JP2017192898A - 純水製造方法及び装置 - Google Patents
純水製造方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017192898A JP2017192898A JP2016084554A JP2016084554A JP2017192898A JP 2017192898 A JP2017192898 A JP 2017192898A JP 2016084554 A JP2016084554 A JP 2016084554A JP 2016084554 A JP2016084554 A JP 2016084554A JP 2017192898 A JP2017192898 A JP 2017192898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- membrane
- deaeration
- vacuum pump
- deaerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
Description
図1に示した純水製造装置を組み立て、純水タンク11に一次純水を供給した。膜脱気装置14として、三菱レイヨン株式会社製の脱気・給気用膜モジュールであるステラポアー(登録商標)2000シリーズ品番20M0060Aを用いた。この脱気・給気用膜モジュールは、脱気膜として、三層複合膜である中空糸膜を用いたものである。純水タンク11中の純水に含まれる一般細菌の数を計測したところ、8200個/mLであった。
次に、実験例1と同じ装置を用い、送液ポンプから13から膜脱気装置14まで導入し、弁15を閉じた状態で真空ポンプ17を運転した。このとき、配管16の圧力は絶対圧で11.3kPaであった。真空ポンプ17を停止し、膜脱気装置14の近傍の純水中の溶存酸素濃度を測定し、真空ポンプ17の停止からの経過時間に応じた溶存酸素濃度の変化を調べた。溶存酸素の測定には、東亜ディーケーケー製のDO30Aを用いた。結果を図2に示す。真空ポンプ17の停止から時間が経つにつれて配管16の真空度は低下し、45分経過後の配管16の圧力は絶対圧で41.3kPaであった。
12,15,18 弁
13 送液ポンプ
14 膜脱気装置
16 配管
17 真空ポンプ
20 制御装置
21 フィルター
Claims (8)
- 純水タンクに貯えた一次純水を、脱気膜を備える膜脱気装置に通液して脱気処理を行い、脱気処理後の純水をユースポイントに供給する純水製造方法であって、
前記ユースポイントへの純水の供給を中断する中断期間内において、前記脱気膜の液相側に純水が存在する状態を保ったまま、前記脱気膜の気相側で前記膜脱気装置に接続している真空ポンプを間欠的に運転する、純水製造方法。 - 前記膜脱気装置の内部または近傍に存在する純水の溶存酸素濃度が2mg/L未満であり続けるように、前記中断期間内における真空ポンプの運転間隔を設定する、請求項1に記載の純水製造方法。
- 前記中断期間外の、前記ユースポイントでの需要に応じて前記脱気処理後の純水を前記ユースポイントに供給する供給期間において、前記真空ポンプを連続運転しながら、前記需要が発生するごとに、前記一次純水を前記膜脱気装置に送水する送液ポンプを作動させる、請求項1または2に記載の純水製造装置。
- 一次純水を貯える純水タンクと、
脱気膜を備え、前記純水タンク内の一次純水が通液されて膜脱気を行う膜脱気装置と、
前記脱気膜の気相側で前記膜脱気装置に接続する真空ポンプと、
ユースポイントへの純水の供給を中断する中断期間内において、前記脱気膜の液相側に純水が存在する状態を保ったまま、前記真空ポンプを間欠的に動作させる制御装置と、
を有し、
前記膜脱気装置で膜脱気された純水を前記ユースポイントに供給する純水製造装置。 - 前記制御装置は、前記膜脱気装置の内部または近傍に存在する純水の溶存酸素濃度が2mg/L未満であり続けるように、前記中断期間内における真空ポンプの運転間隔を設定する、請求項4に記載の純水製造装置。
- 前記純水タンクの出口に接続して前記一次純水を前記膜脱気装置に送液する送液ポンプをさらに備え、
前記制御装置は、前記中断期間外の、前記ユースポイントでの需要に応じて前記膜脱気された純水を前記ユースポイントに供給する供給期間において、前記真空ポンプを連続運転しながら、前記需要が発生するごとに前記送液ポンプを作動させる、請求項4または5に記載の純水製造装置。 - 前記純水タンクの出口と前記膜脱気装置との間の送水ライン上に設けられたフィルターをさらに備える、請求項4乃至6のいずれか1項に記載の純水製造装置。
- 一次純水を貯える純水タンクと、
脱気膜を備え、前記純水タンク内の一次純水が通液されて膜脱気を行う膜脱気装置と、
前記純水タンクの出口と前記膜脱気装置との間の送水ライン上に設けられたフィルターと、
を有し、
前記膜脱気装置において膜脱気された純水を前記ユースポイントに供給する純水製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016084554A JP6617071B2 (ja) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | 純水製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016084554A JP6617071B2 (ja) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | 純水製造方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017192898A true JP2017192898A (ja) | 2017-10-26 |
JP6617071B2 JP6617071B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=60155288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016084554A Active JP6617071B2 (ja) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | 純水製造方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6617071B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113613803A (zh) * | 2019-04-08 | 2021-11-05 | Mks仪器有限公司 | 用于产生具有降低的溶解载气和氧含量的溶解氨溶液的***和方法 |
JP7155373B1 (ja) | 2021-10-05 | 2022-10-18 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01167385U (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-24 | ||
JPH0810749A (ja) * | 1994-07-04 | 1996-01-16 | Samuson:Kk | 膜脱気装置 |
JP2000185203A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Kurita Water Ind Ltd | 膜脱気装置の運転方法 |
JP2007313412A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Miura Co Ltd | 脱酸素システム |
-
2016
- 2016-04-20 JP JP2016084554A patent/JP6617071B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01167385U (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-24 | ||
JPH0810749A (ja) * | 1994-07-04 | 1996-01-16 | Samuson:Kk | 膜脱気装置 |
JP2000185203A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Kurita Water Ind Ltd | 膜脱気装置の運転方法 |
JP2007313412A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Miura Co Ltd | 脱酸素システム |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113613803A (zh) * | 2019-04-08 | 2021-11-05 | Mks仪器有限公司 | 用于产生具有降低的溶解载气和氧含量的溶解氨溶液的***和方法 |
US11691111B2 (en) | 2019-04-08 | 2023-07-04 | Mks Instruments, Inc. | Systems and methods for generating a dissolved ammonia solution with reduced dissolved carrier gas and oxygen content |
CN113613803B (zh) * | 2019-04-08 | 2024-02-02 | Mks仪器有限公司 | 用于供应清洗液体的***和方法 |
JP7155373B1 (ja) | 2021-10-05 | 2022-10-18 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 |
WO2023058298A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 |
JP2023055128A (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-17 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6617071B2 (ja) | 2019-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4472050B2 (ja) | 造水装置および造水方法 | |
EP0815926A1 (en) | Method of desalinating saline water and apparatus therefor | |
JP2002143849A5 (ja) | ||
WO2000004986A1 (fr) | Technique visant a inhiber le developpement bacterien au voisinage d'une membrane de separation, technique de sterilisation de celle-ci | |
JP2002143849A (ja) | 造水方法 | |
WO2011077815A1 (ja) | 造水システムおよびその運転方法 | |
JP6617071B2 (ja) | 純水製造方法及び装置 | |
JP4440989B1 (ja) | 精製水の製造方法 | |
JP4767803B2 (ja) | 浄水装置 | |
JP2009183825A (ja) | 水処理装置 | |
JP2000189965A (ja) | 造水装置および造水方法 | |
US20100307963A1 (en) | Method and System for Filtering Water | |
RU2323036C2 (ru) | Способ концентрирования водных растворов биологически активных веществ и установка для его реализации | |
KR20170074641A (ko) | 수처리장치 | |
KR20140020342A (ko) | 수처리장치 | |
JP2007260532A (ja) | 再生水製造装置の洗浄方法 | |
KR101459001B1 (ko) | 수처리장치 및 수처리방법 | |
JP4661009B2 (ja) | 超純水製造システム | |
JPH11179173A (ja) | 膜分離装置の運転方法及び膜分離装置 | |
CN212315811U (zh) | 净水***及净水机 | |
CN215403237U (zh) | 一种纯水管杀菌*** | |
JP5326723B2 (ja) | 水処理装置 | |
CN210340587U (zh) | 储水箱杀菌***及净水机 | |
JP6398131B2 (ja) | 水処理装置、及びその運転方法 | |
CN110482755A (zh) | 微酸性次氯酸水生产设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190618 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190814 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6617071 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |