JP2017183397A - パターン転写装置及びパターン転写方法 - Google Patents
パターン転写装置及びパターン転写方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017183397A JP2017183397A JP2016065741A JP2016065741A JP2017183397A JP 2017183397 A JP2017183397 A JP 2017183397A JP 2016065741 A JP2016065741 A JP 2016065741A JP 2016065741 A JP2016065741 A JP 2016065741A JP 2017183397 A JP2017183397 A JP 2017183397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- pattern
- substrate
- humidity
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/32—Anodisation of semiconducting materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/024—Anodisation under pulsed or modulated current or potential
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/007—Current directing devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/12—Process control or regulation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D9/00—Electrolytic coating other than with metals
- C25D9/04—Electrolytic coating other than with metals with inorganic materials
- C25D9/06—Electrolytic coating other than with metals with inorganic materials by anodic processes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【課題】本発明が解決しようとする課題は、高アスペクト比および高分解能のパターンを作製可能なパターン転写装置及びパターン転写方法を提供することである。【解決手段】実施形態のパターン転写装置は、基板と、電極を有し、前記基板と前記電極の間に電圧を印加して前記電極に対応するパターンを前記基板に転写する転写部と、前記基板と前記転写部の間の湿度を制御する制御部と、を備える。【選択図】 図4
Description
本発明の実施形態は、パターン転写装置及びパターン転写方法に関する。
半導体デバイスに対する微細化及び低コスト化の要求は高まっている。
その中、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)が低コストでナノスケールのパターン転写ができるため次世代のリソグラフィとして期待されている。ナノインプリントリソグラフィでは、パターン転写分解能が原版上のパターンサイズに左右される。高分解能の転写を実現するため、超微細原版を作製する必要があり、コストが高くなる。また、残膜の均一性及び残膜の処理などの課題が残っている。上記の課題を解決するため、レジストフリーであり原版上のパターンサイズに依存せず高分解能のパターンを転写できる新規側壁ナノ電極リソグラフィ手法が提案されている。
側壁ナノ電極リソグラフィとは絶縁性モールド上の絶縁性パターンの側壁にナノ電極を形成し、前記側壁ナノ電極と転写基板の間に電圧/電流を印加することより、側壁ナノ電極の形状に対応したパターンを電気的に基板側に転写する方法である。側壁ナノ電極の厚さを数nmまで薄くすれば、原理的に側壁ナノ電極に対応した数nm級のパターンを一括で転写することができる。本手法だと、従来のナノインプリント技術と比べ、モールド上に形成された電極のパターンサイズより微細なパターンを転写できる。またプローブリソグラフィと比べ高いスループットを有するメリットがある。また、レジストを用いないため、NILの残膜などの問題が回避できる。
しかし、本手法により生成する転写パターンの厚さは、通常約サブnm〜10nmである。エッチングマスクとして使用する際、数10nm以上のエッチング要求に対してマスクの厚さが足りない問題がある。汎用性のある微細パターンのエッチングマスクとして使用する際、線幅が細くパターンの厚さを大きくすることが望ましい。つまり、転写パターンのアスペクト比を高くすることが求められている。しかし、転写時の湿度や温度等の環境要因により基板表面に連続した厚い吸着水が形成され、転写部のメニスカスが広げられ高分解能での転写が困難になる。
本発明が解決しようとする課題は、高アスペクト比および高分解能のパターンを作製可能なパターン転写装置及びパターン転写方法を提供することである。
実施形態のパターン転写装置は、基板と、電極を有し、前記基板と前記電極の間に電圧を印加して前記電極に対応するパターンを前記基板に転写する転写部と、前記基板と前記転写部の間の湿度を制御する制御部と、を備える。
また、実施形態のパターン転写方法は、基板と、電極を有し前記電極のパターンを転写する転写部と、前記基板と前記転写部の間の湿度を制御する制御部と、を備えるパターン転写装置のパターン転写方法であって、前記基板に前記転写部の前記電極を接触し、前記制御部により前記基板と前記転写部の間の湿度を制御し、前記基板と前記電極の間に電圧を印加して前記基板に前記電極のパターンを転写するパターン転写方法である。
以下、図面を参照して、実施形態に係るパターン転写装置及びパターン転写方法について説明する。
導電性の探針を用いる一般的な走査探針型(SPM)リソグラフィは、高分解能を実現可能であるという利点を有するが、その一方で、スループットが非常に低いという難点がある。そこで近年では、低コストのリソグラフィとして、微細のパターンを一括に転写できるナノインプリントリソグラフィ(NIL)が注目されている。しかしながら、ナノインプリントリソグラフィでは、転写分解能が原版であるモールドに形成されたパターンの分解能に制限されてしまう。そのため、ナノインプリントリソグラフィで高分解を実現するためには、超微細パターンが形成されたモールドが必要となるが、これは原版コストを上昇させる要因となる。また、NILには残膜の均一性及び残膜の処理などの課題が残っている。そこで以下では、レジストフリーで、モールドに形成されたパターンの分解能に制限されることなく、より分解能の高い転写を実現可能とする形態について、例を挙げて説明する。
モールドに形成されたパターンの分解能よりも微細の分解能を実現可能にする技術としては、凸構造の側面にパターン転写用の側壁電極が形成されたモールド(以下、側壁電極モールドという)を用いてパターンを転写するインプリント技術(以下、側壁電極リソグラフィという)が存在する。
図1は、側壁電極モールドを用いたパターン転写装置の一例を示している。ナノインプリントリソグラフィでは、パターン転写装置10は、側壁電極12を持つモールド11と、転写基板13とを有する。モールド11の側壁電極12を転写基板13に押し付けながら、転写基板13と側壁電極12の間に電圧を印加することにより、転写基板13に側壁電極12に対応したパターン14を形成することができる。
側壁電極リソグラフィは、導電性の探針に代えて側壁電極モールドを使用することにより、電気化学反応により側壁電極に対応したパターンを一括に対象物に転写することができるインプリント技術である。この側壁電極リソグラフィには、接触型のものと非接触型のものが存在する。接触型の側壁電極リソグラフィでは、側壁電極モールドを対象物である基板(以下、転写基板という)に接触させた状態で側壁電極が形成するパターンが転写基板に転写される。一方、非接触型の側壁電極リソグラフィでは、パターン部を転写基板に近接させた状態でパターンが転写基板に転写される。以下では、主に接触型の側壁電極リソグラフィについて説明するが、以下の実施形態は非接触型の側壁電極リソグラフィに対しても適用可能である。
接触型の側壁電極リソグラフィでは、パターン部と転写基板との接触状態が転写特性に大きな影響を与えることがある。そのため、均一なパターン転写を実現するためには、側壁電極を転写基板に均一に接触させることが極めて重要となる。なお、非接触型の側壁電極リソグラフィにおいては、側壁電極と転写基板との間の間隔を一定に保つことが、均一なパターン転写を実現するために極めて重要となる。
また、側壁電極リソグラフィでは、転写されたパターンの均一性を向上するために、転写時の雰囲気湿度を適切に管理することが望まれている。一方で、材料コストや加工性等の観点からは、シリコン製のモールドを使用することが有効である。しかしながら、シリコンは雰囲気中の酸素によって酸化する。この酸化によって形成されたSiOxなどの自然酸化物は親水性である。そのため、シリコン製モールドを使用した場合には、転写基板と接触または近接するモールドの凸部先端が親水性となる。このように、転写基板と接触または近接する部分が親水性を備えるモールドを使用した場合、電極部のメニスカスが広がり、その結果、転写分解能が低下してしまう可能性がある。
図2は、転写基板に側壁電極モールドを押し付けてパターンを転写する際の湿度の影響について例示した図である。図2(a)が転写基板と側壁電極モールドの間の湿度が40%の場合であり、図2(b)が転写基板13と側壁電極モールド11の間の湿度が80%の場合である。湿度が80%の場合は転写基板13上に厚い吸着水18が発生し電極部12のメニスカス16が広がる。これによって転写酸化物17が大きくなり湿度40%の場合と比較して転写分解能が低下する。
図3は、転写基板と側壁電極モールドの間の湿度と転写基板上の吸着水の厚みの関係を示した図である。湿度80%以上で急激に吸着水の厚みが増加している。一方、湿度が30%以下となるとパターンを形成するのに必要な水分が得られず、パターン形成が不十分となる。そこで高分解能のパターン転写を実現するためには転写基板上の湿度を30%以上80%以下で管理することを要する。
また、発明者らはパターン転写の際、転写基板と側壁電極モールドの電極の間に印加する電圧を管理することにより高アスペクト比のパターンを形成できることがわかった。
そこで、以下の実施形態では、高湿度によって基板上に吸着水が発生することによるパターンの広がりを回避しつつ、転写時の電圧条件を最適化することによりアスペクト比を向上したパターン転写装置及びパターン転写方法を例に挙げて説明する。
同じ符号が付されているものは同様のものを示す。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係や部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
(第1の実施形態)
図4は、第1の実施形態にかかるパターン転写装置である。
図4は、第1の実施形態にかかるパターン転写装置である。
パターン転写装置1は、転写側に転写部2と転写部ホルダ6を有し、被転写側に転写基板3と湿度制御部4と転写基板ホルダ7を有し、さらに電源部5を備える。
転写側の転写部2は、転写部ホルダ6に装着される。転写部ホルダ6は、たとえば吸引用の複数の孔6aが設けられており、複数の孔6aから吸引することで、転写部2が転写部ホルダ6に保持される。転写部2の保持方法は吸引による保持に限定されず、磁石による保持や挟持による保持やクリップによる保持等、安定して転写部2を保持できるものなら何でもよい。転写部2は、上述した側壁電極モールドである。
被転写側の転写基板ホルダ7上には、湿度を制御する湿度制御部4が設けられている。パターンが転写される転写基板3は、パターンが転写される面(パターン転写面)を上に向けた状態で湿度制御部4上に載置される。転写基板ホルダ7には、たとえば吸引用の複数の孔7aが設けられており、複数の孔7aから吸引することで、湿度制御部4が転写基板ホルダ7上に固定される。また、湿度制御部4には、転写基板ホルダ7の複数の孔7aのうち少なくとも1つと連通する孔4aが設けられている。したがって、転写基板ホルダ7の孔4aから吸引することで、転写基板3が湿度制御部4に固定される。その結果、転写基板3が転写基板ホルダ7に固定される。転写基板3の保持方法も吸引による保持に限定されず、たとえば磁石による保持や挟持部により挟むことで保持しても良いし、クリップによる保持等、安定して転写基板3を保持できるものなら何でもよい。
転写部2は、基部2aと、複数の凸構造2bと、凸構造2bと接続している引出し電極2cと、を備え、複数の凸構造2bの面2dが転写基板3のパターン転写面に対向するように、転写部ホルダ6によって保持される。転写部ホルダ6と転写基板ホルダ7とのうち少なくとも一方は、不図示の移動機構によってZ方向に移動可能である。
本実施形態では、電源5としてAC電源を用いている。パターンの転写時にはAC電圧が、転写部2の引出し電極2cと、転写基板3との間に印加される。
図5は、接触型の側壁電極モールドの一例を示す図である。転写部2は、基部2aと、複数の凸構造2bと、引出し電極2cとを備える。基部2aは、転写部2のベースとなる部材である。この基部2aには、たとえばシリコンや石英などの絶縁性材料を用いることができる。また、基部2aの材料としては、ポリジメチルシロキサン(PDMS)、パラキシリレンなどの絶縁性の樹脂を用いることも可能である。さらに、基部2aは、光透過性を有する絶縁性材料で構成されてもよい。
複数の凸構造2bのそれぞれは、基部2aの第1主面2eに設けられたメサ状の構造部である。図5では、基部2aの第1主面2eにおいてそれぞれY方向に延在する複数の凸構造2bがX方向に所定距離離間して配列されている構造であるが、この構造に限定されず、転写するパターンのレイアウトに応じて種々変形可能である。また、隣接する凸構造2bの間のギャップにたとえば疎水性の絶縁性材料を充填し、隣接する凸構造2bの間のギャップを埋めた構造とすることも可能である。
各凸構造2bは、凸部2fと、機能層2gと、1つ以上の側壁電極2hと、を備える。凸部2fは、基部2aの第1主面2eから突出したメサ状の構造部であり、シリコンや石英や樹脂などの絶縁性材料で構成されている。この凸部2fは、基部2aの基となるバルク状の基材(基板等)から削り出された構造部であってもよいし、基部2aに接合された構造部であってもよい。また、凸部2fは、製造工程における製造プロセスの容易性等の観点から、テーパー状に先細った形状を有していてもよい。
機能層2gは、少なくとも凸部2fの(Z方向の)最頂端を覆うように設けられている。この機能層2gは、電極としては機能せず、側壁電極2hと対象物である転写基板3との接触を均一にするための構造部として機能する。そこで機能層2gには、凸部2f(もしくは基部2a)よりも変形し易い絶縁性材料が用いられる。たとえば機能層2gには、凸部2fのヤング率に対して数パーセントから数十パーセントのヤング率の絶縁性材料が用いられる。
接触型の側壁電極リソグラフィでは、機能層2gが転写基板3に接触するため、機能層2gの膜厚は、たとえば数ナノメートル(nm)から数マイクロメートル(μm)とすることができる。転写基板3との接触性や機能層2gの変形の観点から、機能層2gの膜厚は、10nm以上10μm以下とすることが好ましい。
また、機能層2gには、パターン転写時に雰囲気中の水分によって発生するメニスカスを抑制するために、疎水性の材料が用いられることが好ましい。たとえば、水に対する接触角が45°以上となる疎水性を備えている材料を用いて機能層2gが形成されていることが好ましい。これらのような要求を満たす材料としては、たとえばサイトップ(登録商標)、HMDS、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テフロン(登録商標)AFなどが存在する。また、加工のし易さという観点では、ポリメチルメタクリレート(PMMA)を用いることも好適である。ただし、これらに限定されるものではなく、凸部2fに用いた材料よりも柔らかく且つ凸部2fに用いた材料の酸化物よりも高い疎水性を備えた絶縁性材料であれば種々の材料を用いることが可能である。
また、機能層2gは、必ずしも単層である必要はなく、多層構造であってもよい。
ここでは、機能層2gを有する場合を説明したが、機能層2gは本実施形態を実現するのに必須の構成ではなく、機能層2gが無い場合も含まれる。
側壁電極2hは、転写基板3へパターンを転写するための構造部であり機能層2gの側面に隣接する側壁電極2hの端部(以下上端面と呼ぶ)の形状が転写パターンの形状を規定している。そこで側壁電極2hは、たとえば導電性金属や導電性金属酸化物などの導電性材料で構成されている。導電性材料としては、たとえばRu、Pt、Rh、W、Ni、Au、Ir、RuO、IrOxなどを用いることが可能であるが、これらの導電性材料に限定されるものではない。
各側壁電極2hは、機能層2gの側面から凸部2fの側面にかけて設けられている。つまり、側壁電極2hは、凸部2fと機能層2gとが構成する凸状の構造体の側面に設けられている。
複数の側壁電極2hの形状は、上述したように、転写基板へ転写するパターンを形成する。そのため、各側壁電極2hの上端面の幅(側壁電極2hの厚さに相当)を調整することで、転写基板3に転写されるパターンの幅を調整することが可能である。側壁電極2hの上端面の幅は、たとえば凸部2fの幅より狭く、凸部2fの上端面の幅の数分の1〜数十分の1とすることができる。たとえば数nm〜数100nm程度とすることができる。
パターンを形成する側壁電極2hは、Z方向において機能層2gの転写基板3側の面と実質的に同じ高さレベルにあることが好ましい。しかしながら、機能層2gが変形可能であることを考慮すると、機能層2gが変形可能な範囲内において側壁電極2hと機能層2gの転写基板3側の面とが異なる高さレベルにあってもよい。
引出し電極2cは、たとえば、基部2aの第1主面2eにおける凸構造2bが形成されていない領域から基部2aの側面2jまたは裏面(第1主面2eと反対側の第2主面2k)まで形成されている。この引出し電極2cは、複数の側壁電極2hを電気的に引き出すための電極であり、パターン転写時に電流流入用の外部電極と接続することで電気的な接点を形成する。引出し電極2cの材料には、たとえばAl、Cu、W、Auなどの金属を用いることが可能である。ただし、これらに限定されず、種々の導電性材料が用いられてよい。
転写基板3は、たとえばシリコン基板等の半導体基板が用いられる。前述したように、転写基板ホルダ7の孔4aから吸引することで、転写基板3が湿度制御部4に固定される。
湿度制御部4は転写部2と転写基板3の間の湿度を制御するもので、具体的には、転写部2と転写基板3の間の雰囲気(以下雰囲気と呼ぶ)の第1の温度と第1の湿度を測定する図示しないセンサと、このセンサで測定された第1の温度と第1の湿度に基づいてこの雰囲気中の露点を算出する手段と、この露点に基づいて転写基板3の表面付近の湿度が、所定の第2の湿度になるように転写基板3の温度を第2の温度まで変化させる温度制御手段とを備える。温度制御手段としては、ペルチェ素子やヒーターなどを用いることができる。
露点とは、空気の温度を下げると、空気に含まれる水蒸気が水滴になるが、水滴が生じ始めるときの温度を意味する。
湿度制御部4による湿度制御方法としては、まず、センサが雰囲気の第1の温度と第1の湿度を測定して、例えば既知の換算表などから、雰囲気の露点が算出される。さらに得られた露点に基づいて、温度制御手段が、目標となる第2の湿度に必要となる転写基板3の第2の温度を算出する。温度制御手段は、第2の温度が第1の温度よりも高い場合には、第2の温度に達するまで転写基板3をペルチェ素子等で加熱する。センサが測定した第1の温度が目標となる第2の温度に接近したら温度制御手段は加熱を停止する。温度制御手段は、その後センサが測定した第1の温度が第2の温度から所定の値だけ低下したら再度加熱してほぼ第2の温度に保つように制御してもよい。逆に第2の温度が第1の温度よりも低い場合には、第2の温度に達するまで転写基板3をペルチェ素子等で冷却する。
結露前の状態では、温度が変化しても雰囲気中に含まれる水分量が同じである。露点の温度では湿度は100%なのでこの時の雰囲気中の水分量と、第2の湿度Bの時の雰囲気中の水分量から第2の温度Tが計算できる。
第1の温度と第1の湿度から得られる露点の温度をA[℃]として、目標湿度である第2の湿度をB[%]とすると第2の温度Tは以下のように求められる。
まず、露点の飽和水蒸気圧Cを求める。飽和水蒸気圧Cは以下の式で求められる。
第2の湿度Bと露点の飽和水蒸気圧Cから第2の温度Tの時の飽和水蒸気圧Dは以下の式で求められる。
温度Tの時の飽和水蒸気圧Dは以下の式でも求められる。
式(1)及び式(3)を式(2)に代入し、温度Tについて解くと以下の式が得られる。
よって、式(4)により第2の温度Tが求められる。
転写基板3近傍の目標湿度である第2の湿度は、湿度制御部4にパネル等を設けて直接入力しても良いし、第2の湿度が例えば40%以上60%以下となるように湿度制御部4が自動で湿度を定めることにより転写基板3の温度を管理しても良い。
例えば、雰囲気の第1の温度と第1の湿度が、25℃、80%であり、転写基板3近傍の第2の湿度が60%である場合、転写基板3の第2の温度は、29.9℃に管理される。なお、このような露点および温度の算定には、コンピュータ等を用いることが好ましい。これにより、前述の算出を瞬時に行うことができる。
雰囲気の温度または転写部2表面や転写基板3表面の温度の測定はサーモグラフィ等を用いて測定しても良い。
実験結果からは、転写基板3の表面湿度が30%以上80%以下となるように転写基板3の第2の温度を湿度制御部4により管理することによって、転写時のメニスカスの広がりを抑制でき、転写分解能の劣化を防止できた。特に、40%以上60%以下の範囲で精密に制御されたパターンを形成することができた。表面湿度が80%を超えると上述したように、転写基板3上に結露が生じ、過剰に生じた吸着水の影響によりメニスカスが広げられ転写分解能を低下させた。表面湿度が30%未満になると転写基板3上にパターンを形成するための吸着水が生じず適正なパターンを得ることができなかった。湿度制御部4は、それ自体が電源を持っても良いし、パターン転写装置1内の図示しない電源5とは別の電源に接続されても良い。
電源5は、転写部2と転写基板3の間に電圧を印可する。印可される電圧は主に交流(AC)バイアス電圧である。
プローブ陽極酸化リソグラフィはACバイアス電圧の印加により、生成したパターンのアスペクト比が向上できることが知られている。これはプローブの先端と描画対象間にACバイアス電圧を印加することにより、面内方向の陽極酸化反応を抑えられ、深さ方向の反応を促進させるため描画線幅のアスペクト比を向上できる。同一転写原理に基づいた側壁リソグラフィに適切なACバイアス電圧を導入すれば、転写パターンのARを向上できる。
図6は、転写部2と転写基板3の間に印加するACバイアス電圧を例示した図である。
縦軸がACバイアス電圧で、横軸が時間である。図6に示すようにACバイアス電圧は転写基板側に対してプラスのVtransfer(転写用)とマイナスのVset(セット用)から構成される。実験結果から直流(DC)電圧よりACバイアス電圧を用いて適切な条件設定をすることにより、パターンの厚みが厚く、かつ幅の小さいアスペクト比の高いパターンを形成することができた。
ACバイアス電圧の条件としては、Vtransferを1V以上40V以下の範囲にすることにより、酸化反応に必要な電圧と十分な酸化反応を起こすための電圧を提供できる。また、ACバイアス電圧のVsetは、−Vtransferより大きく0Vより小さい値とすることで、転写対象側の溜まった空間チャージを打ち消すことができ、酸化反応の広がりを抑え、深さ方向の反応が進みやすくなる。これにより、転写パターンのアスペクト比を向上できる。
また、ACバイアス電圧の周波数は0.1Hz以上100Hz以下の範囲内であることでアスペクト比の高いパターンを形成することができる。高い周波数になると、メニスカスの形状が不安定となり、安定にパターンを転写できないことがあるため、0.1Hz以上100Hz以下の範囲で周波数を設定するのが良い。
パターン転写時は、転写部2の複数の凸構造2bと転写基板3のパターン転写面とを接触(または近接)させた状態で、電源5によって転写部2と転写基板3との間に電位差が与えられる。それにより、転写基板3のパターン転写面における側壁電極2hとの接触領域(または近接領域)に側壁電極2hからメニスカスを電離し、基板側に陽極酸化反応を誘導する。その陽極酸化反応により、酸化パターンを生成し、陽極酸化反応が生じていない他の領域の特性とは異なる特性となる。
たとえば、転写基板3にシリコン基板を用いた場合、電子注入領域中のシリコン原子(Si)が電子の注入時にメニスカス部の水(H2O)を電離し、酸素(O2)を提供する。これにより酸化し、電子注入領域にシリコン酸化物(SiOx)が形成される。その結果、側壁電極2hが形成するパターンと同じレイアウトのシリコン酸化膜が転写基板3のパターン転写面に形成される。シリコンとシリコン酸化物とはエッチング耐性が異なる。すなわち、本例では、陽極酸化反応により生成した酸化物の特性の一つとしてエッチング耐性を例示している。ただし、変性させる特性はエッチング耐性に限定されない。すなわち、化学的特性や物理的特性(形状等)など、目的に応じて変性させる特性が適宜選択されてよい。
次に、第1の実施形態にかかるパターン転写装置1のパターン転写動作の一例を説明する。
まず転写基板3は、転写基板ホルダ7上に設けられた湿度制御部4上に載置される。転写部2は、転写部ホルダ6に保持される。湿度制御部4は、このときの転写部2と転写基板3の間の湿度及び温度を計測し露点の温度を算出する。さらに、この露点の温度から転写基板3の温度を変化することにより転写基板3上の湿度が40%以上80%以下の所定の湿度になるように制御する。
その後、転写部ホルダ6をZ方向に移動して転写部2の複数の凸構造2bが転写基板3のパターン転写面に接触して付勢される。ここで接触とは、転写部2の面2dと転写基板3とが直接接している状態に加えて、両者が水の層を介して接している状態を含む。
電源5は、転写部2と転写基板3の間にACバイアス電圧を印可する。ACバイアス電圧は、上述したVtransferを1V以上40V以下の範囲とし、Vsetは、−Vtransferより大きく0Vより小さい値とする。ACバイアス電圧の周波数は0.1Hz以上100Hz以下の範囲とされる。これにより転写基板3に側壁電極2hのパターンが転写される。
パターンの転写が完了した後、転写部ホルダ6をZ方向に移動して転写基板3から転写部2を引き離す。必要であれば、転写部2と転写基板3のうちの少なくとも一方を移動させて、転写基板3の別の被パターン領域に、同様に陽極酸化膜のパターンを形成しても良い。また、一回転写後、同一エリアへの複数回転写または同一エリアでの異なる向きでの転写により、重なる転写パターンを形成できる。
図7は、幅30nmの側壁電極を有する転写部をSi基板に接触させ、転写部と転写基板との間の湿度を40%以上80%以下に調整した場合のパターン転写のSEM(Scanning Electron Microscope)写真である。
転写基板と転写部の間に17VのAC電圧(duty: 50%、周波数1Hz)を1分間印加した。
図7(a)は湿度80%の時の転写結果であり、図7(b)がその拡大図である。転写パターンの線幅は数μmまで広がってしまった。
図7(c)は湿度60%の時の転写結果であり、図7(d)がその拡大図である。この時の転写パターンの線幅は約40nmであり転写部の側壁電極幅30nmと近い値であった。さらに、同様な条件で湿度を40%まで下げた時の結果が、図7(e)である。図7(f)はその拡大図である。転写結果から転写線幅は約30nmであり、転写分解能が改善したことが分かる。
以上のように第1の実施形態によると、湿度制御部4により転写部2と転写基板3の間を所定の湿度に制御し、電源5の電圧条件を適切に管理することで、高湿度による転写パターンの分解能低下を防止しつつ、アスペクト比の高いパターンが形成できる。
(第1の実施形態の変形例1)
図8は、第1の実施形態の変形例1にかかるパターン転写装置である。
図8は、第1の実施形態の変形例1にかかるパターン転写装置である。
湿度制御部4が転写部2の上部に配置されている点で第1の実施形態にかかるパターン転写装置と異なる。
具体的には、湿度制御部4は転写部ホルダ6と転写部2との間に配置される。湿度制御部4には、たとえば転写部ホルダ6の複数の孔6aのうち少なくとも1つと連通する孔4aが設けられている。転写部ホルダ6は、複数の孔6aから湿度制御部4を吸引することにより固定する。また、複数の孔6aからの吸引は孔4aを通り転写部2を吸引し保持する。転写部2や湿度制御部4の保持方法は吸引による保持に限定されず、たとえば磁石による保持や挟持部により挟むことで保持しても良いし、クリップによる保持等、安定して転写部2を保持できるものなら何でもよい。
湿度制御部4は、転写部2上の湿度及び温度から転写部2の温度を変化させることにより、転写部2上の湿度を所定の湿度に制御する。
その他の構成については第1の実施形態に係るパターン転写装置と同様である。このような構成とすることで、湿度の影響によるパターンの分解能低下を防止できる。
(第1の実施形態の変形例2)
図9は、第1の実施形態の変形例2にかかるパターン転写装置である。
図9は、第1の実施形態の変形例2にかかるパターン転写装置である。
本実施形態では、湿度制御部4が、転写部2の上部と転写基板3の下部にそれぞれ配置されている点で第1の実施形態にかかるパターン転写装置と異なる。
具体的には、湿度制御部4は転写部ホルダ6と転写部2の間に配置される。さらに、湿度制御部4は転写基板3と転写基板ホルダ7の間に配置される。それぞれの湿度制御部4は、たとえば転写部ホルダ6の複数の孔6aと転写基板ホルダ7の複数の孔7aから吸引され固定される。また、それぞれの湿度制御部4は、複数の孔6aと複数の孔7aと少なくとも1つ重なる孔4aが設けられ転写部2と転写基板3を吸引し保持する。
それぞれの湿度制御部4は、それ自体が電源を持っても良いし、パターン転写装置内の図示しない電源に接続されても良い。
その他の構成については第1の実施形態に係るパターン転写装置と同様である。
転写部2と転写基板3の両側に湿度制御部4を配置することにより、より精度の良い湿度制御が可能になり、湿度の影響によるパターン分解能の低下を防止できる。
(第2の実施形態)
図10は、第2の実施形態にかかるパターン転写装置である。
図10は、第2の実施形態にかかるパターン転写装置である。
本実施形態では、湿度制御部4の代わりに、制御チャンバ8を用いる点で第1の実施形態にかかるパターン転写装置と異なる。
転写部2、転写基板3、転写部ホルダ6、転写基板ホルダ7及び電源5は、制御チャンバ8内に配置される。制御チャンバ8は、一般的に用いられる恒温槽や環境試験器等でよい。制御チャンバ8によりチャンバ内の湿度が制御され、転写部2と転写基板3との間が所定の湿度に保たれる。電源5については、必ずしも制御チャンバ8内に配置する必要はない。転写部2と転写基板3からの配線を制御チャンバ8の外部まで引き、そこで電源5と接続しても良い。その他の構成については第1の実施形態に係るパターン転写装置と同様である。
本実施形態では、制御チャンバ8を用いることにより外部環境の温湿度によらずに安定してパターン転写時の湿度を管理できる。
(第2の実施形態の変形例1)
図11は、第2の実施形態の変形例1にかかるパターン転写装置である。
図11は、第2の実施形態の変形例1にかかるパターン転写装置である。
本実施形態では、湿度制御部4と制御チャンバ8を併用した点で第2の実施形態にかかるパターン転写装置と異なる。
湿度制御部4は、転写基板3と転写基板ホルダ7の間に配置される。湿度制御部4は、たとえば転写基板ホルダ7の複数の孔7aのうち少なくとも1つと連通する孔4aが設けられており、転写基板ホルダ7は、複数の孔7aから湿度制御部4を吸引することにより固定する。また、複数の孔7aからの吸引は孔4aを通り転写基板3を吸引し保持する。
本実施形態の場合は、制御チャンバ8によりチャンバ内の湿度を完全に安定させる必要はない。湿度を制御する対象は、転写部2と転写基板3の間の湿度であるので、制御チャンバ8によってある程度の湿度にした後、湿度制御部4で所定の湿度に安定させても良い。
このように、制御チャンバ8を併用することにより、転写部2あるいは転写基板3の温度を大きく変更する頻度が減り、湿度を安定させるための時間の短縮ができる。なお、制御チャンバ8内の湿度は、一般的なクリーンルームの湿度(50〜60%)と同程度であっても良い。また、転写部2と転写基板3の間の目標湿度によって適宜変更することができる。
(第2の実施形態の変形例2)
図12は、第2の実施形態の変形例2にかかるパターン転写装置である。
図12は、第2の実施形態の変形例2にかかるパターン転写装置である。
本実施形態では、湿度制御部4を転写部2と転写部ホルダ6の間に配置した点で第2の実施形態の変形例1と異なる。それ以外の構成については第2の実施形態の変形例1と同様である。
(第2の実施形態の変形例3)
図13は、第2の実施形態の変形例3にかかるパターン転写装置である。
図13は、第2の実施形態の変形例3にかかるパターン転写装置である。
本実施形態は、制御チャンバ8に加えて、湿度制御部4を転写部2と転写ホルダ6の間と、転写基板3と転写基板ホルダ7の間の2か所に設けている点で他の実施形態とは異なる。それ以外の構成については第2の実施形態と同様である。
上述したが制御チャンバ8として、目標湿度を正確に管理する必要はなく、ある程度の湿度にした後、湿度制御部4で所定の湿度に安定させても良い。
制御チャンバ8を用いることにより、転写部2あるいは転写基板3の温度を大きく変更する頻度が減り、湿度を安定させるための時間の短縮ができる。さらに湿度制御部4を2か所に設けているため、転写部2と転写基板3の間や、それぞれの表面近傍の湿度を精度良く管理することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1 パターン転写装置
2 転写部
2a 基部
2b 凸構造
2c 引出し電極
2d 面
2e 第1主面
2f 凸部
2g 機能層
2h 側壁電極
3 転写基板
4 湿度制御部
4a 孔
5 電源
6 転写部ホルダ
6a 孔
7 転写基板ホルダ
7a 孔
8 制御チャンバ
9 転写パターン
10 パターン転写装置
11 側壁電極モールド
12 側壁電極
13 転写基板
14 転写パターン
15 電源
16 メニスカス
17 酸化物
18 吸着水
2 転写部
2a 基部
2b 凸構造
2c 引出し電極
2d 面
2e 第1主面
2f 凸部
2g 機能層
2h 側壁電極
3 転写基板
4 湿度制御部
4a 孔
5 電源
6 転写部ホルダ
6a 孔
7 転写基板ホルダ
7a 孔
8 制御チャンバ
9 転写パターン
10 パターン転写装置
11 側壁電極モールド
12 側壁電極
13 転写基板
14 転写パターン
15 電源
16 メニスカス
17 酸化物
18 吸着水
Claims (14)
- 基板と、
電極を有し、前記基板と前記電極の間に電圧を印加して前記電極に対応するパターンを前記基板に転写する転写部と、
前記基板と前記転写部の間の湿度を制御する制御部と、を備えるパターン転写装置。 - 前記転写部は、前記基板と対向する複数の凸部を備え、
前記電極が前記凸部のそれぞれの側面に配置される請求項1に記載のパターン転写装置。 - 前記電圧は、AC電圧である請求項1または2に記載のパターン転写装置。
- 前記AC電圧の最大値をVmaxとすると、Vmaxは1V以上40V以下である請求項3に記載のパターン転写装置。
- 前記AC電圧の最小値をVminとすると、Vminは−Vmaxより大きく0Vより小さい請求項4に記載のパターン転写装置。
- 前記AC電圧の周波数は、0.1Hz以上100Hz以下である請求項3乃至5のいずれか1項に記載のパターン転写装置。
- 前記制御部は、前記基板と前記転写部の間の湿度を30%以上80%以下に保つ請求項1乃至6のいずれか1項に記載のパターン転写装置。
- 前記制御部は、前記基板の下部または前記転写部の上部に配置される請求項1乃至7のいずれか1項に記載のパターン転写装置。
- 前記基板と前記転写部と前記制御部を包含する制御チャンバを更に備え、
前記制御チャンバはチャンバ内の湿度または温度を制御する請求項1乃至8のいずれか1項に記載のパターン転写装置。 - 基板と、
電極を有し前記電極のパターンを転写する転写部と、
前記基板と前記転写部を包含し湿度を制御する制御チャンバと、を備え、
前記基板と前記電極の間に電圧を印加して前記電極のパターンを前記基板に転写するパターン転写装置。 - 基板と、電極を有し前記電極のパターンを転写する転写部と、前記基板と前記転写部の間の湿度を制御する制御部と、を備えるパターン転写装置のパターン転写方法であって、
前記基板に前記転写部の前記電極を接触し、
前記制御部により前記基板と前記転写部の間の湿度を制御し、
前記基板と前記電極の間に電圧を印加して前記基板に前記電極のパターンを転写するパターン転写方法。 - 前記電圧がAC電圧であって、前記AC電圧の最大値をVmaxとすると、Vmaxは1V以上40V以下ある請求項11に記載のパターン転写方法。
- 前記電圧がAC電圧であって、前記AC電圧の最小値をVminとすると、Vminは−Vmaxより大きく0V未満である請求項12に記載のパターン転写方法。
- 前記制御部は、前記基板と前記転写部の間の湿度を30%以上80%以下に保つ請求項11乃至13のいずれか1項に記載のパターン転写方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016065741A JP2017183397A (ja) | 2016-03-29 | 2016-03-29 | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
US15/262,977 US20170283975A1 (en) | 2016-03-29 | 2016-09-12 | Pattern transfer device and pattern transfer method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016065741A JP2017183397A (ja) | 2016-03-29 | 2016-03-29 | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017183397A true JP2017183397A (ja) | 2017-10-05 |
Family
ID=59959246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016065741A Abandoned JP2017183397A (ja) | 2016-03-29 | 2016-03-29 | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170283975A1 (ja) |
JP (1) | JP2017183397A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111244016A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-06-05 | 深超光电(深圳)有限公司 | 转移装置、转移装置的制备方法、转移方法及显示装置 |
JP7438072B2 (ja) | 2019-10-02 | 2024-03-01 | パロ アルト リサーチ センター,エルエルシー | 3つの誘電材料の電気流体力学的パターニング |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20200363104A1 (en) * | 2020-07-31 | 2020-11-19 | Intel Corporation | Thermoelectric cooling system with sub-ambient cooling and condensation control for a computing device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7304715B2 (en) * | 2004-08-13 | 2007-12-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2016
- 2016-03-29 JP JP2016065741A patent/JP2017183397A/ja not_active Abandoned
- 2016-09-12 US US15/262,977 patent/US20170283975A1/en not_active Abandoned
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7438072B2 (ja) | 2019-10-02 | 2024-03-01 | パロ アルト リサーチ センター,エルエルシー | 3つの誘電材料の電気流体力学的パターニング |
CN111244016A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-06-05 | 深超光电(深圳)有限公司 | 转移装置、转移装置的制备方法、转移方法及显示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170283975A1 (en) | 2017-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017183397A (ja) | パターン転写装置及びパターン転写方法 | |
JP5351069B2 (ja) | インプリント方法及びインプリント装置 | |
JP5097256B2 (ja) | 曲面の形成方法 | |
JP6846172B2 (ja) | モールド、製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JPWO2017047728A1 (ja) | 水素センサ | |
JP4322930B2 (ja) | インプリント方法 | |
JP6178651B2 (ja) | パターン転写用モールド及びパターン形成方法 | |
CN109273438A (zh) | 电子元件用图案制造方法及包含该图案的纤维型电子元件 | |
CN112885722A (zh) | 基于微区电化学刻蚀的晶体管沟道及源漏电极的制备方法 | |
Talukder et al. | Advanced nanopatterning using scanning probe technology | |
US20130251887A1 (en) | Nano-patterning apparatus, system having the same, and control method thereof | |
JP2009088369A (ja) | インプリント方法およびそのような方法で作製されたモールド部材 | |
Wang et al. | Development of a thermoelectric nanowire characterization platform (TNCP) for structural and thermoelectric investigation of single nanowires | |
JP4007394B2 (ja) | 曲面の形成方法 | |
KR20120042359A (ko) | 트렌치를 이용한 수직 전극 구조, 및 그 제조 방법 | |
Ki et al. | Electrochemical local etching of silicon in etchant vapor | |
Ciucci et al. | Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique | |
JP2017130486A (ja) | 側壁電極モールド、それを備えた製造装置、側壁電極モールドの製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JP4322929B2 (ja) | インプリント装置 | |
JP2016046346A (ja) | テンプレート、テンプレート形成方法および半導体装置の製造方法 | |
KR20150134188A (ko) | 그래파인의 하나 이상의 굽힘변형, 위치이동, 중 하나 이상 선택되는 것을 구비하여 일 함수를 하나 이상 조절하는 트랜지스터 | |
JP2015070030A (ja) | リソグラフィ装置、面位置の計測方法、及びデバイスの製造方法 | |
JP4743102B2 (ja) | 曲面の形成方法 | |
CN101236871B (zh) | 硅基介质阻挡型一维纳米电极结构 | |
JP2008130937A (ja) | ダイヤフラムを具備した構造体の製造方法、半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180222 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20180523 |