JP2017162931A - デバイスチップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】デバイスチップの抗折強度を向上させ、デバイスチップの破損を防止すること。【解決手段】デバイスチップの製造方法は、プラズマエッチング装置(1)が減圧室(50)を仕切りエッチングガスを通過させる細孔を有するバッファプレート(45)を備え、プラズマ化されたエッチングガスを減圧室内の気流でバッファプレートを通過させエッチングガスからイオン(21)を取り除くイオン除去工程と、減圧室内の気流でバッファプレートを通過しイオンが除去されラジカルを主体としたエッチングガスをデバイスチップ(80)に供給させデバイスチップの側面(86)をプラズマエッチングするエッチング工程と、を含む構成にした。【選択図】図3
Description
本発明は、デバイスチップをプラズマエッチングするデバイスチップの製造方法に関する。
半導体デバイス製造工程において、ウエーハは分割予定ラインによって区画されており、この分割予定ラインに沿ってウエーハが分割されることによりデバイスチップが製造される。ウエーハの分割方法としては、切削ブレードで分割する方法(例えば、特許文献1参照)、レーザー光線を照射してアブレーション加工で分割する方法、レーザー光線でウエーハに形成した改質層を起点に分割する方法が知られている(例えば、特許文献2参照)。
切削ブレードを用いて分割する方法においては、高速回転の切削ブレードでウエーハを分割予定ラインに沿って切削して、ウエーハを切断する。また、アブレーション加工で分割する方法においては、ウエーハに吸収性を有する波長のレーザー光線を照射し、分割予定ラインに沿ってウエーハを破断する。改質層を起点に分割する方法においては、ウエーハに透過性を有する波長のレーザー光線を照射し、分割予定ラインに沿って改質層を連続的に形成し、強度が低下した改質層に外力を加えて、ウエーハを破断する。
ところで、ウエーハが分割されたデバイスチップの側面には凹凸が生じており、この凹凸を起点にデバイスチップの抗折強度が低下して、デバイスチップが破損してしまう可能性がある。そこで、デバイスチップの抗折強度を向上させるために、プラズマエッチングによってデバイスチップから凹凸を除去する方法が考えられる。しかしながら、ウエーハがチップに分割された状態でプラズマエッチングを行うと、デバイスチップの側面のエッチングが良好に行われずに凹凸が除去されにくいという問題があった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、デバイスチップの抗折強度を向上させ、デバイスチップの破損を防止することができるデバイスチップの製造方法を提供することを目的とする。
本発明のデバイスチップの製造方法は、デバイスチップの側面をプラズマエッチングしてデバイスチップの抗折強度を高めるデバイスチップの製造方法であって、プラズマエッチング装置は、減圧室と、減圧室を減圧する排気手段と、減圧室の上方からエッチングガスを供給するエッチングガス供給口と、減圧室の下方にてワークを保持する保持テーブルと、エッチングガス供給口と保持テーブルとの間で減圧室を仕切りエッチングガスを通過させる細孔を有するバッファプレートと、を備え、分割予定ラインで区画されるデバイスウエーハが分割された複数のデバイスチップを隙間を設けて配列させ、デバイスチップの片面を粘着テープに貼着させたワークを準備するワーク準備工程と、ワーク準備工程で準備したワークの粘着テープ側を保持テーブルに保持させるワーク保持工程と、エッチングガス供給口から供給されるエッチングガスに高周波電力を供給させ、エッチングガスをラジカルを含むようにプラズマ化させるプラズマ生成工程と、プラズマ生成工程でプラズマ化されたエッチングガスをエッチングガス供給口から保持テーブルへ向かう減圧室内の気流でバッファプレートを通過させエッチングガスからイオンを取り除くイオン除去工程と、減圧室内の気流でバッファプレートを通過しイオンが除去されラジカルを主体としたエッチングガスをデバイスチップに供給させデバイスチップの側面をプラズマエッチングするエッチング工程と、を含む。
この構成によれば、プラズマ化したエッチングガスは、バッファプレートを通過することで、イオンが取り除かれて、ラジカルの割合が大きくなる。ラジカルはイオンと異なり、高周波電力の影響を受けずに気流に乗ってデバイスチップに向けて運ばれる。すなわち、ラジカルはイオンのように真下に落下せずに、減圧室内を漂いながら落下する。ラジカルがデバイスチップ間に入り込むと、デバイスチップの側面がエッチングされて、凹凸が除去される。以上より、ラジカルを主体にデバイスチップの側面を均一にエッチングして、凹凸に起因するデバイスチップの破損を防止することができる。すなわち、デバイスチップの抗折強度を向上することができる。
本発明によれば、デバイスチップの抗折強度を向上させ、デバイスチップの破損を防止することができる。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るデバイスチップの製造方法について説明する。図1は、本実施の形態に係るワークの模式図である。ワークWは、複数のデバイスチップ80の片面に粘着テープTを貼着して構成されている。デバイスチップ80は、分割予定ラインで区画されるデバイスウエーハを、分割予定ラインに沿って分割したものであり、粘着テープT上に隙間を設けて配列されている。ワークWは、粘着テープTを介してリングフレームFに支持された状態でプラズマエッチング装置(図3参照)に搬入される。
切削ブレードによる切削等で分割されることで、個々のデバイスチップ80の側面86には、細かな凹凸91が生じている。この凹凸91を起点に抗折強度が低下し、デバイスチップ80が破損してしまう場合があった。デバイスチップ80の破損を防止するために、凹凸91をプラズマエッチングにより除去する方法が考えられる。しかしながら、通常のプラズマエッチングはイオンを主体としてエッチングが進行するため、デバイスチップ80の上面87側がエッチングされやすく、デバイスチップ80の側面86はエッチングされにくいという問題がある。
図2は、比較例に係るワークがエッチングされる様子を示す説明図である。プラズマエッチング装置では、高周波電力を供給してエッチングガスをプラズマ化し、ラジカル22、及びイオン21を生成させて、デバイスチップ80をエッチングする。
エッチングガスに含まれるイオン21は、高周波電力が供給されると、電位により、デバイスチップ80に対して垂直方向(矢印参照)に引き寄せられる。この場合、イオン21が電位により真下に引き寄せられるため、イオン21はデバイスチップ80の上面87側に衝突しやすく、デバイスチップ80の上面87側のみがエッチングされる。これに対し、エッチングガスに含まれるラジカル22は、高周波電力の影響を受けずに、デバイスチップ80に落下する。この場合、ラジカル22はデバイスチップ80間の奥まで入り込んで、デバイスチップ80の側面86をエッチングすることができるが、ラジカル22は電位によりデバイスチップ80に引き寄せられないため、エッチング速度はイオン21と比べて遅くなる。
この場合、イオン21を主体としてエッチングされているため、デバイスチップ80の側面86の上側がエッチングされやすく、デバイスチップ80の側面86の下側に向かってエッチングされにくくなる。このため、デバイスチップ80は側面86が傾斜するようにエッチングされてしまう。したがって、デバイスチップ80の側面86の凹凸91も側面86の下側に向かってエッチングされにくくなり、側面86の下側に形成された凹凸91が残ってしまう。
本実施の形態においては、プラズマ化されたエッチングガスを後述するバッファプレートに通過させて、エッチングガスからイオン21を取り除き、ラジカル22を主体としてエッチングを実施する。これにより、デバイスチップ80の上面87側のエッチングを抑え、デバイスチップ80の側面86を効果的にエッチングするようにしている。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るデバイスチップの製造方法に用いられるプラズマエッチング装置について説明する。図3は、本実施の形態に係るプラズマエッチング装置の全体模式図である。
プラズマエッチング装置1のチャンバー30の減圧室50は、バッファプレート45により上下に仕切られており、上減圧室31及び下減圧室36を有している。バッファプレート45には多数の細孔46が形成されており、細孔46を介して上減圧室31及び下減圧室36は連通している。
チャンバー30の上壁32には、減圧室50内にエッチングガスを供給するエッチングガス供給口33が形成されており、エッチングガス供給口33はエッチングガス供給源51に接続されている。エッチングガスとしては、六フッ化硫黄(SF6)、四フッ化メタン(CF4)、三フッ化窒素(NF3)等のフッ素を含むフッ素系ガスにヘリウムガス等が含まれたフッ素系のプラズマガスが用いられる。また、チャンバー30のバッファプレート45より上方の側壁34aの周囲には環状のコイル35が巻かれ、コイル35には高周波電源55から高周波電力が供給される。
チャンバー30のバッファプレート45より下方の側壁34bには、デバイスチップ80の片面を粘着テープTに貼着させたワークWを搬入及び搬出する搬入出口38が形成されている。側壁34bの外壁面には、搬入出口38を開閉する開閉扉41が取り付けられている。開閉扉41は、シリンダ42のシリンダロッドの上端に連結されており、シリンダ42によって開閉扉41が外壁面に沿って昇降されることで搬入出口38が開閉される。搬入出口38が開かれることで減圧室50内が外部に開放され、搬入出口38が閉じられることで減圧室50内が密閉される。
下減圧室36内には、ワークWを保持する保持テーブル39が配設されている。ワークWの上面87(図1参照)は、レジスト膜82(図1参照)で覆われている。保持テーブル39は、ワークWの粘着テープT側を保持している。
保持テーブル39の下方には排気口52が形成されており、排気口52には排気バルブ(不図示)を介して減圧室50を減圧する排気手段53が接続されている。排気手段53によって減圧室50内から排気口52にエアや反応ガスが排気されることで、減圧室50内が減圧され、減圧室50内に気流を生じさせる。
コイル35、バッファプレート45、保持テーブル39は接地されている。高周波電源55によりコイル35に高周波電力が供給されると、上減圧室31のエッチングガスはプラズマ化され、上減圧室31にラジカル22、及びイオン21(図4参照)が生成される。
次に、本実施の形態に係るデバイスチップのエッチング方法について説明する。図4は、本実施の形態に係るデバイスチップのエッチング方法を示す説明図である。
バッファプレート45は、導電性を有する板状の部材であり、表裏に貫通した多数の細孔46が形成されている。エッチングガスは、高周波電源55(図3参照)からコイル35(図3参照)に高周波電力が供給されることによりプラズマ化され、ラジカル22、及びイオン21が生成される。プラズマ化されたエッチングガスは、減圧室50内の気流で、バッファプレート45の細孔46を通過して、下減圧室36に流入する。その際、エッチングガス中のイオン21は、バッファプレート45の細孔46内で互いに衝突することによりガス化される。
気流は排気手段53により排出口52からガスを排気することによって調節される。排気手段53により保持テーブル39の下方に形成された排出口52から減圧室50内のガスを排気すると、上減圧室31からバッファプレート45を通過して、下減圧室36内を排出口52に向かって流れる気流が生じる。排気口52からのガスの排気量を少なくして気流を遅くし、細孔46内におけるイオン21の通過時間を長くすることで、イオン21同士を反応しやすくすることができる。
ラジカル22及びガス化されなかった一部のイオン21は、細孔46をそのまま通過して、下減圧室36でデバイスチップ80をエッチングする。下減圧室36に流入したエッチングガスに含まれるラジカル22は、気流によって下減圧室36内を漂いながら、保持テーブル39に保持されるデバイスチップ80に落下する。ラジカル22はイオン21と異なり、高周波電力の影響を受けないため、デバイスチップ80に対して落下方向が制限されない。デバイスチップ80に対して多方向から接触するラジカル22は、イオン21のようにデバイスチップ80の側面86に当たりにくいものと比べて、デバイスチップ80の側面86の下側まで届きやすい。デバイスチップ80間に進入したラジカル22はデバイスチップ80と反応して側面86をエッチングし、等方性エッチングにより凹凸91を除去することができる。
ワークWの外側に落下したラジカル22及びイオン21は、排出口52に向かう気流に乗って排出口52から排気される。ラジカル22とデバイスチップ80との反応速度の調節は、排気手段53により排気口52からのガスの排気量を調節することにより行う。排気口52からのガスの排気量を多くして気流を速めることで、デバイスチップ80に落下するラジカル22を増やすことができる。
また、バッファプレート45でイオン21がガス化されるため、バッファプレート45を通過して下減圧室36に流入するエッチングガスにおいては、ラジカル22の割合が多く、イオン21の割合が少なくなっている。これにより、イオン21によるエッチングを抑えて、ラジカル22によるエッチングを主体とすることができる。このため、デバイスチップ80の上面87側のエッチングを抑えて、デバイスチップ80の側面86を均一にエッチングすることができ、側面86の凹凸91を起点に生じるデバイスチップ80の破損を防止することができる。即ち、デバイスチップ80の抗折強度を向上することができる。
バッファプレート45における複数の細孔46が形成される領域は、ワークWに効率よくラジカル22を落下させる観点から、ワークWの複数のデバイスチップ80が配設された領域と略同じであることが好ましい。また、細孔46の直径は、特に限定されるものではないが、細孔46内でイオン21同士を衝突させて効率よくガス化する観点から、0.5mm以上1mm以下であることが好ましい。また、細孔46はバッファプレート45に均等な間隔で形成することができるが、ワークWの外周付近の上方に位置する部分は、ワークWの中央付近の上方に位置する部分よりも、密度が大きく(孔数が多く)なるように、形成されることが好ましい。ワークWの外周付近に落下したラジカル22は排気口52から排気されやすいが、細孔46のバッファプレート45に形成される密度を変化させることで、ワークWの外周付近にもラジカル22を多く落下させてワークWと反応するラジカル22を多くすることができる。このため、ワークWの中央と外周側を均一にエッチングさせることができる。
次に、本実施の形態に係るデバイスチップの製造方法について説明する。図5及び図6は、本実施の形態に係るデバイスチップの製造方法を示す説明図である。
まず、ワーク準備工程について説明する。図5Aに示すように、ワークWのデバイスチップ80の片面(下面)には粘着テープTが貼着されており、ワークWは粘着テープTを介してリングフレームFに支持されている。ワークWのデバイス81が形成された上面87には、レジスト膜82が形成されている。
次に、ワーク保持工程について説明する。図5Bに示すように、ワークWは、粘着テープTを介してリングフレームFに支持された状態でプラズマエッチング装置1の搬入出口38から搬入される。そして、ワークWの粘着テープT側が、保持テーブル39に保持される。
次に、プラズマ生成工程について説明する。図5Cに示すように、上減圧室31にエッチングガス供給口33からエッチングガスが供給される。そして、高周波電源55からコイル35に高周波電力が供給されると、上減圧室31のエッチングガスがプラズマ化され、ラジカル22及びイオン21が生成される。
次に、イオン除去工程について説明する。図6Aに示すように、上減圧室31でプラズマ化されたエッチングガスを、エッチングガス供給口33から保持テーブル39へ向かう減圧室50内の気流で、バッファプレート45を通過させる。エッチングガス中のイオン21は、バッファプレート45の細孔46内で互いに衝突することによりガス化される。
次に、エッチング工程について説明する。図6Bに示すように、ラジカル22及び一部のイオン21は、細孔46を通過して、下減圧室36でデバイスチップ80をエッチングする。バッファプレート45を通過したエッチングガスは、減圧室50内の気流でデバイスチップ80に供給される。ラジカル22は、気流によって下減圧室36内を漂いながら、デバイスチップ80に落下する。ラジカル22はデバイスチップ80に対して多方向から接触するので、イオン21のようにデバイスチップ80の側面86に当たりにくいものと比べて、デバイスチップ80の側面86の下側まで届きやすい。デバイスチップ80間に進入したラジカル22はデバイスチップ80と反応して側面86を等方性エッチングし、凹凸91を除去することができる。ラジカル22とデバイスチップ80との反応の調節は、気流を排気手段53(図3参照)により調節することにより行うことができる。
イオン除去工程でプラズマ化されたエッチングガスからイオン21が取り除かれるため、バッファプレート45を通過して下減圧室36に流入するエッチングガスにおいては、ラジカル22の割合が多く、イオン21の割合が少ない。ラジカル22によるエッチングを主体とすることができため、デバイスチップ80の上面87側のエッチングを抑えて、デバイスチップ80の側面86を均一にエッチングすることができ、デバイスチップ80の側面86の凹凸91を起点に生じるデバイスチップ80の破損を防止することができる。
また、本実施の形態においては、保持テーブル39に高周波電力を供給せずに減圧室50内の気流で、バッファプレート45を通過したエッチングガスをデバイスチップ80に供給させる。これにより、バッファプレート45でガス化されなかった一部のイオン21が、バッファプレートを通過して下減圧室36に流入しても、電位によりデバイスチップ80に引き寄せられることがない。このため、イオン21によってデバイスチップ80のエッチング速度が速くならず、デバイスチップ80の上面87側のエッチングを抑えることができる。
以上のように、プラズマ化したエッチングガスは、バッファプレート45を通過することで、イオン21が取り除かれて、ラジカル22の割合が大きくなる。ラジカル22はイオン21と異なり、高周波電力の影響を受けずに気流に乗ってデバイスチップ80に向けて運ばれる。すなわち、ラジカル22はイオン21のように真下に落下せずに、減圧室50内を漂いながら落下する。ラジカル22がデバイスチップ80間に入り込むと、デバイスチップ80の側面86がエッチングされて、凹凸91が除去される。以上より、ラジカル22を主体にデバイスチップ80の側面86を均一にエッチングして、凹凸91に起因するデバイスチップ80の破損を防止することができる。すなわち、デバイスチップ80の抗折強度を向上することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
例えば、上記した実施の形態においては、コイル35がチャンバー30のバッファプレート45より上方の側壁34aの周囲に巻かれている構成にしたが、この構成に限定されない。図7は、変形例に係るプラズマエッチング装置の全体模式図である。上記実施の形態と、図7のプラズマエッチング装置は、コイル65がエッチングガス供給口63の側壁64の周囲に巻かれている点が相違するが、両者は同様の効果を奏する。
また、バッファプレート45の細孔46は、ワークWの外周付近の上方に位置する部分がワークWの中央付近の上方に位置する部分よりも、密度が大きくなるように形成される構成にしたが、この構成に限定されない。細孔46はバッファプレート45に均等な間隔で形成されてもよい。
また、ワークWは粘着テープTを介してリングフレームFに支持される構成にしたが、この構成に限定されない。ワークWはリングフレームFに支持されていなくてもよい。
また、デバイスチップ80の片面(下面)を粘着テープTに貼着させる構成にしたが、この構成に限定されない。デバイスチップ80の上面87(デバイス面)を下にして粘着テープTに貼着させて側面86をエッチングしてもよい。
以上説明したように、本発明は、デバイスチップの抗折強度を向上させ、デバイスチップの破損を防止することができるという効果を有し、特に、デバイスチップをプラズマエッチングするデバイスチップの製造方法に有用である。
1 プラズマエッチング装置
21 イオン
22 ラジカル
33 エッチングガス供給口
39 保持テーブル
45 バッファプレート
46 細孔
50 減圧室
53 排気手段
80 デバイスチップ
86 (デバイスチップの)側面
T 粘着テープ
W ワーク
21 イオン
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80 デバイスチップ
86 (デバイスチップの)側面
T 粘着テープ
W ワーク
Claims (1)
- デバイスチップの側面をプラズマエッチングしてデバイスチップの抗折強度を高めるデバイスチップの製造方法であって、
プラズマエッチング装置は、減圧室と、該減圧室を減圧する排気手段と、該減圧室の上方からエッチングガスを供給するエッチングガス供給口と、該減圧室の下方にてワークを保持する保持テーブルと、該エッチングガス供給口と該保持テーブルとの間で該減圧室を仕切りエッチングガスを通過させる細孔を有するバッファプレートと、を備え、
分割予定ラインで区画されるデバイスウエーハが分割された複数のデバイスチップを隙間を設けて配列させ、該デバイスチップの片面を粘着テープに貼着させたワークを準備するワーク準備工程と、
該ワーク準備工程で準備したワークの該粘着テープ側を該保持テーブルに保持させるワーク保持工程と、
該エッチングガス供給口から供給されるエッチングガスに高周波電力を供給させ、エッチングガスをラジカルを含むようにプラズマ化させるプラズマ生成工程と、
該プラズマ生成工程でプラズマ化されたエッチングガスを該エッチングガス供給口から該保持テーブルへ向かう該減圧室内の気流で該バッファプレートを通過させエッチングガスからイオンを取り除くイオン除去工程と、
該減圧室内の該気流で該バッファプレートを通過しイオンが除去されラジカルを主体としたエッチングガスをデバイスチップに供給させデバイスチップの側面をプラズマエッチングするエッチング工程と、
を含むデバイスチップの製造方法。
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JP (1) | JP2017162931A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04206719A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2005252126A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2006040914A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体ウェハの分割方法及び分割装置 |
JP2015524613A (ja) * | 2012-07-13 | 2015-08-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 高いダイ破断強度及び清浄な側壁のためのレーザスクライビング及びプラズマエッチング |
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2016
- 2016-03-08 JP JP2016044872A patent/JP2017162931A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04206719A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2005252126A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2006040914A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体ウェハの分割方法及び分割装置 |
JP2015524613A (ja) * | 2012-07-13 | 2015-08-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 高いダイ破断強度及び清浄な側壁のためのレーザスクライビング及びプラズマエッチング |
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