JP2017168748A - 圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
かかる態様では、配線基板に設けられた共通のコア部上において、配線基板側の個別用配線部及び共通用配線部が、圧電素子列の個別電極及び共通電極に電気的に接続されている。これにより、配線基板上にコア部を設けるためのスペースを、圧電素子列ごとにコア部を設ける場合と比較して縮小することができ、圧電デバイスの平面方向における大きさを小型化することができる。また、共通用配線部には、補助配線が接続されている。このため、補助配線が接続された共通用配線部の電気抵抗値を低下させることができる。さらに、補助配線は、配線基板の溝部に埋設されている。したがって、溝部に埋設しないで配線基板に補助配線を形成する場合に比較して、アクチュエーター基板と配線基板との間隔を狭くすることができる。これにより、圧電デバイスの高さ方向における大きさを小型化することができる。
本発明の一実施形態について詳細に説明する。本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドともいう)について説明する。
第1個別配線91は、各圧電素子150の第1電極60のそれぞれに接続されたリード電極である。本実施形態では、各圧電素子列150Aの圧電素子150に接続された第1個別配線91は、第2の方向Yにおいて2列の圧電素子列150Aの外側に設けられている。
換言すれば、各個別用配線部36同士の間に共通用配線部38が設けられていない。このような構成とすることで、各個別用配線部36同士の間は、共通用配線部38を設けるために広げる必要がない。
実施形態1の記録ヘッド1は、流路形成基板10上に第1の方向Xに沿って設けられた複数の第1個別配線91の外側に、第1共通配線92が設けられていたが(図3参照)、このような態様に限定されない。第1個別配線91の間に第1共通配線92が設けられていてもよい。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (8)
- 複数の圧電素子を有する圧電素子列を備えるアクチュエーター基板と、前記アクチュエーター基板に対向して配置される配線基板と、を備える圧電デバイスであって、
前記圧電素子列は、前記圧電素子ごとに設けられた複数の個別電極、及び複数の前記圧電素子に共通の共通電極を備え、
前記配線基板は、
前記アクチュエーター基板側の面に設けられたコア部と、
前記コア部の一部を覆う個別用配線部と、
前記コア部の一部を覆う共通用配線部と、
前記アクチュエーター基板とは反対側の第1主面又は前記アクチュエーター基板側の第2主面に設けられた溝部に設けられた補助配線と、を備え、
前記補助配線は、前記共通用配線部に電気的に接続され、
前記個別電極及び前記共通電極は、前記個別用配線部及び前記共通用配線部にそれぞれ電気的に接続されている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載する圧電デバイスにおいて、
前記アクチュエーター基板は、前記個別電極に接続された第1個別配線、及び前記共通電極に接続された第1共通配線を備え、
前記第1共通配線は、前記アクチュエーター基板の前記第1個別配線が設けられた領域を囲うように設けられている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項2に記載する圧電デバイスにおいて、
前記コア部に設けられた前記共通用配線部が前記個別用配線部よりも端部側に設けられていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から請求項3の何れか一項に記載する圧電デバイスにおいて、
前記配線基板と前記アクチュエーター基板とを接着する接着剤を備え、
前記接着剤は、前記コア部の両側に設けられている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から請求項3の何れか一項に記載する圧電デバイスにおいて、
前記配線基板は、第2個別配線及び第2共通配線を備え、
前記第2個別配線は、前記個別用配線部、及び前記個別用配線部に接続されて前記配線基板の厚さ方向に貫通した貫通孔に形成された個別用貫通配線を備え、
前記第2共通配線は、前記共通用配線部、及び前記共通用配線部に接続されて前記配線基板の厚さ方向に貫通した貫通孔に形成された共通用貫通配線を備える
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から請求項5の何れか一項に記載する圧電デバイスにおいて、
一方向に並設された前記圧電素子列を2列備え、
前記圧電素子列の前記コア部のそれぞれは、2列の前記圧電素子列の外側に配置されている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から請求項6の何れか一項に記載する圧電デバイスを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項7に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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