JP2017175696A - 圧電駆動装置の制御回路、圧電駆動装置、超音波モーター、ロボット、ハンド、及びポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
この形態によれば、並列に接続されている複数の圧電素子から発生する状態検出信号に基づいて、複数の圧電素子の状態を検出することができる。また、装置構成の簡略化及び小型化を図ることが可能である。
この形態によれば、状態検出値として取得する積分電流値は、複数の圧電素子の状態に応じて異なった値を示すので、状態検出値に基づいて複数の圧電素子の状態を検出することができる。
この形態によれば、積分電流の立ち上がりの状態を示す状態検出値は、複数の圧電素子の状態に応じて異なった値を示すので、複数の圧電素子のステップ応答特性を示す時定数に基づく積分電流の立ち上がりの状態を示す判定値と比較することにより、複数の圧電素子の状態を検出することができる。
この形態によれば、記憶部に記憶した判定値を利用して複数の圧電素子の状態を検出することができる。
この形態によれば、状態検出値として取得する実効電流値は、複数の圧電素子の状態に応じて異なった値を示すので、状態検出値に基づいて複数の圧電素子の状態を検出することができる。
この形態によれば、状態検出値は複数の圧電素子の状態の状態が正常状態と短絡異常状態と断線異常状態のいずれの状態であるかに応じて異なった値を示すので、状態検出値に基づいて、複数の圧電素子の状態が正常状態と短絡状態と断線状態のいずれの状態であるかを検出することができる。
この形態によれば、状態検出値は複数の圧電素子の断線異常状態の数に応じて異なった値を示すので、状態検出値に基づいて、断線異常状態の圧電素子の数を検出することができる。
この形態によれば、圧電駆動装置に含まれる複数の圧電素子の状態を検出することが可能な圧電駆動装置を提供することができる。
この形態によれば、圧電素子が積層されているので、振動力を大きくできる。
図1は、第1実施形態の超音波モーター300を示す説明図である。超音波モーター300は、被駆動体としての回転体310と、圧電駆動装置としての複数の圧電アクチュエーター100及び制御回路330と、を備えている。各圧電アクチュエーター100は、回転体310に接触して超音波振動することにより回転体310に回転の駆動力を与える。制御回路330は、圧電アクチュエーター100を超音波振動させて駆動する。なお、図1では、10個の圧電アクチュエーター100が、回転体310の中心軸RXに垂直な円形面311の外周縁に沿って配置された例を示している。また、図1では、複数の圧電アクチュエーター100を駆動する複数の制御回路330のうち、1つの圧電アクチュエーター100に対応する1つの制御回路330のみを示し、他は省略している。なお、各圧電アクチュエーター100と対応する制御回路330との関係はいずれも同じである。
〔正常状態〕
断線判定値Ioth≦状態検出値Id≦短絡判定値Isth
〔短絡異常状態〕
状態検出値Id>短絡判定値Isth
〔断線異常状態〕
状態検出値Id<断線判定値Ioth
〔断線異常数:1〕
第1断線判定値Ioth1>状態検出値Id≧第2断線判定値Ioth2
ここで、第1断線判定値Ioth1=断線判定値Iothである。
〔断線異常数:2〕
第2断線判定値Ioth2>状態検出値Id≧第3断線判定値Ioth3
〔断線異常数:3〕
第3断線判定値Ioth3>状態検出値Id≧第4断線判定値Ioth4
〔断線異常数:4〕
第4断線判定値Ioth4>状態検出値Id≧0
図8は、第2実施形態における状態検査信号TS及び状態検出信号としての電流Iptについて示す説明図である。第2実施形態においては、信号発生部360(図5)は、複数の圧電素子110に入力する状態検査信号TSとして、正弦波状の電圧信号を出力する。この場合、電流検出部382(図5)によって検出される状態検出信号としての電流Iptも、正弦波状の電流信号となる。
上述した超音波モーターは、共振を利用することで被駆動部材に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。超音波モーターは、例えば、ロボット(電子部品搬送装置(ICハンドラー)も含む)、ハンド(指アシスト装置を含む)、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置(例えば紙送り機構。)等の各種の機器における駆動装置として用いることができる。以下、代表的な実施の形態について説明する。
Claims (14)
- 並列に接続されている複数の圧電素子に、状態検査信号を入力する信号発生部と、
前記状態検査信号に応じて前記複数の圧電素子から発生する状態検出信号に基づいて、前記複数の圧電素子の状態を検出する状態検出部と、
を備える、圧電駆動装置の制御回路。 - 前記状態検出信号は、前記状態検査信号に応じて前記複数の圧電素子に流れる電流であり、
前記状態検出部は、
前記複数の圧電素子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、
ステップ状の前記状態検出信号が入力されてから前記電流検出部が検出する電流を積分した積分電流の一定時間の経過時における積分電流値を状態検出値として取得し、前記状態検出値に基づいて前記複数の圧電素子の状態を検出する、請求項1に記載の制御回路。 - 前記状態検出部は、前記状態検出値を、前記複数の圧電素子のステップ応答特性を示す時定数に基づく前記積分電流の立ち上がりの状態を示す判定値と比較することにより、前記複数の圧電素子の状態を検出する、請求項2に記載の制御回路。
- 前記状態検出部は、前記状態検出値と前記判定値との関係を記憶する記憶部を有する、請求項3に記載の制御回路。
- 前記状態検出信号は、前記状態検査信号に応じて前記複数の圧電素子に流れる電流であり、
前記状態検出部は、
前記複数の圧電素子に流れる電流を検出する電流検出部を有し、
前記複数の圧電素子に正弦波状の前記状態検出信号が入力された際に、前記電流検出部が検出する電流の実効電流値を状態検出値として取得し、前記状態検出値に基づいて前記複数の圧電素子の状態を検出する、請求項1に記載の制御回路。 - 前記状態検出部は、前記状態検出値に基づいて、前記複数の圧電素子の状態が正常状態、短絡異常状態、および断線異常状態のいずれの状態であるかを検出する、請求項2乃至請求項5のいずれか一項に記載の制御回路。
- 前記状態検出部は、前記状態検出値に基づいて、前記複数の圧電素子のうち断線異常状態の圧電素子の数を検出する、請求項6に記載の制御回路。
- 並列に接続されている複数の圧電素子と、
請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の制御回路と、
を備える、圧電駆動装置。 - 前記圧電駆動装置は、前記複数の圧電素子を含む圧電アクチュエーターを有しており、
前記複数の圧電素子は、前記圧電素子が形成される平面に交わる方向に積層配置されている、請求項8に記載の圧電駆動装置。 - 複数の前記圧電アクチュエーターを有する請求項9に記載の圧電駆動装置。
- 被駆動体と、
請求項8乃至請求項10のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備える、超音波モーター。 - 請求項11に記載の超音波モーターを備えるロボット。
- 請求項11に記載の超音波モーターを備えるハンド。
- 請求項11に記載の超音波モーターを備えるポンプ。
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