JP2017216265A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 105
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 72
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 72
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- -1 moisture Substances 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
また、本発明のシート貼付装置では、前記剥離シートへの塵埃の付着を促進させる付着媒体を当該剥離シートに付与する付着媒体付与手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記塵埃除去手段は、前記剥離シートに付着した塵埃を当該剥離シートから除去する塵埃回収手段を備えていることが好ましい。
また、付着媒体付与手段を備えれば、効率よく塵埃を剥離シートに付着させて除去することができる。
さらに、塵埃回収手段を備えれば、剥離シートに付着した塵埃が当該剥離シートから剥がれて浮遊したり拡散したりして、雰囲気が汚染されることを防止することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段20が回動モータ23Aを駆動し、原反RSを繰り出して図1に示すように、先頭の接着シートASの先端が剥離板30の先端部30Aで剥離シートRLから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、回動モータ23Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
接離手段は、図3(A)に示すように、駆動機器としての直動モータ53Aの出力軸53Bに支持されたブラケット53Cに回転可能に支持されたローラ53を採用し、当該ローラ53で剥離シートRLを被着面WF1に離間接近させてもよいし、このようなローラ53に代えてシャフト部材を採用してもよいし、図3(B)に示すように、剥離板30の内部に形成された通気口30Bに空気やガス等の気体を吹き付ける加圧ポンプやタービン等の気体吹付手段54を採用し、吹き付けた気体で剥離シートRLを被着面WF1に離間接近させてもよいし、例えば、図3(A)や図3(B)に示すような装置において、接着シートASが剥離された位置から、ローラ53や気体で被着面WF1に剥離シートRLを離間接近させる位置までの間で、当該剥離シートRLを半回転捻じ曲げるようにしておき、当該剥離シートRLにおける接着シートASが仮着された面の反対側の面である他方の面を除塵面としてもよいし、剥離板30の先端部30Aに駆動機器を設け、剥離板30全体を移動させることなく、剥離板30の先端部30Aのみを被着面WF1に離間接近させてもよく、接離手段が剥離シートRLを被着面WF1に接触させる所定の押圧力を、例えば、ウエハWFが破損しない程度としたり、被着面WF1に傷が入らない程度としたり、ウエハWFおよび剥離シートRLの少なくとも一方の特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して作業者が任意に決定してもよいし、剥離シートRLを被着面WF1に接触させてもよいし、接触させなくてもよいし、当該接離手段がなくてもよく、このように接離手段がない場合、除塵面RL1が被着面WF1に当接するように予め設定しておいたり、除塵面RL1と被着面WF1との間に除去したい塵埃DUの大きさ以下の僅かな隙間があくように予め設定しておいたり、付着媒体の力で塵埃DUを浮上させることができる範囲で除塵面RL1と被着面WF1との間に隙間があくように予め設定しておいたりしておき、剥離シートRLとウエハWFとを相対移動させて被着面WF1から塵埃DUを除去するように構成してもよい。
付着媒体付与手段60は、電荷付与装置61や塵埃用電荷付与装置として電圧印可式、自己放電式等のコロナ放電タイプや、X線方式、α線方式、紫外線方式等の電離放射線タイプのもの等何でもよいし、前記実施形態で示した付番61のものを電荷測定器として除塵面RL1の電荷を測定し、付番62のものを塵埃用電荷付与装置として被着面WF1上に付着している塵埃DUが除塵面RL1の電荷と逆の極性となるように、当該塵埃DUに電荷を付与するように構成してもよいし、電荷付与装置61や塵埃用電荷付与装置が剥離シートRLや塵埃DUに付与する電位は、電位測定器63が測定した電位に対して極性が逆の同じ電位としてもよいし、極性が逆の異なる電位としてもよいし、電荷付与装置61を剥離板30の外部に設けたり、電荷付与装置61を剥離板30の内部と外部との両方に設けたりしてもよいし、例えば、剥離シートRLが紙や多孔質材等の通気性のある部材で構成されている場合、剥離シートRLを介して塵埃DUを当該剥離シートRLに吸い付けて付着させる塵埃吸引手段を剥離板30等に設けてもよく、この場合、付着媒体は吸引される空気となる。
付着媒体付与手段60が付与する付着媒体は、接着剤、粘着剤、溶剤、水分、油分、液体等であってもよく、例えば、溶剤、水分、油分または液体を付着させた剥離シートRLを雑巾のように被着面WF1に擦り付けて塵埃DUを除去してもよく、除塵面RL1に接着剤、粘着剤、溶剤、水分、油分または液体等を塗布したり積層させたりしてもよいし、塵埃DUが汚れや着色等の場合、付着媒体を溶剤、水分、油分または液体とすると効率的に当該塵埃DUを除去することができるし、付着媒体として剥離シートRLに無数の小さな穴や凹凸を形成したり、除塵面RL1を荒らして粗面としたりすることで、穴や凹凸の凹部や粗面に塵埃DUを入り込ませたり、凸部や粗面に塵埃DUを引っ掛けたりして当該塵埃DUを除去するようにしてもよい。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
20…繰出手段
30…剥離手段
40…押圧手段
50…塵埃除去手段
51…回動モータ(接離手段)
52…塵埃回収手段
60…付着媒体付与手段
AS…接着シート
DU…塵埃
RL…剥離シート
RS…原反
WF…ウエハ(被着体)
WF1…被着面
Claims (5)
- 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記接着シートが剥離された剥離シートによって前記被着体の被着面から塵埃を除去する塵埃除去手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記塵埃除去手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを前記被着面に離間接近させる接離手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記剥離シートへの塵埃の付着を促進させる付着媒体を当該剥離シートに付与する付着媒体付与手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
- 前記塵埃除去手段は、前記剥離シートに付着した塵埃を当該剥離シートから除去する塵埃回収手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載のシート貼付装置。
- 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記接着シートが剥離された剥離シートによって前記被着体の被着面から塵埃を除去する塵埃除去工程を有することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016107027A JP6628689B2 (ja) | 2016-05-30 | 2016-05-30 | シート貼付装置および貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2016107027A JP6628689B2 (ja) | 2016-05-30 | 2016-05-30 | シート貼付装置および貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017216265A true JP2017216265A (ja) | 2017-12-07 |
JP6628689B2 JP6628689B2 (ja) | 2020-01-15 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6628689B2 (ja) |
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