JP2017502284A - 時計部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−例えばシリコン製の微細機械加工可能素材のシートを調達する、
−シートの厚み全体を通じてエッチングすることで、時計部品を形成する、
−部品を、シートの残りから分離して、解放する。
前記シートをエッチングすることにより、時計部品を前記シートの残りにつなぐ少なくとも1つのアタッチメントを有する時計部品を形成するステップと、
を含む、時計部品の製造方法であって、
前記方法は、前記アタッチメントの望ましい破断の線に沿って、前記シートの厚み内へエッチングすることで得られる少なくとも1つの開口を含む事前分離区域を作成することからなるステップを含む、方法に関する。
ウェハは、例えば、150μmの厚みを有する。当然、他の厚みのウェハを用いることもできる。
−(破断線に沿った)長さが、2μmから10μmの間;
−幅が、1μmから5μmの間;
−深さが、シートの厚みの半分以上。
−アタッチメント3と部品1を接続する接続端部におけるアタッチメント3の幅は、100μm、
−事前分離開口5の幅は、4μm;
−事前分離開口5の長さは、2μm;
−開口間の空間は、2μm;
−開口5の深さは、シートの厚み全体の約80%。
−完全にエッチングされた部分と完全に破断された部分が、部品の厚さ方向において、一方が他方の上に配置される、
−エッチングされた溝と破断された溝の交互の連続を含む部分と、完全に破断された部分とが、部品の厚さ方向において、一方が他方の上に配置される、
−部品の厚み全体にわたり、エッチングされた溝と破断された溝が交互に連続する。
Claims (16)
- 微細機械加工可能素材のシート(2)を調達するステップ(S1)と、
前記シート(2)をエッチングすることにより、時計部品(1)を前記シート(2)の残りにつなぐ少なくとも1つのアタッチメント(3)を有する前記時計部品(1)を形成するステップ(S2)と、
を含む、前記時計部品(1)の製造方法であって、
前記方法は、前記アタッチメントの望ましい破断の線(L)に沿って、前記シート(2)の厚み内へエッチングすることで得られる少なくとも1つの開口(5)を含む事前分離区域(4)を作成することからなるステップ(S3)を含む、
方法。 - 前記時計部品(1)は、前記シート(2)をその厚み全体にわたりエッチングすることで形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記開口(5)は、前記シート(2)の厚みの一部をエッチングすることにより得られる、請求項1または2に記載の方法。
- 前記開口(5)は、前記破断線(L)の全体に沿って延伸する、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記事前分離区域(4)は、前記破断線(L)に沿って並ぶ複数の開口(5)を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記開口(5)または複数の開口(5)の深さは、前記シート(2)の厚みの90%以下、好ましくは前記厚みの60%以下であり、前記シート(2)の厚みの半分以上である、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記時計部品(1)のエッチングと前記事前分離区域(4)の前記開口(5)のエッチングとは、同時に行われる、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記事前分離区域(4)の前記開口(5)の幅は、前記時計部品を形成するための貫通開口の幅未満、特に前記時計部品を形成する複数の貫通開口の最小の幅未満である、請求項7に記載の方法。
- 前記部品を形成するための貫通開口の前記幅は40μmより大きく、前記事前分離区域(4)の前記開口(5)の前記幅は、1から10μmの範囲、特に1から5μmの範囲である、請求項7または8に記載の方法。
- 前記時計部品(1)のエッチングと前記事前分離区域(4)の前記開口(5)のエッチングとは、深掘り反応性イオンエッチングを用いて行われる、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シート(2)の前記素材は、脆性素材、特にシリコン、ダイヤモンド、水晶、及びセラミックを含む群の素材の1つである、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記アタッチメント(3)を前記破断線(L)に沿って破断することで、前記時計部品(1)を解放するステップ(S4)を含む、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記時計部品を解放するステップ(S4)において、破断は、前記アタッチメント(3)に対して、前記シートに垂直な方向に対して45°以下の角度、特に前記シートに垂直な方向に対して30°以下の角度、好ましくは前記シートに垂直または実質的に垂直な方向に、機械力を加えることでもたらされる、請求項12に記載の方法。
- 前記時計部品(1)は、ひげぜんまい、車、針、ばね、アンクル及びてん輪を含む群の要素の1つである、請求項1から13のいずれか一項に記載の方法。
- 時計部品(1)及び前記時計部品(1)をシート(2)の残りにつなぐ少なくとも1つのアタッチメント(3)を含み、前記時計部品(1)及び前記アタッチメント(3)は前記シート(2)の厚み内へエッチングされる開口により形成される、微細機械加工可能素材のシートであって、
前記シートは、前記アタッチメント(3)の望ましい破断の線(L)に沿って、前記シート(2)の厚み内へエッチングされる少なくとも1つの開口(5)を含む、前記時計部品(1)の事前分離のための区域(4)を含む、
シート。 - 部分的にエッチングされた破断区域(4)を含む、微細機械加工可能素材から製造される時計部品(1)。
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