JP2017138461A - テラヘルツ光発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ光生成手段2からの第1レーザ光L1と第2レーザ光L2とが入射されてテラヘルツ光TH1を発生する第1非線形光学結晶3を備えている。上記レーザ光生成手段は、上記第2レーザ光と同じ波長のレーザ光が入射されることによって複数の波長を含んだアイドラー光L1を発生させる第2非線形光学結晶7を有しており、該第2非線形光学結晶から発生したアイドラー光を上記第1レーザ光L1として上記第1非線形光学結晶に入射させることによって、該第1非線形光学結晶から複数の波長を含むテラヘルツ光を発生させる。必要に応じて、複数の波長を含んだアイドラー光のうち、特定の波長のアイドラー光のみを通過させる光透過部を有する波長選択手段を設けることができる。
【効果】 出力の大きい複数の波長を含むテラヘルツ光を得ることができる。また、波長選択手段により必要とする特定の波長のテラヘルツ光を得ることが容易となる。
【選択図】 図1
【効果】 出力の大きい複数の波長を含むテラヘルツ光を得ることができる。また、波長選択手段により必要とする特定の波長のテラヘルツ光を得ることが容易となる。
【選択図】 図1
Description
本発明はテラヘルツ光発生装置に関し、より詳しくは、第1非線形光学結晶のパラメトリック効果によってテラヘルツ光を発生させるようにしたテラヘルツ光発生装置に関する。
従来、テラヘルツ光発生装置として、シード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とを生成するレーザ光生成手段と、上記第1レーザ光と第2レーザ光とが入射されてパラメトリック効果によりテラヘルツ光を発生する第1非線形光学結晶とを備えたものが知られている(特許文献1)。
上記テラヘルツ光発生装置においては、第1非線形光学結晶にシード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とを入射することにより、該第1非線形光学結晶からピーク出力の大きなパルスのテラヘルツ光を狭線化したスペクトル幅で発生させることができる。
上記テラヘルツ光発生装置においては、第1非線形光学結晶にシード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とを入射することにより、該第1非線形光学結晶からピーク出力の大きなパルスのテラヘルツ光を狭線化したスペクトル幅で発生させることができる。
上記特許文献1においては、第1レーザ光と第2レーザ光とはそれぞれ単一波長のレーザ光が用いられており、その結果、テラヘルツ光は狭線化したスペクトル幅で発生されるようになる。換言すれば、テラヘルツ光を広い波長帯で発生させることはできなかった。
本発明はそのような事情に鑑み、出力の大きなテラヘルツ光を広い波長帯で発生させることができるテラヘルツ光発生装置を提供するものである。
本発明はそのような事情に鑑み、出力の大きなテラヘルツ光を広い波長帯で発生させることができるテラヘルツ光発生装置を提供するものである。
請求項1の発明は、シード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とを生成するレーザ光生成手段と、上記第1レーザ光と第2レーザ光とが入射されてパラメトリック効果によりテラヘルツ光を発生する第1非線形光学結晶とを備えたテラヘルツ光発生装置において、
上記レーザ光生成手段は、上記第2レーザ光と同じ波長のレーザ光が入射されることによって複数の波長を含んだアイドラー光を発生させる第2非線形光学結晶を有しており、該第2非線形光学結晶から発生したアイドラー光を上記第1レーザ光として上記第1非線形光学結晶に入射させることによって、該第1非線形光学結晶から複数の波長を含むテラヘルツ光を発生させるようにしたものである。
また請求項3の発明は、上記第2非線形光学結晶から発生した複数の波長を含んだアイドラー光のうち、特定の波長のアイドラー光のみを通過させる光透過部を有する波長選択手段が設けられ、該波長選択手段の光透過部を通過させた特定の波長のアイドラー光に基づいて、上記第1非線形光学結晶から特定の波長のテラヘルツ光を発生させることを特徴とするものである。
上記レーザ光生成手段は、上記第2レーザ光と同じ波長のレーザ光が入射されることによって複数の波長を含んだアイドラー光を発生させる第2非線形光学結晶を有しており、該第2非線形光学結晶から発生したアイドラー光を上記第1レーザ光として上記第1非線形光学結晶に入射させることによって、該第1非線形光学結晶から複数の波長を含むテラヘルツ光を発生させるようにしたものである。
また請求項3の発明は、上記第2非線形光学結晶から発生した複数の波長を含んだアイドラー光のうち、特定の波長のアイドラー光のみを通過させる光透過部を有する波長選択手段が設けられ、該波長選択手段の光透過部を通過させた特定の波長のアイドラー光に基づいて、上記第1非線形光学結晶から特定の波長のテラヘルツ光を発生させることを特徴とするものである。
請求項1の発明によれば、上記レーザ光生成手段により、第2非線形光学結晶に上記第2レーザ光と同じ波長のレーザ光を入射することによって複数の波長を含んだアイドラー光を発生させることができ、この複数の波長を含んだアイドラー光を上記第1レーザ光として第1非線形光学結晶に入射させることによって、該第1非線形光学結晶から出力が大きく、かつ複数の波長を含むテラヘルツ光を発生させることができる。
したがって、例えば該テラヘルツ光を被検査物に透過させて該被検査物の成分等を検査するようにした場合には、該テラヘルツ光は広い波長帯を有しているので、個々の波長のテラヘルツ光を被検査物に透過させる場合に比較して、該被検査物の成分等を一度で検査することが可能となる。
また、上記第1非線形光学結晶から発生されるテラヘルツ光は波長ごとに異なる角度で射出されるので、スペクトル分析が容易となる。つまり、複数の波長が混ざった光で検査を行うようにした場合には、受光側で波長ごとに分離する必要が生じるが、本発明によればそのような操作を省略することができる。
さらに請求項3の発明によれば、上記波長選択手段の光透過部により、第2非線形光学結晶から発生した複数の波長を含んだアイドラー光のうち、特定の波長のアイドラー光のみを通過させることができるので、該第2非線形光学結晶から発生されるアイドラー光自体の波長を変更することなく、上記波長選択手段によって特定の波長のアイドラー光のみを選択使用することができる。
したがって、例えば該テラヘルツ光を被検査物に透過させて該被検査物の成分等を検査するようにした場合には、該テラヘルツ光は広い波長帯を有しているので、個々の波長のテラヘルツ光を被検査物に透過させる場合に比較して、該被検査物の成分等を一度で検査することが可能となる。
また、上記第1非線形光学結晶から発生されるテラヘルツ光は波長ごとに異なる角度で射出されるので、スペクトル分析が容易となる。つまり、複数の波長が混ざった光で検査を行うようにした場合には、受光側で波長ごとに分離する必要が生じるが、本発明によればそのような操作を省略することができる。
さらに請求項3の発明によれば、上記波長選択手段の光透過部により、第2非線形光学結晶から発生した複数の波長を含んだアイドラー光のうち、特定の波長のアイドラー光のみを通過させることができるので、該第2非線形光学結晶から発生されるアイドラー光自体の波長を変更することなく、上記波長選択手段によって特定の波長のアイドラー光のみを選択使用することができる。
以下図示実施例について本発明を説明すると、図1において、テラヘルツ光発生装置1は、シード光としての第1レーザ光L1とポンプ光としての第2レーザ光L2とを生成するレーザ光生成手段2と、上記両レーザ光L1、L2が入射されることによってアイドラー光L3とテラヘルツ光TH1とを発生させる第1非線形光学結晶3とを備えている。
上記第1非線形光学結晶3にシード光としての第1レーザ光L1とポンプ光としての第2レーザ光L2とを入射することにより、アイドラー光L3とテラヘルツ光TH1とを発生させる光注入型テラヘルツパラメトリック発生器(Is−TPG)が構成されている。
特許文献1のテラヘルツ光発生装置では、シード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とはいずれも単一波長のレーザ光が用いられており、その結果として第1非線形光学結晶3で発生されるテラヘルツ光も狭い波長帯のスペクトル幅を持つことになるが、本実施例においては、上記シード光としての第1レーザ光L1は広い波長帯のスペクトル幅を有し、かつ、波長ごとに空間分離されており、それによって上記第1非線形光学結晶3で発生させるテラヘルツ光TH1も広い波長帯のスペクトル幅を持っている。
上記第1非線形光学結晶3にシード光としての第1レーザ光L1とポンプ光としての第2レーザ光L2とを入射することにより、アイドラー光L3とテラヘルツ光TH1とを発生させる光注入型テラヘルツパラメトリック発生器(Is−TPG)が構成されている。
特許文献1のテラヘルツ光発生装置では、シード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とはいずれも単一波長のレーザ光が用いられており、その結果として第1非線形光学結晶3で発生されるテラヘルツ光も狭い波長帯のスペクトル幅を持つことになるが、本実施例においては、上記シード光としての第1レーザ光L1は広い波長帯のスペクトル幅を有し、かつ、波長ごとに空間分離されており、それによって上記第1非線形光学結晶3で発生させるテラヘルツ光TH1も広い波長帯のスペクトル幅を持っている。
上記レーザ光生成手段2は、上記第1非線形光学結晶3に入力させるポンプ光としての第2レーザ光L2を発振するレーザ光照射手段6を備えており、このレーザ光照射手段6としてはパルスレーザを発振する半導体レーザを用いることができる。
本実施例では、上記レーザ光照射手段6から発振された第2レーザ光L2は、該第2レーザ光L2の光軸上に設けた第2偏光ビームスプリッタPBS2によって2つに分岐させるようにしてあり、分岐させた第2レーザ光L2を第2全反射ミラーM2を介して上記第1非線形光学結晶3の光軸上から該第1非線形光学結晶3に入射させるようにしてある。
本実施例では、上記レーザ光照射手段6から発振された第2レーザ光L2は、該第2レーザ光L2の光軸上に設けた第2偏光ビームスプリッタPBS2によって2つに分岐させるようにしてあり、分岐させた第2レーザ光L2を第2全反射ミラーM2を介して上記第1非線形光学結晶3の光軸上から該第1非線形光学結晶3に入射させるようにしてある。
上記レーザ光生成手段2は上記第2レーザ光L2の光軸上に、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2よりも手前の位置に設けた第1偏光ビームスプリッタPBS1を備えており、該第1偏光ビームスプリッタPBS1によって分岐させた第2レーザ光L2を第1全反射ミラーM1を介して第2非線形光学結晶7の光軸上から該第2非線形光学結晶7に入射させるようにしてある。
本実施例では上記第1非線形光学結晶3の光軸と第2非線形光学結晶7の光軸とを一致させてあり、また第1非線形光学結晶3と第2非線形光学結晶7とは同一構成の光学結晶を用いている。
本実施例では上記第1非線形光学結晶3の光軸と第2非線形光学結晶7の光軸とを一致させてあり、また第1非線形光学結晶3と第2非線形光学結晶7とは同一構成の光学結晶を用いている。
上記第2非線形光学結晶7に一定の方向から、例えば図示実施例のように光軸上から第2レーザ光L2を入射すると2つのアイドラー光L1、L1’が発生するとともにテラヘルツ光TH2が発生する。この際、上記アイドラー光L1、L1’およびテラヘルツ光TH2は広い波長帯で発生されているが、その出力は微弱である。
上記第2非線形光学結晶7にポンプ光としての第2レーザ光L2を入射することにより、アイドラー光L1、L1’とテラヘルツ光TH2とを発生させるテラヘルツパラメトリック発生器(TPG)が構成されている。
本実施例では、一方のアイドラー光L1は、以下に詳述するように上述した第1レーザ光L1として用いているが、他方のアイドラー光L1’を用いることはなく、該アイドラー光L1’と上記第2非線形光学結晶7を通過して不要となった第2レーザ光L2’とはビームダンパ8によって吸収するようにしてある。さらに上記テラヘルツ光TH2はそのまま消費される。
上記第2非線形光学結晶7にポンプ光としての第2レーザ光L2を入射することにより、アイドラー光L1、L1’とテラヘルツ光TH2とを発生させるテラヘルツパラメトリック発生器(TPG)が構成されている。
本実施例では、一方のアイドラー光L1は、以下に詳述するように上述した第1レーザ光L1として用いているが、他方のアイドラー光L1’を用いることはなく、該アイドラー光L1’と上記第2非線形光学結晶7を通過して不要となった第2レーザ光L2’とはビームダンパ8によって吸収するようにしてある。さらに上記テラヘルツ光TH2はそのまま消費される。
上記第2非線形光学結晶7で発生されたアイドラー光L1は、該アイドラー光L1を案内する導光手段11を介して、上述したように第1レーザ光L1として上記第1非線形光学結晶3に入射される。
上記アイドラー光L1すなわち第1レーザ光L1は、広い波長帯を有しているので、該第1レーザ光L1とポンプ光としての第2レーザ光L2が入射される第1非線形光学結晶3は、出力が大きく、かつ広い波長帯を有するアイドラー光L3とテラヘルツ光TH1とを発生させるようになる。
本実施例ではアイドラー光L3と第1非線形光学結晶3を通過して不要となった第2レーザ光L2’はビームダンパ8’によって吸収するようにし、テラヘルツ光TH1だけを利用するようにしてある。
上記アイドラー光L1すなわち第1レーザ光L1は、広い波長帯を有しているので、該第1レーザ光L1とポンプ光としての第2レーザ光L2が入射される第1非線形光学結晶3は、出力が大きく、かつ広い波長帯を有するアイドラー光L3とテラヘルツ光TH1とを発生させるようになる。
本実施例ではアイドラー光L3と第1非線形光学結晶3を通過して不要となった第2レーザ光L2’はビームダンパ8’によって吸収するようにし、テラヘルツ光TH1だけを利用するようにしてある。
上記レーザ光照射手段6から発振されたパルスレーザの第2レーザ光L2は、その光路長分だけ遅れたタイミングで第2非線形光学結晶7に入射され、第2非線形光学結晶7に第2レーザ光L2が入射されるとその入射タイミングと同じタイミングで上記アイドラー光L1、L1’が発生する。そして上記アイドラー光L1は、上記導光手段11の光路長だけ遅れたタイミングで第1レーザ光L1として上記第1非線形光学結晶3に入射される。
他方、上記レーザ光照射手段6から発振されたパルスレーザの第2レーザ光L2は、その光路長分だけ遅れたタイミングで第1非線形光学結晶3に入射されることになるが、この際、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2と第2全反射ミラーM2との間に従来公知のタイミング調整手段T1が設けられており、該タイミング調整手段T1によって、上記第1レーザ光L1が上記第1非線形光学結晶3に入射されるタイミングに一致したタイミングで、第2レーザ光L2が第1非線形光学結晶3に入射されるようになっている。
そして第1非線形光学結晶3に第1レーザ光L1と第2レーザ光L2とが同時に入射されると、その入射タイミングと同じタイミングで上記テラヘルツ光TH1が発生するようになる。
他方、上記レーザ光照射手段6から発振されたパルスレーザの第2レーザ光L2は、その光路長分だけ遅れたタイミングで第1非線形光学結晶3に入射されることになるが、この際、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2と第2全反射ミラーM2との間に従来公知のタイミング調整手段T1が設けられており、該タイミング調整手段T1によって、上記第1レーザ光L1が上記第1非線形光学結晶3に入射されるタイミングに一致したタイミングで、第2レーザ光L2が第1非線形光学結晶3に入射されるようになっている。
そして第1非線形光学結晶3に第1レーザ光L1と第2レーザ光L2とが同時に入射されると、その入射タイミングと同じタイミングで上記テラヘルツ光TH1が発生するようになる。
上記導光手段11は、第2非線形光学結晶7と第1非線形光学結晶3と間で両者の光軸上に中心を一致させて配置した一対のシリンドリカルレンズ12、13を備えており、第2非線形光学結晶7に隣接する側のシリンドリカルレンズ12は、上記アイドラー光L1の発生点から該シリンドリカルレンズ12の焦点距離f(図2参照)だけ離して配置してある。これにより、上記シリンドリカルレンズ12を通過したアイドラー光L1は、上記光軸と平行な平行光に変換される。
なお、上記第2非線形光学結晶7から発生されるアイドラー光L1の断面形状は、図1の紙面と垂直の方向に横長の断面楕円形状となっており、したがって上記平行光も断面楕円形状となる。また上記シリンドリカルレンズ12、13はいずれも単焦点の同一構成のもので、BK7や石英ガラスなどの構成されている。これらシリンドリカルレンズ12、13は、球面平凸レンズから構成してもよい。
なお、上記第2非線形光学結晶7から発生されるアイドラー光L1の断面形状は、図1の紙面と垂直の方向に横長の断面楕円形状となっており、したがって上記平行光も断面楕円形状となる。また上記シリンドリカルレンズ12、13はいずれも単焦点の同一構成のもので、BK7や石英ガラスなどの構成されている。これらシリンドリカルレンズ12、13は、球面平凸レンズから構成してもよい。
図2に示すように、上記シリンドリカルレンズ12を通過したアイドラー光L1は上記光軸と平行な平行光に変換される。ただし、アイドラー光L1は所定の幅を有して発生するため、焦点位置fから生じたアイドラー光L1は平行光に変換されるものの、焦点位置fから光軸と直交する方向にずれて発生したアイドラー光L1は、シリンドリカルレンズ12から焦点距離fの位置で上記平行光と交差するように屈折される。
したがって、上記シリンドリカルレンズ12を通過したアイドラー光L1は、シリンドリカルレンズ12から焦点距離fの位置で収束されるとともにそこから拡散されてシリンドリカルレンズ13に入射されるようになる。
したがって、上記シリンドリカルレンズ12を通過したアイドラー光L1は、シリンドリカルレンズ12から焦点距離fの位置で収束されるとともにそこから拡散されてシリンドリカルレンズ13に入射されるようになる。
その結果、上記第2非線形光学結晶7から出射されたアイドラー光L1と、シリンドリカルレンズ13を通過して第1非線形光学結晶3に入射される第1レーザ光L1とは、2つのシリンドリカルレンズ12、13の中央の焦点位置fを通って光軸に直交する面に対して高精度に光学対称となり、したがって上記第2非線形光学結晶7から出射されたアイドラー光L1の光軸に対する出射角度と、シリンドリカルレンズ13を通過して第1非線形光学結晶3に入射される第1レーザ光L1の光軸に対する入射角度は実質的に同一となる。
この状態では、上記第1非線形光学結晶3と第2非線形光学結晶7とを同一構成としているので、第1非線形光学結晶3に入射される第1レーザ光L1は自動的に第1非線形光学結晶3に対する位相整合条件を満たした状態で該第1非線形光学結晶3に入射されるようになる。
この状態では、上記第1非線形光学結晶3と第2非線形光学結晶7とを同一構成としているので、第1非線形光学結晶3に入射される第1レーザ光L1は自動的に第1非線形光学結晶3に対する位相整合条件を満たした状態で該第1非線形光学結晶3に入射されるようになる。
本実施例では、図1に示すように、上記第1非線形光学結晶3から出力されるテラヘルツ光TH1を利用した検査手段16を設けてあり、上記テラヘルツ光TH1を容器や封筒あるいは生体試料などの被検査物17に透過させることによってその成分を検査することができるようにしてある。
上記検査手段16は、上述した導光手段11と同様な構成によってテラヘルツ光TH1を案内する導光手段18と、該導光手段18によって案内されたテラヘルツ光TH1が入射される第3非線形光学結晶19と、さらに該第3非線形光学結晶19から発生されたアイドラー光を検出光L4として入力する例えばCCDカメラのような撮影装置20とを備えている。
上記第3非線形光学結晶19は、上記レーザ光照射手段6から発振された第2レーザ光L2の光軸上に配置してあり、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2を通過した第2レーザ光L2を該第3非線形光学結晶19に入射させるようにしてある。本実施例では、上記第3非線形光学結晶19も上記第1非線形光学結晶3および第2非線形光学結晶7と同一の光学結晶を用いている。
上記検査手段16は、上述した導光手段11と同様な構成によってテラヘルツ光TH1を案内する導光手段18と、該導光手段18によって案内されたテラヘルツ光TH1が入射される第3非線形光学結晶19と、さらに該第3非線形光学結晶19から発生されたアイドラー光を検出光L4として入力する例えばCCDカメラのような撮影装置20とを備えている。
上記第3非線形光学結晶19は、上記レーザ光照射手段6から発振された第2レーザ光L2の光軸上に配置してあり、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2を通過した第2レーザ光L2を該第3非線形光学結晶19に入射させるようにしてある。本実施例では、上記第3非線形光学結晶19も上記第1非線形光学結晶3および第2非線形光学結晶7と同一の光学結晶を用いている。
上記第1非線形光学結晶3のテラヘルツ光TH1の発生する側の表面と、第3非線形光学結晶19のテラヘルツ光TH1が入射される側の表面とにそれぞれプリズム結合器23、24を設けてあり、両プリズム結合器23、24間に上記導光手段18を配置してある。
上記導光手段18は上記導光手段11と同様に一対のシリンドリカルレンズ25、26を備えており、両シリンドリカルレンズ25、26はそれぞれプリズム結合器23、24から焦点距離だけ離隔させて配置し、かつ両者の中間位置に上記被検査物17を配置するようにしてある。
これにより上記第1非線形光学結晶3のプリズム結合器23から射出されたテラヘルツ光TH1は、第1非線形光学結晶3に隣接する側のシリンドリカルレンズ25によってその光軸と平行な平行光に変換され、上記被検査物17を透過した後、第3非線形光学結晶19に隣接する側のシリンドリカルレンズ26によって収束されてプリズム結合器24を介して第3非線形光学結晶19に入射される。
上記導光手段18は上記導光手段11と同様に一対のシリンドリカルレンズ25、26を備えており、両シリンドリカルレンズ25、26はそれぞれプリズム結合器23、24から焦点距離だけ離隔させて配置し、かつ両者の中間位置に上記被検査物17を配置するようにしてある。
これにより上記第1非線形光学結晶3のプリズム結合器23から射出されたテラヘルツ光TH1は、第1非線形光学結晶3に隣接する側のシリンドリカルレンズ25によってその光軸と平行な平行光に変換され、上記被検査物17を透過した後、第3非線形光学結晶19に隣接する側のシリンドリカルレンズ26によって収束されてプリズム結合器24を介して第3非線形光学結晶19に入射される。
上述したように、上記第1非線形光学結晶3に第1レーザ光L1と第2レーザ光L2とが同時に入射されると、その入射タイミングと同じタイミングで上記テラヘルツ光TH1が発生するが、このパルス状のテラヘルツ光TH1は導光手段18の光路長分だけ遅れたタイミングで第3非線形光学結晶19に入射されるようになる。
他方、上記レーザ光照射手段6から発振されたパルスレーザの第2レーザ光L2は、その光路長分だけ遅れたタイミングで第3非線形光学結晶19に入射されることになるが、この際、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2と第3非線形光学結晶19との間に従来公知のタイミング調整手段T2が設けられており、該タイミング調整手段T2によって、上記テラヘルツ光TH1が上記第3非線形光学結晶19に入射されるタイミングに一致したタイミングで、第2レーザ光L2が第3非線形光学結晶19に入射されるようになっている。
他方、上記レーザ光照射手段6から発振されたパルスレーザの第2レーザ光L2は、その光路長分だけ遅れたタイミングで第3非線形光学結晶19に入射されることになるが、この際、上記第2偏光ビームスプリッタPBS2と第3非線形光学結晶19との間に従来公知のタイミング調整手段T2が設けられており、該タイミング調整手段T2によって、上記テラヘルツ光TH1が上記第3非線形光学結晶19に入射されるタイミングに一致したタイミングで、第2レーザ光L2が第3非線形光学結晶19に入射されるようになっている。
上記第1非線形光学結晶3と第3非線形光学結晶19とは上記一対のシリンドリカルレンズ25、26の中央位置を中心として光学対称となっており、上記第3非線形光学結晶19に上記テラヘルツ光TH1と第2レーザ光L2とが入射されると、第1非線形光学結晶3とは逆の現象によって第3非線形光学結晶19から検査光(アイドラー光)L4が生成される。そして該検査光L4は撮影装置20によって受光されたのち、吸収される波長成分をスペクトル解析することで、被検査物17の成分や特性等が検査される。
この際、上記検査光L4は、第3非線形光学結晶19に入力されるテラヘルツ光TH1が広い波長帯を有しているので、該検査光L4も広い波長帯を有することとなり、したがって広い波長帯のテラヘルツ光TH1によって被検査物17の成分等を一度で検査することができる。
また第3非線形光学結晶19を通過した第2レーザ光L2’は、ビームダンパ8’’によって吸収される。
この際、上記検査光L4は、第3非線形光学結晶19に入力されるテラヘルツ光TH1が広い波長帯を有しているので、該検査光L4も広い波長帯を有することとなり、したがって広い波長帯のテラヘルツ光TH1によって被検査物17の成分等を一度で検査することができる。
また第3非線形光学結晶19を通過した第2レーザ光L2’は、ビームダンパ8’’によって吸収される。
以上の構成を有するテラヘルツ光発生装置1において、上記連続レーザ光照射手段6の具体例としては、出力15mJ、波長1064nmのピコ秒パルスレーザを発振する半導体レーザを用いることができる。該連続レーザ光照射手段6から発振された第2レーザ光L2は、第1偏光ビームスプリッタPBS1により、一例として3mJと12mJとに分岐され、3mJの第2レーザ光L2が第2非線形光学結晶7に入力される。
また12mJの第2レーザ光L2は、第2偏光ビームスプリッタPBS2により、一例として7mJと5mJとに分岐され、7mJの第2レーザ光L2が第1非線形光学結晶3に入力され、5mJの第2レーザ光L2が第3非線形光学結晶19に入力される。
また12mJの第2レーザ光L2は、第2偏光ビームスプリッタPBS2により、一例として7mJと5mJとに分岐され、7mJの第2レーザ光L2が第1非線形光学結晶3に入力され、5mJの第2レーザ光L2が第3非線形光学結晶19に入力される。
上記第1〜第3非線形光学結晶3、7、19は全て同一のものを用いることが好ましく、例えばLiNbO3(ニオブ酸リチウム)を用いることができる。
上記波長1064nmの第2レーザ光L2をLiNbO3製の第2非線形光学結晶7に入射すると、波長1070〜1075nmの範囲のアイドラー光L1が得られる。
この波長範囲1070〜1075nmのアイドラー光L1を第1レーザ光L1としてLiNbO3製の第1非線形光学結晶3に入射すると、波長1〜3THzの範囲のテラヘルツ光TH1が得られる。
そして上記被検査物17を透過したテラヘルツ光TH1が第3非線形光学結晶19に入射されると、それによって波長1070〜1075nmの範囲の検査光L4を得ることができる。
上記波長1064nmの第2レーザ光L2をLiNbO3製の第2非線形光学結晶7に入射すると、波長1070〜1075nmの範囲のアイドラー光L1が得られる。
この波長範囲1070〜1075nmのアイドラー光L1を第1レーザ光L1としてLiNbO3製の第1非線形光学結晶3に入射すると、波長1〜3THzの範囲のテラヘルツ光TH1が得られる。
そして上記被検査物17を透過したテラヘルツ光TH1が第3非線形光学結晶19に入射されると、それによって波長1070〜1075nmの範囲の検査光L4を得ることができる。
上記実施例では、第1非線形光学結晶3によって広い波長帯のテラヘルツ光TH1を発生させるようにしているが、必要に応じて、狭い波長帯のテラヘルツ光TH1を選択的に発生させることが可能である。
その場合には、図2の想像線で示すように、一対のシリンドリカルレンズ12、13の中央の焦点位置に光の通過を阻止する波長選択手段31を設けて、該波長選択手段31に設けたスリットなどの光透過部32により、シリンドリカルレンズ12を通過した広い波長帯を有するアイドラー光L1から特定の波長のアイドラー光L1のみの透過を選択できるようにすればよい。
すなわち上述したように、アイドラー光L1は広い波長帯を有しているので、シリンドリカルレンズ12を通過したアイドラー光L1は、各波長毎にシリンドリカルレンズ12から焦点距離fの位置で収束されるとともにそこから拡散されてシリンドリカルレンズ13に入射されるようになる。
上記光透過部32は、実質的に1つの波長を選択可能なように、図2の紙面と垂直の方向に細い横長形状となっており、それによって広い波長帯を有しているアイドラー光L1から光透過部32を介して特定の波長のみの通過を許容し、その他の波長は該波長選択手段31によってその通過を遮断することができるようにしてある。
その場合には、図2の想像線で示すように、一対のシリンドリカルレンズ12、13の中央の焦点位置に光の通過を阻止する波長選択手段31を設けて、該波長選択手段31に設けたスリットなどの光透過部32により、シリンドリカルレンズ12を通過した広い波長帯を有するアイドラー光L1から特定の波長のアイドラー光L1のみの透過を選択できるようにすればよい。
すなわち上述したように、アイドラー光L1は広い波長帯を有しているので、シリンドリカルレンズ12を通過したアイドラー光L1は、各波長毎にシリンドリカルレンズ12から焦点距離fの位置で収束されるとともにそこから拡散されてシリンドリカルレンズ13に入射されるようになる。
上記光透過部32は、実質的に1つの波長を選択可能なように、図2の紙面と垂直の方向に細い横長形状となっており、それによって広い波長帯を有しているアイドラー光L1から光透過部32を介して特定の波長のみの通過を許容し、その他の波長は該波長選択手段31によってその通過を遮断することができるようにしてある。
このように、上記波長選択手段31に光透過部32を設けて特定の波長のみのアイドラー光L1の通過を許容するようにすれば、当該特定の波長のみの第1レーザ光L1を第1非線形光学結晶3に入射させることができるので、該第1非線形光学結晶3によって生成されるテラヘルツ光TH1も、上記特定の波長のみのアイドラー光L1に依存した特定の波長のみのテラヘルツ光TH1となる。
そしてテラヘルツ光TH1の波長を変更する際には、上記波長選択手段31を図2の矢印で示すアイドラー光L1の光軸と交差する上下方向に移動させ、それによってアイドラー光L1から光透過部32を介して通過される波長を変更することにより、容易に上記テラヘルツ光TH1の波長を変更することができる。
つまり上記光透過部32は、広い波長帯を有しているアイドラー光L1の断面形状の中で、長い波長から短い波長の方向に往復移動可能となっており、それによって必要な波長のアイドラー光L1を選択できるようになっている。
上記波長選択手段31の移動は、自動であっても手動であってもよく、あるいは光透過部32の位置を異ならせた複数の波長選択手段31を用意して、それらを交換するようにしてもよい。また波長選択手段31は一対のシリンドリカルレンズ12、13の中央の焦点位置に設けることが波長の選択の精度を高める点で好ましいが、必ずしもそれに限定されるわけではない。
そしてテラヘルツ光TH1の波長を変更する際には、上記波長選択手段31を図2の矢印で示すアイドラー光L1の光軸と交差する上下方向に移動させ、それによってアイドラー光L1から光透過部32を介して通過される波長を変更することにより、容易に上記テラヘルツ光TH1の波長を変更することができる。
つまり上記光透過部32は、広い波長帯を有しているアイドラー光L1の断面形状の中で、長い波長から短い波長の方向に往復移動可能となっており、それによって必要な波長のアイドラー光L1を選択できるようになっている。
上記波長選択手段31の移動は、自動であっても手動であってもよく、あるいは光透過部32の位置を異ならせた複数の波長選択手段31を用意して、それらを交換するようにしてもよい。また波長選択手段31は一対のシリンドリカルレンズ12、13の中央の焦点位置に設けることが波長の選択の精度を高める点で好ましいが、必ずしもそれに限定されるわけではない。
なお、上記実施例ではテラヘルツ光TH1を被検査物17に透過させることによってその成分を検査するようにしているが、被検査物17で反射されたテラヘルツ光TH1を検出することによってその成分を検査するようにしてもよい。
この場合には、被検査物17の図1における上方側に、つまり第1非線形光学結晶3側に第3非線形光学結晶19や撮影装置20を配置し、被検査物17で反射されたテラヘルツ光TH1をシリンドリカルレンズ26で集光させて第3非線形光学結晶19に設けたプリズム結合器24を介して第3非線形光学結晶19に入射させればよい。そして、第3非線形光学結晶19から生成された検査光L4を撮影装置20によって受光し、被検査物17で反射された波長成分をスペクトル解析することで、被検査物17の成分や特性等を検査することができる。
この場合には、被検査物17の図1における上方側に、つまり第1非線形光学結晶3側に第3非線形光学結晶19や撮影装置20を配置し、被検査物17で反射されたテラヘルツ光TH1をシリンドリカルレンズ26で集光させて第3非線形光学結晶19に設けたプリズム結合器24を介して第3非線形光学結晶19に入射させればよい。そして、第3非線形光学結晶19から生成された検査光L4を撮影装置20によって受光し、被検査物17で反射された波長成分をスペクトル解析することで、被検査物17の成分や特性等を検査することができる。
また、上記実施例では、第2非線形光学結晶7を透過した第2レーザ光L2’をビームダンパ8で吸収するようにしているが、該ビームダンパ8と第2偏光ビームスプリッタPBS2および第2全反射ミラーM2とを省略し、第2非線形光学結晶7を透過した第2レーザ光L2’を更に一対のシリンドリカルレンズ12、13を透過させて第2レーザ光L2として第1非線形光学結晶3に入射させるようにしてもよい。
また、上記実施例では、レーザ光照射手段6から発振されるパルスレーザをビームスプリッタPBS1、PBS2で分割して第1非線形光学結晶3、第2非線形光学結晶7、第3非線形光学結晶19に入射させているが、それぞれ別個にレーザ光照射手段を設けて、各レーザ光照射手段から各非線形光学結晶にそれぞれパルスレーザを入射させるようにしてもよい。この場合にも、上述したのと同様に各パルスレーザが第1非線形光学結晶3、第2非線形光学結晶7、第3非線形光学結晶19に入射するタイミングを調整する必要がある。
また、上記実施例では第1非線形光学結晶3と第2非線形光学結晶7とを同軸上に配置しているが、これに限定されるわけではなく、導光手段11によって案内された第1レーザ光L1が第1非線形光学結晶3に適正に入射されれば、該第1非線形光学結晶3を上記同軸上とは異なる位置に配置してもよい。
さらに上記第1ないし第3非線形光学結晶3、7、19としてLiNbO3を用いているが、これに限定されるわけではない。また第1ないし第3非線形光学結晶を全て同一構成のものとすれば適正な位相整合条件を得ることが容易となるが、必ずしもこれに限定されるわけではなく、異なる構成の非線形光学結晶を組み合わせることが可能である。さらに上述した各構成部材の材質や数値は一例であり、必要に応じて適宜の材質や数値を用いることができることは勿論である。
また、上記実施例では、レーザ光照射手段6から発振されるパルスレーザをビームスプリッタPBS1、PBS2で分割して第1非線形光学結晶3、第2非線形光学結晶7、第3非線形光学結晶19に入射させているが、それぞれ別個にレーザ光照射手段を設けて、各レーザ光照射手段から各非線形光学結晶にそれぞれパルスレーザを入射させるようにしてもよい。この場合にも、上述したのと同様に各パルスレーザが第1非線形光学結晶3、第2非線形光学結晶7、第3非線形光学結晶19に入射するタイミングを調整する必要がある。
また、上記実施例では第1非線形光学結晶3と第2非線形光学結晶7とを同軸上に配置しているが、これに限定されるわけではなく、導光手段11によって案内された第1レーザ光L1が第1非線形光学結晶3に適正に入射されれば、該第1非線形光学結晶3を上記同軸上とは異なる位置に配置してもよい。
さらに上記第1ないし第3非線形光学結晶3、7、19としてLiNbO3を用いているが、これに限定されるわけではない。また第1ないし第3非線形光学結晶を全て同一構成のものとすれば適正な位相整合条件を得ることが容易となるが、必ずしもこれに限定されるわけではなく、異なる構成の非線形光学結晶を組み合わせることが可能である。さらに上述した各構成部材の材質や数値は一例であり、必要に応じて適宜の材質や数値を用いることができることは勿論である。
1 テラヘルツ光発生装置 2 レーザ光生成手段
3 第1非線形光学結晶 6 レーザ光照射手段
7 第2非線形光学結晶 11 導光手段
12、13 シリンドリカルレンズ 16 検査手段
17 被検査物 19 第3非線形光学結晶
20 撮影装置 31 波長選択手段
32 光透過部 L1 第1レーザ光
L2 第2レーザ光 TH1 テラヘルツ光
3 第1非線形光学結晶 6 レーザ光照射手段
7 第2非線形光学結晶 11 導光手段
12、13 シリンドリカルレンズ 16 検査手段
17 被検査物 19 第3非線形光学結晶
20 撮影装置 31 波長選択手段
32 光透過部 L1 第1レーザ光
L2 第2レーザ光 TH1 テラヘルツ光
Claims (7)
- シード光としての第1レーザ光とポンプ光としての第2レーザ光とを生成するレーザ光生成手段と、上記第1レーザ光と第2レーザ光とが入射されてパラメトリック効果によりテラヘルツ光を発生する第1非線形光学結晶とを備えたテラヘルツ光発生装置において、
上記レーザ光生成手段は、上記第2レーザ光と同じ波長のレーザ光が入射されることによって複数の波長を含んだアイドラー光を発生させる第2非線形光学結晶を有しており、該第2非線形光学結晶から発生したアイドラー光を上記第1レーザ光として上記第1非線形光学結晶に入射させることによって、該第1非線形光学結晶から複数の波長を含むテラヘルツ光を発生させることを特徴とするテラヘルツ光発生装置。 - 上記第1非線形光学結晶と第2非線形光学結晶との間には、上記第2非線形光学結晶から発生したアイドラー光を導光して上記第1非線形光学結晶に入射させる導光手段が設けられており、
上記導光手段は、所定距離だけ離隔して配置した同一の焦点距離を有する一対のレンズから構成されるとともに、これら一対のレンズの軸心が同一直線上に位置するように配置され、さらに上記一対のレンズのうちの上記第2非線形光学結晶側のレンズは、当該第2非線形光学結晶における上記アイドラー光の発生点から上記焦点距離だけ離隔させて配置されていることを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ光発生装置。 - 上記第2非線形光学結晶から発生した複数の波長を含んだアイドラー光のうち、特定の波長のアイドラー光のみを通過させる光透過部を有する波長選択手段が設けられ、該波長選択手段の光透過部を通過させた特定の波長のアイドラー光に基づいて、上記第1非線形光学結晶から特定の波長のテラヘルツ光を発生させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のテラヘルツ光発生装置。
- 上記波長選択手段は、上記一対のレンズの間に配置されていることを特徴とする請求項3に記載のテラヘルツ光発生装置。
- 上記波長選択手段の光透過部をアイドラー光の光軸と交差する方向に移動させて、該光透過部を透過するアイドラー光の波長が変更可能となっていることを特徴とする請求項4に記載のテラヘルツ光発生装置。
- 上記一対のレンズは上記焦点距離の2倍の距離だけ離隔して配置されており、かつ上記波長選択手段は一対のレンズの中央位置に配置されていることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のテラヘルツ光発生装置。
- 上記テラヘルツ光発生装置は、上記第1非線形光学結晶から出力されたテラヘルツ光を被検査物に透過させてその成分を検査する検査手段を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のテラヘルツ光発生装置。
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