JP2009088369A - インプリント方法およびそのような方法で作製されたモールド部材 - Google Patents
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Abstract
欠損のない高解像パターンを迅速に形成することが可能なインプリント装置を提供する。
【解決手段】本発明では、基板と、パターン形成面を有するモールドとを、前記パターン形成面が前記基板と対向するように配置させる工程と、前記モールドと前記基板の間に電圧を印加する工程と、前記モールドおよび/または基板用の駆動装置を用いて、前記モールドのパターン形成面と前記基板の間の接触/非接触状態を切り替えることにより、前記基板の被酸化膜形成領域の湿度を維持する工程とを有するインプリント方法が提供される。
【選択図】図6
Description
基板と、パターン形成面を有するモールドとを、前記パターン形成面が前記基板と対向するように配置させる工程と、
前記モールドと前記基板の間に電圧を印加する工程と、
前記モールドおよび/または基板用の駆動装置を用いて、前記モールドのパターン形成面と前記基板の間の接触/非接触状態を切り替えることにより、前記基板の被酸化膜形成領域の湿度を維持する工程と、
を有するインプリント方法が提供される。
基板と、パターン形成面を有するモールドとを、前記パターン形成面が前記基板と対向するように配置させる工程と、
前記モールドと前記基板の間に電圧を印加する工程と、
を有するインプリント方法であって、
前記モールドは、前記パターン形成面の一部が、前記基板に接触するように配置され、前記基板の前記モールドのパターン形成面と接触している領域以外の少なくとも一部の領域が、被酸化膜形成領域となり、該被酸化膜形成領域に、陽極酸化膜が形成され、
前記モールドを前記基板上で回転させることにより、前記モールドの前記基板との接触領域、および前記基板の被酸化膜形成領域が切り替えられることを特徴とする方法が提供される。
11、11A、11B モールド
12 電圧制御系
14、14A、14B 基板
16 陽極酸化膜
16' 欠損した陽極酸化膜
16" 過剰反応した陽極酸化膜
20 加湿空気導入口
40、40A、40B モールドのパターン部分
41、41A、41B モールドの本体表面
50、50' 水
60A、60B 電気力線
310 チャンバ
311 モールド
312 電圧制御系
314 基板
316、316B、316C、316E、316F 被酸化膜形成領域(または陽極酸化膜)
320 加湿空気導入口
330、332、333 駆動系
340、340A〜340G、340X、340Y、340Z、340W モールドのパターン部分
360 電気力線。
Claims (8)
- 基板と、パターン形成面を有するモールドとを、前記パターン形成面が前記基板と対向するように配置させる工程と、
前記モールドと前記基板の間に電圧を印加する工程と、
前記モールドおよび/または基板用の駆動装置を用いて、前記モールドのパターン形成面と前記基板の間の接触/非接触状態を切り替えることにより、前記基板の被酸化膜形成領域の湿度を維持する工程と、
を有するインプリント方法。 - 前記モールドのパターン形成面と前記基板の間の接触/非接触状態の切り替えは、前記モールドのパターン形成面を、同時に前記基板に接触させたり、同時に前記基板から離したりすることにより行われることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板と、パターン形成面を有するモールドとを、前記パターン形成面が前記基板と対向するように配置させる工程と、
前記モールドと前記基板の間に電圧を印加する工程と、
を有するインプリント方法であって、
前記モールドは、前記パターン形成面の一部が、前記基板に接触するように配置され、前記基板の前記モールドのパターン形成面と接触している領域以外の少なくとも一部の領域が、被酸化膜形成領域となり、該被酸化膜形成領域に、陽極酸化膜が形成され、
前記モールドを前記基板上で回転させることにより、前記モールドの前記基板との接触領域、および前記基板の被酸化膜形成領域が切り替えられることを特徴とする方法。 - 前記モールドは、パターン形成面が凸状となるように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記基板の被酸化膜形成領域は、前記モールドのパターン形成面と接触している前記基板の領域に隣接する領域であることを特徴とする請求項3または4に記載の方法。
- 前記モールドは、導電性の母材に酸化膜のパターンが形成されて構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載の方法。
- 前記酸化膜のパターンは、酸素を含むガスプラズマ処理により構成されたものであることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 請求項1乃至7のいずれか一つに記載の方法で作製された酸化膜のパターンを有するモールド部材。
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