JP2017228726A - ガス処理装置、ガス処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
第1のガス供給機構から上流側に第1のガスが供給され、下流側が分岐して複数の第1の分岐路をなす第1のガス流路と、
第2のガス供給機構から上流側に第2のガスが供給され、下流側が分岐して複数の第2の分岐路をなす第2のガス流路と、
前記複数の第1の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第1の位置に、前記複数の第2の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第2の位置に夫々接続されると共に排出路が接続され、前記第1の分岐路及び第2の分岐路から前記排出路へ流れる前記第1のガスと前記第2のガスとを混合して混合ガスを生成するための環状の混合室と、
前記排出路から供給される前記混合ガスを前記基板に吐出して当該基板を処理するためのガス吐出部と、
を備えたことを特徴とする。
下流側が分岐して複数の第1の分岐路をなす第1のガス流路の上流側から第1のガスを供給する工程と、
下流側が分岐して複数の第2の分岐路をなす第2のガス流路の上流側から第2のガスを供給する工程と、
前記複数の第1の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第1の位置に、前記複数の第2の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第2の位置に夫々接続される環状の混合室に第1のガス及び第2のガスを供給し、第1の位置及び第2の位置から前記混合室に接続される排気路へ当該第1のガス及び第2のガスを流すことで、当該第1のガス及び第2のガスを混合して混合ガスを生成する工程と、
前記排出路から供給される前記混合ガスをガス吐出部から前記基板に吐出して、当該基板を処理する工程と、
を備えたことを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上記のガス処理方法を実施することを特徴とする。
本発明に関して行われた評価試験について説明する。評価試験1として、上記のエッチング装置1を用いて既述の手順に沿って実際にALEを行った場合におけるウエハWのエッチング後の状態を調べた。エッチング後の状態とは、ウエハWの面内各部においてエッチングされた量の平均値(単位:nm)、及びウエハWの面内におけるエッチングの均一性である。このエッチングの均一性(単位:%)とは具体的には、エッチングレートの標準偏差(1σ)をエッチングレートの平均値に対する百分率で示した値である。従って、このエッチングの均一性の絶対値が小さいほど、ウエハWの面内において均一性高くエッチングが行われたことを示す。また、ウエハWの面内におけるエッチング量の分布がカラーのグラデーションとして表された画像を取得した。つまり、実験による測定結果から、エッチング量に応じて色を付して、ウエハWの表面を表した。
10 制御部
11 処理容器
21 載置台
41 ガス吐出部
50 ガス供給路
51、52 水平ガス流路
53、54 分岐路
55 第1のガス混合室
56 排出路
Claims (8)
- 真空雰囲気が形成される処理容器内に設けられ、基板が載置される載置部と、
第1のガス供給機構から上流側に第1のガスが供給され、下流側が分岐して複数の第1の分岐路をなす第1のガス流路と、
第2のガス供給機構から上流側に第2のガスが供給され、下流側が分岐して複数の第2の分岐路をなす第2のガス流路と、
前記複数の第1の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第1の位置に、前記複数の第2の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第2の位置に夫々接続されると共に排出路が接続され、前記第1の分岐路及び第2の分岐路から前記排出路へ流れる前記第1のガスと前記第2のガスとを混合して混合ガスを生成するための環状の混合室と、
前記排出路から供給される前記混合ガスを前記基板に吐出して当該基板を処理するためのガス吐出部と、
を備えたことを特徴とするガス処理装置。 - 前記第1の位置及び前記第2の位置は、同じ位置であることを特徴とする請求項1記載のガス処理装置。
- 前記排出路は、前記第1の位置及び前記第2の位置から前記混合室の周方向に離れた位置に接続されていることを特徴とする請求項1または2記載のガス処理装置。
- 前記第1のガス流路及び前記第2のガス流路は前記混合室の上部側に接続され、
前記排出路は当該混合室の下部側に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のガス処理装置。 - 前記ガス吐出部及び前記排出路は複数設けられ、
前記処理容器の天井部の下部側に、前記載置部に対向する平坦面と、当該平坦面に形成された複数のガス吐出口と、を備えたガスシャワーヘッドが設けられ、
前記各ガス吐出部は、前記処理容器の天井部と前記ガスシャワーヘッドとの間に形成されるガス拡散空間に、各々横方向にガスを吐出するように設けられることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載のガス処理装置。 - 前記第1のガス供給機構は、前記第1のガスを構成する第1の不活性ガスと第1の処理ガスとを夫々独立して当該第1のガス流路に供給するように構成され、
前記第2のガス供給機構は、前記第2のガスを構成する第2の不活性ガスと第2の処理ガスとを夫々独立して当該第2のガス流路に供給するように構成され、
前記第1の不活性ガス、前記第2の不活性ガスが夫々前記第1のガス流路、前記第2のガス流路に互いに並行して連続して供給される間、前記第1の処理ガス、前記第2の処理ガスが夫々前記第1のガス流路、前記第2のガス流路に断続的に供給されるように制御信号を出力する制御部が設けられることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載のガス処理装置。 - 真空雰囲気が形成される処理容器内に設けられる載置部に基板を載置する工程と、
下流側が分岐して複数の第1の分岐路をなす第1のガス流路の上流側から第1のガスを供給する工程と、
下流側が分岐して複数の第2の分岐路をなす第2のガス流路の上流側から第2のガスを供給する工程と、
前記複数の第1の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第1の位置に、前記複数の第2の分岐路の各下流端が周方向の互いに離れた第2の位置に夫々接続される環状の混合室に第1のガス及び第2のガスを供給し、第1の位置及び第2の位置から前記混合室に接続される排気路へ当該第1のガス及び第2のガスを流すことで、当該第1のガス及び第2のガスを混合して混合ガスを生成する工程と、
前記排出路から供給される前記混合ガスをガス吐出部から前記基板に吐出して、当該基板を処理する工程と、
を備えたことを特徴とするガス処理方法。 - 基板に対してガス処理を行うガス処理装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7に記載のガス処理方法を実施することを特徴とする記憶媒体。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020004837A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | エッチング処理方法およびエッチング処理装置 |
JP2020026550A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス処理装置及びガス処理方法 |
KR20220130012A (ko) * | 2021-03-17 | 2022-09-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 처리 장치 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6792786B2 (ja) * | 2016-06-20 | 2020-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス混合装置および基板処理装置 |
JP6696322B2 (ja) * | 2016-06-24 | 2020-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス処理装置、ガス処理方法及び記憶媒体 |
KR102546317B1 (ko) * | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
JP6988083B2 (ja) * | 2016-12-21 | 2022-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス処理装置及びガス処理方法 |
KR102116534B1 (ko) | 2018-06-25 | 2020-05-28 | 주식회사 에이치에스하이테크 | 기판 세정용 노즐 및 그 제조 방법 |
JP7151420B2 (ja) * | 2018-11-27 | 2022-10-12 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給装置及びガス供給方法 |
JP7105180B2 (ja) * | 2018-12-06 | 2022-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US11772058B2 (en) * | 2019-10-18 | 2023-10-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Gas mixing system for semiconductor fabrication |
KR20220130758A (ko) * | 2020-01-29 | 2022-09-27 | 램 리써치 코포레이션 | 사선 플로우 경로들 (oblique flow paths) 을 갖는 가스 분배 대면 플레이트 (faceplate) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008010619A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Tokyo Electron Ltd | エッチング方法及び記録媒体 |
JP2013209722A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
JP2015144249A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-08-06 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、記憶媒体及びエッチング装置 |
JP2016519845A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 高対称四重ガス注入によるプラズマリアクタ |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5744049A (en) * | 1994-07-18 | 1998-04-28 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor with enhanced plasma uniformity by gas addition, and method of using same |
IT1276034B1 (it) * | 1994-11-10 | 1997-10-24 | Barmag Barmer Maschf | Traversa di filatura per la filatura di una pluralita' di fili sintetici e procedimento per la sua produzione |
DE29517100U1 (de) * | 1995-10-17 | 1997-02-13 | Zimmer, Johannes, Klagenfurt | Strömungsteilungs- und -umformungskörper |
TW356554B (en) * | 1995-10-23 | 1999-04-21 | Watkins Johnson Co | Gas injection system for semiconductor processing |
US6170428B1 (en) * | 1996-07-15 | 2001-01-09 | Applied Materials, Inc. | Symmetric tunable inductively coupled HDP-CVD reactor |
WO1998027253A1 (de) * | 1996-12-18 | 1998-06-25 | Barmag Ag | Spinnbalken |
US5834371A (en) | 1997-01-31 | 1998-11-10 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for preparing and metallizing high aspect ratio silicon semiconductor device contacts to reduce the resistivity thereof |
US6709523B1 (en) * | 1999-11-18 | 2004-03-23 | Tokyo Electron Limited | Silylation treatment unit and method |
JP2003133300A (ja) | 2001-10-26 | 2003-05-09 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP4255237B2 (ja) | 2002-02-28 | 2009-04-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
KR100862658B1 (ko) * | 2002-11-15 | 2008-10-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 처리 시스템의 가스 주입 장치 |
DE10258261A1 (de) * | 2002-12-13 | 2004-06-24 | Saurer Gmbh & Co. Kg | Spinnbalken |
US8152922B2 (en) * | 2003-08-29 | 2012-04-10 | Asm America, Inc. | Gas mixer and manifold assembly for ALD reactor |
US7712434B2 (en) * | 2004-04-30 | 2010-05-11 | Lam Research Corporation | Apparatus including showerhead electrode and heater for plasma processing |
KR20060059305A (ko) * | 2004-11-26 | 2006-06-01 | 삼성전자주식회사 | 반도체 공정 장비 |
KR100558922B1 (ko) * | 2004-12-16 | 2006-03-10 | (주)퓨전에이드 | 박막 증착장치 및 방법 |
US7691203B2 (en) * | 2006-01-27 | 2010-04-06 | Air Water Inc. | Film forming apparatus |
JP4915985B2 (ja) * | 2006-02-06 | 2012-04-11 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US20070187363A1 (en) * | 2006-02-13 | 2007-08-16 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
US8475625B2 (en) * | 2006-05-03 | 2013-07-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for etching high aspect ratio features |
JP5045000B2 (ja) * | 2006-06-20 | 2012-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、ガス供給装置、成膜方法及び記憶媒体 |
US7758698B2 (en) * | 2006-11-28 | 2010-07-20 | Applied Materials, Inc. | Dual top gas feed through distributor for high density plasma chamber |
US9540731B2 (en) * | 2009-12-04 | 2017-01-10 | Applied Materials, Inc. | Reconfigurable multi-zone gas delivery hardware for substrate processing showerheads |
EP2545197B1 (en) * | 2010-03-12 | 2020-12-16 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition chamber with multi inject |
WO2011159690A2 (en) | 2010-06-15 | 2011-12-22 | Applied Materials, Inc. | Multiple precursor showerhead with by-pass ports |
JP5426647B2 (ja) | 2011-12-13 | 2014-02-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
US9388492B2 (en) * | 2011-12-27 | 2016-07-12 | Asm America, Inc. | Vapor flow control apparatus for atomic layer deposition |
JP6157061B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2017-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給装置及び基板処理装置 |
TW201435138A (zh) * | 2012-12-21 | 2014-09-16 | Applied Materials Inc | 具高清洗效率的對稱氣體分配設備及方法 |
TWI473903B (zh) * | 2013-02-23 | 2015-02-21 | Hermes Epitek Corp | 應用於半導體設備的噴射器與上蓋板總成 |
JP6007143B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2016-10-12 | 東京エレクトロン株式会社 | シャワーヘッド、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 |
CN105164307B (zh) * | 2013-04-30 | 2017-06-27 | 东京毅力科创株式会社 | 成膜装置 |
US9287095B2 (en) * | 2013-12-17 | 2016-03-15 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor system assemblies and methods of operation |
US10487399B2 (en) * | 2014-06-26 | 2019-11-26 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition chamber with counter-flow multi inject |
US10407771B2 (en) * | 2014-10-06 | 2019-09-10 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition chamber with thermal lid |
JP6516436B2 (ja) * | 2014-10-24 | 2019-05-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
US10233543B2 (en) * | 2015-10-09 | 2019-03-19 | Applied Materials, Inc. | Showerhead assembly with multiple fluid delivery zones |
JP7166759B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2022-11-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Hdp-cvdチャンバのアーク発生を防止するための高度なコーティング方法および材料 |
JP2017152531A (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
JP6880076B2 (ja) * | 2016-06-03 | 2021-06-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板距離の監視 |
JP6696322B2 (ja) * | 2016-06-24 | 2020-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス処理装置、ガス処理方法及び記憶媒体 |
JP6935667B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2021-09-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
-
2016
- 2016-06-24 JP JP2016125587A patent/JP6696322B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-14 KR KR1020170074802A patent/KR101898388B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-21 US US15/629,027 patent/US10410876B2/en active Active
- 2017-06-22 CN CN201710482296.9A patent/CN107546152B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008010619A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Tokyo Electron Ltd | エッチング方法及び記録媒体 |
JP2013209722A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
JP2016519845A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 高対称四重ガス注入によるプラズマリアクタ |
JP2015144249A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-08-06 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、記憶媒体及びエッチング装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020004837A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | エッチング処理方法およびエッチング処理装置 |
JP7113681B2 (ja) | 2018-06-28 | 2022-08-05 | 株式会社日立ハイテク | エッチング処理方法およびエッチング処理装置 |
JP2020026550A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス処理装置及びガス処理方法 |
JP7119747B2 (ja) | 2018-08-10 | 2022-08-17 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス処理装置及びガス処理方法 |
US11499225B2 (en) | 2018-08-10 | 2022-11-15 | Tokyo Electron Limited | Gas processing apparatus and gas processing method |
KR20220130012A (ko) * | 2021-03-17 | 2022-09-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 처리 장치 |
KR102676987B1 (ko) | 2021-03-17 | 2024-06-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107546152A (zh) | 2018-01-05 |
CN107546152B (zh) | 2020-07-24 |
KR101898388B1 (ko) | 2018-09-12 |
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US20170372914A1 (en) | 2017-12-28 |
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US10410876B2 (en) | 2019-09-10 |
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