JP2017197423A5

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Publication number: JP2017197423A5
Application number: JP2016091888A
Authority: JP
Filing date: 2016-04-28
Publication date: 2019-04-11
Anticipated expiration: 2036-04-28

Description

濃縮混合ガスの一部を排出する工程は、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する第１の吸着容器と、吸着剤を保持する第３の吸着容器とを連通させて、第１の吸着容器内のガスの一部を、第３の吸着容器内に排出させる工程を含んでいてもよい。第１の吸着容器と第３の吸着容器とを連通させると、オゾンガスを吸着剤に吸着させて圧力が高くなった第１の吸着容器から、第３の吸着容器へと、第１の吸着容器内のガスの一部が排出される。排出過程の初期に排出されるガス中のオゾン濃度は比較的低いため、オゾン濃度が低いガスを第１の吸着容器から排出することで、最終的に、第１の吸着容器からより高濃度のオゾンガスを回収することができる。また、第３の吸着容器へと導出されたガスは、第３の吸着容器内の圧力を高めることに利用され、さらに、ガス中に含まれるオゾンは、第３の吸着容器内の吸着剤に吸着されるため、利用することなく廃棄されるオゾンガスの量を低減することができる。

配管１７５には、配管１７６と、配管１７８と、配管１８０とが接続されている。配管１７６は、第１濃縮容器３０Ａの内部にまで延在するように配設されている。配管１７６には、弁７６が設置されている。また配管１７８は、第２濃縮容器３０Ｂの内部にまで延在するように配設されている。配管１７８には、弁７７が設置されている。また配管１８０は、第３濃縮容器３０Ｃの内部にまで延在するように配設されている。配管１８０には、弁７８が設置されている。

配管１７７には、配管１８２が接続されている。配管１８２には、弁７９が設置されている。配管１７９には、配管１８３が接続されている。配管１８３には、弁８０が設置されている。配管１８１には、配管１８４が接続されている。配管１８４には、弁８１が設置されている。配管１７５と、配管１８２と、配管１８３と、配管１８４とは、配管１８７に接続されている。配管１８７は、配管１８８に接続されている。配管１８８には、オゾン分解装置５３と、第１の減圧用装置としての濃縮容器減圧用ポンプ５０とが設置されている。濃縮容器減圧用ポンプ５０は、濃縮容器３０Ａ、３０Ｂ、および３０Ｃから選択される第１の濃縮容器に接続され、第１の濃縮容器の内部を減圧可能な第１の減圧装置として機能する。図示しないが、濃縮容器減圧用ポンプ５０は、複数備わっていてもよい。すなわち、第２の濃縮容器に接続され、第２の濃縮容器の内部を減圧可能な第２の減圧装置がさらに備わっていてもよい。例えば、濃縮容器３０Ａ、３０Ｂ、および３０Ｃが１つの減圧用ポンプを共用していてもよい。この場合、濃縮容器減圧用ポンプ５０は、第１の減圧装置および第２の減圧装置の両方の機能を兼ねる。また、濃縮容器３０Ａ、３０Ｂ、および３０Ｃのそれぞれに対応する複数の減圧用ポンプ（図示しない）を備えていてもよい。

第１濃縮容器３０Ａの容器内が濃縮混合ガスにより充填されると、供給対象物に対してオゾンを含有する濃縮混合ガスが供給される（Ｔ４０）。弁８２を開弁すると、第１濃縮容器３０Ａから濃縮混合ガスが流れ出し、配管１７７および配管１８５を経由して第３マスフローコントローラ４３に到達する。その後、第３マスフローコントローラ４３により所望の流量に調整された状態で、配管１８６を介して供給対象物にオゾンが供給される。

Claims

吸着剤を保持する第１の吸着容器内にオゾンガスを含む原料混合ガスを導入して、前記第１の吸着容器内の吸着剤にオゾンガスを吸着させる工程と、
第１の濃縮容器の内部を、前記第１の吸着容器と連通しない状態で減圧する工程と、
オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器内を排気することにより、前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程と、
内部が減圧された前記第１の濃縮容器と、内部のガスの一部が排出された前記第１の吸着容器とを連通する状態に切り替えて、前記第１の濃縮容器内と前記第１の吸着容器内との圧力差により前記第１の吸着容器内の吸着剤に吸着したオゾンガスを脱着させて前記第１の濃縮容器内に搬送することにより、前記第１の濃縮容器内に前記原料混合ガスよりもオゾンガスの濃度が高い第１の濃縮混合ガスを導入する工程と、
吸着剤を保持する、前記第１の吸着容器とは異なる第２の吸着容器内にオゾンガスを含む原料混合ガスを導入して、前記第２の吸着容器内の吸着剤にオゾンガスを吸着させる工程と、
前記第１の濃縮混合ガスが導入された前記第１の濃縮容器と、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第２の吸着容器とを連通する状態に切り替えて、前記第１の濃縮容器内と前記第２の吸着容器内との圧力差により前記第２の吸着容器内の吸着剤に吸着したオゾンガスを脱着させて前記第１の濃縮容器内に搬送することにより、前記第１の濃縮容器内に、前記第１の濃縮混合ガスよりはオゾンガスの濃度が低いが、前記原料混合ガスよりもオゾンガスの濃度が高い第２の濃縮混合ガスを導入する工程と、を含む、オゾンガスの濃縮方法。
前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程は、前記第１の吸着容器内のガスを前記第１の濃縮容器に到達させることなく排気する工程を含む、請求項１に記載のオゾンガスの濃縮方法。
前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程は、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器と大気とを連通することにより、前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程を含む、請求項２に記載のオゾンガスの濃縮方法。
前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程は、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器内のガスの一部を前記第１の濃縮容器に到達させることなく、前記第１の吸着容器内の圧力が−８０ｋＰａ・Ｇ以下となるように、前記第１の吸着容器内のガスの一部を排気する工程を含む、請求項２に記載のオゾンガスの濃縮方法。
前記第１の濃縮容器とは異なる第２の濃縮容器の内部を、前記第１および第２の吸着容器のいずれとも連通しない状態で減圧する工程をさらに備え、
前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程は、
内部が減圧された前記第２の濃縮容器と、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器とを連通する状態に切り替えて、前記第２の濃縮容器内と前記第１の吸着容器内との圧力差により前記第１の吸着容器内の吸着剤に吸着したオゾンガスを脱着させて前記第２の濃縮容器内に搬送することにより、前記第１の吸着容器内のガスの一部を前記第２の濃縮容器内に導入する工程を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載のオゾンガスの濃縮方法。
前記第１の濃縮容器内に前記第１の濃縮混合ガスを導入する工程および前記第１の濃縮容器内に前記第２の濃縮混合ガスを導入する工程は、前記第１および第２の吸着容器を加熱することなく実施される、請求項１〜５のいずれか１項に記載のオゾンガスの濃縮方法。
前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する工程は、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器と、吸着剤を保持する第３の吸着容器とを連通させて、前記第１の吸着容器内のガスの一部を、前記第３の吸着容器内に排出させる工程を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載のオゾンガスの濃縮方法。
オゾンガスを含む原料混合ガスが導入されることによりオゾンガスを吸着する吸着剤を各々保持する、第１および第２の吸着容器と、
前記第１および第２の吸着容器の各々に接続される第１の濃縮容器と、
前記第１の濃縮容器に接続され、前記第１の濃縮容器の内部を減圧可能な第１の減圧装置と、
前記第１および第２の吸着容器、前記第１の濃縮容器、ならびに前記第１の減圧装置の連通状態を切り替える流路制御装置と、を備え、
前記流路制御装置は、
吸着剤を保持する前記第１の吸着容器内にオゾンガスを含む原料混合ガスを導入して、前記第１の吸着容器内の吸着剤にオゾンガスを吸着させる状態と、
前記第１の濃縮容器の内部を、前記第１の吸着容器及び前記第２の吸着容器と連通しない状態で減圧する状態と、
オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器内を排気することにより、前記第１の吸着容器内のガスの一部を排出する状態と、
内部が減圧された前記第１の濃縮容器と、内部のガスの一部が排出された前記第１の吸着容器とを連通する状態に切り替えて、前記第１の濃縮容器内と前記第１の吸着容器内との圧力差により前記第１の吸着容器内の吸着剤に吸着したオゾンガスを脱着させて前記第１の濃縮容器内に搬送することにより、前記第１の濃縮容器内に前記原料混合ガスよりもオゾンガスの濃度が高い第１の濃縮混合ガスを導入する状態と、
前記第２の吸着容器内にオゾンガスを含む原料混合ガスを導入して、前記第２の吸着容器内の吸着剤にオゾンガスを吸着させる状態と、
前記第１の濃縮混合ガスが導入された前記第１の濃縮容器と、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第２の吸着容器とを連通する状態に切り替えて、前記第１の濃縮容器内と前記第２の吸着容器内との圧力差により前記第２の吸着容器内の吸着剤に吸着したオゾンガスを脱着させて前記第１の濃縮容器内に搬送することにより、前記第１の濃縮混合ガスよりはオゾンガスの濃度が低いが、前記原料混合ガスよりもオゾンガスの濃度が高い第２の濃縮混合ガスを導入する状態と、
を切り替える、オゾンガスの濃縮装置。
前記第１の吸着容器に接続され、前記第１の吸着容器の内部のガスを前記第１の濃縮容器に到達させることなく排気する排気路をさらに備える、請求項８に記載のオゾンガスの濃縮装置。
前記第１の濃縮容器とは異なる第２の濃縮容器と、
前記第２の濃縮容器に接続され、前記第２の濃縮容器の内部を減圧可能な第２の減圧装置とをさらに備え、
前記流路制御装置は、
前記第２の濃縮容器の内部を、前記第１の吸着容器および前記第２の吸着容器と連通しない状態で減圧する状態と、
内部が減圧された前記第２の濃縮容器と、オゾンガスが吸着した吸着剤を保持する前記第１の吸着容器とを連通する状態に切り替えて、前記第２の濃縮容器内と前記第１の吸着容器内との圧力差により前記第１の吸着容器内の吸着剤に吸着したオゾンガスを脱着させて前記第２の濃縮容器内に搬送することにより、前記第２の濃縮容器内に、前記第１の吸着容器内のガスの一部を導入する状態と、をさらに切り替える、請求項８または９に記載のオゾンガスの濃縮装置。