JP2017166876A - ヘテロダイン干渉装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のヘテロダイン干渉装置は、キャリア信号と第1変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第1信号で第1音響光学素子110を駆動することにより、第1音響光学素子110から2つのレーザ光272、274を発生させ、またキャリア信号と第2変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第2信号で第2音響光学素子112を駆動することにより、第2音響光学素子112から2つのレーザ光282、284を発生させるものであり、第1音響光学素子110から発生した2つのレーザ光272、274の何れか一方と第2音響光学素子112から発生した2つのレーザ光282、284の何れか一方との間でビート画像を作成することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
前記音響光学素子駆動部は、キャリア信号と該キャリア信号の周波数よりも低い周波数となる第1変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第1信号で前記第1音響光学素子を駆動することにより、該第1音響光学素子から2つのレーザ光を発生させ、また該キャリア信号と該キャリア信号の周波数よりも低く且つ第1変調信号の周波数とは異なる周波数となる第2変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第2信号で前記第2音響光学素子を駆動することにより、該第2音響光学素子から2つのレーザ光を発生させるものであり、
前記ヘテロダイン干渉光学系は、前記第1音響光学素子から発生した2つのレーザ光の何れか一方と、前記第2音響光学素子から発生した2つのレーザ光の何れか一方との間で前記ビート画像を作成するヘテロダイン干渉装置である。
I(x、y)=Ib(x、y)+Ia・cos(φ(x、y))で表される。ここで、Ibはバイアス強度、Iaは振幅、φは位相である。ビート画像の強度から位相を算出する場合、Ib及びIaの値が未知であるため、一つの画像の強度値だけからは位相を算出することができない。そこで、複数のビート画像を検出して、ビート画像間の強度を演算することで位相を検出する方法で算出する。
110:第1音響光学素子
112:第2音響光学素子
12:対象物
13:音響光学素子駆動部
14:画像検出部
15:画像検出制御部
16:画像処理部
17:形状算出部
Claims (2)
- レーザ光を発するレーザ光源と、前記レーザ光がそれぞれ入射され且つ音響光学素子駆動部から出力される相互に異なる周波数の信号で駆動される第1音響光学素子及び第2音響光学素子を有し、該第1音響光学素子から出射されるレーザ光を高さ形状を測定する対象物に照射することで該対象物にて反射或いは透過する物体光を得るとともに該第2音響光学素子から該物体光とは周波数が異なる参照光を得ることで、該物体光と該参照光の周波数の差の周波数を有するともに干渉光強度が時間的に正弦波状に変化して2次元広がりを有するビート画像を作成するヘテロダイン干渉光学系と、前記ビート画像の周波数近傍の周波数帯域で応答して該ビート画像を検出する画像検出部と、前記ビート画像の1周期の期間内の定められたタイミングに同期して該ビート画像を複数枚検出するように画像検出動作を制御する画像検出制御部と、前記検出された複数枚の画像間の強度を演算して前記ビート画像の位相を算出する画像処理部と、前記画像処理部で得られた位相から前記対象物の高さ形状を算出する形状算出部とを備えるヘテロダイン干渉装置であって、
前記音響光学素子駆動部は、キャリア信号と該キャリア信号の周波数よりも低い周波数となる第1変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第1信号で前記第1音響光学素子を駆動することにより、該第1音響光学素子から2つのレーザ光を発生させ、また該キャリア信号と該キャリア信号の周波数よりも低く且つ第1変調信号の周波数とは異なる周波数となる第2変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第2信号で前記第2音響光学素子を駆動することにより、該第2音響光学素子から2つのレーザ光を発生させるものであり、
前記ヘテロダイン干渉光学系は、前記第1音響光学素子から発生した2つのレーザ光の何れか一方と、前記第2音響光学素子から発生した2つのレーザ光の何れか一方との間で前記ビート画像を作成するヘテロダイン干渉装置。 - 前記第2信号の周波数は、前記第1信号の周波数に対して10Hz〜100Hzの差を有する請求項1に記載のヘテロダイン干渉装置。
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JP2016050282A JP6501307B2 (ja) | 2016-03-14 | 2016-03-14 | ヘテロダイン干渉装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024090059A1 (ja) * | 2022-10-26 | 2024-05-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 観察装置および観察方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06342748A (ja) * | 1993-06-02 | 1994-12-13 | Nikon Corp | 位置検出装置 |
US5910660A (en) * | 1995-03-17 | 1999-06-08 | Heinz Paul Weber | Process and device for determining three-dimensional structure in the submicron range |
JP2013257302A (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-26 | Tsukumo Engineering Inc | ヘテロダイン干渉装置 |
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2016
- 2016-03-14 JP JP2016050282A patent/JP6501307B2/ja active Active
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JP6501307B2 (ja) | 2019-04-17 |
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