JP2017168252A5 - - Google Patents
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Description
本発明の紫外線放射装置は、酸素に吸収されてオゾンを発生する波長の紫外線を含む光を放射する紫外線光源、およびこの紫外線光源から離間して配置された、当該紫外線光源との間に紫外線を吸収してオゾンを発生する気体によるオゾン発生層を形成するためのオゾン発生層形成部材を備えており、
前記紫外線光源がエキシマランプよりなり、
反射面が当該紫外線光源と対向して配置された反射部材を備えており、
前記紫外線光源からの光が、その一部が直接的に前記オゾン発生層形成部材を介して出射されると共に他の一部が前記反射部材によって反射されて前記オゾン発生層形成部材を介して出射されることを特徴とする。
前記紫外線光源がエキシマランプよりなり、
反射面が当該紫外線光源と対向して配置された反射部材を備えており、
前記紫外線光源からの光が、その一部が直接的に前記オゾン発生層形成部材を介して出射されると共に他の一部が前記反射部材によって反射されて前記オゾン発生層形成部材を介して出射されることを特徴とする。
本発明の紫外線放射装置においては、前記オゾン発生層が空気層よりなり、当該空気層の厚みが２０ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは、０．１〜２ｍｍである。
Claims (4)
- 酸素に吸収されてオゾンを発生する波長の紫外線を含む光を放射する紫外線光源、およびこの紫外線光源から離間して配置された、当該紫外線光源との間に紫外線を吸収してオゾンを発生する気体によるオゾン発生層を形成するためのオゾン発生層形成部材を備えており、
前記紫外線光源がエキシマランプよりなり、
反射面が当該紫外線光源と対向して配置された反射部材を備えており、
前記紫外線光源からの光が、その一部が直接的に前記オゾン発生層形成部材を介して出射されると共に他の一部が前記反射部材によって反射されて前記オゾン発生層形成部材を介して出射されることを特徴とする紫外線放射装置。 - 前記オゾン発生層形成部材が外套管を構成しており、当該外套管が前記紫外線光源を包囲するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の紫外線放射装置。
- 前記オゾン発生層が空気層よりなり、当該空気層の厚みが２０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の紫外線放射装置。
- 前記オゾン発生層の厚みが０．１〜２ｍｍであることを特徴とする請求項３に記載の紫外線放射装置。
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