JP2018003615A - ロータ寿命推定装置および真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロータ寿命推定装置100は、ポンプロータ4aのクリープ歪み速度相当量と温度との相関関係およびロータ温度センサ8により検出される温度に基づいて、ポンプロータ4aのクリープ歪みに相当する歪み相当量である歪み積算値の算出、およびその歪み積算値に基づいてロータ寿命を推定する演算部105と、推定されたロータ寿命に関する情報を提示する表示部104と、を備える。
【選択図】図1
Description
さらに好ましい実施形態では、前記真空ポンプは、前記温度の検出タイミングに関する時間情報を生成する計時部を備え、前記ロータ温度検出部により経時的に検出される複数の温度のそれぞれに関して、前記時間情報と前記歪み相当量とから成るデータセットをデータ記憶領域に記憶する記憶部を備え、前記推定部は、前記記憶部に記憶された複数の前記データセットに基づいて将来の歪み相当量の時間的な変化を推定し、前記将来の歪み相当量がロータ寿命として設定された歪み相当量閾値に達するロータ寿命を推定する。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータ温度検出部から取得される前記温度の取得タイミング検出に関する時間情報を生成する計時部と、前記ロータ温度検出部により経時的に検出される複数の温度のそれぞれに関して、前記時間情報と前記歪み相当量とから成るデータセットをデータ記憶領域に記憶する記憶部を備え、前記推定部は、前記記憶部に記憶された複数の前記データセットに基づいて将来の歪み相当量の時間的な変化を推定し、前記将来の歪み相当量がロータ寿命として設定された歪み相当量閾値に達するロータ寿命を推定する。
さらに好ましい実施形態では、複数の前記データセットの内、前記時間情報が前記推定部による推定の時刻により近いデータセットに、より大きな重み付けを行うデータ処理部を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記データ処理部は、前記記憶部に記憶された複数のデータセットの数を減少させる平均化処理を行うと共に、前記平均化処理により生じる前記データ記憶領域の空き領域に新たなデータセットを記憶させる。
さらに好ましい実施形態では、前記時間情報は、前記ロータが所定条件で回転駆動されている時間を累積したロータ駆動累積時間である。
さらに好ましい実施形態では、前記推定部は、ロータ寿命として設定された歪み相当量閾値と前記歪み相当量との差分に基づいて、推定時からロータ寿命までの残寿命を推定する。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータの歪み実測データが入力される入力部と、前記歪み実測データに基づいて、前記演算部により算出された前記歪み相当量を補正する補正部と、を備える。
本発明の好ましい実施形態によるロータ寿命推定装置は、真空ポンプのロータの寿命を推定するロータ寿命推定装置において、前記ロータの歪み実測データと歪み実測時の時間情報とから成る複数のデータセットに基づいてロータ寿命を推定する推定部と、推定された前記ロータ寿命に関する情報を提示する提示部と、を備える。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、モータにより回転駆動されるロータと、前記ロータの温度を検出するロータ温度検出部と、上述のロータ寿命推定装置と、を備える。
−第1の実施の形態−
図1は、真空ポンプ1000の概略構成を示すブロック図である。真空ポンプ1000は、ポンプ本体1と、ポンプ本体1を駆動制御するコントロールユニット2と、ロータ寿命推定装置100とを備えている。本実施の形態では磁気軸受式のターボ分子ポンプを例に説明するが、高速回転するロータを備える真空ポンプであればターボ分子ポンプに限定されない。
高温、高引張応力環境にあるアルミ材のポンプロータ4aでは、遠心力によるクリープ歪みが増加してポンプロータ4aの各部(特に、応力が大きい部分)の径寸法が大きくなる。その結果、ポンプロータ4aと静止部(固定翼31,ステータ32等)との隙間が小さくなる。
Ld1=f(Tr1)・Δt
Ld2=f(Tr1)・Δt+f(Tr2)・Δt
・・・
Ldn=f(Tr1)・Δt+f(Tr2)・Δt+・・・+f(Trn)・Δt …(1)
なお、ロータ回転が停止状態の場合、ロータ駆動積算時間は積み増されることがないため、データセットD(Ld、t)は更新されない。
次に、推定寿命t20の推定方法の第1の例について説明する。図8は、ロータ寿命推定装置100で行われる寿命推定処理の一例を示すフローチャートである。
Ld=b1・t+a1 …(2)
Ld=c2・t2+b2・t+a2 …(3)
Ld=d3・t3+c3・t2+b3・t+a3 …(4)
次に、ステップS60における間引き処理の一例を説明する。なお、間引き処理はデータ処理部102において行われる。通信部101には、コントロールユニット2の通信部24から、n個のデータセット(Trn、tn)が所定間隔Δtで入力される。演算部105は、それらをn個のデータセットDn(Ldn、tn)に変換する。
次に、寿命推定に関する2番目の方法について説明する。上述した推定方法では、時系列的に得られた複数の歪み積算値から得られる近似曲線を外挿して推定寿命t21〜t23を求めた。以下に述べる第2の方法では、現在の歪み積算値に基づいて寿命閾値Ldeまでの推定残寿命を求めて、ポンプロータ4aの寿命時期を推定するようにした。
Ldn=f(Tr1)・Δt+f(Tr2)・Δt+・・・+f(Trn)・Δt …(5)
Δt(Ts)=(Lde−Ldn)×t(Ts) …(6)
Δt(Tmax)=(Lde−Ldn)×t(Tmax) …(7)
時間情報として検出時刻を用いる場合には、コントロールユニット2からロータ寿命推定装置100に入力されるデータセット(Tr、t)は、ロータ温度Trと検出時刻との組み合わせになる。ところで、図7のように長期間にわたるロータ回転状況を見ると、ポンプ停止の際にはロータ回転数がゼロまで低下する。この停止期間中はクリープ歪みは発生しないので、上述した説明では、その期間を除外する意味でロータ駆動累積時間を用いた。しかしながら、時間情報として検出時刻を用いても良い。この場合も、上述した式(1)のtをロータ駆動累積時間から検出時刻に置き換えることで、歪み積算値Ldnを算出することができる。
上述した第1の実施の形態では、取得された歪み積算値から寿命を推定したが、第2の実施の形態では、真空ポンプのオーバーホール時にポンプロータ4aの歪み量を実測し、その実測された歪み量に基づいてロータ寿命を推定するようにした。
εpn=(dn−d0)/d0 …(8)
まず、当初組立時に内径寸法dが計測される。計測された内径寸法は、実測内径寸法の初期値d0としてロータ寿命推定装置100の入力部107にマニュアル入力される。ロータ寿命推定装置100は、入力された初期値d0から式(8)に基づいて永久歪みεp0を算出する。この場合、εp0=0となるので、データセット(0、0)を記憶部103に記憶する。真空ポンプを装置に装着して運転を開始すると、コントロールユニット2の計時部25は、モータ制御部20からのモータ回転情報に基づいてロータ駆動累積時間の計測を開始する。ポンプ停止時には、停止時のロータ駆動累積時間をいったん計時部25内の記憶部(不図示)に記憶し、ポンプ運転再開時には、記憶部に記憶されたロータ駆動累積時間を読み出し、累積時間の計測を再開する。
第3の実施形態は、上述した第1の実施形態と第2の実施形態とを組み合わせたもので、歪み積算値をオーバーホール時に実測される永久歪みεpnで補正するようにしたものである。図15は第3の実施形態を説明する図であり、曲線L10は図9で示した歪み積算値Ldを示す曲線である。歪み積算値Ldは、永久歪みεpがロータ寿命のときの歪み(寿命歪み)に達したときに1となるように設定されている。よって、(永久歪みεp)/(寿命歪み)が歪み積算値Ldに相当している。
図1に示す構成では、データセット(Tr、t)をコントロールユニット2からロータ寿命推定装置100に入力する構成としたが、コントロールユニット2からロータ温度Trをロータ寿命推定装置100へ入力し、時間情報としてロータ温度Trが入力された時刻をロータ寿命推定装置100側で生成するようにしても良い。そして、入力されたロータ温度Trと生成した時間情報とのデータセットに基づいて、データセットD(Ld、t)を生成する。データセットD(Ld、t)を用いた処理は、上述した実施の形態と同様である。
Claims (10)
- モータにより回転駆動されるロータと、前記ロータの温度を検出するロータ温度検出部とを備える真空ポンプの、ロータ寿命推定装置において、
前記ロータのクリープ歪み速度相当量と温度との相関関係および前記ロータ温度検出部により検出される温度に基づいて、前記ロータのクリープ歪みに相当する歪み相当量を算出する演算部と、
算出された前記歪み相当量に基づいてロータ寿命を推定する推定部と、
推定された前記ロータ寿命に関する情報を提示する提示部と、を備えるロータ寿命推定装置。 - 請求項1に記載のロータ寿命推定装置において、
前記真空ポンプは、前記温度の検出タイミングに関する時間情報を生成する計時部を備え、
前記ロータ温度検出部により経時的に検出される複数の温度のそれぞれに関して、前記時間情報と前記歪み相当量とから成るデータセットをデータ記憶領域に記憶する記憶部を備え、
前記推定部は、前記記憶部に記憶された複数の前記データセットに基づいて将来の歪み相当量の時間的な変化を推定し、前記将来の歪み相当量がロータ寿命として設定された歪み相当量閾値に達するロータ寿命を推定する、ロータ寿命推定装置。 - 請求項1に記載のロータ寿命推定装置において、
前記ロータ温度検出部から取得される前記温度の取得タイミング検出に関する時間情報を生成する計時部と、
前記ロータ温度検出部により経時的に検出される複数の温度のそれぞれに関して、前記時間情報と前記歪み相当量とから成るデータセットをデータ記憶領域に記憶する記憶部を備え、
前記推定部は、前記記憶部に記憶された複数の前記データセットに基づいて将来の歪み相当量の時間的な変化を推定し、前記将来の歪み相当量がロータ寿命として設定された歪み相当量閾値に達するロータ寿命を推定する、ロータ寿命推定装置。 - 請求項2または3に記載のロータ寿命推定装置において、
複数の前記データセットの内、前記時間情報が前記推定部による推定の時刻により近いデータセットに、より大きな重み付けを行うデータ処理部を備える、ロータ寿命推定装置。 - 請求項4に記載のロータ寿命推定装置において、
前記データ処理部は、前記記憶部に記憶された複数のデータセットの数を減少させる平均化処理を行うと共に、前記平均化処理により生じる前記データ記憶領域の空き領域に新たなデータセットを記憶させる、ロータ寿命推定装置。 - 請求項2から請求項5までのいずれか一項に記載のロータ寿命推定装置において、
前記時間情報は、前記ロータが所定条件で回転駆動されている時間を累積したロータ駆動累積時間である、ロータ寿命推定装置。 - 請求項1に記載のロータ寿命推定装置において、
前記推定部は、ロータ寿命として設定された歪み相当量閾値と前記歪み相当量との差分に基づいて、推定時からロータ寿命までの残寿命を推定する、ロータ寿命推定装置。 - 請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載のロータ寿命推定装置において、
前記ロータの歪み実測データが入力される入力部と、
前記歪み実測データに基づいて、前記演算部により算出された前記歪み相当量を補正する補正部と、を備えるロータ寿命推定装置。 - 真空ポンプのロータの寿命を推定するロータ寿命推定装置において、
前記ロータの歪み実測データと歪み実測時の時間情報とから成る複数のデータセットに基づいてロータ寿命を推定する推定部と、
推定された前記ロータ寿命に関する情報を提示する提示部と、を備えるロータ寿命推定装置。 - モータにより回転駆動されるロータと
前記ロータの温度を検出するロータ温度検出部と、
請求項1に記載のロータ寿命推定装置と、を備える真空ポンプ。
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