JP2017532527A - 精密位置評定駆動側の仮締付装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜6に示すように、本発明の精密位置評定駆動側の仮締付装置は、位置評定プラットフォーム6と、作動装置14と、静電容量センサ4と、静電容量センサブラケット3と、仮締付ブロック12と、フィルム感圧センサ13と、を含む。
(付記1)
位置評定プラットフォームと、作動装置と、静電容量センサと、静電容量センサブラケットと、仮締付ブロックと、フィルム感圧センサと、を含む精密位置評定駆動側の仮締付装置において、
前記位置評定プラットフォームの中央部には、前記仮締付ブロック、前記フィルム感圧センサ及び前記作動装置が順に収納される摺動溝が開けられており、
前記静電容量センサブラケットは、中部が前記仮締付ブロックに対向するように前記位置評定プラットフォームに固定され、当該静電容量センサブラケットの軸線が前記摺動溝の軸方向に直交し、
前記静電容量センサブラケットのブラケット本体の一方側には、軸方向に沿って、フレキシブルなヒンジで順に連結する3本の連結棒が設けられており、当該3本の連結棒の真ん中の連結棒が静電容量センサを固定するためのものであり、前記静電容量センサは、前記静電容量センサブラケット上のボルトにより締め付けられ又は固定され、前記静電容量センサの端面は、前記仮締付ブロックの上面とは離間して平行し、
前記静電容量センサブラケットのブラケット本体の他方側の中央部には、前記3本の連結棒の真ん中の連結棒に当接する2つのマイクロメータが設けられており、当該2つのマイクロメータの尺度を変更させることにより、前記静電容量センサと前記仮締付ブロックとの初期ギャップ及び平行度合いを変更させ、
前記位置評定プラットフォームには、前記作動装置の仮締付を行うための2段仮締付装置が更に設けられている、
ことを特徴とする精密位置評定駆動側の仮締付装置。
前記2段仮締付装置は、前記仮締付ブロックとは同一軸線に位置すると共に、順に当接する第1ボール、プライマリ締付ねじ、第2ボール、セカンダリ締付ねじを含み、
前記仮締付ブロックと前記第1ボールとの接触部位は、面接触であり、前記プライマリ締付ねじと前記第1ボールとの接触部位は、点接触であり、
前記プライマリ締付ねじと前記第2ボールとの接触部位は、点接触である、
ことを特徴とする付記1に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。
前記仮締付ブロックと前記第1ボールとの接触部位は、前記第1ボールの周面に対応する半球形状ピットを前記仮締付ブロックに設置することによる面接触である、
ことを特徴とする付記2に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。
前記セカンダリ締付ねじと前記第2ボールとの接触部位は、前記第2ボールの周面に対応する半球形状ピットを前記セカンダリ締付ねじに設置することによる面接触である、
ことを特徴とする付記2に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。
前記仮締付ブロックの上部には、反射鏡が設置された反射鏡ホルダが取り付けられる、
ことを特徴とする付記2に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。
Claims (5)
- 位置評定プラットフォームと、作動装置と、静電容量センサと、静電容量センサブラケットと、仮締付ブロックと、フィルム感圧センサと、を含む精密位置評定駆動側の仮締付装置において、
前記位置評定プラットフォームの中央部には、前記仮締付ブロック、前記フィルム感圧センサ及び前記作動装置が順に収納される摺動溝が開けられており、
前記静電容量センサブラケットは、中部が前記仮締付ブロックに対向するように前記位置評定プラットフォームに固定され、当該静電容量センサブラケットの軸線が前記摺動溝の軸方向に直交し、
前記静電容量センサブラケットのブラケット本体の一方側には、軸方向に沿って、フレキシブルなヒンジで順に連結する3本の連結棒が設けられており、当該3本の連結棒の真ん中の連結棒が静電容量センサを固定するためのものであり、前記静電容量センサは、前記静電容量センサブラケット上のボルトにより締め付けられ又は固定され、前記静電容量センサの端面は、前記仮締付ブロックの上面とは離間して平行し、
前記静電容量センサブラケットのブラケット本体の他方側の中央部には、前記3本の連結棒の真ん中の連結棒に当接する2つのマイクロメータが設けられており、当該2つのマイクロメータの尺度を変更させることにより、前記静電容量センサと前記仮締付ブロックとの初期ギャップ及び平行度合いを変更させ、
前記位置評定プラットフォームには、前記作動装置の仮締付を行うための2段仮締付装置が更に設けられている、
ことを特徴とする精密位置評定駆動側の仮締付装置。 - 前記2段仮締付装置は、前記仮締付ブロックとは同一軸線に位置すると共に、順に当接する第1ボール、プライマリ締付ねじ、第2ボール、セカンダリ締付ねじを含み、
前記仮締付ブロックと前記第1ボールとの接触部位は、面接触であり、前記プライマリ締付ねじと前記第1ボールとの接触部位は、点接触であり、
前記プライマリ締付ねじと前記第2ボールとの接触部位は、点接触である、
ことを特徴とする請求項1に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。 - 前記仮締付ブロックと前記第1ボールとの接触部位は、前記第1ボールの周面に対応する半球形状ピットを前記仮締付ブロックに設置することによる面接触である、
ことを特徴とする請求項2に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。 - 前記セカンダリ締付ねじと前記第2ボールとの接触部位は、前記第2ボールの周面に対応する半球形状ピットを前記セカンダリ締付ねじに設置することによる面接触である、
ことを特徴とする請求項2に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。 - 前記仮締付ブロックの上部には、反射鏡が設置された反射鏡ホルダが取り付けられる、
ことを特徴とする請求項2に記載の精密位置評定駆動側の仮締付装置。
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CN106989662B (zh) * | 2017-05-09 | 2023-05-19 | 天津理工大学 | 一种大量程电容型波高传感器 |
CN107457727B (zh) * | 2017-08-18 | 2023-09-01 | 国网天津市电力公司宁河供电分公司 | 一种防脱移动预紧定位装置 |
CN107863131B (zh) * | 2017-12-01 | 2023-04-07 | 江汉大学 | 一种多功能尺寸调节装置 |
CN108776239A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-11-09 | 天津大学 | 一种两自由度探针进给机构 |
CN108747585B (zh) * | 2018-07-05 | 2024-04-16 | 浙江机电职业技术学院 | 机床主轴夹紧力在线监测*** |
CN109374399A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-02-22 | 湖南晓光汽车模具有限公司 | 一种螺母螺钉推阻力检测装置 |
CN109855520B (zh) * | 2019-01-02 | 2020-09-11 | 广州大学 | 一种微纳米精度测量位移传感器、***及制备方法 |
CN109975010B (zh) * | 2019-03-08 | 2020-06-23 | 天津大学 | 一种导轨位移基准与测量基准自动转换的柔性机构 |
CN110044530A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-07-23 | 金华职业技术学院 | 一种高精度应力测量方法 |
CN110189791B (zh) * | 2019-05-31 | 2024-01-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 基于双向预紧的初始转角误差可调节的微纳平台 |
CN111152201B (zh) * | 2020-01-17 | 2022-05-13 | 南京理工大学 | 用于自动装配的可变刚度且有六维力感知的被动柔顺装置 |
CN112604604B (zh) * | 2021-01-22 | 2022-01-07 | 河南黄河田中科美压力设备有限公司 | 六面顶金刚石合成压机钢环与大垫块连接装置 |
CN113432563B (zh) * | 2021-06-28 | 2023-06-09 | 中国计量大学 | 一种极端环境直线式传感器校准装置及方法 |
CN113418435B (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-16 | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 | 卷轮平行度测试装置及方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH029550A (ja) * | 1988-12-21 | 1990-01-12 | Hitachi Ltd | 6自由度微動ステージの駆動装置 |
JPH04112020A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-14 | Mitsubishi Materials Corp | 射出成形金型 |
JP2000075927A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Olympus Optical Co Ltd | テーブル機構 |
JP2001165646A (ja) * | 1999-10-11 | 2001-06-22 | Leica Microsystems Wetzler Gmbh | 部品を精密位置決めするための装置およびこの装置を備えた座標測定器 |
FR3015020A1 (fr) * | 2013-12-13 | 2015-06-19 | Nat De Metrologie Et D Essais Lab | Dispositif et procede de positionnement d'une piece a mesurer |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE84613T1 (de) | 1988-09-30 | 1993-01-15 | Kistler Instrumente Ag | Messplattform. |
DE10035192C1 (de) * | 2000-07-20 | 2001-10-11 | Carl Mahr Holding Gmbh | Kapazitiver Wegaufnehmer für stromsparende Messgeräte |
CN1176569C (zh) | 2002-11-18 | 2004-11-17 | 哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司 | 压电陶瓷斜楔预紧机构 |
US8789430B2 (en) * | 2009-12-29 | 2014-07-29 | Fundacion Tekniker | Force measuring device |
CN102619821A (zh) | 2012-03-30 | 2012-08-01 | 苏州唐峰电器有限公司 | 一种预紧装置 |
CN202631163U (zh) * | 2012-05-31 | 2012-12-26 | 无锡盛迈克传感技术有限公司 | 陶瓷压力传感器的内孔密封结构 |
CN202622796U (zh) | 2012-06-04 | 2012-12-26 | 中国科学院自动化研究所 | 用于精密装配的压电驱动微夹持钳 |
CN202884405U (zh) | 2012-11-12 | 2013-04-17 | 华南理工大学 | 一种用于柔顺机构微动平台的可控楔块预紧机构 |
CN102954323B (zh) * | 2012-11-12 | 2015-06-03 | 华南理工大学 | 一种用于柔顺机构微动平台的可控楔块预紧机构 |
CN103364115B (zh) * | 2013-07-02 | 2015-03-25 | 中国矿业大学 | 一种拉力与扭矩复合型测量装置 |
CN103389174A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-11-13 | 吉林大学 | 微力测量装置 |
CN203476938U (zh) * | 2013-08-12 | 2014-03-12 | 苏州市正步机器制造有限公司 | 一种压电陶瓷预紧装置 |
CN103604390B (zh) * | 2013-11-21 | 2017-01-04 | 苏州大学 | 干涉物镜驱动装置 |
CN103618473B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-08-17 | 苏州大学 | 一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台 |
CN103671374B (zh) | 2013-12-17 | 2016-07-06 | 华南理工大学 | 一种叠堆式压电陶瓷驱动器的楔块预紧机构及其预紧方法 |
CN103644997B (zh) | 2013-12-25 | 2015-12-23 | 武汉科技大学 | 一种基于压电智能材料的螺栓预紧力传感器 |
CN104088871B (zh) * | 2014-06-27 | 2016-03-02 | 华南理工大学 | 一种精密定位驱动端预紧装置 |
CN204061433U (zh) * | 2014-06-27 | 2014-12-31 | 华南理工大学 | 一种精密定位驱动端预紧装置 |
CN104820439B (zh) * | 2015-04-16 | 2017-10-20 | 华南理工大学 | 一种视觉设备作为传感器的并联平台跟踪控制装置与方法 |
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2014
- 2014-06-27 CN CN201410301047.1A patent/CN104088871B/zh active Active
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH029550A (ja) * | 1988-12-21 | 1990-01-12 | Hitachi Ltd | 6自由度微動ステージの駆動装置 |
JPH04112020A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-14 | Mitsubishi Materials Corp | 射出成形金型 |
JP2000075927A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Olympus Optical Co Ltd | テーブル機構 |
JP2001165646A (ja) * | 1999-10-11 | 2001-06-22 | Leica Microsystems Wetzler Gmbh | 部品を精密位置決めするための装置およびこの装置を備えた座標測定器 |
FR3015020A1 (fr) * | 2013-12-13 | 2015-06-19 | Nat De Metrologie Et D Essais Lab | Dispositif et procede de positionnement d'une piece a mesurer |
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---|---|
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