JP2017172380A - クライオポンプ、クライオポンプ吸蔵ガス量推測装置及びクライオポンプ吸蔵ガス量推測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプ吸蔵ガス量推測装置は、クライオポンプ真空容器内の真空度を表す真空測定信号Vに基づきクライオポンプ真空容器の到達圧力Pを決定する到達圧力決定部110と、到達圧力Pを吸蔵ガス量推測値Gに関連づける吸蔵ガス量定量化関数116を備え、到達圧力Pを吸蔵ガス量推測値Gに変換する吸蔵ガス量定量化部112と、を備える。
【選択図】図2
Description
Claims (7)
- クライオポンプ真空容器と、
前記クライオポンプ真空容器内の真空を測定するよう前記クライオポンプ真空容器に設置され、真空測定信号を出力する真空計と、
前記真空測定信号を受信するよう前記真空計に接続されている吸蔵ガス量推測部であって、
前記真空測定信号に基づき前記クライオポンプ真空容器の到達圧力を決定する到達圧力決定部と、
前記到達圧力を吸蔵ガス量推測値に関連づける吸蔵ガス量定量化関数を備え、前記到達圧力を前記吸蔵ガス量推測値に変換する吸蔵ガス量定量化部と、を備える吸蔵ガス量推測部と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記吸蔵ガス量推測値を出力する出力部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記出力部は、クライオポンプの吸蔵ガス容量に対する前記吸蔵ガス量推測値の比率を出力することを特徴とする請求項2に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオポンプ真空容器は、ゲートバルブにより閉鎖可能なクライオポンプ吸気口を有し、
前記吸蔵ガス量推測部は、吸蔵ガス量推定開始指令を受け付ける入力部と、前記吸蔵ガス量推定開始指令を受け前記ゲートバルブに閉鎖指令を出力するゲートバルブ指令生成部と、を備え、
前記到達圧力決定部は、前記ゲートバルブの閉鎖後に所定時間待機し、前記所定時間の待機後に前記真空測定信号に基づき前記クライオポンプ真空容器の到達圧力を決定することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記真空計は、10−5Paの高真空を測定可能である電離真空計であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- クライオポンプ真空容器内の真空度を表す真空測定信号に基づき前記クライオポンプ真空容器の到達圧力を決定する到達圧力決定部と、
前記到達圧力を吸蔵ガス量推測値に関連づける吸蔵ガス量定量化関数を備え、前記到達圧力を前記吸蔵ガス量推測値に変換する吸蔵ガス量定量化部と、を備えることを特徴とするクライオポンプ吸蔵ガス量推測装置。 - クライオポンプ真空容器内の真空を測定し、真空測定信号を生成することと、
前記真空測定信号に基づき前記クライオポンプ真空容器の到達圧力を決定することと、
前記到達圧力を吸蔵ガス量推測値に関連づける吸蔵ガス量定量化関数を使用して、前記到達圧力を前記吸蔵ガス量推測値に変換することと、を備えることを特徴とするクライオポンプ吸蔵ガス量推測方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016057049A JP6615663B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | クライオポンプ、クライオポンプ吸蔵ガス量推測装置及びクライオポンプ吸蔵ガス量推測方法 |
CN201710134343.0A CN107218195B (zh) | 2016-03-22 | 2017-03-08 | 低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推测方法 |
TW106107990A TWI630321B (zh) | 2016-03-22 | 2017-03-10 | 低溫泵、低溫泵吸留氣體量推測裝置以及低溫泵吸留氣體量推測方法 |
KR1020170031175A KR102208107B1 (ko) | 2016-03-22 | 2017-03-13 | 크라이오펌프, 크라이오펌프 흡장가스량 추측장치 및 크라이오펌프 흡장가스량 추측방법 |
US15/465,231 US10495082B2 (en) | 2016-03-22 | 2017-03-21 | Cryopump, cryopumped gas amount estimation device, and cryopumped gas amount estimation method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016057049A JP6615663B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | クライオポンプ、クライオポンプ吸蔵ガス量推測装置及びクライオポンプ吸蔵ガス量推測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017172380A true JP2017172380A (ja) | 2017-09-28 |
JP6615663B2 JP6615663B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=59897832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016057049A Active JP6615663B2 (ja) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | クライオポンプ、クライオポンプ吸蔵ガス量推測装置及びクライオポンプ吸蔵ガス量推測方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10495082B2 (ja) |
JP (1) | JP6615663B2 (ja) |
KR (1) | KR102208107B1 (ja) |
CN (1) | CN107218195B (ja) |
TW (1) | TWI630321B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020049915A1 (ja) * | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの監視方法 |
GB2591814A (en) * | 2020-02-10 | 2021-08-11 | Edwards Vacuum Llc | Housing for a vacuum pump |
JP7455040B2 (ja) * | 2020-10-05 | 2024-03-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの再生方法 |
CN116066342B (zh) * | 2023-01-09 | 2024-08-23 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 低温泵的控制装置及控制方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6318093B2 (en) * | 1988-09-13 | 2001-11-20 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
DE69528913T2 (de) | 1994-04-28 | 2003-09-04 | Ebara Corp., Tokio/Tokyo | Kryopumpe |
JPH07293438A (ja) | 1994-04-28 | 1995-11-07 | Ebara Corp | クライオポンプ |
JPH0861233A (ja) | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Fujitsu Ltd | クライオポンプ |
JP3301279B2 (ja) * | 1995-06-29 | 2002-07-15 | ダイキン工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプの再生方法 |
JPH1172081A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-03-16 | Daikin Ind Ltd | 水素ガスの積算排気量推定方法および水素ガス排気制御装置 |
JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
WO2005052369A1 (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-09 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | 水の再生方法及び装置 |
US7320224B2 (en) * | 2004-01-21 | 2008-01-22 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for detecting and measuring state of fullness in cryopumps |
JP4825608B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-11-30 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置および真空排気方法、基板の加工装置および基板の加工方法 |
JP2008223538A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Canon Anelva Technix Corp | クライオポンプ |
KR20100082769A (ko) * | 2007-10-05 | 2010-07-19 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 액화 암모니아의 충전 방법, 질화물 결정의 제조 방법, 및 질화물 결정 성장용 반응 용기 |
JP4791520B2 (ja) * | 2007-11-01 | 2011-10-12 | キヤノンアネルバ株式会社 | クライオポンプ装置、真空処理装置及びクライオポンプ装置の動作方法 |
KR101554866B1 (ko) * | 2010-11-24 | 2015-09-22 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 수소 가스 방출을 제어하는 저온 펌프 |
JP5679910B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-03-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法 |
JP5846966B2 (ja) * | 2012-03-01 | 2016-01-20 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びその再生方法 |
JP6338403B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2018-06-06 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及び真空排気方法 |
US9341186B2 (en) * | 2013-04-30 | 2016-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll vacuum pump and method of maintenance including replacing a tip seal of a scroll vacuum pump |
-
2016
- 2016-03-22 JP JP2016057049A patent/JP6615663B2/ja active Active
-
2017
- 2017-03-08 CN CN201710134343.0A patent/CN107218195B/zh active Active
- 2017-03-10 TW TW106107990A patent/TWI630321B/zh active
- 2017-03-13 KR KR1020170031175A patent/KR102208107B1/ko active IP Right Grant
- 2017-03-21 US US15/465,231 patent/US10495082B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10495082B2 (en) | 2019-12-03 |
TW201734315A (zh) | 2017-10-01 |
CN107218195A (zh) | 2017-09-29 |
JP6615663B2 (ja) | 2019-12-04 |
KR102208107B1 (ko) | 2021-01-26 |
CN107218195B (zh) | 2019-05-28 |
KR20170110014A (ko) | 2017-10-10 |
US20170276129A1 (en) | 2017-09-28 |
TWI630321B (zh) | 2018-07-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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