JP2004116319A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】排気されるガスの温度を高精度で測定することでポンプ回転体の温度を推定し、回転体のクリープ寿命を適性に確保する。
【解決手段】回転体温度測定手段30として、熱伝導率の低い材質からなるステー31と、ステー31に設置される接触式の温度センサ32とを備え、ステー31をガス分子の主流路Rであって、回転体20の近傍に位置する固定部材に設置して、温度センサ32を周囲の部材とは熱的に絶縁させ、かつガス分子と衝突する位置に配置することで排気されるガス温度を高精度で測定し、測定されたガス温度から回転体20の温度を推定する。
【選択図】 図1
【解決手段】回転体温度測定手段30として、熱伝導率の低い材質からなるステー31と、ステー31に設置される接触式の温度センサ32とを備え、ステー31をガス分子の主流路Rであって、回転体20の近傍に位置する固定部材に設置して、温度センサ32を周囲の部材とは熱的に絶縁させ、かつガス分子と衝突する位置に配置することで排気されるガス温度を高精度で測定し、測定されたガス温度から回転体20の温度を推定する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、液晶ディスプレイパネル製造装置等に用いられる真空ポンプに係り、特に、排気されるガスの温度を測定して回転翼の温度を間接的に推定するための構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体製造工程におけるドライエッチングやCVD等のプロセスのように、高真空のプロセスチャンバ内で処理を行なう工程では、プロセスチャンバ内のガスを排気して一定の高真空度を形成するための手段として、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプが用いられている。
【0003】
一般に、ターボ分子ポンプは、円筒型のロータの外周面に複数のブレード状のロータ翼列が複数段にわたって設けられており、ポンプケース内部にはこれらロータ翼段の間に交互に位置決めされた複数のステータ翼が設けられている。そして、ロータに一体に取り付けられた回転軸を駆動モータ等により高速回転させることで、ロータ翼とステータ翼との相互作用により、ガス吸気口から吸入されるガスを下段のガス排気口へ排気して、ガス吸気口に接続されたプロセスチャンバ内を高真空にする(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
【特許文献1】
特許第3038432号公報 (第3頁、図1)
【0005】
ところで、ターボ分子ポンプにおいて、ロータとロータ翼からなる回転体は、ポンプ排気時におけるガスの圧縮熱や摩擦熱により温度上昇して高温となる。また、この回転体の回転数は一般に20000〜50000rpmと高速であり、回転体は遠心力による大きな引張応力を受ける。このため、回転体が上記のような高温かつ引張応力を受けた状態で長時間にわたり運転を続けると、回転体の塑性歪みが徐々に増加するクリープ変形が起こり、狭い間隔で対向する固定側と最終的に接触する恐れがある(以下、これを「回転体のクリープ寿命」という)。この接触により、最悪の場合には回転体に傷がついてクラックが発生し、そこを起点とする応力集中によって回転体の破壊に繋がるという可能性がある。
【0006】
この回転体のクリープ寿命の要因となる回転体の歪み速度は、温度に対して対数的に変化することが知られており、回転体の温度が上昇すると回転体のクリープ寿命も対数的に短くなる。よって、ターボ分子ポンプでは、回転体のクリープ寿命が所定の基準を満たすように、排気するガスの許容流量、圧力、使用環境温度などが規定されている。
【0007】
そこで、従来では回転体のクリープ寿命が極度に短くなることを防止するために、例えば、
(イ)ガス流量・プロセスチャンバ内部圧力のモニタリング
(ロ)回転体の温度のモニタリング
(ハ)回転体以外の部材の温度測定による回転体の温度推定
(ニ)回転体の寸法変化測定
等の方法によりポンプを監視することが行なわれている。(ロ)については、測定対象物から輻射される赤外線によって、対象物の温度を非接触で測定できる温度センサとして、焦電型センサやサーモパイル型センサなどの赤外線温度センサを利用した例が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
【0008】
【特許文献2】
特開平10−299688号公報 (第3−4頁、図1)
【0009】
しかしながら、従来採用されていたポンプの監視方法においては、以下のような問題が指摘されている。
【0010】
まず、(イ)のガス流量・プロセスチャンバ内部圧力のモニタリングによる方法では、ガスによって排気効率が異なり、かつ圧縮熱の発生量も異なる。また、プロセスチャンバ内での化学反応により、吸気したガス分子内部にエネルギーが蓄積されていると、そのエネルギーが回転体に伝わってしまう。よって、ガス流量・圧力のみでは回転体の温度を推定することが難しい。
【0011】
次に、(ハ)の回転体以外の部材の温度測定による方法では、ポンプケース内に流入するガスの流量が少ない場合や、Arガスのように熱伝導率の低いガスを排気する場合には、ガスによる熱伝導がほとんど起こらず、測定対象物である回転体の温度を正確に測定することができない。
【0012】
また、(ニ)の回転体の寸法変化測定による方法では、センサと回転体との間の隙間寸法は、回転体の振れ回り等の要因によってその値が大きく左右されるため、測定温度の信頼性を確保することが困難である。
【0013】
さらに、(ロ)の赤外線温度センサで回転体の温度測定を行なう場合、回転体以外の温度の低い固定部材からの輻射光が入射したり、センサ表面に堆積物が付着すると、センサに入射する赤外線量が変化してしまうため、測定精度が低下する。よって、測定精度の低下を防ぐためには、赤外線温度センサの受光部を測定対象物である回転体に極力近づける必要が生じる。このため、回転体近傍に赤外線温度センサを設置しなければならず、回転体周辺の設計自由度が大幅に制限されてしまう。
【0014】
また、センサ受光部が回転体近傍にあることから、センサ自身が回転体からの輻射の影響を受けて温度ドリフトを起こしたり、センサ自身の寿命が短くなるという不具合がある。特に、ターボ分子ポンプを塩素や硫化フッ素系の腐食性の強いガスを排気する環境で使用する場合、センサ自身が腐食して故障する恐れもある。このため、定期的にセンサを交換しなければならず、その都度何度もポンプを分解する作業が必要となる上に、故障部品の交換に伴う大幅なコストアップを招くという問題がある。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、排気されるガスの温度を高精度で測定することでポンプ回転体の温度を推定し、回転体のクリープ寿命を適性に確保できる信頼性の高い真空ポンプを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る真空ポンプは、回転体の回転運動により、外部からポンプケース内部に吸気されたガス分子を圧縮し、圧縮されたガス分子をポンプケース外部へと排気するポンプ機構部と、ガス分子の主流路でかつ回転体の近傍に位置する固定部材に設置された熱伝導率の低い材質からなるステーと、ステーに設置された温度センサとを備えた回転体温度測定手段と、を具備することを特徴とする。
【0017】
本発明によれば、温度センサが、ステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路に設置されていることから、排気されるガス温度を高精度で測定することができる。また、回転体の温度上昇の要因は、排気時のガスの圧縮熱や摩擦熱によるものと考えられることから、温度センサをガス分子の主流路であって、かつ回転体の近傍に配置することにより、測定されたガス温度から回転体の温度を推定することが可能となる。
【0018】
温度センサには接触式と非接触式とがあるが、本発明ではガス分子との接触によりガス温度を測定することから接触式温度センサを使用するものとし、例えば、サーミスタ、熱電対、白金測温抵抗体を使用することができる。
【0019】
また、ステーとなる熱伝導率の低い材料としては、ステンレス鋼、セラミックス材料、合成樹脂材料などが挙げられる。合成樹脂材料は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれであっても良いが、熱伝導率の低い合成樹脂材料としては、熱可塑性樹脂ではフッ素樹脂、熱硬化性樹脂ではエポキシ樹脂の他、断熱性を有するガラス繊維またはカーボン繊維を混入した各種エンジニアリングプラスチックが考えられる。
【0020】
また、本発明においては、温度センサが、熱伝導率の低い材質からなるステーに支持された熱伝導率の高い材質からなる集熱部材に設置される構造を採用することもできる。その設置構造の一例として、温度センサを集熱部材の内部に埋設しても良い。また、集熱部材となる熱伝導率の高い材料としては、アルミニウム合金、銅などの金属材料が考えられる。
【0021】
このように、温度センサが、ステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路において熱伝導率の高い集熱部材に設置されていると、熱伝導率の低いガスを排気する場合であっても、この集熱部材の集熱作用によって、排気されるガス分子自身の温度を高精度で測定することができる。
【0022】
また、本発明において、温度センサのセンサ出力を電気的信号に変換する信号変換器と、信号変換器から出力された電気的信号に基づいて、回転体の温度が所定温度を超過した場合に警報信号を出力する警報出力回路と、を具備していても良い。
【0023】
さらに、本発明において、温度センサのセンサ出力を電気的信号に変換する信号変換器と、信号変換器から出力された電気的信号に基づいて、回転体の温度変化を時間的に積算し、その積算値から回転体の歪み量を推定し、その歪み量推定値が、回転体と固定体との間の最狭隙間寸法に対して設計的余裕を持って設定される寸法を回転体の外径寸法で除算した値よりも超過した場合に警報信号を出力する警報出力回路と、を具備していても良い。
【0024】
なお、このような警報出力回路の出力例としては、例えば、温度センサが回転体の異常温度を検出してセンサ出力が閾値を超過した場合に、回転体の回転速度を減速させるシーケンスや、回転体の回転運動を停止させるシーケンスなどが考えられる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空ポンプの好適な実施の形態について、ターボ分子ポンプに適用した例を挙げて、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【0026】
<第1実施形態>
図1は本実施形態のターボ分子ポンプの全体構成を示す縦断面図であり、まずこのターボ分子ポンプの基本的な構造について説明する。
【0027】
同図に示すターボ分子ポンプPは、中空円筒型のケーシング1にベース2を接合することにより密閉されたポンプケース3内部に、ターボ分子ポンプ機構部PAとネジ溝ポンプ機構部PBとが収容された複合タイプの真空ポンプである。
【0028】
ケーシング1の上部壁面にはガス吸気口4が開口され、ベース2の下部側壁面にはガス排気口5が開口されている。ガス吸気口4にはプロセスチャンバ等の真空容器が吸気口フランジ6を介して螺着され、ガス排気口5には排気パイプ7を介して補助ポンプが連結されることにより、このターボ分子ポンプPは、プロセスチャンバ内のガスを排気して一定の高真空度を形成するための手段として使用される。
【0029】
ポンプケース3内部に立設するステータコラム8の上下端面間には、高周波モータ等の駆動モータ9により高速回転する回転軸10が貫通しており、回転軸10は、半径方向電磁石11−1と軸方向電磁石11−2からなる磁気軸受11により、回転軸10の半径方向および軸方向にそれぞれ軸支されている。また、回転軸10の両端部には、ドライ潤滑剤が塗布された保護用ボールベアリング12が設けられており、通常運転時には回転軸10に非接触で、磁気軸受11の電源異常時にのみ回転軸10に接触して軸支し、回転軸10と磁気軸受11との接触を防ぐように調整されている。
【0030】
ステータコラム8から突出した回転軸10の上端部には、ステータコラム8を包囲する中空円筒型のロータ13が軸線L方向に螺着固定され、ロータ13は駆動モータ9により回転軸10と同期して高速回転する。回転軸10に一体化されたロータ13は半径方向センサ14−1と軸方向センサ14−2からなる位置検出センサ14により位置制御されている。
【0031】
ロータ13外周の上方略半部分はターボ分子ポンプ機構部PAとして機能し、ロータ13外壁面には回転軸10の軸線L方向にかけて複数のブレード状のロータ翼15,15,…が一体成形されている。また、ケーシング1内壁面にはこのロータ翼15,15間に交互に位置決めされた複数のブレード状のステータ翼16,16,…がスペーサ17を交互に積層することで取り付け固定されている。
【0032】
一方、ロータ13外周の下方略半部分はネジ溝ポンプ機構部PBとして機能し、ロータ13外壁面は平坦な円筒面とされ、ケーシング1内壁面にはロータ13外壁面と狭い間隔で対向する円筒型のネジステータ18が設けられ、ロータ13との対向面に螺旋状のネジ溝19が刻設されている。
【0033】
このターボ分子ポンプ機構部PAとネジ溝ポンプ機構部PBはガス吸気口4からガス排気口5へと流れるガス分子の主流路Rを形成している。すなわち、駆動モータ9により回転軸10を高速回転させると、回転軸10に一体化されたロータ13とロータ翼15からなる回転体20も同期して高速回転する。これにより、ターボ分子ポンプ機構部PAにおいては、可動するロータ翼15と固定されたステータ翼16との相互作用により上段側のガス吸気口4から吸気された分子流から遷移流のガス分子を下段側に送り込み、ネジ溝ポンプ機構部PBにおいては、可動するロータ13円筒面と固定されたネジ溝19との相互作用により、遷移流のガス分子を粘性流に圧縮し、圧縮されたガス分子を下段側のガス排気口5へと排気する。
【0034】
以上がこのターボ分子ポンプPの基本的な構造であるが、次にこのターボ分子ポンプPの特徴的な構造について説明する。
【0035】
図1に示すように、このターボ分子ポンプPは、高速回転するロータ13とロータ翼15からなる回転体20の温度を測定する回転体温度測定手段30を備えている。回転体温度測定手段30は、熱伝導率の低い材質からなるステー31と、このステー31に設置される温度センサ32とを具備して構成されている。ステー31の設置箇所はガス分子の主流路Rであってかつ回転体20の近傍に位置する固定部材に対して取り付けられるものとする。
【0036】
温度センサ32としては、接触式と非接触式とがあるが、本発明ではガス分子との接触によりガス温度を測定することから接触式温度センサを使用するものとする。接触式温度センサとしては、例えば、半導体の温度特性を利用したサーミスタ、異種金属の接合点の温度差により生じる熱起電力を利用した熱電対、温度に対応して変化する金属の電気抵抗を利用した測温抵抗体などが使用でき、測温抵抗体の中では化学的に安定で温度特性が良好な白金が好ましい。
【0037】
また、温度センサ32として接触式温度センサを使用することから、温度センサ32と接触するステー31は、熱伝導率の低い材料を使用して形成する。熱伝導率の低い材料としては、耐腐食性に優れたステンレス鋼、セラミックス材料、合成樹脂材料などが挙げられる。合成樹脂材料は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれであっても良いが、熱伝導率の低い合成樹脂材料としては、熱可塑性樹脂ではフッ素樹脂、熱硬化性樹脂ではエポキシ樹脂の他、断熱性を有するガラス繊維またはカーボン繊維を混入した各種エンジニアリングプラスチックが考えられる。
【0038】
ステー31の形状や設置構造については各種考えられるが、その一例を図2に示す。このステー31は、リング状に成形された固定体取付部31−1と、固定体取付部31−1と一体にその内側に向けて突出成形されたセンサ取付部31−2とからなる形状を有し、センサ取付部31−2の上面に温度センサ32を支持する構造となっている。
【0039】
そして、図1に示すように、最下段のスペーサ17下面とネジステータ18上面との間にステー31の固定体取付部31−1が挟持されることにより、ステー31のセンサ取付部31−2がポンプの全周にわたってステータ翼16と平行に支持される。こうして、センサ取付部31−2に設置された温度センサ32は、ガス分子が流れる空隙を介して最下段のロータ翼15下面と対向するように配置されている。
【0040】
なお、ステー31の形状として、センサ取付部31−2を円周上に複数箇所設けても良く、また、温度センサ32の取付位置としては、ガス分子と接触する位置であればセンサ取付部31−2の上面ではなく下面であっても良い。
【0041】
このように、本実施形態のターボ分子ポンプPによれば、接触式の温度センサ32が、熱伝導率の低いステー31によって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路Rに設置されている。また、ターボ分子ポンプPの運転時、ガス吸気口4からガス排気口5へと排気されるガス分子は、主流路Rに設置された温度センサ32に必ず衝突することになる。このため、温度センサ32は周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、排気されるガス温度を高精度で測定することができる。
【0042】
さらに、回転体20の温度上昇の要因は、排気時のガスの圧縮熱や摩擦熱によるものと考えられることから、温度センサ32がガス分子の主流路Rであって、かつ回転体20の近傍に配置されていることにより、測定されたガス温度から回転体20の温度を推定することが可能となる。
【0043】
よって、測定されたガス温度をモニタリングすることで、回転体20の温度を監視することができ、温度上昇した回転体20のクリープ変形による固定側との接触や、回転体20に発生するクラックによる破壊を未然に防止することも可能となる。
【0044】
<第2実施形態>
次に、本発明に係る第2の実施形態について図3および図4に基づき説明する。なお、以下の実施形態におけるターボ分子ポンプの基本的な構造については、上述した第1実施形態と同様であるので、同一部材には同一符号を附してその詳細な説明は割愛する。
【0045】
図3に示すように、本実施形態のターボ分子ポンプPは、高速回転するロータ13とロータ翼15からなる回転体20の温度を測定する回転体温度測定手段30を備えており、この回転体温度測定手段30は、熱伝導率の低い材質からなるステー31と、ステー31に支持される熱伝導率の高い材質からなる集熱部材33と、集熱部材33に設置される温度センサ32とを具備して構成されている。また、ステー31の設置箇所はガス分子の主流路Rであってかつ回転体20の近傍に位置する固定部材に対して取り付けられるものとする。なお、使用する温度センサ32の種類、ステー31の材質は上記第1実施形態と同様である。
【0046】
本実施形態では、温度センサ32をステー31によって周囲の固定部材と熱的に絶縁し、かつ集熱部材33の集熱作用によってガス分子の熱伝導率を高めてより高精度に温度検出するものである。そのため、集熱部材33は、熱伝導率の高い材料を使用するものとし、例えば、アルミニウム合金、銅などの金属材料を使用して形成される。
【0047】
集熱部材33と温度センサ32との設置構造については各種考えられるが、その一例を図4に示す。この例では、温度センサ32は集熱部材33の内部に埋設され、集熱部材33がステー31のセンサ取付部31−2上に設置される構造となっている。
【0048】
そして、図3に示すように、最下段のスペーサ17下面とネジステータ18上面との間にステー31の固定体取付部31−1を挟持し、ステー31のセンサ取付部31−2上の温度センサ32と集熱部材33とがステータ翼16と平行に支持され、ガス分子が流れる空隙を介して最下段のロータ翼15下面と対向するように配置されている。
【0049】
このように、本実施形態のターボ分子ポンプPによれば、接触式の温度センサ32が、熱伝導率の低いステー31によって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつ熱伝導率の高い集熱部材33によって支持された状態でガス分子の主流路Rに設置されている。このため、温度センサ32は、周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、例えばArガスのように熱伝導率の低いガスを排気する場合であっても、ガス分子との衝突面積が大きく熱伝導率の高い集熱部材33によって、排気されるガス温度をより高精度で測定することができ、測定されたガス温度から回転体20の温度をより近似して推定することが可能となる。
【0050】
<第3実施形態>
次に、本発明に係る第3の実施形態について図5乃至図8に基づき説明する。本実施形態のターボ分子ポンプは、回転体温度測定手段を構成する温度センサにより検出されたセンサ出力を用いることで、回転体の異常温度が要因で発生するクリープ変形による不具合を未然に防止するシーケンスを備えている。
【0051】
すなわち、本実施形態のターボ分子ポンプにおいては、図5に示すように、温度センサ32から出力されたセンサ出力は、信号変換器40によりアナログ信号からデジタル信号に変換されて電気的信号値Twとして警報出力回路50に入力される。また、警報出力回路50は、信号変換器40から入力された電気的信号値Twに基づいて警報処理回路60に警報出力するように構成されている。
【0052】
一方、警報処理回路60は、警報出力回路50から入力された警報出力に基づいて、モータドライバ70に対しては回転体20の減速または停止指示を出力するとともに、装置・表示器80に対しては減速または停止の警報出力を出力する。また、装置・表示器80は、警報処理回路60からの警報出力を表示し、モータドライバ70により回転体20を減速または停止させるように構成されている。
【0053】
ここで、警報出力回路50における処理手順について、図6のフローチャートを参照しながらより詳細に説明する。
【0054】
まず、ターボ分子ポンプPの出荷時における警報出力回路50のプレ処理として、変数値Etを0(零)にする(ステップ601)。ポンプ起動時にこの変数値Etを読み込む(ステップ602)。
【0055】
次に、回転体温度測定手段30により、回転体20の温度を所定時間Δtごとにサンプリングし(ステップ603)、このサンプリング値Twに基づいて、回転体20の異常温度により発生する現象別に、以下(A)(B)で説明するような異なる警報を発するように構成されている。
【0056】
(A)引張強度の低下による警報
回転体20の異常温度が要因で発生する現象の一つに引張強度の低下が挙げられる。一般に、材料の引張強度は温度と密接な関係があることが知られている。例えばターボ分子ポンプPの回転体20の材料として広く用いられている析出強化型アルミニウム合金の場合、温度が上昇すると結晶内に分散していた析出物が粒界へと析出する。その結果、材料の強化機構が失われて結晶内の転移が起き易くなり、材料の引張強度は著しく低下する。
【0057】
つまり、温度の上昇により材料の引張強度は低下するものであり、温度Tにおける回転体20の引張強度σts(T)が、回転体20にかかる応力σrを超過したときに回転体20は急速に破壊するものと考えられる(例えばロータ13の破壊やロータ翼15の折損)。
【0058】
そこで、この現象を回避するためには、ステップ603で求めたサンプリング値Twが、温度Ttsに対して設計的余裕を持って設定される温度Tetsを超過した場合(ステップ604でYes)に、警報出力回路50が警報処理回路60に対して警報(L1)を出力するように構成すれば良い。
【0059】
ここで、警報処理回路60における処理手順について図7に示すフローチャートに基づき詳説する。
【0060】
まず、警報処理回路60において、警報出力回路50から警報(L1)が入力されると(ステップ701)、警報処理回路60は装置・表示器80に対して回転体20の停止予告信号を出力する(ステップ702)。
【0061】
装置・表示器80はこの停止予告信号を受けて、例えばシグナルを点灯させたり、ブザーで警告したりして作業者に報知する。
【0062】
次に、ステップ703でタイマをスタートし、ステップ704のタイマカウントが、予め設定されたある所定時間tmを連続的に経過した場合(ステップ705でYes)には、装置・表示器80に対して回転体20の停止動作信号を出力する(ステップ706)とともに、モータドライバ70に対して回転体20の停止信号を出力する(ステップ707)。
【0063】
装置・表示器80は停止動作信号を受けて上記のような手段で作業者に報知し、モータドライバ70は停止信号を受けて回転軸10を駆動させる駆動モータ9の動作を停止させる。
【0064】
(B)クリープ歪みの限界による警報
回転体20の異常温度が要因で発生する現象のもう一つにクリープ歪みによる回転体20と固定体との接触が挙げられる。高温下で回転体20を高速回転させると、遠心力による引張応力により回転体20にクリープ現象が起こり、歪みが発生する。このクリープ歪み速度εvは次の数式1に示す関係がある(C,n:材料による定数、Q:クリープの活性化エネルギー、k:ボルツマン定数)。
【0065】
【数1】
【0066】
つまり、数式1から、クリープ歪み速度εvの積分値が回転体20のクリープ歪みであると考えられる。このクリープ変形が進行すると、最終的には回転側(ロータ13またはロータ翼15)と固定側(ステータ翼16またはネジステータ18)とが両者の最狭隙間部において接触するという現象が発生する。
【0067】
そこで、この現象を回避するためには、サンプリング値Twからクリープ歪み速度εvを推定してその時間的積算値を求め、最狭隙間部の寸法gに対して設計的余裕を持って設定される寸法値geを回転側外径(半径)寸法で除した値εgeよりこの積算値が大きくなった場合に警告を発するようにすれば良い。
【0068】
つまり、図6のステップ605に示すように、回転体20の温度を時間Δtごとにサンプリングし、t(i−1)〜t(i)の間のサンプリング値をTiとし、そのときのクリープ歪み速度Evを次の数式2を用いて推定する(C1,C2:材料定数および設計的に定まる定数)。
【0069】
【数2】
【0070】
すなわち、この値の積算値が時間t(i)における回転体20の歪み推定値E(ti)となる(数式3参照)。
【0071】
【数3】
【0072】
一方、回転体20にかかる応力値は事前に設計的もしくは実験的に求められているものとして、その値σrを用いることとする。そして、回転側と固定側との最狭隙間部の寸法をg、その最狭隙間部における回転側の外径(半径)をr、警告を発する寸法値geとすると、設計的な限界歪み値εg、および警告を発する歪み値εgeはそれぞれ次の数式4および数式5の通りとなる。
【0073】
【数4】
【0074】
【数5】
【0075】
すなわち、数式3および数式5で求めた値から次の数式6で示す条件のときに警告を出力する。
【0076】
【数6】
【0077】
本実施形態では、図6のステップ606に示すように、回転体20の歪み寸法値Etが警告を発する歪み値εgeに予め設定した余裕値δを加算した値、つまりEtがεge+δを超過した場合(ステップ606でYes)に、警報出力回路50が警報処理回路60に対して警報(L2)を出力するように構成されている。
【0078】
ここで、警報処理回路60における処理手順について図8に示すフローチャートに基づき詳説する。
【0079】
まず、警報処理回路60において、警報出力回路50から警報(L2)が入力されると(ステップ801)、Etとεgeとを比較し(ステップ802)、Etがεgeよりも小さい値の場合には装置・表示器80に対して減速予告信号を出力し(ステップ803)、Etがεgeよりも大きい値の場合には停止予告信号を出力する(ステップ809)。
【0080】
装置・表示器80は、この減速予告信号または停止予告信号を受けて、例えばシグナルを点灯させたり、ブザーで警告したりして作業者に報知する。
【0081】
警報処理回路60が減速予告信号を出力した後、次にステップ804でタイマをスタートし、ステップ805のタイマカウントが、予め設定されたある所定時間tmを連続的に経過したとき(ステップ806でYes)には、装置・表示器80に対して回転体20の減速動作信号を出力する(ステップ807)とともに、モータドライバ70に対しては回転体20の減速信号を出力する(ステップ808)。
【0082】
装置・表示器80はこの減速動作信号を受けて上記のような手段で作業者に報知し、モータドライバ70は減速信号を受けて回転軸10を駆動させる駆動モータ9の回転数を減速させる。
【0083】
一方、警報処理回路60が停止予告信号を出力した後、次にステップ810でタイマをスタートし、ステップ811のタイマカウントが、予め設定されたある所定時間tmを連続的に経過したとき(ステップ812でYes)には、装置・表示器80に対して回転体20の停止動作信号を出力する(ステップ813)とともに、モータドライバ70に対しては回転体20の停止信号を出力する(ステップ814)。
【0084】
装置・表示器80はこの停止動作信号を受けて上記のような手段で作業者に報知し、モータドライバ70は停止信号を受けて回転軸10を駆動させる駆動モータ9を停止させる。
【0085】
なお、上述した所定時間Δt、tm、余裕値δなどの閾値については、回転体20の選定材料や、回転側と固定側との最狭隙間寸法などの諸条件に応じて設計者が適宜変更すれば良い。
【0086】
このように、本実施形態のターボ分子ポンプは、接触式の温度センサで測定したガス温度から推定した回転体の温度をサンプリングし、回転体の引張強度の低下による回転体の異常温度を検出すると、警報処理回路からの警報出力に基づいて、装置・表示器が作業者に報知し、モータドライバが駆動モータを停止させるように構成されている。よって、温度上昇により回転体の引張強度が低下しても、その引張強度が遠心力により回転体に発生する応力を下回る前に設計的余裕を持ってポンプが停止するため、かかる回転体の破壊を未然に防止することができる。
【0087】
また、本実施形態のターボ分子ポンプは、接触式の温度センサで測定したガス温度から推定した回転体の温度をサンプリングし、クリープ歪みの限界による回転体の異常温度を検出すると、警報処理回路からの警報出力に基づいて、装置・表示器が作業者に報知し、モータドライバが駆動モータを減速または停止させるように構成されている。よって、回転体のクリープ歪み寸法が回転側と固定側との最狭隙間寸法に対して設計的余裕を持ってポンプが減速し、万が一これを超過してしまった場合にもポンプが強制的に停止するため、回転側と固定側との接触による破壊を未然に防止することができる。
【0088】
なお、上述した各実施形態においては、本発明をターボ分子ポンプに適用した例を挙げて説明したが、本発明は、その構造が周知のために説明を省略したネジ溝ポンプ、渦流ポンプ、およびこれらを複合した真空ポンプについても同様に適用できる。
【0089】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る真空ポンプによれば、以下のような効果を奏する。
【0090】
(1)回転体温度測定手段を構成する接触式の温度センサが、熱伝導率の低いステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路に設置されている。このため、ポンプの運転時、ガス吸気口からガス排気口へと排気されるガス分子が温度センサに必ず衝突し、温度センサは周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、排気されるガス温度を高精度で測定することができ、この測定されたガス温度から回転体の温度を推定することが可能となる。よって、測定されたガス温度をモニタリングすることで、回転体の温度を監視することができ、温度上昇した回転体のクリープ変形による固定側との接触や、その接触により回転体に傷がついて発生するクラックによる破壊を未然に防止することが可能となる。
【0091】
(2)接触式の温度センサが、熱伝導率の低いステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつ熱伝導率の高い集熱部材によって支持された状態でガス分子の主流路に設置されている。このため、温度センサは、周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、熱伝導率の低いガスを排気する場合であっても、ガス分子との衝突面積が大きく熱伝導率の高い集熱部材によって、排気されるガス温度をより高精度で測定することができ、測定されたガス温度から回転体の温度をより近似して推定することが可能となる。
【0092】
(3)回転体温度測定手段が、回転体の引張強度の低下や回転体のクリープ歪みの限界による異常温度を検出すると警報出力され、設計的余裕を持ってポンプが減速または停止するため、過度の温度上昇により回転体の引張強度が低下し遠心力により発生する応力を下回る結果引き起こされる回転体の破壊や、クリープ歪み変形による回転側と固定側との接触を未然に防止することができ、回転体のクリープ寿命を適正に確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態のターボ分子ポンプの全体構造を示す縦断面図。
【図2】(a)は回転体温度測定手段の構造を示す要部拡大平面図、(b)は同構造を示す要部拡大断面図。
【図3】第2実施形態のターボ分子ポンプの全体構造を示す縦断面図。
【図4】(a)は回転体温度測定手段の構造を示す要部拡大平面図、(b)は同構造を示す要部拡大断面図。
【図5】第3実施形態のターボ分子ポンプにおける警報出力手段の構成を模式的に示すブロック図。
【図6】警報出力回路の処理手順を説明するフローチャート。
【図7】警報出力回路により出力された警報出力L1に基づく警報処理回路の処理手順を説明するフローチャート。
【図8】警報出力回路により出力された警報出力L2に基づく警報処理回路の処理手順を説明するフローチャート。
【符号の説明】
3 ポンプケース
9 駆動モータ
10 回転軸
13 ロータ
15 ロータ翼
16 ステータ翼
20 回転体
30 回転体温度測定手段
31 ステー
31−1 固定体取付部
31−2 センサ取付部
32 温度センサ
33 集熱部材
40 信号変換器
50 警報出力回路
60 警報処理回路
70 モータドライバ
80 装置・表示器
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、液晶ディスプレイパネル製造装置等に用いられる真空ポンプに係り、特に、排気されるガスの温度を測定して回転翼の温度を間接的に推定するための構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体製造工程におけるドライエッチングやCVD等のプロセスのように、高真空のプロセスチャンバ内で処理を行なう工程では、プロセスチャンバ内のガスを排気して一定の高真空度を形成するための手段として、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプが用いられている。
【0003】
一般に、ターボ分子ポンプは、円筒型のロータの外周面に複数のブレード状のロータ翼列が複数段にわたって設けられており、ポンプケース内部にはこれらロータ翼段の間に交互に位置決めされた複数のステータ翼が設けられている。そして、ロータに一体に取り付けられた回転軸を駆動モータ等により高速回転させることで、ロータ翼とステータ翼との相互作用により、ガス吸気口から吸入されるガスを下段のガス排気口へ排気して、ガス吸気口に接続されたプロセスチャンバ内を高真空にする(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
【特許文献1】
特許第3038432号公報 (第3頁、図1)
【0005】
ところで、ターボ分子ポンプにおいて、ロータとロータ翼からなる回転体は、ポンプ排気時におけるガスの圧縮熱や摩擦熱により温度上昇して高温となる。また、この回転体の回転数は一般に20000〜50000rpmと高速であり、回転体は遠心力による大きな引張応力を受ける。このため、回転体が上記のような高温かつ引張応力を受けた状態で長時間にわたり運転を続けると、回転体の塑性歪みが徐々に増加するクリープ変形が起こり、狭い間隔で対向する固定側と最終的に接触する恐れがある(以下、これを「回転体のクリープ寿命」という)。この接触により、最悪の場合には回転体に傷がついてクラックが発生し、そこを起点とする応力集中によって回転体の破壊に繋がるという可能性がある。
【0006】
この回転体のクリープ寿命の要因となる回転体の歪み速度は、温度に対して対数的に変化することが知られており、回転体の温度が上昇すると回転体のクリープ寿命も対数的に短くなる。よって、ターボ分子ポンプでは、回転体のクリープ寿命が所定の基準を満たすように、排気するガスの許容流量、圧力、使用環境温度などが規定されている。
【0007】
そこで、従来では回転体のクリープ寿命が極度に短くなることを防止するために、例えば、
(イ)ガス流量・プロセスチャンバ内部圧力のモニタリング
(ロ)回転体の温度のモニタリング
(ハ)回転体以外の部材の温度測定による回転体の温度推定
(ニ)回転体の寸法変化測定
等の方法によりポンプを監視することが行なわれている。(ロ)については、測定対象物から輻射される赤外線によって、対象物の温度を非接触で測定できる温度センサとして、焦電型センサやサーモパイル型センサなどの赤外線温度センサを利用した例が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
【0008】
【特許文献2】
特開平10−299688号公報 (第3−4頁、図1)
【0009】
しかしながら、従来採用されていたポンプの監視方法においては、以下のような問題が指摘されている。
【0010】
まず、(イ)のガス流量・プロセスチャンバ内部圧力のモニタリングによる方法では、ガスによって排気効率が異なり、かつ圧縮熱の発生量も異なる。また、プロセスチャンバ内での化学反応により、吸気したガス分子内部にエネルギーが蓄積されていると、そのエネルギーが回転体に伝わってしまう。よって、ガス流量・圧力のみでは回転体の温度を推定することが難しい。
【0011】
次に、(ハ)の回転体以外の部材の温度測定による方法では、ポンプケース内に流入するガスの流量が少ない場合や、Arガスのように熱伝導率の低いガスを排気する場合には、ガスによる熱伝導がほとんど起こらず、測定対象物である回転体の温度を正確に測定することができない。
【0012】
また、(ニ)の回転体の寸法変化測定による方法では、センサと回転体との間の隙間寸法は、回転体の振れ回り等の要因によってその値が大きく左右されるため、測定温度の信頼性を確保することが困難である。
【0013】
さらに、(ロ)の赤外線温度センサで回転体の温度測定を行なう場合、回転体以外の温度の低い固定部材からの輻射光が入射したり、センサ表面に堆積物が付着すると、センサに入射する赤外線量が変化してしまうため、測定精度が低下する。よって、測定精度の低下を防ぐためには、赤外線温度センサの受光部を測定対象物である回転体に極力近づける必要が生じる。このため、回転体近傍に赤外線温度センサを設置しなければならず、回転体周辺の設計自由度が大幅に制限されてしまう。
【0014】
また、センサ受光部が回転体近傍にあることから、センサ自身が回転体からの輻射の影響を受けて温度ドリフトを起こしたり、センサ自身の寿命が短くなるという不具合がある。特に、ターボ分子ポンプを塩素や硫化フッ素系の腐食性の強いガスを排気する環境で使用する場合、センサ自身が腐食して故障する恐れもある。このため、定期的にセンサを交換しなければならず、その都度何度もポンプを分解する作業が必要となる上に、故障部品の交換に伴う大幅なコストアップを招くという問題がある。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、排気されるガスの温度を高精度で測定することでポンプ回転体の温度を推定し、回転体のクリープ寿命を適性に確保できる信頼性の高い真空ポンプを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る真空ポンプは、回転体の回転運動により、外部からポンプケース内部に吸気されたガス分子を圧縮し、圧縮されたガス分子をポンプケース外部へと排気するポンプ機構部と、ガス分子の主流路でかつ回転体の近傍に位置する固定部材に設置された熱伝導率の低い材質からなるステーと、ステーに設置された温度センサとを備えた回転体温度測定手段と、を具備することを特徴とする。
【0017】
本発明によれば、温度センサが、ステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路に設置されていることから、排気されるガス温度を高精度で測定することができる。また、回転体の温度上昇の要因は、排気時のガスの圧縮熱や摩擦熱によるものと考えられることから、温度センサをガス分子の主流路であって、かつ回転体の近傍に配置することにより、測定されたガス温度から回転体の温度を推定することが可能となる。
【0018】
温度センサには接触式と非接触式とがあるが、本発明ではガス分子との接触によりガス温度を測定することから接触式温度センサを使用するものとし、例えば、サーミスタ、熱電対、白金測温抵抗体を使用することができる。
【0019】
また、ステーとなる熱伝導率の低い材料としては、ステンレス鋼、セラミックス材料、合成樹脂材料などが挙げられる。合成樹脂材料は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれであっても良いが、熱伝導率の低い合成樹脂材料としては、熱可塑性樹脂ではフッ素樹脂、熱硬化性樹脂ではエポキシ樹脂の他、断熱性を有するガラス繊維またはカーボン繊維を混入した各種エンジニアリングプラスチックが考えられる。
【0020】
また、本発明においては、温度センサが、熱伝導率の低い材質からなるステーに支持された熱伝導率の高い材質からなる集熱部材に設置される構造を採用することもできる。その設置構造の一例として、温度センサを集熱部材の内部に埋設しても良い。また、集熱部材となる熱伝導率の高い材料としては、アルミニウム合金、銅などの金属材料が考えられる。
【0021】
このように、温度センサが、ステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路において熱伝導率の高い集熱部材に設置されていると、熱伝導率の低いガスを排気する場合であっても、この集熱部材の集熱作用によって、排気されるガス分子自身の温度を高精度で測定することができる。
【0022】
また、本発明において、温度センサのセンサ出力を電気的信号に変換する信号変換器と、信号変換器から出力された電気的信号に基づいて、回転体の温度が所定温度を超過した場合に警報信号を出力する警報出力回路と、を具備していても良い。
【0023】
さらに、本発明において、温度センサのセンサ出力を電気的信号に変換する信号変換器と、信号変換器から出力された電気的信号に基づいて、回転体の温度変化を時間的に積算し、その積算値から回転体の歪み量を推定し、その歪み量推定値が、回転体と固定体との間の最狭隙間寸法に対して設計的余裕を持って設定される寸法を回転体の外径寸法で除算した値よりも超過した場合に警報信号を出力する警報出力回路と、を具備していても良い。
【0024】
なお、このような警報出力回路の出力例としては、例えば、温度センサが回転体の異常温度を検出してセンサ出力が閾値を超過した場合に、回転体の回転速度を減速させるシーケンスや、回転体の回転運動を停止させるシーケンスなどが考えられる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空ポンプの好適な実施の形態について、ターボ分子ポンプに適用した例を挙げて、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【0026】
<第1実施形態>
図1は本実施形態のターボ分子ポンプの全体構成を示す縦断面図であり、まずこのターボ分子ポンプの基本的な構造について説明する。
【0027】
同図に示すターボ分子ポンプPは、中空円筒型のケーシング1にベース2を接合することにより密閉されたポンプケース3内部に、ターボ分子ポンプ機構部PAとネジ溝ポンプ機構部PBとが収容された複合タイプの真空ポンプである。
【0028】
ケーシング1の上部壁面にはガス吸気口4が開口され、ベース2の下部側壁面にはガス排気口5が開口されている。ガス吸気口4にはプロセスチャンバ等の真空容器が吸気口フランジ6を介して螺着され、ガス排気口5には排気パイプ7を介して補助ポンプが連結されることにより、このターボ分子ポンプPは、プロセスチャンバ内のガスを排気して一定の高真空度を形成するための手段として使用される。
【0029】
ポンプケース3内部に立設するステータコラム8の上下端面間には、高周波モータ等の駆動モータ9により高速回転する回転軸10が貫通しており、回転軸10は、半径方向電磁石11−1と軸方向電磁石11−2からなる磁気軸受11により、回転軸10の半径方向および軸方向にそれぞれ軸支されている。また、回転軸10の両端部には、ドライ潤滑剤が塗布された保護用ボールベアリング12が設けられており、通常運転時には回転軸10に非接触で、磁気軸受11の電源異常時にのみ回転軸10に接触して軸支し、回転軸10と磁気軸受11との接触を防ぐように調整されている。
【0030】
ステータコラム8から突出した回転軸10の上端部には、ステータコラム8を包囲する中空円筒型のロータ13が軸線L方向に螺着固定され、ロータ13は駆動モータ9により回転軸10と同期して高速回転する。回転軸10に一体化されたロータ13は半径方向センサ14−1と軸方向センサ14−2からなる位置検出センサ14により位置制御されている。
【0031】
ロータ13外周の上方略半部分はターボ分子ポンプ機構部PAとして機能し、ロータ13外壁面には回転軸10の軸線L方向にかけて複数のブレード状のロータ翼15,15,…が一体成形されている。また、ケーシング1内壁面にはこのロータ翼15,15間に交互に位置決めされた複数のブレード状のステータ翼16,16,…がスペーサ17を交互に積層することで取り付け固定されている。
【0032】
一方、ロータ13外周の下方略半部分はネジ溝ポンプ機構部PBとして機能し、ロータ13外壁面は平坦な円筒面とされ、ケーシング1内壁面にはロータ13外壁面と狭い間隔で対向する円筒型のネジステータ18が設けられ、ロータ13との対向面に螺旋状のネジ溝19が刻設されている。
【0033】
このターボ分子ポンプ機構部PAとネジ溝ポンプ機構部PBはガス吸気口4からガス排気口5へと流れるガス分子の主流路Rを形成している。すなわち、駆動モータ9により回転軸10を高速回転させると、回転軸10に一体化されたロータ13とロータ翼15からなる回転体20も同期して高速回転する。これにより、ターボ分子ポンプ機構部PAにおいては、可動するロータ翼15と固定されたステータ翼16との相互作用により上段側のガス吸気口4から吸気された分子流から遷移流のガス分子を下段側に送り込み、ネジ溝ポンプ機構部PBにおいては、可動するロータ13円筒面と固定されたネジ溝19との相互作用により、遷移流のガス分子を粘性流に圧縮し、圧縮されたガス分子を下段側のガス排気口5へと排気する。
【0034】
以上がこのターボ分子ポンプPの基本的な構造であるが、次にこのターボ分子ポンプPの特徴的な構造について説明する。
【0035】
図1に示すように、このターボ分子ポンプPは、高速回転するロータ13とロータ翼15からなる回転体20の温度を測定する回転体温度測定手段30を備えている。回転体温度測定手段30は、熱伝導率の低い材質からなるステー31と、このステー31に設置される温度センサ32とを具備して構成されている。ステー31の設置箇所はガス分子の主流路Rであってかつ回転体20の近傍に位置する固定部材に対して取り付けられるものとする。
【0036】
温度センサ32としては、接触式と非接触式とがあるが、本発明ではガス分子との接触によりガス温度を測定することから接触式温度センサを使用するものとする。接触式温度センサとしては、例えば、半導体の温度特性を利用したサーミスタ、異種金属の接合点の温度差により生じる熱起電力を利用した熱電対、温度に対応して変化する金属の電気抵抗を利用した測温抵抗体などが使用でき、測温抵抗体の中では化学的に安定で温度特性が良好な白金が好ましい。
【0037】
また、温度センサ32として接触式温度センサを使用することから、温度センサ32と接触するステー31は、熱伝導率の低い材料を使用して形成する。熱伝導率の低い材料としては、耐腐食性に優れたステンレス鋼、セラミックス材料、合成樹脂材料などが挙げられる。合成樹脂材料は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれであっても良いが、熱伝導率の低い合成樹脂材料としては、熱可塑性樹脂ではフッ素樹脂、熱硬化性樹脂ではエポキシ樹脂の他、断熱性を有するガラス繊維またはカーボン繊維を混入した各種エンジニアリングプラスチックが考えられる。
【0038】
ステー31の形状や設置構造については各種考えられるが、その一例を図2に示す。このステー31は、リング状に成形された固定体取付部31−1と、固定体取付部31−1と一体にその内側に向けて突出成形されたセンサ取付部31−2とからなる形状を有し、センサ取付部31−2の上面に温度センサ32を支持する構造となっている。
【0039】
そして、図1に示すように、最下段のスペーサ17下面とネジステータ18上面との間にステー31の固定体取付部31−1が挟持されることにより、ステー31のセンサ取付部31−2がポンプの全周にわたってステータ翼16と平行に支持される。こうして、センサ取付部31−2に設置された温度センサ32は、ガス分子が流れる空隙を介して最下段のロータ翼15下面と対向するように配置されている。
【0040】
なお、ステー31の形状として、センサ取付部31−2を円周上に複数箇所設けても良く、また、温度センサ32の取付位置としては、ガス分子と接触する位置であればセンサ取付部31−2の上面ではなく下面であっても良い。
【0041】
このように、本実施形態のターボ分子ポンプPによれば、接触式の温度センサ32が、熱伝導率の低いステー31によって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路Rに設置されている。また、ターボ分子ポンプPの運転時、ガス吸気口4からガス排気口5へと排気されるガス分子は、主流路Rに設置された温度センサ32に必ず衝突することになる。このため、温度センサ32は周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、排気されるガス温度を高精度で測定することができる。
【0042】
さらに、回転体20の温度上昇の要因は、排気時のガスの圧縮熱や摩擦熱によるものと考えられることから、温度センサ32がガス分子の主流路Rであって、かつ回転体20の近傍に配置されていることにより、測定されたガス温度から回転体20の温度を推定することが可能となる。
【0043】
よって、測定されたガス温度をモニタリングすることで、回転体20の温度を監視することができ、温度上昇した回転体20のクリープ変形による固定側との接触や、回転体20に発生するクラックによる破壊を未然に防止することも可能となる。
【0044】
<第2実施形態>
次に、本発明に係る第2の実施形態について図3および図4に基づき説明する。なお、以下の実施形態におけるターボ分子ポンプの基本的な構造については、上述した第1実施形態と同様であるので、同一部材には同一符号を附してその詳細な説明は割愛する。
【0045】
図3に示すように、本実施形態のターボ分子ポンプPは、高速回転するロータ13とロータ翼15からなる回転体20の温度を測定する回転体温度測定手段30を備えており、この回転体温度測定手段30は、熱伝導率の低い材質からなるステー31と、ステー31に支持される熱伝導率の高い材質からなる集熱部材33と、集熱部材33に設置される温度センサ32とを具備して構成されている。また、ステー31の設置箇所はガス分子の主流路Rであってかつ回転体20の近傍に位置する固定部材に対して取り付けられるものとする。なお、使用する温度センサ32の種類、ステー31の材質は上記第1実施形態と同様である。
【0046】
本実施形態では、温度センサ32をステー31によって周囲の固定部材と熱的に絶縁し、かつ集熱部材33の集熱作用によってガス分子の熱伝導率を高めてより高精度に温度検出するものである。そのため、集熱部材33は、熱伝導率の高い材料を使用するものとし、例えば、アルミニウム合金、銅などの金属材料を使用して形成される。
【0047】
集熱部材33と温度センサ32との設置構造については各種考えられるが、その一例を図4に示す。この例では、温度センサ32は集熱部材33の内部に埋設され、集熱部材33がステー31のセンサ取付部31−2上に設置される構造となっている。
【0048】
そして、図3に示すように、最下段のスペーサ17下面とネジステータ18上面との間にステー31の固定体取付部31−1を挟持し、ステー31のセンサ取付部31−2上の温度センサ32と集熱部材33とがステータ翼16と平行に支持され、ガス分子が流れる空隙を介して最下段のロータ翼15下面と対向するように配置されている。
【0049】
このように、本実施形態のターボ分子ポンプPによれば、接触式の温度センサ32が、熱伝導率の低いステー31によって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつ熱伝導率の高い集熱部材33によって支持された状態でガス分子の主流路Rに設置されている。このため、温度センサ32は、周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、例えばArガスのように熱伝導率の低いガスを排気する場合であっても、ガス分子との衝突面積が大きく熱伝導率の高い集熱部材33によって、排気されるガス温度をより高精度で測定することができ、測定されたガス温度から回転体20の温度をより近似して推定することが可能となる。
【0050】
<第3実施形態>
次に、本発明に係る第3の実施形態について図5乃至図8に基づき説明する。本実施形態のターボ分子ポンプは、回転体温度測定手段を構成する温度センサにより検出されたセンサ出力を用いることで、回転体の異常温度が要因で発生するクリープ変形による不具合を未然に防止するシーケンスを備えている。
【0051】
すなわち、本実施形態のターボ分子ポンプにおいては、図5に示すように、温度センサ32から出力されたセンサ出力は、信号変換器40によりアナログ信号からデジタル信号に変換されて電気的信号値Twとして警報出力回路50に入力される。また、警報出力回路50は、信号変換器40から入力された電気的信号値Twに基づいて警報処理回路60に警報出力するように構成されている。
【0052】
一方、警報処理回路60は、警報出力回路50から入力された警報出力に基づいて、モータドライバ70に対しては回転体20の減速または停止指示を出力するとともに、装置・表示器80に対しては減速または停止の警報出力を出力する。また、装置・表示器80は、警報処理回路60からの警報出力を表示し、モータドライバ70により回転体20を減速または停止させるように構成されている。
【0053】
ここで、警報出力回路50における処理手順について、図6のフローチャートを参照しながらより詳細に説明する。
【0054】
まず、ターボ分子ポンプPの出荷時における警報出力回路50のプレ処理として、変数値Etを0(零)にする(ステップ601)。ポンプ起動時にこの変数値Etを読み込む(ステップ602)。
【0055】
次に、回転体温度測定手段30により、回転体20の温度を所定時間Δtごとにサンプリングし(ステップ603)、このサンプリング値Twに基づいて、回転体20の異常温度により発生する現象別に、以下(A)(B)で説明するような異なる警報を発するように構成されている。
【0056】
(A)引張強度の低下による警報
回転体20の異常温度が要因で発生する現象の一つに引張強度の低下が挙げられる。一般に、材料の引張強度は温度と密接な関係があることが知られている。例えばターボ分子ポンプPの回転体20の材料として広く用いられている析出強化型アルミニウム合金の場合、温度が上昇すると結晶内に分散していた析出物が粒界へと析出する。その結果、材料の強化機構が失われて結晶内の転移が起き易くなり、材料の引張強度は著しく低下する。
【0057】
つまり、温度の上昇により材料の引張強度は低下するものであり、温度Tにおける回転体20の引張強度σts(T)が、回転体20にかかる応力σrを超過したときに回転体20は急速に破壊するものと考えられる(例えばロータ13の破壊やロータ翼15の折損)。
【0058】
そこで、この現象を回避するためには、ステップ603で求めたサンプリング値Twが、温度Ttsに対して設計的余裕を持って設定される温度Tetsを超過した場合(ステップ604でYes)に、警報出力回路50が警報処理回路60に対して警報(L1)を出力するように構成すれば良い。
【0059】
ここで、警報処理回路60における処理手順について図7に示すフローチャートに基づき詳説する。
【0060】
まず、警報処理回路60において、警報出力回路50から警報(L1)が入力されると(ステップ701)、警報処理回路60は装置・表示器80に対して回転体20の停止予告信号を出力する(ステップ702)。
【0061】
装置・表示器80はこの停止予告信号を受けて、例えばシグナルを点灯させたり、ブザーで警告したりして作業者に報知する。
【0062】
次に、ステップ703でタイマをスタートし、ステップ704のタイマカウントが、予め設定されたある所定時間tmを連続的に経過した場合(ステップ705でYes)には、装置・表示器80に対して回転体20の停止動作信号を出力する(ステップ706)とともに、モータドライバ70に対して回転体20の停止信号を出力する(ステップ707)。
【0063】
装置・表示器80は停止動作信号を受けて上記のような手段で作業者に報知し、モータドライバ70は停止信号を受けて回転軸10を駆動させる駆動モータ9の動作を停止させる。
【0064】
(B)クリープ歪みの限界による警報
回転体20の異常温度が要因で発生する現象のもう一つにクリープ歪みによる回転体20と固定体との接触が挙げられる。高温下で回転体20を高速回転させると、遠心力による引張応力により回転体20にクリープ現象が起こり、歪みが発生する。このクリープ歪み速度εvは次の数式1に示す関係がある(C,n:材料による定数、Q:クリープの活性化エネルギー、k:ボルツマン定数)。
【0065】
【数1】
【0066】
つまり、数式1から、クリープ歪み速度εvの積分値が回転体20のクリープ歪みであると考えられる。このクリープ変形が進行すると、最終的には回転側(ロータ13またはロータ翼15)と固定側(ステータ翼16またはネジステータ18)とが両者の最狭隙間部において接触するという現象が発生する。
【0067】
そこで、この現象を回避するためには、サンプリング値Twからクリープ歪み速度εvを推定してその時間的積算値を求め、最狭隙間部の寸法gに対して設計的余裕を持って設定される寸法値geを回転側外径(半径)寸法で除した値εgeよりこの積算値が大きくなった場合に警告を発するようにすれば良い。
【0068】
つまり、図6のステップ605に示すように、回転体20の温度を時間Δtごとにサンプリングし、t(i−1)〜t(i)の間のサンプリング値をTiとし、そのときのクリープ歪み速度Evを次の数式2を用いて推定する(C1,C2:材料定数および設計的に定まる定数)。
【0069】
【数2】
【0070】
すなわち、この値の積算値が時間t(i)における回転体20の歪み推定値E(ti)となる(数式3参照)。
【0071】
【数3】
【0072】
一方、回転体20にかかる応力値は事前に設計的もしくは実験的に求められているものとして、その値σrを用いることとする。そして、回転側と固定側との最狭隙間部の寸法をg、その最狭隙間部における回転側の外径(半径)をr、警告を発する寸法値geとすると、設計的な限界歪み値εg、および警告を発する歪み値εgeはそれぞれ次の数式4および数式5の通りとなる。
【0073】
【数4】
【0074】
【数5】
【0075】
すなわち、数式3および数式5で求めた値から次の数式6で示す条件のときに警告を出力する。
【0076】
【数6】
【0077】
本実施形態では、図6のステップ606に示すように、回転体20の歪み寸法値Etが警告を発する歪み値εgeに予め設定した余裕値δを加算した値、つまりEtがεge+δを超過した場合(ステップ606でYes)に、警報出力回路50が警報処理回路60に対して警報(L2)を出力するように構成されている。
【0078】
ここで、警報処理回路60における処理手順について図8に示すフローチャートに基づき詳説する。
【0079】
まず、警報処理回路60において、警報出力回路50から警報(L2)が入力されると(ステップ801)、Etとεgeとを比較し(ステップ802)、Etがεgeよりも小さい値の場合には装置・表示器80に対して減速予告信号を出力し(ステップ803)、Etがεgeよりも大きい値の場合には停止予告信号を出力する(ステップ809)。
【0080】
装置・表示器80は、この減速予告信号または停止予告信号を受けて、例えばシグナルを点灯させたり、ブザーで警告したりして作業者に報知する。
【0081】
警報処理回路60が減速予告信号を出力した後、次にステップ804でタイマをスタートし、ステップ805のタイマカウントが、予め設定されたある所定時間tmを連続的に経過したとき(ステップ806でYes)には、装置・表示器80に対して回転体20の減速動作信号を出力する(ステップ807)とともに、モータドライバ70に対しては回転体20の減速信号を出力する(ステップ808)。
【0082】
装置・表示器80はこの減速動作信号を受けて上記のような手段で作業者に報知し、モータドライバ70は減速信号を受けて回転軸10を駆動させる駆動モータ9の回転数を減速させる。
【0083】
一方、警報処理回路60が停止予告信号を出力した後、次にステップ810でタイマをスタートし、ステップ811のタイマカウントが、予め設定されたある所定時間tmを連続的に経過したとき(ステップ812でYes)には、装置・表示器80に対して回転体20の停止動作信号を出力する(ステップ813)とともに、モータドライバ70に対しては回転体20の停止信号を出力する(ステップ814)。
【0084】
装置・表示器80はこの停止動作信号を受けて上記のような手段で作業者に報知し、モータドライバ70は停止信号を受けて回転軸10を駆動させる駆動モータ9を停止させる。
【0085】
なお、上述した所定時間Δt、tm、余裕値δなどの閾値については、回転体20の選定材料や、回転側と固定側との最狭隙間寸法などの諸条件に応じて設計者が適宜変更すれば良い。
【0086】
このように、本実施形態のターボ分子ポンプは、接触式の温度センサで測定したガス温度から推定した回転体の温度をサンプリングし、回転体の引張強度の低下による回転体の異常温度を検出すると、警報処理回路からの警報出力に基づいて、装置・表示器が作業者に報知し、モータドライバが駆動モータを停止させるように構成されている。よって、温度上昇により回転体の引張強度が低下しても、その引張強度が遠心力により回転体に発生する応力を下回る前に設計的余裕を持ってポンプが停止するため、かかる回転体の破壊を未然に防止することができる。
【0087】
また、本実施形態のターボ分子ポンプは、接触式の温度センサで測定したガス温度から推定した回転体の温度をサンプリングし、クリープ歪みの限界による回転体の異常温度を検出すると、警報処理回路からの警報出力に基づいて、装置・表示器が作業者に報知し、モータドライバが駆動モータを減速または停止させるように構成されている。よって、回転体のクリープ歪み寸法が回転側と固定側との最狭隙間寸法に対して設計的余裕を持ってポンプが減速し、万が一これを超過してしまった場合にもポンプが強制的に停止するため、回転側と固定側との接触による破壊を未然に防止することができる。
【0088】
なお、上述した各実施形態においては、本発明をターボ分子ポンプに適用した例を挙げて説明したが、本発明は、その構造が周知のために説明を省略したネジ溝ポンプ、渦流ポンプ、およびこれらを複合した真空ポンプについても同様に適用できる。
【0089】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る真空ポンプによれば、以下のような効果を奏する。
【0090】
(1)回転体温度測定手段を構成する接触式の温度センサが、熱伝導率の低いステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつガス分子の主流路に設置されている。このため、ポンプの運転時、ガス吸気口からガス排気口へと排気されるガス分子が温度センサに必ず衝突し、温度センサは周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、排気されるガス温度を高精度で測定することができ、この測定されたガス温度から回転体の温度を推定することが可能となる。よって、測定されたガス温度をモニタリングすることで、回転体の温度を監視することができ、温度上昇した回転体のクリープ変形による固定側との接触や、その接触により回転体に傷がついて発生するクラックによる破壊を未然に防止することが可能となる。
【0091】
(2)接触式の温度センサが、熱伝導率の低いステーによって周囲の部材とは熱的に絶縁され、かつ熱伝導率の高い集熱部材によって支持された状態でガス分子の主流路に設置されている。このため、温度センサは、周囲の部材からの熱伝導の影響を受けることなく、熱伝導率の低いガスを排気する場合であっても、ガス分子との衝突面積が大きく熱伝導率の高い集熱部材によって、排気されるガス温度をより高精度で測定することができ、測定されたガス温度から回転体の温度をより近似して推定することが可能となる。
【0092】
(3)回転体温度測定手段が、回転体の引張強度の低下や回転体のクリープ歪みの限界による異常温度を検出すると警報出力され、設計的余裕を持ってポンプが減速または停止するため、過度の温度上昇により回転体の引張強度が低下し遠心力により発生する応力を下回る結果引き起こされる回転体の破壊や、クリープ歪み変形による回転側と固定側との接触を未然に防止することができ、回転体のクリープ寿命を適正に確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態のターボ分子ポンプの全体構造を示す縦断面図。
【図2】(a)は回転体温度測定手段の構造を示す要部拡大平面図、(b)は同構造を示す要部拡大断面図。
【図3】第2実施形態のターボ分子ポンプの全体構造を示す縦断面図。
【図4】(a)は回転体温度測定手段の構造を示す要部拡大平面図、(b)は同構造を示す要部拡大断面図。
【図5】第3実施形態のターボ分子ポンプにおける警報出力手段の構成を模式的に示すブロック図。
【図6】警報出力回路の処理手順を説明するフローチャート。
【図7】警報出力回路により出力された警報出力L1に基づく警報処理回路の処理手順を説明するフローチャート。
【図8】警報出力回路により出力された警報出力L2に基づく警報処理回路の処理手順を説明するフローチャート。
【符号の説明】
3 ポンプケース
9 駆動モータ
10 回転軸
13 ロータ
15 ロータ翼
16 ステータ翼
20 回転体
30 回転体温度測定手段
31 ステー
31−1 固定体取付部
31−2 センサ取付部
32 温度センサ
33 集熱部材
40 信号変換器
50 警報出力回路
60 警報処理回路
70 モータドライバ
80 装置・表示器
Claims (11)
- 回転体の回転運動により、外部からポンプケース内部に吸気されたガス分子を圧縮し、圧縮されたガス分子をポンプケース外部へと排気するポンプ機構部と、
上記ガス分子の主流路でかつ回転体の近傍に位置する固定部材に設置された熱伝導率の低い材質からなるステーと、該ステーに設置された温度センサとを備えた回転体温度測定手段と、
を具備する
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 上記温度センサは、サーミスタ、熱電対、あるいは白金測温抵抗体のいずれか一つの接触式温度センサであることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 上記ステーは、ステンレス鋼、セラミックス材料、あるいは熱伝導率の低い合成樹脂材料のいずれかの材料により構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の真空ポンプ。
- 上記合成樹脂材料は、フッ素樹脂、エポキシ樹脂、あるいは断熱性を有するガラス繊維またはカーボン繊維を混入した各種エンジニアリングプラスチックから選ばれることを特徴とする請求項3記載の真空ポンプ。
- 上記温度センサは、上記ステーに支持された熱伝導率の高い材質からなる集熱部材を介して設置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4記載の真空ポンプ。
- 上記温度センサが、集熱部材の内部に埋設されていることを特徴とする請求項5記載の真空ポンプ。
- 上記集熱部材は、アルミニウム合金または銅からなる金属材料により構成されていることを特徴とする請求項5または請求項6記載の真空ポンプ。
- 上記温度センサのセンサ出力を電気的信号に変換する信号変換器と、該信号変換器から出力された電気的信号に基づいて、回転体の温度が所定温度を超過した場合に警報信号を出力する警報出力回路と、を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項7記載の真空ポンプ。
- 上記温度センサのセンサ出力を電気的信号に変換する信号変換器と、該信号変換器から出力された電気的信号に基づいて、回転体の温度変化を時間的に積算し、その積算値から回転体の歪み量を推定し、その歪み量推定値が、回転体と固定体との間の最狭隙間寸法に対して設計的余裕を持って設定される寸法を回転体の外径寸法で除算した値を超過した場合に警報信号を出力する警報出力回路と、を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項7記載の真空ポンプ。
- 上記警報出力回路は、赤外線温度センサから出力されたセンサ出力が閾値を超過した場合に回転体の回転速度を減速させる回転体減速手段を具備することを特徴とする請求項9記載の真空ポンプ。
- 上記警報出力回路は、赤外線温度センサから出力されたセンサ出力が閾値を超過した場合に回転体の回転動作を停止させる回転体停止手段を具備することを特徴とする請求項8乃至請求項10記載の真空ポンプ。
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