JP2017183534A - プラズマエッチングガス及びプラズマエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、本発明において「選択的に」エッチングするとは、エッチング選択比が1超であることを意味し、特に、「シリコン酸化膜を高選択的に」エッチングするとは、エッチング選択比が2以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは無限大であることを意味する。
なお、本明細書において、「エッチング選択比」とは、単位時間当たりの加工対象のエッチング深さを、非加工対象のエッチング深さで除して得られる値である。具体的には、「シリコン酸化膜の非加工対象に対するエッチング選択比」は、単位時間当たりのシリコン酸化膜のエッチング深さを、非加工対象のエッチング深さで除して得られた値である。ここで、非加工対象とは、例えば、シリコン窒化膜、無機膜、又は有機膜でありうる。
本発明のプラズマエッチングガスは、臭素原子数/炭素原子数の比率が0.4以上1.0以下である臭素化合物を含有し、且つ、フッ素原子を含有しないこと必要とする。かかるプラズマエッチングガスによれば、シリコン窒化膜に対してシリコン酸化膜を高選択的にエッチングすることができる。上記条件を満たすプラズマエッチングガスとしては、例えば、炭素‐臭素結合を有する有機臭素化合物が挙げられ、具体的には、一般式C2H5Brにより表されうるブロモエタン、一般式C2H3Brで表されうる臭化ビニル、及び一般式CH3Brで表される臭化メチルが挙げられる。
本発明のプラズマエッチング方法は、シリコン酸化膜及びシリコン窒化膜を有する被処理体をプラズマエッチングするプラズマエッチング方法である。また、本発明のプラズマエッチング方法は、処理容器内に被処理体を載置する準備工程と、上述したプラズマエッチングガスのプラズマにより、被処理体上のシリコン酸化膜をプラズマエッチングするエッチング工程とを含む。そして、本発明のプラズマエッチング方法では、シリコン酸化膜のエッチング速度が、シリコン窒化膜のエッチング速度の2倍以上であり、且つ、シリコン酸化膜のエッチング速度が、有機膜及び/又は無機膜のエッチング速度の2倍以上である。以下、各工程について説明する。
まず、被処理体を、プラズマエッチング装置に備えられるドライエッチングチャンバー(すなわち、処理容器)内に載置し、処理容器内を脱気して真空にする。なお、本発明のプラズマエッチング方法は、特に限定されることなく、一般的なプラズマエッチング装置を用いて実施することができる。なかでも、反応性イオンエッチング(RIE)装置を用いることが好ましい。RIE装置としては、ヘリコン波方式プラズマエッチング装置、高周波誘導方式プラズマエッチング装置、平行平板型プラズマエッチング装置、マグネトロン方式プラズマエッチング装置、又はマイクロ波方式プラズマエッチング装置等が挙げられる。本発明においては、平行平板型プラズマエッチング装置、高周波誘導方式プラズマエッチング装置、及びマイクロ波方式プラズマエッチング装置が好適に使用されうる。高密度領域のプラズマを容易に発生させることができるからである。
エッチング工程は、プラズマエッチングガスのプラズマにより、被処理体上のシリコン酸化膜を非加工対象に対して選択的にプラズマエッチングする工程である。かかる選択的なエッチングは、上述したような、臭素原子数/炭素原子数の比率が0.4以上1.0以下である臭素化合物を含有し、且つ、フッ素原子を含有しないプラズマエッチングガスを用いることによって実施することができる。非加工対象は、シリコン窒化膜と、有機膜及び/又は無機膜でありうる。より具体的には、非加工対象は、Si3N4膜と、ArFレジスト組成物により形成された有機膜及び/又は多結晶シリコン膜でありうる。特に、エッチング工程におけるシリコン酸化膜のシリコン窒化膜に対するエッチング選択比、及びシリコン酸化膜の有機膜及び/又は無機膜に対するエッチング選択比は、2以上であり、10以上であることが好ましく、無限大であることがより好ましい。
なお、プラズマエッチングの効果をより良好に発現させる観点から、高密度プラズマ雰囲気下でエッチング工程を行うのが望ましい。エッチング工程におけるプラズマ密度は、特に限定されることなく、好ましくは1012/cm3以上、より好ましくは1012/cm3以上1013/cm3以下である。
実施例および比較例において使用した被処理体、プラズマエッチング装置、及びプラズマエッチング条件は、それぞれ、以下の通りであった。また、実施例および比較例におけるエッチング選択比は、以下のようにして評価した。
被処理体として、シリコン単結晶ウエハーのチップ片を複数用意した。用意した複数のシリコン単結晶ウエハーのチップ片には、表面にシリコン窒化膜(Si3N4膜)を有するものと、表面にシリコン酸化膜(SiO2膜)を有するものと、表面に多結晶シリコン膜(Si膜)を有するものと、表面にArFレジスト組成物により形成された膜(ArF膜)を有するものとがあった。なお、ArF膜は、(メタ)アクリル樹脂ベースの(メタアクリル樹脂の含有比率が50質量%超である)市販の化学増幅型ArFレジスト組成物を用いて形成された膜であった。
<プラズマエッチング装置>
プラズマエッチング装置としては、平行平板型プラズマプラズマエッチング装置を使用した。平行平板型プラズマエッチング装置は、エッチングチャンバー(処理容器)内に、上部電極と、下部電極とを有し、上部電極の下面と下部電極の上面との間隔は35mmであった。平行平板型プラズマ発生装置の上部電極の周波数は60MHzであり、下部電極の周波数は2MHzであった。
<プラズマエッチング条件>
エッチング工程は、上部電極の電力を500W、下部電極の電力を200Wとし、処理容器内圧力を2.7Pa(約20mTorr)で一定にして行った。温度条件は、上部電極の温度が80℃、処理容器側壁部の温度が60℃、そして、下部電極の温度が20℃となるようにした。被処理体の温度は、下部電極の温度と同じ20℃であった。また、実施例、比較例にてプラズマエッチングの時間は全て60秒間とした。よって、実施例、比較例にて得られた被処理体のエッチング深さの値は、そのまま各プラズマエッチング方法の1分当たりのエッチング速度に相当した。
実施例、比較例において、各種ウエハーのエッチング前後の膜厚をエリプソメーターで測定し、その測定値からエッチング速度を算出した。なお、実施例、比較例では、エッチング時間は全て60秒間としたため、エッチング前の膜厚からエッチング後の膜厚を差し引いて得られた値は、そのままエッチング速度の値に対応する。そして、得られた速度から、以下の式に従ってエッチング選択比を算出した。なお、分母となる値が0以下となる場合には、選択比は無限大(∞)であったとした。また、分子となる値が0以下となる場合には、選択比は計測不能であったとして「-」と表記した。エッチング選択比の値が大きいほど、エッチング対象とする膜が優先的にエッチングされることを意味し、特にエッチング選択比の値が∞である場合には、エッチング工程においてエッチング対象ではない、分母とした膜(即ち、非加工対象である、シリコン窒化膜、多結晶シリコン膜、又はArF膜)が、全くエッチングされないか、むしろ非加工対象の膜上に堆積物が生じて保護されていたということを意味する。一方、分子となる値が0以下の場合には、エッチングされるべきである膜(即ち、シリコン酸化膜)が全くエッチングされていないか、むしろシリコン酸化膜上に堆積物が生じていたということを意味する。この場合、エッチング工程においてエッチング反応が進行せず、むしろ堆積反応が進行したことを意味する。
シリコン窒化膜に対するシリコン酸化膜のエッチング選択比(SiO2/SiN)=(SiO2膜のエッチング速度/Si3N4膜のエッチング速度)
多結晶シリコン膜に対するシリコン酸化膜のエッチング選択比(SiO2/Si)=(SiO2膜のエッチング速度/Si膜のエッチング速度)
ArF膜に対するシリコン酸化膜のエッチング選択比(SiO2/ArF)=(SiO2膜のエッチング速度/ArF膜のエッチング速度)
まず、準備工程において、処理容器内に表面にSi3N4膜を有する被処理体と、表面にSiO2膜を有する被処理体と、表面にSi膜を有する被処理体と、表面にArF膜を有する被処理体とを各1枚ずつ配置し、処理容器内を真空とした。そして、処理容器内にブロモエタン(C2H5Br、臭素原子数/炭素原子数=0.5、沸点38℃)ガスを25sccmの速度で、酸素ガスを10sccmの速度で、アルゴンガスを200sccmの速度で導入し、上述したプラズマエッチング条件下でエッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
酸素ガスの導入速度を15sccmに変更した以外は、実施例1と同様にしてエッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
ブロモエタンガスに代えて、2‐ブロモ‐3,3,3,‐トリフルオロプロペン(C3H2BrF3、臭素原子数/炭素原子数=0.3、沸点34℃)ガスを25sccmで処理容器内に導入した以外は実施例1と同様にして、エッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
ブロモエタンガスに代えて、2‐ブロモ‐3,3,3,‐トリフルオロプロペン(C3H2BrF3、臭素原子数/炭素原子数=0.3、沸点34℃)ガスを25sccmで処理容器内に導入した以外は実施例2と同様にして、エッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
ブロモエタンガスに代えて、2‐ブロモ‐3,3,3,‐トリフルオロプロペン(C3H2BrF3、臭素原子数/炭素原子数=0.3、沸点34℃)ガスを処理容器内に導入し、かかる2‐ブロモ‐3,3,3,‐トリフルオロプロペンガスの導入速度と、酸素ガスの導入速度を表1に示す通りに変更した以外は実施例1と同様にして、エッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
ブロモエタンガス、酸素ガス、及びアルゴンガスに加えて、四フッ化炭素(CF4)を5sccmの速度で、処理容器内に導入した以外は実施例1と同様にして、エッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
ブロモエタンガスに代えて、2‐ブロモ‐1‐プロペン(C3H5Br、臭素原子数/炭素原子数=0.3、沸点48℃)ガスを25sccmで処理容器内に導入した以外は、実施例1と同様にして、エッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
2‐ブロモ‐1‐プロペンガスの供給量を表1に示す通りに変更した以外は、比較例12と同様にして、エッチング工程を行った。得られた被処理体について、上述の方法に従ってエッチング選択比を評価した結果を表1に示す。
特に、比較例1〜10の臭素原子数/炭素原子数の比率が0.3である、2‐ブロモ‐3,3,3,‐トリフルオロプロペンガスをプラズマエッチングガスとして用いた場合では、加工対象であるシリコン酸化膜上に堆積膜が堆積する、又は、シリコン酸化膜のエッチング速度に対して、シリコン窒化膜のエッチング速度が同等かそれ以上となるため、シリコン酸化膜が選択的にエッチングできないことがわかる。
また、比較例11にて使用した臭素原子数/炭素原子数の比率が0.5であるブロモエタンガスと、少量の四フッ化炭素とを含むプラズマエッチングガスでは、加工対象であるシリコン酸化膜上にも堆積膜が堆積するため、シリコン酸化膜が選択的にエッチングできないことがわかる。
さらに、フッ素を含有せず、臭素原子数/炭素原子数の比率が0.3である2‐ブロモ‐1‐プロペンガスをプラズマエッチングガスとして用いた比較例12〜14、16〜18では、加工対象であるシリコン酸化膜上に堆積膜が堆積するか、又は、シリコン窒化膜のエッチング速度も比較的早くなるためにエッチング選択比の値が2未満と低く、シリコン酸化膜を選択的にエッチングできなかったことが分かる。
特に、2‐ブロモ‐1‐プロペンガスをプラズマエッチングガスとして用いた比較例15では、シリコン窒化膜に対するシリコン酸化膜のエッチング選択比は良好であるが、Si膜及びArF膜に対してシリコン酸化膜を選択的にエッチングすることができなかったことが分かる。
Claims (5)
- 臭素原子数/炭素原子数の比率が0.4以上1.0以下である臭素化合物を含有し、且つ、フッ素原子を含有しないプラズマエッチングガス。
- 前記臭素化合物の炭素原子数が2又は3である、請求項1に記載のプラズマエッチングガス。
- 前記臭素化合物の沸点が、50℃以下である、請求項1又は2に記載のプラズマエッチングガス。
- 前記臭素化合物が水素原子を含む、請求項1〜3の何れかに記載のプラズマエッチングガス。
- シリコン酸化膜及びシリコン窒化膜を有する被処理体をプラズマエッチングするプラズマエッチング方法であって、
処理容器内に前記被処理体を載置する準備工程と、
請求項1〜4の何れかに記載のプラズマエッチングガスのプラズマにより、前記被処理体上のシリコン酸化膜をプラズマエッチングするエッチング工程と、を含み、
前記シリコン酸化膜のシリコン窒化膜に対するエッチング選択比が2以上であり、且つ、シリコン酸化膜の有機膜及び/又は無機膜に対するエッチング選択比が2以上である、
プラズマエッチング方法。
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