-01 | 2021-08-18 | オムロン株式会社 | 計測システムおよび方法 |
JP6866865B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-04-28 | オムロン株式会社 | 計測処理装置、計測処理方法及びプログラム |
CN116136678A (zh) * | 2021-11-18 | 2023-05-19 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种三坐标测量机融入智能化车间管控***的控制方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62143596A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-26 | Sanyo Electric Co Ltd | 遠隔デ−タ検出方式 |
JP2006048284A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Yaskawa Electric Corp | プログラマブルコントローラ装置およびオプションモジュールとの同期方法 |
JP2013516928A (ja) * | 2010-01-11 | 2013-05-13 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 複数の計測デバイスによって行われる測定を同期させるための方法および装置 |
JP2014202568A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
US20150134856A1 (en) * | 2012-05-14 | 2015-05-14 | Balluff Gmbh | Control device for controlling a safety device, and use of an io link for transmission of a safety protocol to a safety device |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4982185A (en) * | 1989-05-17 | 1991-01-01 | Blh Electronics, Inc. | System for synchronous measurement in a digital computer network |
US6704684B2 (en) * | 1999-10-22 | 2004-03-09 | Carl-Zeiss-Stiftung | Method for determining measuring points on a workpiece and a measuring system therefor |
JP4032421B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2008-01-16 | 横河電機株式会社 | 測定データ同期システム |
JP2007312043A (ja) | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Omron Corp | リモートi/oシステム |
JP5314239B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2013-10-16 | 株式会社キーエンス | 光学式変位計、光学式変位測定方法、光学式変位測定プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
US8805585B2 (en) * | 2008-06-05 | 2014-08-12 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Handling apparatus, control device, control method, and program |
WO2012081115A1 (ja) | 2010-12-16 | 2012-06-21 | 三菱電機株式会社 | シーケンサシステムおよびその制御方法 |
US9160898B2 (en) * | 2011-01-25 | 2015-10-13 | Autofuss | System and method for improved video motion control |
JP5316563B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2013-10-16 | オムロン株式会社 | 画像処理装置および画像処理システム |
CN102183940B (zh) * | 2011-05-31 | 2013-01-16 | 深圳华强数码电影有限公司 | 大型魔球多轴同步控制***、方法及魔球 |
JP5870576B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2016-03-01 | オムロン株式会社 | 光学計測装置 |
EP2764455B1 (en) | 2011-10-05 | 2022-04-20 | Opteon Corporation | System and method for monitoring and/or controlling dynamic environments |
TWI448906B (zh) * | 2011-12-30 | 2014-08-11 | Aten Int Co Ltd | 遠端管理系統及其遠端管理方法 |
CN204046621U (zh) * | 2014-08-07 | 2014-12-24 | 上海华穗电子科技有限公司 | 用光纤传输的采样时钟同步装置 |
CN108964865B (zh) * | 2018-08-24 | 2022-02-22 | 锐迪科(重庆)微电子科技有限公司 | 一种终端接收方法及装置 |
-
2016
- 2016-07-08 JP JP2016135957A patent/JP6737018B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-02 KR KR1020170068793A patent/KR101988103B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-20 CN CN201710472648.2A patent/CN107588726B/zh active Active
- 2017-06-22 EP EP17177299.9A patent/EP3267148B1/en active Active
- 2017-06-28 US US15/636,215 patent/US10514294B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62143596A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-26 | Sanyo Electric Co Ltd | 遠隔デ−タ検出方式 |
JP2006048284A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Yaskawa Electric Corp | プログラマブルコントローラ装置およびオプションモジュールとの同期方法 |
JP2013516928A (ja) * | 2010-01-11 | 2013-05-13 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 複数の計測デバイスによって行われる測定を同期させるための方法および装置 |
US20150134856A1 (en) * | 2012-05-14 | 2015-05-14 | Balluff Gmbh | Control device for controlling a safety device, and use of an io link for transmission of a safety protocol to a safety device |
JP2014202568A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | エンコーダ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019133521A (ja) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | オムロン株式会社 | データサンプリング装置、及びデータサンプリング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3267148A1 (en) | 2018-01-10 |
CN107588726A (zh) | 2018-01-16 |
KR101988103B1 (ko) | 2019-06-11 |
JP6737018B2 (ja) | 2020-08-05 |
EP3267148B1 (en) | 2018-09-26 |
KR20180006285A (ko) | 2018-01-17 |
US10514294B2 (en) | 2019-12-24 |
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