JP2017124619A - Liquid discharge head and liquid discharge device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid discharge head that can suppress variation in circulating flow rates of liquid flowing in the head.SOLUTION: The liquid discharge head comprises: a discharge port row in which a plurality of discharge ports for discharging liquid are arranged in a first direction; a pressure chamber in which are arranged recording elements; a flow path which communicates with the pressure chamber; a supply port row in which a plurality of supply ports, which extend in a second direction crossing a surface on which are arranged the recording elements to supply liquid to the flow path, are arranged along a first direction; a collecting port row in which a plurality of collecting ports, which extend along the second direction to collect liquid in the flow path, are arranged along the first direction; a first common supply flow path which extends in the first direction to supply liquid to the supply port row; a first common collecting flow path which extends in the first direction to collect liquid from the collecting port row; a supply-side first communicating port which extends in the second direction to supply liquid to the first common supply flow path; and a collection-side first communicating port which extends in the second direction to collect liquid from the first common collecting flow path. The head comprises at least either one of the supply-side first communicating ports and the collection-side first communicating ports, in plural numbers.SELECTED DRAWING: Figure 24

Description

本発明は、インク等の液体を吐出口から吐出可能な液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid ejection head and a liquid ejection apparatus capable of ejecting liquid such as ink from ejection ports.

インク等の液体を吐出して記録を行うインクジェット分野において、近年、記録用途が多岐に渡ってきており、高精細かつ高品位な記録の要求がさらに高まっている。記録の高精細化に対しては、複数の吐出口を高密度に配置することによって記録の解像度を上げる方法が知られている。また、さらなる高品位記録を実現するために、液滴の吐出速度の低下や色材濃度の変調の原因となる吐出口からの水分蒸発などによるインクの増粘を抑制することが必要となっている。   In the ink-jet field in which recording is performed by discharging a liquid such as ink, recording applications have been diversified in recent years, and the demand for high-definition and high-quality recording has further increased. A method for increasing the resolution of recording by arranging a plurality of discharge ports at a high density is known for high definition of recording. In addition, in order to realize further high-quality recording, it is necessary to suppress the increase in the viscosity of the ink due to moisture evaporation from the discharge port, which causes a decrease in the discharge speed of the droplets and the modulation of the color material density. Yes.

吐出口からの水分蒸発などによるインクの増粘を抑制する方法として、吐出口が配置されている圧力室のインクを強制的に流れさせることにより、圧力室内に滞留している増粘したインクを流出させる方法が知られている。しかしながら、各圧力室に流れるインクの循環流量のばらつきが大きくなったり、各圧力室の圧力のばらつきが大きくなったりすると、吐出口間で吐出特性や色材濃度の差異が大きくなってしまうという課題があった。この課題に対して、特許文献１には、圧力室の流路抵抗を、圧力室にインクを供給するための流路の流路抵抗および圧力室からインクを流出するための流路の流路抵抗の１／１００以下に保つ方法が記載されている。   As a method for suppressing ink thickening due to moisture evaporation from the discharge port, the ink in the pressure chamber in which the discharge port is disposed is forced to flow, so that the thickened ink staying in the pressure chamber is removed. A method of draining is known. However, when the variation in the circulation flow rate of the ink flowing through each pressure chamber increases or the variation in the pressure of each pressure chamber increases, the difference in discharge characteristics and color material concentration between the discharge ports increases. was there. In order to solve this problem, Patent Document 1 discloses a flow path resistance of a pressure chamber, a flow path resistance of a flow path for supplying ink to the pressure chamber, and a flow path of a flow path for discharging ink from the pressure chamber. A method for keeping the resistance to 1/100 or less is described.

特開２００９−１７９０４９号公報JP 2009-179049 A

しかしながら、複数の吐出口を高密度に配置するために、吐出口列を構成する吐出口の数を増加させたり、吐出口列同士の間隔を狭くしたりすると、特許文献１の方法では課題がある点を見出した。つまり、各圧力室に流れるインクの循環流量のばらつきや、各圧力室の圧力のばらつきを抑制することが困難になる場合があるということが分かった。吐出口列を構成する吐出口の数が増えると、吐出口列の列方向（吐出口の配列方向）における吐出口の分布が広くなる。そのため、吐出口列の列方向に並ぶ複数の圧力室間において、各圧力室に流れるインクの循環流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきが生じ易くなる。また、複数の吐出口列を高密度に配置すると、隣接する流路との関係で、吐出口列の列方向に延在する流路の幅（複数の吐出口列が並ぶ方向の長さ）を大きくすることは困難となる。そのため、圧力損失の影響が大きくなり、吐出口列の列方向に並ぶ複数の圧力室間において、各圧力室に流れるインクの循環流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきが生じてしまうことがある。   However, in order to arrange a plurality of discharge ports at high density, if the number of discharge ports constituting the discharge port array is increased or the interval between the discharge port arrays is narrowed, there is a problem with the method of Patent Document 1. I found a certain point. That is, it has been found that it may be difficult to suppress variations in the circulation flow rate of ink flowing in each pressure chamber and variations in pressure in each pressure chamber. As the number of ejection ports constituting the ejection port array increases, the distribution of ejection ports in the row direction of the ejection port array (the direction in which the ejection ports are arranged) becomes wider. Therefore, variations in the circulation flow rate of ink flowing in the pressure chambers and variations in pressure in the pressure chambers are likely to occur between the plurality of pressure chambers arranged in the row direction of the ejection port array. In addition, when a plurality of discharge port arrays are arranged at a high density, the width of the flow channel extending in the column direction of the discharge port columns (the length in the direction in which the plurality of discharge port columns are arranged) in relation to the adjacent flow channels It will be difficult to increase. For this reason, the effect of pressure loss is increased, and variation in the circulation flow rate of ink flowing in each pressure chamber and variation in pressure in each pressure chamber may occur between the plurality of pressure chambers arranged in the row direction of the ejection port array. is there.

そこで、本発明は上記課題に鑑み、複数の吐出口が高密度に配置された液体吐出ヘッドの流路に流れる液体の循環流量のばらつきや圧力のばらつきを抑制することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to suppress variations in the circulation flow rate and variations in pressure of a liquid flowing in a flow path of a liquid discharge head in which a plurality of discharge ports are arranged at high density.

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口が第１の方向に配列される吐出口列と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する記録素子が配される圧力室と、前記圧力室に連通する流路と、前記記録素子が配される面に対して交差する第２の方向に延在し前記流路に液体を供給するための複数の供給口が、前記第１の方向に沿って配列される供給口列と、前記第２の方向に延在し前記流路内の液体を回収するための複数の回収口が、前記第１の方向に沿って配列される回収口列と、前記第１の方向に延在し前記供給口列に液体を供給する第１共通供給流路と、前記第１の方向に延在し前記回収口列から液体を回収する第１共通回収流路と、前記第２の方向に延在し前記第１共通供給流路に液体を供給する供給側第１連通口と、前記第２の方向に延在し前記第１共通回収流路から液体を回収する回収側第１連通口と、を備え、前記供給側第１連通口および前記回収側第１連通口の少なくとも一方を複数備える。   The liquid discharge head according to the present invention includes a discharge port array in which a plurality of discharge ports that discharge liquid are arranged in the first direction, and a pressure at which a recording element that generates energy used to discharge the liquid is disposed. A plurality of supply ports for supplying a liquid to the flow path extending in a second direction intersecting the chamber, a flow path communicating with the pressure chamber, and a surface on which the recording element is disposed, A supply port array arranged along the first direction, and a plurality of recovery ports extending in the second direction and collecting the liquid in the flow path, extend along the first direction. A collection port array arranged, a first common supply passage extending in the first direction and supplying liquid to the supply port array, and a liquid extending from the collection port array extending in the first direction. A first common recovery channel for recovery, and a first supply side that extends in the second direction and supplies liquid to the first common supply channel A supply side first communication port that extends in the second direction and recovers the liquid from the first common recovery flow path, the supply side first communication port and the recovery side first communication A plurality of at least one of the mouths are provided.

本発明によれば、液体吐出ヘッド内を流れる液体の循環流量のばらつきや圧力のばらつきを抑制することができる。 According to the present invention, it is possible to suppress variations in the circulation flow rate and pressures of the liquid flowing in the liquid discharge head.

液体を吐出する液体吐出装置の概略構成を示した図である。It is the figure which showed schematic structure of the liquid discharge apparatus which discharges a liquid. 記録装置に適用される循環経路の第１循環形態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 1st circulation form of the circulation path applied to a recording device. 記録装置に適用される循環経路の第２循環形態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 2nd circulation form of the circulation path applied to a recording device. 液体吐出ヘッドへのインクの流入量の違いを示した概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a difference in the amount of ink flowing into a liquid ejection head. 液体吐出ヘッドを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the liquid discharge head. 液体吐出ヘッドを構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing each component or unit constituting the liquid discharge head. 第１〜第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。It is the figure which showed the surface and back surface of each flow path member of a 1st-3rd flow path member. 図７（ａ）のα部の吐出モジュールが搭載される面から示した透視図である。It is the perspective view shown from the surface where the discharge module of (alpha) part of Fig.7 (a) is mounted. 図８のＩＸ−ＩＸにおける断面を示した図である。It is the figure which showed the cross section in IX-IX of FIG. １つの吐出モジュールを示した斜視図と分解図である。It is the perspective view and exploded view which showed one discharge module. 記録素子基板を示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a recording element substrate. 記録素子基板および蓋部材の断面を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a cross section of a recording element substrate and a lid member. 記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示した平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a partially enlarged adjacent portion of a recording element substrate. 液体吐出ヘッドを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the liquid discharge head. 液体吐出ヘッドを示した斜視分解図である。It is a perspective exploded view showing a liquid discharge head. 第１流路部材を示した図である。It is the figure which showed the 1st flow path member. 記録素子基板と流路部材との液体の接続関係を示した透視図である。FIG. 6 is a perspective view illustrating a liquid connection relationship between a recording element substrate and a flow path member. 図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩにおける断面を示した図である。It is the figure which showed the cross section in XVIII-XVIII of FIG. １つの吐出モジュールを示した斜視図と分解図である。It is the perspective view and exploded view which showed one discharge module. 記録素子基板を示す模式図である。It is a schematic diagram showing a recording element substrate. 液体を吐出して記録を行うインクジェット記録装置を示した図である。1 is a diagram illustrating an ink jet recording apparatus that performs recording by discharging a liquid. 本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。FIG. 3 is an exploded view of a main part of the liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention. 第１の実施形態における液体吐出ヘッドの一部を切り出した分解図である。FIG. 3 is an exploded view of a part of the liquid ejection head in the first embodiment. 第１の実施形態における液体吐出ヘッドの一部を切り出した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a part of the liquid ejection head in the first embodiment. 第１の実施形態における液体吐出ヘッドの一部を切り出した等価回路図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram in which a part of the liquid ejection head in the first embodiment is cut out. 第１の実施形態における液体吐出ヘッドの一部を切り出した等価回路図および流路内の圧力分布を説明する図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram in which a part of the liquid ejection head according to the first embodiment is cut out and a diagram illustrating a pressure distribution in a flow path. 第１の実施形態における記録素子基板の上面図である。FIG. 3 is a top view of a recording element substrate in the first embodiment. 第１の実施形態における液体吐出ヘッドの一部の上面透過図である。3 is a top transparent view of a part of the liquid ejection head in the first embodiment. FIG. 本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。It is an exploded view of the principal part of the liquid discharge head in the 2nd Embodiment of this invention. 第２の実施形態における記録素子基板の上面図である。FIG. 6 is a top view of a recording element substrate in a second embodiment. 第２の実施形態における液体吐出ヘッドの一部の上面透過図である。FIG. 6 is a top transparent view of a part of a liquid ejection head in a second embodiment. 第２の実施形態における循環流量のばらつきを説明する図である。It is a figure explaining the dispersion | variation in the circulation flow volume in 2nd Embodiment. 本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。It is an exploded view of the principal part of the liquid discharge head in the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。It is an exploded view of the principal part of the liquid discharge head in the 4th Embodiment of this invention. 本発明を適用可能な液体吐出ヘッドの全体図である。1 is an overall view of a liquid discharge head to which the present invention can be applied. 本発明のインク供給系の１例を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining an example of the ink supply system of this invention. インク循環流の流量のばらつきの影響を説明する図である。It is a figure explaining the influence of the dispersion | variation in the flow volume of an ink circulation flow. 本発明の液体吐出ヘッドの作製工程の１例を示す図である。It is a figure which shows one example of the manufacturing process of the liquid discharge head of this invention. 第２の実施形態における記録素子基板の温度分布を説明する図である。It is a figure explaining the temperature distribution of the recording element board | substrate in 2nd Embodiment. 適用例１における液体吐出装置の概略説明図である。12 is a schematic explanatory diagram of a liquid ejection apparatus in Application Example 1. FIG. 第３循環形態を説明する図である。It is a figure explaining the 3rd circulation form. 適用例１における液体吐出ヘッドを説明する図である。10 is a diagram illustrating a liquid discharge head in Application Example 1. FIG. 適用例１における液体吐出ヘッドを説明する図である。10 is a diagram illustrating a liquid discharge head in Application Example 1. FIG. 適用例１における液体吐出ヘッドを説明する図である。10 is a diagram illustrating a liquid discharge head in Application Example 1. FIG. 適用例３における液体吐出装置の概略説明図である。12 is a schematic explanatory diagram of a liquid ejection apparatus in Application Example 3. 第４循環形態を説明する図である。It is a figure explaining the 4th circulation form. 適用例３における液体吐出ヘッドを説明する図である。12 is a diagram illustrating a liquid ejection head in Application Example 3. FIG. 適用例３における液体吐出ヘッドを説明する図である。12 is a diagram illustrating a liquid ejection head in Application Example 3. FIG.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置について説明する。   Hereinafter, a liquid discharge head and a liquid discharge apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

なお、本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わされた産業記録装置に適用可能である。本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置は、例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途にも用いることができる。   The liquid discharge head and the liquid discharge apparatus according to the present invention are used in an apparatus such as a printer, a copying machine, a facsimile having a communication system, a word processor having a printer unit, and an industrial recording apparatus combined with various processing apparatuses. Applicable. The liquid discharge head and the liquid discharge apparatus of the present invention can be used for applications such as biochip fabrication and electronic circuit printing, for example.

また、以下に述べる各適用例および各実施形態は、本発明の適切な具体例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本実施形態は、本明細書の実施形態やその他の具体的方法に限定されるものではない。   Further, each application example and each embodiment described below are appropriate specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are attached. However, the present embodiment is not limited to the embodiments of the present specification and other specific methods as long as the concept of the present invention is met.

以下に、本発明を適用可能な各適用例について説明する。   Hereinafter, each application example to which the present invention can be applied will be described.

（適用例１）
（インクジェット記録装置の説明）
図１は、本発明の液体を吐出する液体吐出装置、特にはインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置（以下、記録装置とも称す）１０００の概略構成を示した図である。記録装置１０００は、記録媒体２を搬送する搬送部１と、記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッド３とを備え、複数の記録媒体２を連続もしくは間欠に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。液体吐出ヘッド３は循環経路内の圧力（負圧）を制御する負圧制御ユニット２３０と、負圧制御ユニット２３０と流体連通した液体供給ユニット２２０と、液体供給ユニット２２０へのインクの供給および排出口となる液体接続部１１１と、筺体８０とを備えている。記録媒体２は、カット紙に限らず、連続したロール媒体であってもよい。液体吐出ヘッド３は、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクによるフルカラー記録が可能であり、液体を液体吐出ヘッド３へ供給する供給流路である液体供給手段、メインタンクおよびバッファタンク（後述する図２参照）が流体的に接続される。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体経路および電気信号経路については後述する。 (Application example 1)
(Description of inkjet recording apparatus)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a liquid ejection apparatus for ejecting a liquid according to the present invention, in particular, an ink jet recording apparatus (hereinafter also referred to as a recording apparatus) 1000 that performs recording by ejecting ink. The recording apparatus 1000 includes a transport unit 1 that transports the recording medium 2, and a line type (page wide type) liquid ejection head 3 that is disposed substantially orthogonal to the transport direction of the recording medium 2, and includes a plurality of recording media. This is a line type recording apparatus that performs continuous recording in one pass while conveying 2 continuously or intermittently. The liquid discharge head 3 includes a negative pressure control unit 230 that controls the pressure (negative pressure) in the circulation path, a liquid supply unit 220 that is in fluid communication with the negative pressure control unit 230, and supply and discharge of ink to the liquid supply unit 220. The liquid connection part 111 used as an exit and the housing 80 are provided. The recording medium 2 is not limited to cut paper but may be a continuous roll medium. The liquid discharge head 3 is capable of full-color recording with cyan C, magenta M, yellow Y, and black K inks, and includes a liquid supply means, a main tank, and a buffer tank, which are supply channels for supplying liquid to the liquid discharge head 3. (See FIG. 2 described later) are fluidly connected. The liquid discharge head 3 is electrically connected to an electric control unit that transmits power and a discharge control signal to the liquid discharge head 3. The liquid path and the electric signal path in the liquid discharge head 3 will be described later.

記録装置１０００は、インク等の液体を後述するタンクと液体吐出ヘッド３との間で循環させる形態のインクジェット記録装置である。その循環の形態は、液体吐出ヘッド３の下流側で２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）を可動することで循環させる第１循環形態と、液体吐出ヘッド３の上流側で２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）を可動することで循環させる第２循環形態とがある。以下、この循環の第１循環形態と第２循環形態とについて説明する。   The recording apparatus 1000 is an ink jet recording apparatus configured to circulate a liquid such as ink between a tank described later and the liquid ejection head 3. The circulation forms are a first circulation form in which two circulation pumps (for high pressure and low pressure) are circulated on the downstream side of the liquid discharge head 3 and two circulation pumps on the upstream side of the liquid discharge head 3. There is a second circulation form in which (for high pressure, low pressure) is circulated by moving. Hereinafter, the first circulation mode and the second circulation mode of the circulation will be described.

（第１循環形態の説明）
図２は、本適用例の記録装置１０００に適用される循環経路の第１循環形態を示す模式図である。液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２およびバッファタンク１００３等に流体的に接続されている。なお図２では、説明を簡略化するため、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫのインクの内の１色のインクが流動する経路のみを示しているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３および記録装置本体に設けられる。 (Description of first circulation mode)
FIG. 2 is a schematic diagram showing a first circulation form of a circulation path applied to the recording apparatus 1000 of this application example. The liquid discharge head 3 is fluidly connected to a first circulation pump (high pressure side) 1001, a first circulation pump (low pressure side) 1002, a buffer tank 1003, and the like. In FIG. 2, for the sake of simplicity, only the path through which one of the inks of cyan C, magenta M, yellow Y, and black K flows is shown. A circulation path is provided in the liquid discharge head 3 and the recording apparatus main body.

第１循環形態では、メインタンク１００６内のインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給され、その後、第２循環ポンプ１００４によって液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３の液体供給ユニット２２０に供給される。その後、液体供給ユニット２２０に接続された負圧制御ユニット２３０で異なる２つの負圧（高圧、低圧）に調整されたインクは、高圧側と低圧側の２つの流路に分かれて循環する。液体吐出ヘッド３内のインクは、液体吐出ヘッド３の下流の第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド内を循環し、液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３から排出されてバッファタンク１００３に戻る。   In the first circulation mode, the ink in the main tank 1006 is supplied to the buffer tank 1003 by the replenishment pump 1005, and then to the liquid supply unit 220 of the liquid discharge head 3 through the liquid connection portion 111 by the second circulation pump 1004. Supplied. Thereafter, the ink adjusted to two different negative pressures (high pressure and low pressure) by the negative pressure control unit 230 connected to the liquid supply unit 220 circulates in two flow paths on the high pressure side and the low pressure side. The ink in the liquid discharge head 3 circulates in the liquid discharge head by the action of the first circulation pump (high pressure side) 1001 and the first circulation pump (low pressure side) 1002 downstream of the liquid discharge head 3, and the liquid connection portion 111. Then, the liquid is discharged from the liquid discharge head 3 and returned to the buffer tank 1003.

サブタンクであるバッファタンク１００３は、メインタンク１００６と接続され、タンク内部と外部とを連通する不図示の大気連通口を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３とメインタンク１００６との間には、補充ポンプ１００５が設けられている。補充ポンプ１００５は、インクを吐出しての記録や吸引回復等、液体吐出ヘッド３の吐出口からインクを吐出（排出）することによって消費されたインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。   A buffer tank 1003 that is a sub tank is connected to the main tank 1006, has an air communication port (not shown) that communicates the inside and outside of the tank, and can discharge bubbles in the ink to the outside. A replenishment pump 1005 is provided between the buffer tank 1003 and the main tank 1006. The replenishment pump 1005 transports ink consumed by ejecting (discharging) ink from the ejection port of the liquid ejection head 3 from the main tank 1006 to the buffer tank 1003, such as recording by ink ejection and recovery of suction.

２つの第１循環ポンプ１００１、１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を引き出してバッファタンク１００３へ流す。第１循環ポンプとしては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的にはチューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態であってもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２を稼働することによって、それぞれ共通供給流路２１１、共通回収流路２１２内を所定流量のインクが流れる。このようにインクを流すことで、記録時の液体吐出ヘッド３の温度を最適の温度に維持している。液体吐出ヘッド３駆動時の所定流量は、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が記録画質に影響しない程度に維持可能である流量以上に設定することが好ましい。もっとも、あまりに大きな流量に設定すると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧損の影響により、各記録素子基板１０で負圧差が大きくなり画像の濃度ムラが生じてしまう。そのため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら流量を設定することが好ましい。   The two first circulation pumps 1001 and 1002 draw liquid from the liquid connection portion 111 of the liquid discharge head 3 and flow it to the buffer tank 1003. As the first circulation pump, a positive displacement pump having a quantitative liquid feeding capacity is preferable. Specific examples include a tube pump, a gear pump, a diaphragm pump, and a syringe pump. For example, a general constant flow valve or a relief valve may be arranged at the pump outlet to ensure a constant flow rate. When the liquid discharge head 3 is driven, the first circulation pump (high-pressure side) 1001 and the first circulation pump (low-pressure side) 1002 are operated, so that the inside of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 have a predetermined flow rate, respectively. Ink flows. By flowing ink in this way, the temperature of the liquid discharge head 3 during recording is maintained at an optimum temperature. The predetermined flow rate at the time of driving the liquid discharge head 3 is preferably set to be equal to or higher than a flow rate that can be maintained so that the temperature difference between the recording element substrates 10 in the liquid discharge head 3 does not affect the recording image quality. However, if the flow rate is set too high, the negative pressure difference is increased in each recording element substrate 10 due to the pressure loss of the flow path in the liquid discharge unit 300, resulting in uneven density of the image. Therefore, it is preferable to set the flow rate in consideration of the temperature difference and the negative pressure difference between the recording element substrates 10.

負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路に設けられている。この負圧制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の差等によって循環系におけるインクの流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力を予め設定した一定圧力に維持するように動作する。負圧制御ユニット２３０を構成する２つの負圧制御機構としては、負圧制御ユニット２３０よりも下流の圧力を、所望の設定圧を中心として一定の範囲以下の変動で制御できるものであれば、どのような機構を用いてもよい。一例としては所謂「減圧レギュレータ」と同様の機構を採用することができる。本適用例における循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧している。このようにすると、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。   The negative pressure control unit 230 is provided in a path between the second circulation pump 1004 and the liquid discharge unit 300. The negative pressure control unit 230 controls the pressure downstream of the negative pressure control unit 230 (that is, the liquid discharge unit 300 side) even when the ink flow rate in the circulation system fluctuates due to a difference in the discharge amount per unit area. It operates to maintain a preset constant pressure. As the two negative pressure control mechanisms constituting the negative pressure control unit 230, as long as the pressure downstream of the negative pressure control unit 230 can be controlled with a fluctuation within a certain range around a desired set pressure, Any mechanism may be used. As an example, a mechanism similar to a so-called “pressure reduction regulator” can be employed. In the circulation channel in this application example, the second circulation pump 1004 pressurizes the upstream side of the negative pressure control unit 230 via the liquid supply unit 220. In this way, the influence of the water head pressure on the liquid discharge head 3 of the buffer tank 1003 can be suppressed, so that the layout flexibility of the buffer tank 1003 in the recording apparatus 1000 can be expanded.

第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用できる。具体的には、ダイヤフラムポンプ等が適用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差をもって配置された水頭タンクでも適用可能である。図２に示したように負圧制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの負圧調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、相対的に高圧設定側（図２でＨと記載）、相対的に低圧設定側（図２でＬと記載）は、それぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１、共通回収流路２１２に接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、各記録素子基板と連通する個別流路２１５（個別供給流路２１３、個別回収流路２１４）が設けられている。共通供給流路２１１には、負圧制御機構Ｈが、共通回収流路２１２には負圧制御機構Ｌが接続されており、２つの共通流路間に差圧が生じている。そして、個別流路２１５は、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２と連通しているので、液体の一部が、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れ（図２の矢印）が発生する。   The second circulation pump 1004 may be any pump that has a lift pressure that is equal to or higher than a certain pressure in the range of the ink circulation flow rate that is used when the liquid discharge head 3 is driven, and a turbo pump or a positive displacement pump can be used. Specifically, a diaphragm pump or the like is applicable. Further, instead of the second circulation pump 1004, for example, a water head tank arranged with a certain water head difference with respect to the negative pressure control unit 230 can be applied. As shown in FIG. 2, the negative pressure control unit 230 includes two negative pressure adjustment mechanisms each having a different control pressure. Of the two negative pressure adjustment mechanisms, the relatively high pressure setting side (denoted as H in FIG. 2) and the relatively low pressure setting side (denoted as L in FIG. 2) pass through the liquid supply unit 220, respectively. Thus, the common supply flow path 211 and the common recovery flow path 212 in the liquid discharge unit 300 are connected. The liquid discharge unit 300 is provided with a common supply channel 211, a common recovery channel 212, and individual channels 215 (individual supply channel 213, individual recovery channel 214) communicating with each recording element substrate. A negative pressure control mechanism H is connected to the common supply flow path 211, and a negative pressure control mechanism L is connected to the common recovery flow path 212, and a differential pressure is generated between the two common flow paths. Since the individual flow path 215 communicates with the common supply flow path 211 and the common recovery flow path 212, a part of the liquid passes through the internal flow path of the recording element substrate 10 from the common supply flow path 211. A flow (arrow in FIG. 2) flowing to the common recovery flow path 212 is generated.

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内をそれぞれ通過するように液体を流しつつ、一部の液体が各記録素子基板１０内を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１および共通回収流路２１２を流れるインクによって記録素子基板１０の外部へ排出することができる。またこのような構成により、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることができる。これによって、吐出口内で増粘したインクの粘度を低下させることで、インクの増粘を抑制することができる。また、増粘したインクやインク中の異物を共通回収流路２１２へと排出することができる。このため、本適用例の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能となる。   In this way, in the liquid ejection unit 300, a part of the liquid passes through each recording element substrate 10 while flowing the liquid so as to pass through the common supply flow path 211 and the common recovery flow path 212. Flow occurs. Therefore, the heat generated in each recording element substrate 10 can be discharged to the outside of the recording element substrate 10 by the ink flowing through the common supply channel 211 and the common recovery channel 212. Further, with such a configuration, when recording is performed by the liquid ejection head 3, it is possible to cause ink to flow even in ejection ports and pressure chambers where ejection is not performed. As a result, the viscosity of the ink that has increased in viscosity within the ejection port is reduced, thereby suppressing the increase in the viscosity of the ink. Further, the thickened ink and the foreign matter in the ink can be discharged to the common recovery channel 212. For this reason, the liquid discharge head 3 of this application example can perform high-speed and high-quality recording.

（第２循環形態の説明）
図３は、本適用例の記録装置に適用される循環経路のうち、上述した第１循環形態とは異なる循環形態である第２循環形態を示す模式図である。前述の第１循環形態との主な相違点は、負圧制御ユニット２３０を構成する２つの負圧制御機構が共に、負圧制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を、所望の設定圧を中心として一定範囲内の変動で制御する点である。また、第１循環形態との相違点として、第２循環ポンプ１００４が負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧する負圧源として作用する点がある。更に、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置され、負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている点も相違する点である。 (Description of second circulation mode)
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a second circulation form that is a circulation form different from the first circulation form described above, among the circulation paths applied to the recording apparatus of the present application example. The main difference from the first circulation mode described above is that the two negative pressure control mechanisms constituting the negative pressure control unit 230 are both centered on the pressure upstream of the negative pressure control unit 230 and the desired set pressure. It is a point to control with fluctuation within a certain range. Further, the difference from the first circulation mode is that the second circulation pump 1004 acts as a negative pressure source for reducing the pressure downstream of the negative pressure control unit 230. Further, a first circulation pump (high pressure side) 1001 and a first circulation pump (low pressure side) 1002 are arranged on the upstream side of the liquid discharge head 3, and a negative pressure control unit 230 is arranged on the downstream side of the liquid discharge head 3. This is also different.

第２循環形態では、メインタンク１００６内のインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給される。その後インクは２つの流路に分けられ、液体吐出ヘッド３に設けられた負圧制御ユニット２３０の作用で高圧側と低圧側の２つの流路で循環する。高圧側と低圧側の２つの流路に分けられたインクは、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３に供給される。その後、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド内を循環したインクは、負圧制御ユニット２３０を経て、液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３から排出される。排出されたインクは、第２循環ポンプ１００４によってバッファタンク１００３に戻される。   In the second circulation mode, the ink in the main tank 1006 is supplied to the buffer tank 1003 by the replenishment pump 1005. Thereafter, the ink is divided into two flow paths, and circulates in the two flow paths on the high pressure side and the low pressure side by the action of the negative pressure control unit 230 provided in the liquid ejection head 3. The ink divided into the two flow paths on the high-pressure side and the low-pressure side is supplied to the liquid discharge head 3 via the liquid connection portion 111 by the action of the first circulation pump (high-pressure side) 1001 and the first circulation pump (low-pressure side) 1002. To be supplied. Thereafter, the ink circulated in the liquid discharge head by the action of the first circulation pump (high-pressure side) 1001 and the first circulation pump (low-pressure side) 1002 passes through the negative pressure control unit 230 and passes through the liquid connection portion 111. It is discharged from the discharge head 3. The discharged ink is returned to the buffer tank 1003 by the second circulation pump 1004.

第２循環形態で負圧制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の変化等によって生じる流量の変動があっても、負圧制御ユニット２３０の上流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力変動を予め設定された圧力を中心として一定範囲内に安定させる。本適用例の循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の下流側を加圧している。このようにすると液体吐出ヘッド３に対するバッファタンク１００３の水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの選択幅を広げることができる。第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差をもって配置された水頭タンクであっても適用可能である。第２循環形態は第１循環形態と同様に、負圧制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの負圧制御機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、高圧設定側（図３でＨと記載）、低圧設定側（図３でＬと記載）はそれぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１または共通回収流路２１２に接続されている。２つの負圧調整機構により、共通供給流路２１１の圧力を共通回収流路２１２の圧力より相対的に高くすることで、共通供給流路２１１から個別流路２１５および各記録素子基板１０の内部流路を介して共通回収流路２１２へと流れる液体の流れが発生する。   In the second circulation mode, the negative pressure control unit 230 changes the pressure on the upstream side of the negative pressure control unit 230 (that is, the liquid discharge unit 300 side) even if the flow rate changes due to the change in the discharge amount per unit area or the like. Is stabilized within a certain range around a preset pressure. In the circulation channel of this application example, the second circulation pump 1004 pressurizes the downstream side of the negative pressure control unit 230 via the liquid supply unit 220. In this way, since the influence of the water head pressure of the buffer tank 1003 on the liquid discharge head 3 can be suppressed, the selection range of the layout of the buffer tank 1003 in the recording apparatus 1000 can be widened. Instead of the second circulation pump 1004, for example, a water head tank arranged with a predetermined water head difference with respect to the negative pressure control unit 230 can be applied. In the second circulation mode, similarly to the first circulation mode, the negative pressure control unit 230 includes two negative pressure control mechanisms in which different control pressures are set. Of the two negative pressure adjusting mechanisms, the high pressure setting side (denoted as H in FIG. 3) and the low pressure setting side (denoted as L in FIG. 3) pass through the liquid supply unit 220, respectively, in the liquid discharge unit 300. Are connected to the common supply channel 211 or the common recovery channel 212. By making the pressure of the common supply flow path 211 relatively higher than the pressure of the common recovery flow path 212 by two negative pressure adjusting mechanisms, the internal flow paths from the common supply flow path 211 to the individual flow paths 215 and the inside of each recording element substrate 10 A liquid flow that flows to the common recovery channel 212 via the channel is generated.

このような第２循環形態では、液体吐出ユニット３００内には第１循環形態と同様の液体の流れ状態が得られるが、第１循環形態の場合とは異なる２つの利点がある。１つ目の利点は、第２循環形態では負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されているので、負圧制御ユニット２３０から発生するゴミや異物が液体吐出ヘッド３へ流入する懸念が少ないことである。２つ目の利点は、第２循環形態では、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３へ供給する必要流量の最大値が、第１循環形態の場合よりも少なくて済むことである。その理由は次の通りである。   In such a second circulation mode, a liquid flow state similar to that in the first circulation mode is obtained in the liquid discharge unit 300, but there are two advantages different from the case of the first circulation mode. The first advantage is that, in the second circulation mode, the negative pressure control unit 230 is disposed downstream of the liquid discharge head 3, so that dust and foreign matters generated from the negative pressure control unit 230 flow into the liquid discharge head 3. There is little concern to do. The second advantage is that in the second circulation mode, the maximum required flow rate supplied from the buffer tank 1003 to the liquid ejection head 3 is smaller than in the first circulation mode. The reason is as follows.

記録待機時に循環している場合の、共通供給流路２１１および共通回収流路２１２内の流量の合計を流量Ａとする。流量Ａの値は、記録待機中に液体吐出ヘッド３の温度調整にあたり、液体吐出ユニット３００内の温度差を所望の範囲内にするために必要な最小限の流量として定義される。また液体吐出ユニット３００の全ての吐出口からインクを吐出する場合（全吐出時）の吐出流量を流量Ｆ（１吐出口当りの吐出量×単位時間当たりの吐出周波数×吐出口数）と定義する。   The total of the flow rates in the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 when circulating during recording standby is defined as a flow rate A. The value of the flow rate A is defined as the minimum flow rate required to bring the temperature difference in the liquid discharge unit 300 within a desired range when adjusting the temperature of the liquid discharge head 3 during recording standby. Further, a discharge flow rate when ink is discharged from all the discharge ports of the liquid discharge unit 300 (at the time of full discharge) is defined as a flow rate F (discharge amount per discharge port × discharge frequency per unit time × number of discharge ports).

図４は、第１循環形態と第２循環形態とにおける、液体吐出ヘッド３へのインクの流入量の違いを示した概略図である。図４（ａ）は、第１循環形態における待機時を示しており、図４（ｂ）は、第１循環形態における全吐出時を示している。図４（ｃ）から図４（ｆ）は、第２循環流路を示しており、図４（ｃ）、（ｄ）が流量Ｆ＜流量Ａの場合で、図４（ｅ）、（ｆ）が流量Ｆ＞流量Ａの場合であり、それぞれ、待機時と全吐出時の流量を示している。   FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a difference in the amount of ink flowing into the liquid ejection head 3 between the first circulation mode and the second circulation mode. 4A shows the standby time in the first circulation mode, and FIG. 4B shows the full discharge time in the first circulation mode. FIGS. 4 (c) to 4 (f) show the second circulation flow path. FIGS. 4 (c) and 4 (d) show the case where the flow rate F <the flow rate A, and FIGS. ) Is the case where the flow rate F> the flow rate A, and shows the flow rates during standby and full discharge, respectively.

定量的な送液能力を有する第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されている第１循環形態の場合（図４（ａ）、（ｂ））、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２の合計設定流量は流量Ａとなる。この流量Ａによって、待機時の液体吐出ユニット３００内の温度管理が可能となる。そして、液体吐出ヘッド３で全吐出が行われる場合、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２の合計設定流量は流量Ａのままである。しかし、液体吐出ヘッド３へ供給される最大流量は、液体吐出ヘッド３で吐出によって生じる負圧が作用して、合計設定流量の流量Ａに全吐出による消費分の流量Ｆが加算される。よって、液体吐出ヘッド３への供給量の最大値は、流量Ｆが流量Ａに加算されるため流量Ａ＋流量Ｆとなる（図４（ｂ））。   In the case of the first circulation mode in which the first circulation pump 1001 and the first circulation pump 1002 having a quantitative liquid feeding capacity are arranged on the downstream side of the liquid discharge head 3 (FIGS. 4A and 4B), The total set flow rate of the first circulation pump 1001 and the first circulation pump 1002 is the flow rate A. With this flow rate A, the temperature in the liquid discharge unit 300 during standby can be managed. When the liquid discharge head 3 performs full discharge, the total set flow rate of the first circulation pump 1001 and the first circulation pump 1002 remains at the flow rate A. However, the maximum flow rate supplied to the liquid ejection head 3 is caused by the negative pressure generated by the ejection of the liquid ejection head 3, and the flow rate F corresponding to the total ejection is added to the total flow rate A. Therefore, since the flow rate F is added to the flow rate A, the maximum value of the supply amount to the liquid ejection head 3 becomes the flow rate A + the flow rate F (FIG. 4B).

一方で、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている第２循環形態の場合（図４（ｃ）から図４（ｆ））は、記録待機時に必要な液体吐出ヘッド３への供給量は、第１循環形態と同様に流量Ａである。従って、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２が液体吐出ヘッド３の上流側に配置されている第２循環形態では、流量Ｆよりも流量Ａが多い場合（図４（ｃ）、（ｄ））には、全吐出時でも液体吐出ヘッド３への供給量は流量Ａで十分である。その際、液体吐出ヘッド３からの排出流量は、流量Ａ−流量Ｆとなる（図４（ｄ））。しかし、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合（図４（ｅ）、（ｆ））には、全吐出時には液体吐出ヘッド３への供給流量を流量Ａとすると流量が足りなくなってしまう。そのため、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合には、液体吐出ヘッド３への供給量を流量Ｆとする必要がある。その際、全吐出が行われると、液体吐出ヘッド３では流量Ｆが消費されるため、液体吐出ヘッド３からの排出流量は、ほとんど排出されない状態となる（図４（ｆ））。なお、流量Ａよりも流量Ｆが多い場合で、吐出は行うが全吐出ではない場合には、流量Ｆから吐出で消費された分が引かれた量が液体吐出ヘッド３から排出される。また、流量Ａと流量Ｆとが等しい場合には、液体吐出ヘッド３へは流量Ａ（または流量Ｆ）が供給されて、液体吐出ヘッド３では流量Ｆが消費されるため、液体吐出ヘッド３からの排出流量は、ほとんど排出されない状態となる。   On the other hand, in the case of the second circulation mode in which the first circulation pump 1001 and the first circulation pump 1002 are arranged on the upstream side of the liquid discharge head 3 (FIG. 4C to FIG. 4F), the recording standby The supply amount to the liquid discharge head 3 that is sometimes required is the flow rate A as in the first circulation mode. Therefore, in the second circulation mode in which the first circulation pump 1001 and the first circulation pump 1002 are arranged on the upstream side of the liquid discharge head 3, the flow rate A is higher than the flow rate F (FIG. 4C, (d )), The flow rate A is sufficient for the supply amount to the liquid discharge head 3 even during full discharge. At that time, the discharge flow rate from the liquid discharge head 3 is flow rate A−flow rate F (FIG. 4D). However, when the flow rate F is higher than the flow rate A (FIGS. 4E and 4F), the flow rate becomes insufficient if the supply flow rate to the liquid ejection head 3 is the flow rate A at the time of full ejection. Therefore, when the flow rate F is higher than the flow rate A, the supply amount to the liquid ejection head 3 needs to be the flow rate F. At this time, if the full discharge is performed, the flow rate F is consumed in the liquid discharge head 3, and therefore, the discharge flow rate from the liquid discharge head 3 is hardly discharged (FIG. 4F). When the flow rate F is higher than the flow rate A and discharge is performed but not all discharges, an amount obtained by subtracting the amount consumed by the discharge from the flow rate F is discharged from the liquid discharge head 3. When the flow rate A and the flow rate F are equal, the flow rate A (or flow rate F) is supplied to the liquid discharge head 3 and the flow rate F is consumed in the liquid discharge head 3. The discharge flow rate is almost not discharged.

このように、第２循環形態の場合、第１循環ポンプ１００１および第１循環ポンプ１００２の設定流量の合計値、即ち必要供給流量の最大値は、流量Ａまたは流量Ｆの大きい方の値となる。このため、同一構成の液体吐出ユニット３００を使用する限り、第２循環形態における必要供給量の最大値（流量Ａまたは流量Ｆ）は、第１循環形態における必要供給流量の最大値（流量Ａ＋流量Ｆ）よりも小さくなる。   As described above, in the case of the second circulation mode, the total value of the set flow rates of the first circulation pump 1001 and the first circulation pump 1002, that is, the maximum value of the necessary supply flow rate is the larger value of the flow rate A or the flow rate F. . Therefore, as long as the liquid discharge unit 300 having the same configuration is used, the maximum value of the required supply amount (flow rate A or flow rate F) in the second circulation mode is the maximum value of the required supply flow rate (flow rate A + flow rate) in the first circulation mode. Smaller than F).

そのため第２循環形態の場合、適用可能な循環ポンプの自由度が高まり、例えば構成の簡便な低コストの循環ポンプを使用したり、本体側経路に設置される冷却器（不図示）の負荷を低減したりすることができ、記録装置のコストを低減できるという利点がある。この利点は、流量Ａまたは流量Ｆの値が比較的大きくなるラインヘッドであるほど大きくなり、ラインヘッドの中でも長手方向の長さが長いラインヘッドほど有益である。   Therefore, in the case of the second circulation mode, the degree of freedom of the applicable circulation pump is increased. For example, a low-cost circulation pump with a simple configuration is used, or a load of a cooler (not shown) installed in the main body side path is reduced. There is an advantage that the cost of the recording apparatus can be reduced. This advantage increases as the line head has a relatively large value of the flow rate A or the flow rate F. Among line heads, a line head having a long length in the longitudinal direction is more beneficial.

しかしながら一方で、第１循環形態の方が、第２循環形態に対して有利になる点もある。すなわち第２循環形態では、記録待機時に液体吐出ユニット３００内を流れる流量が最大であるため、単位面積当たりの吐出量が少ない画像（以下、低Ｄｕｔｙ画像ともいう）であるほど、各吐出口に高い負圧が印加された状態となる。このため、流路幅が狭く高い負圧である場合、ムラの見えやすい低Ｄｕｔｙ画像で吐出口に高い負圧が印加されるため、インクの主滴に伴って吐出される所謂サテライト滴が多く発生して記録品位が低下する虞がある。   On the other hand, however, the first circulation mode is advantageous over the second circulation mode. That is, in the second circulation mode, the flow rate that flows through the liquid ejection unit 300 during recording standby is maximum, so that the smaller the amount of ejection per unit area (hereinafter also referred to as a low-duty image), A high negative pressure is applied. For this reason, when the flow path width is narrow and the negative pressure is high, a high negative pressure is applied to the discharge port in a low-duty image in which unevenness is easily visible, so that many so-called satellite droplets are discharged along with the main ink droplets. It may occur and the recording quality may deteriorate.

一方、第１循環形態の場合、高い負圧が吐出口に印加されるのは単位面積当たりの吐出量が多い画像（以下、高Ｄｕｔｙ画像ともいう）形成時であるため、仮にサテライト滴が発生しても視認されにくく、画像への影響は小さいという利点がある。これら２つの循環形態の選択は、液体吐出ヘッドおよび記録装置本体の仕様（吐出流量Ｆ、最小循環流量Ａ、およびヘッド内流路抵抗）に照らして好ましい選択を採ることができる。   On the other hand, in the case of the first circulation mode, since a high negative pressure is applied to the discharge port when an image with a large discharge amount per unit area (hereinafter also referred to as a high duty image) is formed, satellite droplets are temporarily generated. Even if it is difficult to see, there is an advantage that the influence on the image is small. These two circulation modes can be selected in light of the specifications of the liquid discharge head and the recording apparatus main body (discharge flow rate F, minimum circulation flow rate A, and in-head flow path resistance).

（第３循環形態の説明）
図４１は、本実施形態の記録装置に適用される循環経路の１形態である第３循環形態を示す模式図である。上記第１および第２循環形態と同様な機能、構成については説明を省略し、異なる点について主体的に説明する。 (Description of third circulation mode)
FIG. 41 is a schematic diagram showing a third circulation form which is one form of a circulation path applied to the recording apparatus of the present embodiment. A description of functions and configurations similar to those in the first and second circulation modes will be omitted, and different points will be mainly described.

本循環形態では、液体吐出ヘッド３の中央部の２個所と、液体吐出ヘッド３の一端側の計３か所から液体吐出ヘッド３内に液体が供給される。液体は、共通供給流路２１１から各圧力室２３を経た後に共通回収流路２１２に回収され、液体吐出ヘッド３の他端部にある回収開口から外部へ回収される。個別流路２１３は共通供給流路２１１および共通回収流路２１２と連通しており、各個別流路２１３の経路中に記録素子基板１０およびその記録素子基板内に配される圧力室２３が設けられている。よって、第１循環ポンプ１００２で流す液体の一部は、供給流路２１１から記録素子基板１０の圧力室２３内を通過して、共通回収流路２１２へと流れる（図４１の矢印）。これは、共通供給流路２１１に接続された圧力調整機構Ｈと、共通回収流路２１２に接続された圧力調整機構Ｌとの間に圧力差が設けられ、第１循環ポンプ１００２が共通回収流路２１２のみに接続されているからである。   In this circulation mode, the liquid is supplied into the liquid discharge head 3 from two places in the center of the liquid discharge head 3 and a total of three places on one end side of the liquid discharge head 3. The liquid passes through the pressure chambers 23 from the common supply flow path 211 and is then recovered in the common recovery flow path 212 and is recovered to the outside from the recovery opening at the other end of the liquid discharge head 3. The individual flow path 213 communicates with the common supply flow path 211 and the common recovery flow path 212, and the recording element substrate 10 and the pressure chamber 23 disposed in the recording element substrate are provided in the path of each individual flow path 213. It has been. Therefore, a part of the liquid that flows through the first circulation pump 1002 flows from the supply channel 211 into the common recovery channel 212 through the pressure chamber 23 of the recording element substrate 10 (arrow in FIG. 41). This is because a pressure difference is provided between the pressure adjustment mechanism H connected to the common supply flow path 211 and the pressure adjustment mechanism L connected to the common recovery flow path 212, so that the first circulation pump 1002 can perform the common recovery flow. This is because it is connected only to the path 212.

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通回収流路２１２内を通過するような液体の流れと、共通供給流路２１１から各記録素子基板１０内の圧力室２３を通過し共通回収流路２１２に流れが発生する。このため、圧力損失の増大を抑制しつつ、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１から共通回収流路２１２への流れで記録素子基板１０の外部へ排出することが出来る。また、本循環経路によれば、上記第１および第２の循環経路に比べて液体の輸送手段であるポンプの数を少なくすることが可能となる。   In this way, in the liquid ejection unit 300, the liquid flow that passes through the common recovery channel 212 and the common recovery channel that passes from the common supply channel 211 to the pressure chamber 23 in each recording element substrate 10. A flow occurs at 212. Therefore, heat generated in each recording element substrate 10 can be discharged to the outside of the recording element substrate 10 by the flow from the common supply channel 211 to the common recovery channel 212 while suppressing an increase in pressure loss. Further, according to this circulation path, it is possible to reduce the number of pumps which are liquid transporting means as compared with the first and second circulation paths.

（液体吐出ヘッド構成の説明）
適用例１に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図５（ａ）および図５（ｂ）は、本適用例に係る液体吐出ヘッド３を示した斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つの記録素子基板１０でシアンＣ／マゼンタＭ／イエロＹ／ブラックＫの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線上に１５個配列（インラインに配置）されるライン型の液体吐出ヘッドである。 (Description of liquid discharge head configuration)
The configuration of the liquid ejection head 3 according to Application Example 1 will be described. FIG. 5A and FIG. 5B are perspective views showing the liquid ejection head 3 according to this application example. In the liquid discharge head 3, 15 recording element substrates 10 capable of discharging ink of four colors of cyan C / magenta M / yellow Y / black K are arranged in a straight line (arranged inline). This is a line type liquid discharge head.

図５（ａ）に示すように液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０および電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は、記録装置１０００の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号および吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１および電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくすることができる。これにより、記録装置１０００に対して液体吐出ヘッド３を組み付ける時または液体吐出ヘッドの交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。   As shown in FIG. 5A, the liquid ejection head 3 includes each recording element substrate 10, a signal input terminal 91 and a power supply terminal 92 electrically connected via the flexible wiring substrate 40 and the electric wiring substrate 90. Prepare. The signal input terminal 91 and the power supply terminal 92 are electrically connected to the control unit of the recording apparatus 1000, and supply an ejection drive signal and electric power necessary for ejection to the recording element substrate 10, respectively. By consolidating the wiring by the electric circuit in the electric wiring board 90, the number of the signal input terminals 91 and the power supply terminals 92 can be reduced as compared with the number of the recording element boards 10. This reduces the number of electrical connections that need to be removed when the liquid ejection head 3 is assembled to the recording apparatus 1000 or when the liquid ejection head is replaced.

図５（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これによりシアンＣ／マゼンタＭ／イエロＹ／ブラックＫ４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収されるようになっている。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。   As shown in FIG. 5B, the liquid connection portions 111 provided at both ends of the liquid ejection head 3 are connected to the liquid supply system of the recording apparatus 1000. Accordingly, cyan C / magenta M / yellow Y / black K four color inks are supplied from the supply system of the recording apparatus 1000 to the liquid discharge head 3, and ink that has passed through the liquid discharge head 3 is supplied to the supply system of the recording apparatus 1000. It has come to be collected. As described above, the ink of each color can be circulated through the path of the recording apparatus 1000 and the path of the liquid discharge head 3.

図６は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０および電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には液体接続部１１１（図３参照）が設けられるとともに、液体供給ユニット２２０の内部には、供給されるインク中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図２、図３参照）が設けられている。２つの液体供給ユニット２２０は、それぞれに２色分ずつのフィルタ２２１が設けられている。フィルタ２２１を通過した液体は、それぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。負圧制御ユニット２３０は、各色別の負圧制御弁からなるユニットであり、それぞれの内部に設けられる弁やバネ部材などの働きで液体の流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧損変化を大幅に減衰させる。これによって負圧制御ユニット２３０は、負圧制御ユニットよりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定範囲内で安定化させることが可能である。各色の負圧制御ユニット２３０内には、図２で記述したように各色２つの負圧制御弁が内蔵されている。２つの負圧制御弁は、それぞれ異なる制御圧力に設定され、高圧側が液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１（図２参照）、低圧側が共通回収流路２１２（図２参照）と液体供給ユニット２２０を介して連通している。   FIG. 6 is an exploded perspective view showing each component or unit constituting the liquid ejection head 3. The liquid discharge unit 300, the liquid supply unit 220, and the electric wiring substrate 90 are attached to the housing 80. The liquid supply unit 220 is provided with a liquid connection portion 111 (see FIG. 3), and the liquid supply unit 220 communicates with each opening of the liquid connection portion 111 in order to remove foreign matter in the supplied ink. A filter 221 (see FIGS. 2 and 3) for each color is provided. The two liquid supply units 220 are each provided with filters 221 for two colors. The liquid that has passed through the filter 221 is supplied to the negative pressure control unit 230 disposed on the liquid supply unit 220 corresponding to each color. The negative pressure control unit 230 is a unit composed of a negative pressure control valve for each color, and the inside of the supply system of the recording apparatus 1000 that is generated in accordance with the fluctuation of the liquid flow rate by the action of a valve, a spring member, or the like provided in each of the negative pressure control units. A change in pressure loss of the (supply system upstream of the liquid discharge head 3) is greatly attenuated. Thus, the negative pressure control unit 230 can stabilize the negative pressure change on the downstream side (liquid ejection unit 300 side) from the negative pressure control unit within a certain range. In the negative pressure control unit 230 for each color, two negative pressure control valves for each color are incorporated as described in FIG. The two negative pressure control valves are set to different control pressures, and the high pressure side is supplied with the common supply channel 211 (see FIG. 2) in the liquid discharge unit 300, and the low pressure side is supplied with the common recovery channel 212 (see FIG. 2). It communicates via the unit 220.

筐体８０は、液体吐出ユニット支持部８１および電気配線基板支持部８２とから構成され、液体吐出ユニット３００および電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持するためのものであり、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は、液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する役割を有し、それにより記録物におけるスジやムラを抑制する。そのため液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材質としてはＳＵＳやアルミなどの金属材料、もしくはアルミナなどのセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴムを介して液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。   The casing 80 includes a liquid discharge unit support part 81 and an electric wiring board support part 82, supports the liquid discharge unit 300 and the electric wiring board 90, and ensures the rigidity of the liquid discharge head 3. The electric wiring board support part 82 is for supporting the electric wiring board 90 and is fixed to the liquid discharge unit support part 81 by screws. The liquid discharge unit support portion 81 has a role of correcting the warp and deformation of the liquid discharge unit 300 and ensuring the relative positional accuracy of the plurality of recording element substrates 10, thereby suppressing streaks and unevenness in the recorded matter. . Therefore, the liquid discharge unit support portion 81 preferably has sufficient rigidity, and a metal material such as SUS or aluminum, or a ceramic such as alumina is preferable as the material. The liquid discharge unit support portion 81 is provided with openings 83 and 84 into which the joint rubber 100 is inserted. The liquid supplied from the liquid supply unit 220 is guided to the third flow path member 70 constituting the liquid discharge unit 300 via the joint rubber.

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００、流路部材２１０からなり、液体吐出ユニット３００の記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、図６に示したように長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０および封止部材１１０（後述する図１０参照）が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。   The liquid discharge unit 300 includes a plurality of discharge modules 200 and a flow path member 210, and a cover member 130 is attached to the surface of the liquid discharge unit 300 on the recording medium side. Here, the cover member 130 is a member having a frame-like surface provided with a long opening 131 as shown in FIG. 6. From the opening 131, the recording element substrate 10 included in the discharge module 200 and the sealing member 130 are sealed. The stop member 110 (see FIG. 10 described later) is exposed. The frame portion around the opening 131 functions as a contact surface of a cap member that caps the liquid ejection head 3 during recording standby. For this reason, a closed space is formed at the time of capping by applying an adhesive, a sealing material, a filler, or the like along the periphery of the opening 131 and filling the irregularities and gaps on the discharge port surface of the liquid discharge unit 300. It is preferable to do so.

次に、液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図６に示したように流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０および第３流路部材７０を積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００へと分配する。また流路部材２１０は、吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための流路部材である。流路部材２１０は、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、それにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。   Next, the configuration of the flow path member 210 included in the liquid discharge unit 300 will be described. As shown in FIG. 6, the flow path member 210 is a laminate of the first flow path member 50, the second flow path member 60, and the third flow path member 70, and allows the liquid supplied from the liquid supply unit 220 to flow. Distribute to each discharge module 200. The flow path member 210 is a flow path member for returning the liquid circulating from the discharge module 200 to the liquid supply unit 220. The flow path member 210 is fixed to the liquid discharge unit support portion 81 with screws, thereby suppressing warpage and deformation of the flow path member 210.

図７（ａ）〜（ｆ）は、第１〜第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。図７（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図７（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０と第２流路部材６０とは、夫々の流路部材の当接面である図７（ｂ）と図７（ｃ）が対向するように接合し、第２流路部材と第３流路部材とは、夫々の流路部材の当接面である図７（ｄ）と図７（ｅ）が対向するように接合する。第２流路部材６０と第３流路部材７０を接合することで、各流路部材に形成される共通流路溝６２、７１とから、流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が形成される。これにより色毎に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される。共通供給流路２１１から液体吐出ヘッド３にインクが供給されて、液体吐出ヘッド３に供給されたインクは共通回収流路２１２によって回収される。第３流路部材７０の連通口７２（図７（ｆ）参照）は、ジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０（図６参照）と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には、連通口６１（共通供給流路２１１と連通する連通口６１−１、共通回収流路２１２と連通する連通口６１−２）が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。   FIGS. 7A to 7F are views showing the front and back surfaces of each flow path member of the first to third flow path members. 7A shows a surface of the first flow path member 50 on the side where the discharge module 200 is mounted, and FIG. 7F shows a liquid discharge unit support portion 81 of the third flow path member 70. The surface on the abutting side is shown. The first flow path member 50 and the second flow path member 60 are joined so that FIG. 7B and FIG. 7C, which are contact surfaces of the respective flow path members, face each other. The member and the third flow path member are joined so that FIG. 7D and FIG. 7E which are contact surfaces of the respective flow path members face each other. By joining the second flow path member 60 and the third flow path member 70, the eight flow paths extending in the longitudinal direction of the flow path member from the common flow path grooves 62 and 71 formed in each flow path member. Common flow paths (211a, 211b, 211c, 211d, 212a, 212b, 212c, 212d) are formed. As a result, a set of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 is formed in the channel member 210 for each color. Ink is supplied from the common supply flow path 211 to the liquid discharge head 3, and the ink supplied to the liquid discharge head 3 is recovered by the common recovery flow path 212. The communication port 72 (see FIG. 7F) of the third flow path member 70 communicates with each hole of the joint rubber 100, and fluidly circulates with the liquid supply unit 220 (see FIG. 6). On the bottom surface of the common channel groove 62 of the second channel member 60, there are communication ports 61 (a communication port 61-1 communicating with the common supply channel 211 and a communication port 61-2 communicating with the common recovery channel 212). A plurality are formed and communicate with one end of the individual flow channel 52 of the first flow channel member 50. A communication port 51 is formed at the other end of the individual flow channel 52 of the first flow channel member 50, and is in fluid communication with the plurality of discharge modules 200 via the communication port 51. The individual flow channel 52 enables the flow channels to be concentrated on the center side of the flow channel member.

第１〜第３流路部材は、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。材質としては例えば、アルミナを用いることができる。また、ＬＣＰ（液晶ポリマ）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）や変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）を母材としてシリカ微粒子やファイバなどの無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）を好適に用いることができる。流路部材２１０の形成方法としては、３つの流路部材を積層させて互いに接着してもよいし、材質として樹脂複合樹脂材料を選択した場合には、溶着による接合方法を用いてもよい。   It is preferable that the first to third flow path members are made of a material having corrosion resistance against a liquid and a low linear expansion coefficient. For example, alumina can be used as the material. Also suitable is a composite material (resin material) in which LCP (liquid crystal polymer), PPS (polyphenyl sulfide), PSF (polysulfone) or modified PPE (polyphenylene ether) is used as a base material and inorganic fillers such as silica fine particles and fibers are added. Can be used. As a method of forming the flow path member 210, three flow path members may be laminated and bonded to each other. When a resin composite resin material is selected as the material, a joining method by welding may be used.

図８は、図７（ａ）のα部を示しており、第１〜第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路を第１の流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される面側から一部を拡大して示した透視図である。共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とは、両端部の流路からそれぞれ交互に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とが配置されている。ここで、流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。   FIG. 8 shows the α part of FIG. 7A, and the flow path in the flow path member 210 formed by joining the first to third flow path members is the first flow path member 50. It is the perspective view which expanded and showed a part from the surface side in which the discharge module 200 is mounted. The common supply flow path 211 and the common recovery flow path 212 are alternately arranged from the flow paths at both ends. Here, the connection relation of each flow path in the flow path member 210 will be described.

流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に伸びる共通供給流路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）および共通回収流路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給流路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給流路２１３（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収流路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収流路２１４（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により各共通供給流路２１１から個別供給流路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０にインクを集約することができる。また記録素子基板１０から個別回収流路２１４を介して、各共通回収流路２１２にインクを回収することができる。   The channel member 210 is provided with a common supply channel 211 (211a, 211b, 211c, 211d) and a common recovery channel 212 (212a, 212b, 212c, 212d) extending in the longitudinal direction of the liquid ejection head 3 for each color. It has been. A plurality of individual supply channels 213 (213 a, 213 b, 213 c, and 213 d) formed by the individual channel grooves 52 are connected to the common supply channel 211 of each color via the communication port 61. A plurality of individual recovery channels 214 (214a, 214b, 214c, 214d) formed by the individual channel grooves 52 are connected to the common recovery channel 212 of each color via the communication port 61. With such a flow path configuration, it is possible to collect ink from each common supply flow path 211 via the individual supply flow path 213 to the recording element substrate 10 located at the center of the flow path member. Ink can be recovered from the recording element substrate 10 to each common recovery channel 212 via the individual recovery channel 214.

図９は、図８のＩＸ−ＩＸにおける断面を示した図である。それぞれの個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）は連通口５１を介して、吐出モジュール２００と連通している。図９では個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）のみ図示しているが、別の断面においては図８に示すように個別供給流路２１３と吐出モジュール２００とが連通している。各吐出モジュール２００に含まれる支持部材３０および記録素子基板１０には、第１流路部材５０からのインクを記録素子基板１０に設けられる記録素子１５に供給するための流路が形成されている。更に、支持部材３０および記録素子基板１０には、記録素子１５に供給した液体の一部または全部を第１流路部材５０に回収（環流）するための流路が形成されている。   FIG. 9 is a view showing a cross section taken along line IX-IX in FIG. Each individual recovery channel (214a, 214c) communicates with the discharge module 200 via the communication port 51. Although only the individual recovery flow paths (214a, 214c) are shown in FIG. 9, the separate supply flow path 213 and the discharge module 200 communicate with each other in another cross section as shown in FIG. A flow path for supplying ink from the first flow path member 50 to the recording element 15 provided on the recording element substrate 10 is formed in the support member 30 and the recording element substrate 10 included in each ejection module 200. . Further, the support member 30 and the recording element substrate 10 are provided with a flow path for collecting (circulating) part or all of the liquid supplied to the recording element 15 to the first flow path member 50.

ここで、各色の共通供給流路２１１は、対応する色の負圧制御ユニット２３０（高圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されており、また共通回収流路２１２は負圧制御ユニット２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この負圧制御ユニット２３０により、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図８および図９に示したように、各流路を接続した本適用例の液体吐出ヘッド内では、各色で共通供給流路２１１〜個別供給流路２１３〜記録素子基板１０〜個別回収流路２１４〜共通回収流路２１２へと順に流れる流れが発生する。   Here, the common supply flow path 211 of each color is connected to the corresponding negative pressure control unit 230 (high pressure side) via the liquid supply unit 220, and the common recovery flow path 212 is connected to the negative pressure control unit 230. (Low pressure side) and the liquid supply unit 220 are connected. By this negative pressure control unit 230, a differential pressure (pressure difference) is generated between the common supply channel 211 and the common recovery channel 212. For this reason, as shown in FIGS. 8 and 9, in the liquid discharge head of this application example in which the flow paths are connected, the common supply flow path 211 to the individual supply flow paths 213 to the recording element substrates 10 to 10 are individually used for each color. A flow that flows in order from the recovery channel 214 to the common recovery channel 212 is generated.

（吐出モジュールの説明）
図１０（ａ）は、１つの吐出モジュール２００を示した斜視図であり、図１０（ｂ）は、その分解図である。吐出モジュール２００の製造方法としては、まず記録素子基板１０およびフレキシブル配線基板４０を、予め液体連通口３１が設けられた支持部材３０上に接着する。その後、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル配線基板４０上の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気接続し、その後にワイヤーボンディング部（電気接続部）を封止部材１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図６参照）と電気接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを流体的に連通させる流路部材であるため、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。材質としては例えばアルミナや樹脂材料が好ましい。 (Description of discharge module)
FIG. 10A is a perspective view showing one discharge module 200, and FIG. 10B is an exploded view thereof. As a manufacturing method of the discharge module 200, first, the recording element substrate 10 and the flexible wiring substrate 40 are bonded onto the support member 30 provided with the liquid communication port 31 in advance. Thereafter, the terminals 16 on the recording element substrate 10 and the terminals 41 on the flexible wiring substrate 40 are electrically connected by wire bonding, and then the wire bonding portion (electrical connection portion) is covered with the sealing member 110 and sealed. . A terminal 42 on the opposite side of the flexible wiring substrate 40 from the recording element substrate 10 is electrically connected to a connection terminal 93 (see FIG. 6) of the electric wiring substrate 90. The support member 30 is a support member that supports the recording element substrate 10, and is a flow path member that fluidly communicates the recording element substrate 10 and the flow path member 210. Therefore, the support member 30 has high flatness and is sufficiently high. Those that can be reliably bonded to the recording element substrate are preferable. As a material, for example, alumina or a resin material is preferable.

（記録素子基板の構造の説明）
図１１（ａ）は記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図を示し、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡで示した部分の拡大図を示し、図１１（ｃ）は、図１１（ａ）の裏面の平面図を示す。ここで、本適用例における記録素子基板１０の構成について説明する。図１１（ａ）に示すように、記録素子基板１０の吐出口形成部材１２に、各インク色に対応する４列の吐出口列が形成されている。なお、以後、複数の吐出口１３が配列される吐出口列が延びる方向を「吐出口列の列方向」と呼称する。図１１（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギーにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は、記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、端子１６と電気的に接続されている。そして記録素子１５は、記録装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図６参照）およびフレキシブル配線基板４０（図１０参照）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して液体を沸騰させる。この沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図１１（ｂ）に示すように、各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給流路１８が、他方の側には液体回収流路１９が延在している。液体供給流路１８および液体回収流路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列の列方向に伸びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。 (Description of structure of recording element substrate)
FIG. 11A shows a plan view of the surface of the recording element substrate 10 on which the ejection port 13 is formed, and FIG. 11B shows an enlarged view of the portion indicated by A in FIG. FIG.11 (c) shows the top view of the back surface of Fig.11 (a). Here, the configuration of the recording element substrate 10 in this application example will be described. As shown in FIG. 11A, the four ejection port arrays corresponding to the respective ink colors are formed on the ejection port forming member 12 of the recording element substrate 10. Hereinafter, the direction in which the ejection port array in which the plurality of ejection ports 13 are arranged is referred to as “row direction of the ejection port array”. As shown in FIG. 11B, recording elements 15 that are heat generating elements for foaming the liquid by thermal energy are arranged at positions corresponding to the respective ejection ports 13. A partition 22 defines a pressure chamber 23 having the recording element 15 therein. The recording element 15 is electrically connected to the terminal 16 by electrical wiring (not shown) provided on the recording element substrate 10. The recording element 15 generates heat based on the pulse signals input from the control circuit of the recording apparatus 1000 via the electric wiring board 90 (see FIG. 6) and the flexible wiring board 40 (see FIG. 10) to boil the liquid. Let The liquid is discharged from the discharge port 13 by the foaming force due to the boiling. As shown in FIG. 11B, along each discharge port array, a liquid supply flow path 18 extends on one side, and a liquid recovery flow path 19 extends on the other side. The liquid supply flow path 18 and the liquid recovery flow path 19 are flow paths extending in the column direction of the discharge port array provided in the recording element substrate 10, and communicate with the discharge port 13 through the supply port 17a and the recovery port 17b, respectively. doing.

図１１（ｃ）に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成される面の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、液体供給流路１８および液体回収流路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本適用例においては、液体供給流路１８の１本に対して３個、液体回収流路１９の１本に対して２個の開口２１が蓋部材２０に設けられている。図１１（ｂ）に示すように蓋部材２０の夫々の開口２１は、図７（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。蓋部材２０は、液体に対して十分な耐食性を有している物が好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の開口形状および開口位置には高い精度が求められる。このため蓋部材２０の材質として、感光性樹脂材料やシリコン板を用い、フォトリソプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このように蓋部材２０は、開口２１により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。   As shown in FIG. 11C, a sheet-like lid member 20 is laminated on the back surface of the recording element substrate 10 on which the ejection port 13 is formed, and the lid member 20 has a liquid supply channel. A plurality of openings 21 communicating with 18 and the liquid recovery channel 19 are provided. In this application example, three openings 21 are provided in the lid member 20 for one of the liquid supply channels 18 and two for one of the liquid recovery channels 19. As shown in FIG. 11B, each opening 21 of the lid member 20 communicates with a plurality of communication ports 51 shown in FIG. The lid member 20 is preferably a material having sufficient corrosion resistance to the liquid, and high accuracy is required for the opening shape and the opening position of the opening 21 from the viewpoint of preventing color mixing. For this reason, it is preferable to use a photosensitive resin material or a silicon plate as the material of the lid member 20 and provide the opening 21 by a photolithography process. As described above, the lid member 20 converts the pitch of the flow path by the openings 21, and it is desirable that the thickness is thin in consideration of the pressure loss, and it is desirable that the lid member 20 is formed of a film-like member.

図１２は、図１１（ａ）におけるＸＩＩ−ＸＩＩにおける記録素子基板１０および蓋部材２０の断面を示す斜視図である。ここで、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給流路１８および液体回収流路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。記録素子基板１０は、Ｓｉにより形成される基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面には蓋部材２０が接合されている。基板１１の一方の面側には、記録素子１５が形成されており（図１１参照）、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給流路１９および液体回収流路１８を構成する溝が形成されている。基板１１と蓋部材２０とによって形成される液体供給流路１８および液体回収流路１９は、それぞれ流路部材２１０内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２と接続されており、液体供給流路１８と液体回収流路１９との間には差圧が生じている。吐出口１３から液体を吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口では、この差圧によって基板１１内に設けられた液体供給流路１８内の液体が、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収流路１９へ流れる（図１２の矢印Ｃ）。この流れによって、記録を休止している吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インク、泡および異物などを液体回収流路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３のインクが増粘するのを抑制することができる。液体回収流路１９へ回収された液体は、蓋部材２０の開口２１および支持部材３０の液体連通口３１（図１０ｂ）を通じて、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２の順に回収されて、記録装置１０００の回収経路へ回収される。つまり、記録装置本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は、下記の順に流動し、供給および回収される。   FIG. 12 is a perspective view showing a cross section of the recording element substrate 10 and the lid member 20 along XII-XII in FIG. Here, the flow of the liquid in the recording element substrate 10 will be described. The lid member 20 has a function as a lid that forms part of the walls of the liquid supply channel 18 and the liquid recovery channel 19 formed on the substrate 11 of the recording element substrate 10. The recording element substrate 10 includes a substrate 11 formed of Si and a discharge port forming member 12 formed of a photosensitive resin, and a lid member 20 is bonded to the back surface of the substrate 11. A recording element 15 is formed on one surface side of the substrate 11 (see FIG. 11), and a liquid supply channel 19 and a liquid recovery channel 18 extending along the ejection port array are formed on the back side thereof. Are formed. The liquid supply flow path 18 and the liquid recovery flow path 19 formed by the substrate 11 and the lid member 20 are connected to the common supply flow path 211 and the common recovery flow path 212 in the flow path member 210, respectively. A differential pressure is generated between the flow path 18 and the liquid recovery flow path 19. When recording is performed by discharging the liquid from the discharge port 13, the liquid in the liquid supply channel 18 provided in the substrate 11 is supplied to the supply port 17a by the differential pressure at the discharge port that is not discharging. Then, it flows to the liquid recovery passageway 19 via the pressure chamber 23 and the recovery port 17b (arrow C in FIG. 12). With this flow, the thickened ink, bubbles, foreign matters, and the like generated by evaporation from the discharge port 13 can be recovered in the liquid recovery channel 19 in the discharge port 13 and the pressure chamber 23 where recording is paused. Further, it is possible to prevent the ink in the ejection port 13 and the pressure chamber 23 from being thickened. The liquid recovered in the liquid recovery channel 19 is shared by the communication port 51 in the channel member 210, the individual recovery channel 214, through the opening 21 of the lid member 20 and the liquid communication port 31 (FIG. 10 b) of the support member 30. They are collected in the order of the collection channel 212 and collected to the collection path of the recording apparatus 1000. That is, the liquid supplied from the recording apparatus main body to the liquid discharge head 3 flows in the following order, and is supplied and recovered.

液体は、まず液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。そして液体は、ジョイントゴム１００、第３流路部材に設けられた連通口７２および共通流路溝７１、第２流路部材に設けられた共通流路溝６２および連通口６１、第１流路部材に設けられた個別流路溝５２および連通口５１の順に供給される。その後、支持部材３０に設けられた液体連通口３１、蓋部材２０に設けられた開口２１、基板１１に設けられた液体供給流路１８および供給口１７ａを順に介して圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂおよび液体回収流路１９、蓋部材２０に設けられた開口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。その後液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１および個別流路溝５２、第２流路部材に設けられた連通口６１および共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１および連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして液体は、液体供給ユニット２２０に設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ流動する。   The liquid first flows into the liquid ejection head 3 from the liquid connection part 111 of the liquid supply unit 220. The liquid is the joint rubber 100, the communication port 72 and the common channel groove 71 provided in the third channel member, the common channel groove 62 and the communication port 61 provided in the second channel member, and the first channel. The individual flow channel 52 and the communication port 51 provided in the member are supplied in this order. After that, the liquid communication port 31 provided in the support member 30, the opening 21 provided in the lid member 20, the liquid supply flow path 18 provided in the substrate 11 and the supply port 17 a are sequentially supplied to the pressure chamber 23. . Of the liquid supplied to the pressure chamber 23, the liquid that has not been discharged from the discharge port 13 is the recovery port 17 b and the liquid recovery channel 19 provided in the substrate 11, the opening 21 provided in the lid member 20, and the support member. 30 sequentially flows through the liquid communication port 31 provided at 30. Thereafter, the liquid is provided in the communication port 51 and the individual flow channel 52 provided in the first flow channel member, the communication port 61 and the common flow channel 62 provided in the second flow channel member, and the third flow channel member 70. The common channel groove 71, the communication port 72, and the joint rubber 100 are sequentially flowed. Then, the liquid flows from the liquid connection part 111 provided in the liquid supply unit 220 to the outside of the liquid discharge head 3.

図２に示す第１循環形態の形態においては、液体接続部１１１から流入した液体は、負圧制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。また図３に示す第２循環形態の形態においては、圧力室２３から回収された液体は、ジョイントゴム１００を通過した後、負圧制御ユニット２３０を介して液体接続部１１１から液体吐出ヘッドの外部へ流動する。また液体吐出ユニット３００の共通供給流路２１１の一端から流入した全ての液体が、個別供給流路２１３ａを経由して圧力室２３に供給されるわけではない。つまり、共通供給流路２１１の一端から流入した液体で、個別供給流路２１３ａに流入することなく、共通供給流路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流動する液体もある。このように、記録素子基板１０を経由することなく流動する経路を備えることで、本適用例のような微細で流抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０を備える場合であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。このように、本適用例の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口近傍部の液体の増粘を抑制することができるので、吐出のヨレや不吐出を抑制することができ、結果として高画質な記録を行うことができる。   In the form of the first circulation form shown in FIG. 2, the liquid flowing in from the liquid connecting portion 111 is supplied to the joint rubber 100 after passing through the negative pressure control unit 230. In the second circulation mode shown in FIG. 3, the liquid recovered from the pressure chamber 23 passes through the joint rubber 100 and then passes from the liquid connection unit 111 to the outside of the liquid discharge head via the negative pressure control unit 230. To flow. Further, not all the liquid that has flowed from one end of the common supply channel 211 of the liquid discharge unit 300 is supplied to the pressure chamber 23 via the individual supply channel 213a. That is, there is a liquid that flows from one end of the common supply channel 211 and flows from the other end of the common supply channel 211 to the liquid supply unit 220 without flowing into the individual supply channel 213a. As described above, by providing a path that flows without passing through the recording element substrate 10, even when the recording element substrate 10 including a fine flow path having a high flow resistance is provided as in this application example, The reverse flow of the circulating flow can be suppressed. As described above, in the liquid discharge head 3 of this application example, it is possible to suppress the increase in the viscosity of the liquid in the pressure chamber 23 and the vicinity of the discharge port. High-quality recording can be performed.

（記録素子基板間の位置関係の説明）
図１３は、隣り合う２つの吐出モジュールにおける、記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示した平面図である。本適用例では略平行四辺形の記録素子基板を用いている。各記録素子基板１０における吐出口１３が配列される各吐出口列（１４ａ〜１４ｄ）は、液体吐出ヘッド３の長手方向に対し一定角度傾くように配置されている。そして、記録素子基板１０同士の隣接部における吐出口列は、少なくとも１つの吐出口が記録媒体の搬送方向にオーバーラップするようになっている。図１３では、線Ｄ上の２つの吐出口が互いにオーバーラップする関係にある。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくすることができる。複数の記録素子基板１０を千鳥配置ではなく、直線上（インライン）に配置した場合も、図１３のような構成により液体吐出ヘッド１０の記録媒体の搬送方向の長さの増大を抑えつつ記録素子基板１０同士のつなぎ部における黒スジや白抜け対策を行うことができる。なお、本適用例では記録素子基板の主平面は平行四辺形であるが、これに限るものではなく、例えば長方形、台形、その他形状の記録素子基板を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。 (Description of positional relationship between recording element substrates)
FIG. 13 is a plan view partially enlarged showing the adjacent portion of the recording element substrate in two adjacent ejection modules. In this application example, a substantially parallelogram recording element substrate is used. The ejection port arrays (14 a to 14 d) in which the ejection ports 13 in each recording element substrate 10 are arranged are arranged so as to be inclined at a certain angle with respect to the longitudinal direction of the liquid ejection head 3. The ejection port arrays in the adjacent portions of the recording element substrates 10 are configured such that at least one ejection port overlaps in the conveyance direction of the recording medium. In FIG. 13, the two discharge ports on the line D are in a relationship of overlapping each other. With such an arrangement, even if the position of the recording element substrate 10 is slightly deviated from the predetermined position, black stripes and white spots in the recorded image can be made inconspicuous by driving control of the overlapping discharge ports. Even when a plurality of recording element substrates 10 are arranged in a straight line (in-line) instead of in a staggered arrangement, the recording elements are controlled while suppressing an increase in the length of the liquid ejection head 10 in the recording medium conveyance direction by the configuration as shown in FIG. It is possible to take measures against black streaks and white spots at the connecting portions of the substrates 10. In this application example, the main plane of the recording element substrate is a parallelogram, but the present invention is not limited to this, and the configuration of the present invention is preferable even when a recording element substrate having a rectangular shape, trapezoid, or other shape is used. Can be applied.

（液体吐出ヘッド構成の変形例の説明）
図４０、図４２〜図４４を参照して、液体吐出ヘッドの構成の変形例について説明する。上述した例と同様の構成および機能については説明を省略し、異なる点について主に説明する。本変形例では、図４０、図４２に示すように、液体吐出ヘッド３と外部との液体の接続部である複数の液体接続部１１１は、液体吐出ヘッドの長手方向の一端側に集約して配置されている。液体吐出ヘッド３の他端側には複数の負圧制御ユニット２３０が集約して配置されている（図４３）。液体吐出ヘッド３に含まれる液体供給ユニット２２０は、液体吐出ヘッド３の長さに対応した長尺状のユニットとして構成され、供給する４色の液体に対応した流路およびフィルタ２２１を備える。また、図４３に示すように、液体吐出ユニット支持部８１に設けられる開口８３〜開口８６は、上述した液体吐出ヘッド３とは異なる位置に設けられている。 (Description of Modification of Liquid Discharge Head Configuration)
A modification of the configuration of the liquid ejection head will be described with reference to FIGS. 40 and 42 to 44. The description of the same configuration and function as those of the above-described example is omitted, and different points are mainly described. In this modification, as shown in FIGS. 40 and 42, a plurality of liquid connection portions 111, which are liquid connection portions between the liquid discharge head 3 and the outside, are concentrated on one end side in the longitudinal direction of the liquid discharge head. Has been placed. A plurality of negative pressure control units 230 are collectively arranged on the other end side of the liquid discharge head 3 (FIG. 43). The liquid supply unit 220 included in the liquid discharge head 3 is configured as a long unit corresponding to the length of the liquid discharge head 3 and includes a flow path and a filter 221 corresponding to the four colors of liquid to be supplied. As shown in FIG. 43, the openings 83 to 86 provided in the liquid discharge unit support portion 81 are provided at different positions from the liquid discharge head 3 described above.

図４４に流路部材５０，６０，７０の積層状態を示す。複数の流路部材５０，６０、７０の最上層である流路部材５０の上面に複数の記録素子基板１０が直線状に配列される。各記録素子基板１０の裏面側に形成される開口２１（図１９）に連通する流路は、液体の色ごとに、個別供給流路２１３が２つ、個別回収流路２１４が１つとなっている。これに対応して、記録素子基板１０の裏面に設けられる蓋部材２０に形成される開口２１も、液体の色ごとに供給開口２１が２つ、回収開口２１が１つとなっている。図４４に示すように、液体吐出ヘッド３の長手方向に沿って延在する共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とが交互に並列されている。   FIG. 44 shows a stacked state of the flow path members 50, 60, and 70. A plurality of recording element substrates 10 are linearly arranged on the upper surface of the channel member 50 that is the uppermost layer of the plurality of channel members 50, 60, 70. The flow paths communicating with the openings 21 (FIG. 19) formed on the back side of each recording element substrate 10 are two individual supply flow paths 213 and one individual recovery flow path 214 for each liquid color. Yes. Correspondingly, the opening 21 formed in the lid member 20 provided on the back surface of the recording element substrate 10 also has two supply openings 21 and one recovery opening 21 for each liquid color. As shown in FIG. 44, common supply channels 211 and common recovery channels 212 extending along the longitudinal direction of the liquid ejection head 3 are alternately arranged in parallel.

（適用例２）
以下、図面を参照して本発明の適用例２によるインクジェット記録装置２０００および液体吐出ヘッド２００３の構成を説明する。なお以降の説明においては、主として適用例１と異なる部分のみを説明し、適用例１と同様の部分については説明を省略する。 (Application example 2)
Hereinafter, configurations of the ink jet recording apparatus 2000 and the liquid discharge head 2003 according to Application Example 2 of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, only portions different from Application Example 1 will be mainly described, and description of portions similar to Application Example 1 will be omitted.

（インクジェット記録装置の説明）
図２１は、本適用例を適用可能な、液体を吐出して記録を行うインクジェット記録装置２０００を示した図である。本適用例の記録装置２０００は、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫの各インクごとに対応した単色用の液体吐出ヘッド２００３を４つ並列配置させることで記録媒体へフルカラー記録を行う点が適用例１とは異なる。適用例１において１色あたりに使用できる吐出口列数が１列だったのに対し、本適用例においては、１色あたりに使用できる吐出口列数は２０列となっている。このため、記録データを複数の吐出口列に適宜振り分けて記録を行うことで、非常に高速な記録が可能となる。更に、不吐出になる吐出口があったとしても、その吐出口に対して記録媒体の搬送方向に対応する位置にある、他列の吐出口から補完的に吐出を行うことで信頼性が向上し、商業記録などに好適である。適用例１と同様に、各液体吐出ヘッド２００３に対して、記録装置２０００の供給系、バッファタンク１００３（図２、図３参照）およびメインタンク１００６（図２、図３参照）が流体的に接続されている。また、それぞれの液体吐出ヘッド２００３には、液体吐出ヘッド２００３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続されている。 (Description of inkjet recording apparatus)
FIG. 21 is a diagram showing an ink jet recording apparatus 2000 that performs recording by discharging a liquid, to which the present application example can be applied. The recording apparatus 2000 according to this application example performs full-color recording on a recording medium by arranging four monochromatic liquid ejection heads 2003 corresponding to each ink of cyan C, magenta M, yellow Y, and black K in parallel. Is different from Application Example 1. In the application example 1, the number of discharge port rows that can be used per color is one, whereas in this application example, the number of discharge port rows that can be used per color is 20 rows. For this reason, it is possible to perform very high-speed recording by appropriately recording the recording data to a plurality of ejection port arrays. Furthermore, even if there is a discharge port that does not discharge, reliability is improved by performing complementary discharge from the discharge ports in other rows that are in positions corresponding to the transport direction of the recording medium with respect to that discharge port. And suitable for commercial records. Similar to Application Example 1, the supply system of the recording apparatus 2000, the buffer tank 1003 (see FIGS. 2 and 3), and the main tank 1006 (see FIGS. 2 and 3) are fluidly supplied to each liquid discharge head 2003. It is connected. Each liquid discharge head 2003 is electrically connected to an electric control unit that transmits power and a discharge control signal to the liquid discharge head 2003.

（循環経路の説明）
適用例１と同様に、記録装置２０００および液体吐出ヘッド２００３間の液体の循環形態としては、図２または図３に示した第１および第２循環形態を用いることができる。 (Explanation of circulation route)
Similar to Application Example 1, as the liquid circulation form between the recording apparatus 2000 and the liquid ejection head 2003, the first and second circulation forms shown in FIG. 2 or FIG. 3 can be used.

（液体吐出ヘッド構造の説明）
図１４（ａ）、（ｂ）は、本適用例に係る液体吐出ヘッド２００３を示した斜視図である。ここで、本適用例に係る液体吐出ヘッド２００３の構造について説明する。液体吐出ヘッド２００３は、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に直線上に配列される１６個の記録素子基板２０１０を備え、１種類の液体で記録が可能なインクジェット式のライン型記録ヘッドである。液体吐出ヘッド２００３は、適用例１と同様、液体接続部１１１、信号入力端子９１および電力供給端子９２を備える。しかしながら本適用例の液体吐出ヘッド２００３は、適用例１に比べて吐出口列が多いため、液体吐出ヘッド２００３の両側に信号出力端子９１および電力供給端子９２が配置されている。これは記録素子基板２０１０に設けられる配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減するためである。 (Description of liquid discharge head structure)
14A and 14B are perspective views showing a liquid discharge head 2003 according to this application example. Here, the structure of the liquid discharge head 2003 according to this application example will be described. The liquid discharge head 2003 is an ink jet type line recording head that includes 16 recording element substrates 2010 arranged in a straight line in the longitudinal direction of the liquid discharge head 2003 and can perform recording with one type of liquid. The liquid discharge head 2003 includes the liquid connection part 111, the signal input terminal 91, and the power supply terminal 92, as in Application Example 1. However, since the liquid discharge head 2003 of this application example has more discharge port arrays than the application example 1, the signal output terminal 91 and the power supply terminal 92 are arranged on both sides of the liquid discharge head 2003. This is to reduce voltage drop and signal transmission delay that occur in the wiring portion provided on the recording element substrate 2010.

図１５は、液体吐出ヘッド２００３を示した斜視分解図であり、液体吐出ヘッド２００３を構成する各部品またはユニットをその機能毎に分割して示している。各ユニットおよび部材の役割や液体吐出ヘッド内の液体流通の順は、基本的に適用例１と同様であるが、液体吐出ヘッドの剛性を担保する機能が異なる。適用例１では主として液体吐出ユニット支持部８１によって液体吐出ヘッド剛性を担保していたが、適用例２の液体吐出ヘッド２００３では、液体吐出ユニット２３００に含まれる第２流路部材２０６０によって液体吐出ヘッドの剛性を担保している。本適用例における液体吐出ユニット支持部８１は、第２流路部材２０６０の両端部に接続されており、この液体吐出ユニット２３００は記録装置２０００のキャリッジと機械的に結合されて、液体吐出ヘッド２００３の位置決めを行う。負圧制御ユニット２２３０を備える液体供給ユニット２２２０と、電気配線基板９０は、液体吐出ユニット支持部８１に結合される。２つの液体供給ユニット２２２０内にはそれぞれフィルタ（不図示）が内蔵されている。   FIG. 15 is an exploded perspective view showing the liquid discharge head 2003, and shows each component or unit constituting the liquid discharge head 2003 divided for each function. The role of each unit and member and the order of liquid circulation in the liquid discharge head are basically the same as in Application Example 1, but the function of ensuring the rigidity of the liquid discharge head is different. In the application example 1, the liquid discharge head support portion 81 mainly secures the liquid discharge head rigidity. However, in the liquid discharge head 2003 of the application example 2, the liquid discharge head is included by the second flow path member 2060 included in the liquid discharge unit 2300. The rigidity of is secured. The liquid discharge unit support portion 81 in this application example is connected to both ends of the second flow path member 2060, and the liquid discharge unit 2300 is mechanically coupled to the carriage of the recording apparatus 2000, and the liquid discharge head 2003. Perform positioning. The liquid supply unit 2220 including the negative pressure control unit 2230 and the electrical wiring board 90 are coupled to the liquid discharge unit support portion 81. Each of the two liquid supply units 2220 includes a filter (not shown).

２つの負圧制御ユニット２２３０は、それぞれ異なる、相対的に高低の負圧で圧力を制御するように設定されている。また、液体吐出ヘッド２００３の両端部にそれぞれ、高圧側と低圧側の負圧制御ユニット２２３０を設置した場合、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に延在する共通供給流路と共通回収流路における液体の流れが、延在方向に関して互いに対向する。その構成を、図１４および図１５に例示する。このような構成では、共通供給流路と共通回収流路の間で熱交換が促進されて、２つの共通流路内における温度差が低減される。これによって、共通流路に沿って複数設けられる各記録素子基板２０１０における温度差が少なくなり、温度差による記録ムラが生じにくくなるという利点がある。   The two negative pressure control units 2230 are set so as to control the pressure with different relatively high and low negative pressures. When the high-pressure side and the low-pressure side negative pressure control units 2230 are installed at both ends of the liquid discharge head 2003, the liquid in the common supply channel and the common recovery channel extending in the longitudinal direction of the liquid discharge head 2003 is provided. Are opposite to each other in the extending direction. The configuration is illustrated in FIGS. 14 and 15. In such a configuration, heat exchange is promoted between the common supply channel and the common recovery channel, and a temperature difference between the two common channels is reduced. Accordingly, there is an advantage that a temperature difference in each of the recording element substrates 2010 provided along the common flow path is reduced, and recording unevenness due to the temperature difference is less likely to occur.

次に、液体吐出ユニット２３００の流路部材２２１０の詳細について説明する。図１５に示すように流路部材２２１０は、第１流路部材２０５０と第２流路部材２０６０とを積層したものであり、液体供給ユニット２２２０から供給された液体を各吐出モジュール２２００へと分配する。また流路部材２２１０は、吐出モジュール２２００から環流する液体を液体供給ユニット２２２０へと戻すための流路部材として機能する。流路部材２２１０の第２流路部材２０６０は、内部に共通供給流路および共通回収流路が形成された流路部材であるとともに、液体吐出ヘッド２００３の剛性を主に担うという機能を有する。このため、第２流路部材２０６０の材質としては、液体に対する十分な耐食性と高い機械強度を有するものが好ましい。具体的にはＳＵＳやＴｉ、アルミナなど用いることができる。   Next, details of the flow path member 2210 of the liquid discharge unit 2300 will be described. As shown in FIG. 15, the flow path member 2210 is formed by stacking the first flow path member 2050 and the second flow path member 2060, and distributes the liquid supplied from the liquid supply unit 2220 to each discharge module 2200. To do. The flow path member 2210 functions as a flow path member for returning the liquid circulating from the discharge module 2200 to the liquid supply unit 2220. The second flow path member 2060 of the flow path member 2210 is a flow path member in which a common supply flow path and a common recovery flow path are formed, and has a function of mainly responsible for the rigidity of the liquid discharge head 2003. For this reason, as a material of the 2nd flow path member 2060, what has sufficient corrosion resistance with respect to a liquid and high mechanical strength is preferable. Specifically, SUS, Ti, alumina or the like can be used.

図１６（ａ）は、第１流路部材２０５０の、吐出モジュール２２００がマウントされる面を示した図であり、図１６（ｂ）は、その裏面を示しており、第２流路部材２０６０と当接される面を示した図である。適用例１とは異なり、本適用例における第１流路部材２０５０は、各吐出モジュール２２００毎に対応した複数の部材を隣接して配列したものである。このように分割した構造を採ることで、複数のモジュールを配列させて、液体吐出ヘッド２００３の長さに対応することができるので、例えばＢ２サイズおよびそれ以上の長さに対応した比較的ロングスケールの液体吐出ヘッドに特に好適に適用することができる。図１６（ａ）に示すように、第１流路部材２０５０の連通口５１は、吐出モジュール２２００と流体的に連通し、図１６（ｂ）に示すように、第１流路部材２０５０の個別連通口５３は、第２流路部材２０６０の連通口６１と流体的に連通する。図１６（ｃ）は、第２流路部材６０の、第１流路部材２０５０と当接される面を示し、図１６（ｄ）は、第２流路部材６０の厚み方向中央部の断面を示し、図１６（ｅ）は、第２流路部材２０６０の、液体供給ユニット２２２０と当接する面を示す図である。第２流路部材２０６０の流路や連通口の機能は、適用例１の１色分と同様である。第２流路部材２０６０の共通流路溝７１は、その一方が後述する図１７に示す共通供給流路２２１１であり、他方が共通回収流路２２１２であり、夫々、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に沿って設けられており、その一端側から他端側に液体が供給される。本適用例は適用例１と異なり、共通供給流路２２１１と共通回収流路２２１２の液体の流れは互いに反対方向となっている。   FIG. 16A is a view showing a surface of the first flow path member 2050 on which the discharge module 2200 is mounted, and FIG. 16B shows the back surface thereof, and the second flow path member 2060 is shown. It is the figure which showed the surface contact | abutted with. Unlike the application example 1, the first flow path member 2050 in this application example is obtained by arranging a plurality of members corresponding to the respective discharge modules 2200 adjacent to each other. By adopting such a divided structure, a plurality of modules can be arranged to correspond to the length of the liquid discharge head 2003. For example, a relatively long scale corresponding to the B2 size or longer The present invention can be particularly preferably applied to the liquid discharge head. As shown in FIG. 16A, the communication port 51 of the first flow path member 2050 is in fluid communication with the discharge module 2200, and as shown in FIG. The communication port 53 is in fluid communication with the communication port 61 of the second flow path member 2060. FIG. 16C shows a surface of the second flow path member 60 that comes into contact with the first flow path member 2050, and FIG. 16D shows a cross section of the central portion in the thickness direction of the second flow path member 60. FIG. 16E is a diagram showing a surface of the second flow path member 2060 that comes into contact with the liquid supply unit 2220. The functions of the flow path and the communication port of the second flow path member 2060 are the same as those for one color of Application Example 1. One of the common flow channel grooves 71 of the second flow channel member 2060 is a common supply flow channel 2211 shown in FIG. 17 to be described later, and the other is a common recovery flow channel 2212. The longitudinal direction of the liquid discharge head 2003, respectively. The liquid is supplied from one end side to the other end side. This application example is different from application example 1 in that the liquid flows in the common supply channel 2211 and the common recovery channel 2212 are in opposite directions.

図１７は、記録素子基板２０１０と流路部材２２１０との液体の接続関係を示した透視図である。流路部材２２１０内には、液体吐出ヘッド２００３の長手方向に延びる一組の共通供給流路２２１１および共通回収流路２２１２が設けられている。第２流路部材２０６０の連通口６１は第１流路部材２０５０の個別連通口５３と位置を合わせて接続されており、第２流路部材２０６０の共通供給流路２２１１から連通口６１を介して第１流路部材２０５０の連通口５１へと連通する液体供給流路が形成されている。同様に、第２流路部材２０６０の連通口７２から共通回収流路２２１２を介して第１流路部材２０５０の連通口５１へと連通する液体供給経路も形成されている。   FIG. 17 is a perspective view showing a liquid connection relationship between the recording element substrate 2010 and the flow path member 2210. In the flow path member 2210, a set of a common supply flow path 2211 and a common recovery flow path 2212 extending in the longitudinal direction of the liquid discharge head 2003 are provided. The communication port 61 of the second flow channel member 2060 is connected to the individual communication port 53 of the first flow channel member 2050 in alignment, and is connected to the common supply flow channel 2211 of the second flow channel member 2060 via the communication port 61. Thus, a liquid supply flow path communicating with the communication port 51 of the first flow path member 2050 is formed. Similarly, a liquid supply path that communicates from the communication port 72 of the second flow channel member 2060 to the communication port 51 of the first flow channel member 2050 via the common recovery flow channel 2212 is also formed.

図１８は、図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩにおける断面を示した図である。共通供給流路２２１１は、連通口６１、個別連通口５３、連通口５１を介して、吐出モジュール２２００へ接続されている。図１８では不図示であるが、別の断面においては、共通回収流路２２１２が同様の経路で吐出モジュール２２００へ接続されていることは、図１７を参照すれば明らかである。適用例１と同様に、各吐出モジュール２２００および記録素子基板２０１０には、各吐出口に連通する流路が形成されており、供給した液体の一部または全部が、吐出動作を休止している吐出口を通過して、環流できるようになっている。また適用例１と同様に、共通供給流路２２１１は、負圧制御ユニット２２３０（高圧側）と、共通回収流路２２１２は負圧制御ユニット２２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２２０を介して接続されている。従ってその差圧によって、共通供給流路２２１１から記録素子基板２０１０の圧力室を通過して共通回収流路２２１２へと流れる流れが発生する。   18 is a view showing a cross section taken along line XVIII-XVIII in FIG. The common supply channel 2211 is connected to the discharge module 2200 via the communication port 61, the individual communication port 53, and the communication port 51. Although not shown in FIG. 18, it is apparent with reference to FIG. 17 that in another cross section, the common recovery flow path 2212 is connected to the discharge module 2200 through a similar path. As in Application Example 1, each ejection module 2200 and the recording element substrate 2010 are formed with a flow path communicating with each ejection port, and a part or all of the supplied liquid pauses the ejection operation. It can be recirculated through the discharge port. Similarly to Application Example 1, the common supply flow path 2211 is connected to the negative pressure control unit 2230 (high pressure side), and the common recovery flow path 2212 is connected to the negative pressure control unit 2230 (low pressure side) via the liquid supply unit 2220. Has been. Therefore, a flow that flows from the common supply channel 2211 through the pressure chamber of the recording element substrate 2010 to the common recovery channel 2212 is generated by the differential pressure.

（吐出モジュールの説明）
図１９（ａ）は、１つの吐出モジュール２２００を示した斜視図であり、図１９（ｂ）は、その分解図である。適用例１との差異は、記録素子基板２０１０の複数の吐出口列の列方向に沿った両辺部（記録素子基板２０１０の各長辺部）に複数の端子１６がそれぞれ配置されている点である。これに伴い記録素子基板２０１０と電気接続されるフレキシブル配線基板４０も、１つの記録素子基板２０１０に対して２枚配置されている。これは記録素子基板２０１０に設けられる吐出口列数が２０列あり、適用例１の８列よりも大幅に増加しているためであり、端子１６から記録素子までの最大距離を短くして記録素子基板２０１０内の配線部で生じる電圧低下や信号遅れを低減するためである。また支持部材２０３０の液体連通口３１は、記録素子基板２０１０に設けられ全吐出口列を跨るように開口している。その他の点は、適用例１と同様である。 (Description of discharge module)
FIG. 19A is a perspective view showing one discharge module 2200, and FIG. 19B is an exploded view thereof. The difference from Application Example 1 is that a plurality of terminals 16 are respectively arranged on both sides (each long side portion of the printing element substrate 2010) along the row direction of the plurality of ejection port arrays of the printing element substrate 2010. is there. Accordingly, two flexible wiring boards 40 that are electrically connected to the recording element substrate 2010 are also arranged on one recording element substrate 2010. This is because the number of ejection port arrays provided on the recording element substrate 2010 is 20, which is significantly larger than the eight arrays in Application Example 1, and the maximum distance from the terminal 16 to the recording element is shortened for recording. This is for reducing a voltage drop and a signal delay generated in the wiring portion in the element substrate 2010. Further, the liquid communication port 31 of the support member 2030 is provided in the recording element substrate 2010 and is opened so as to straddle all the ejection port arrays. Other points are the same as in Application Example 1.

（記録素子基板の構造の説明）
図２０（ａ）は、記録素子基板２０１０の吐出口１３が配される面の模式図であり、図２０（ｃ）は、図２０（ａ）の面の裏面を示す模式図である。図２０（ｂ）は図２０（ｃ）において、記録素子基板２０１０の裏面側に設けられている蓋部材２０２０を除去した場合の記録素子基板２０１０の面を示す模式図である。図２０（ｂ）に示すように、記録素子基板２０１０の裏面には吐出口列の列方向に沿って、液体供給流路１８と液体回収流路１９とが交互に設けられている。吐出口列数は、適用例１よりも大幅に増加しているものの、適用例１との本質的な差異は、前述のように端子１６が記録素子基板の吐出口列の列方向に沿った両辺部に配置されていることである。各吐出口列毎に一組の液体供給流路１８と液体回収流路１９が設けられていること、蓋部材２０２０に、支持部材２０３０の液体連通口３１と連通する開口２１が設けられていることなど、基本的な構成は適用例１と同様である。 (Description of structure of recording element substrate)
FIG. 20A is a schematic diagram of the surface on which the ejection port 13 of the recording element substrate 2010 is arranged, and FIG. 20C is a schematic diagram showing the back surface of the surface of FIG. FIG. 20B is a schematic diagram showing the surface of the recording element substrate 2010 when the lid member 2020 provided on the back side of the recording element substrate 2010 is removed in FIG. As shown in FIG. 20B, the liquid supply channel 18 and the liquid recovery channel 19 are alternately provided on the back surface of the recording element substrate 2010 along the row direction of the ejection port array. Although the number of ejection port arrays is significantly increased as compared with the application example 1, the essential difference from the application example 1 is that the terminals 16 are aligned in the direction of the ejection port array of the printing element substrate as described above. It is arranged on both sides. A pair of the liquid supply flow path 18 and the liquid recovery flow path 19 are provided for each discharge port array, and the opening 21 communicating with the liquid communication port 31 of the support member 2030 is provided in the lid member 2020. The basic configuration is the same as that of the first application example.

（適用例３）
本発明の適用例３によるインクジェット記録装置１０００および液体吐出ヘッド３の構成を説明する。適用例３の液体吐出ヘッドは、Ｂ２サイズの被記録媒体に対して１スキャンで記録を行うページワイド型である。適用例３は適用例２と類似している点が多いため、以降の説明においては、主として第２適用例と異なる部分を説明し、第２適用例と同様の部分については説明を省略する。 (Application example 3)
The configurations of the ink jet recording apparatus 1000 and the liquid discharge head 3 according to Application Example 3 of the present invention will be described. The liquid discharge head of Application Example 3 is a page-wide type that performs recording in one scan on a B2 size recording medium. Since the application example 3 is similar in many respects to the application example 2, in the following description, parts different from the second application example will be mainly described, and description of parts similar to the second application example will be omitted.

（インクジェット記録装置の説明）
図４５に本適用例のインクジェット記録装置の模式図を示す。記録装置１０００は、液体吐出ヘッド３から被記録媒体に直接記録を行わず、一度、中間転写体（中間転写ドラム１００７）に液体を吐出し画像を形成した後に、その画像を被記録媒体２に転写する構成である。記録装置１０００では、ＣＭＹＫの４種類のインクに夫々対応した４つの単色用の液体吐出ヘッド３が、中間転写ドラム１００７に沿って円弧状に配置されている。これによって中間転写体上にフルカラー記録が行われ、その記録画像は、中間転写体上で適切な乾燥状態にされた後、紙搬送ローラー１００９によって搬送される被記録媒体２へ、転写部１００８で転写される。適用例２の紙搬送系は主にカット紙を意図した水平搬送であったのに対し、本適用例においては本体ロール（不図示）から供給される連続紙にも対応可能である。このようなドラム搬送系では、紙に一定の張力をかけながら搬送することが容易なため、高速記録時においても搬送ジャムが少ない。このため装置の信頼性が向上し、商業印刷などに好適である。第１および適用例２と同様、各液体吐出ヘッド３に対して、記録装置１０００の供給系、バッファタンク１００３およびメインタンク１００６が流体的に接続される。また、それぞれの液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。 (Description of inkjet recording apparatus)
FIG. 45 is a schematic diagram of an ink jet recording apparatus according to this application example. The recording apparatus 1000 does not perform direct recording on the recording medium from the liquid ejection head 3, and once the liquid is ejected onto the intermediate transfer body (intermediate transfer drum 1007) to form an image, the image is recorded on the recording medium 2. This is a configuration for transferring. In the recording apparatus 1000, four single-color liquid ejection heads 3 respectively corresponding to four types of CMYK inks are arranged in an arc along the intermediate transfer drum 1007. As a result, full-color recording is performed on the intermediate transfer member, and the recorded image is appropriately dried on the intermediate transfer member and then transferred to the recording medium 2 conveyed by the paper conveying roller 1009 by the transfer unit 1008. Transcribed. The paper conveyance system of Application Example 2 is a horizontal conveyance mainly intended for cut paper, but in this application example, it can also be applied to continuous paper supplied from a main body roll (not shown). In such a drum transport system, it is easy to transport the paper while applying a constant tension to the paper, so that there is little transport jam even at high speed recording. For this reason, the reliability of the apparatus is improved and it is suitable for commercial printing and the like. As in the first and application examples 2, the supply system of the printing apparatus 1000, the buffer tank 1003, and the main tank 1006 are fluidly connected to each liquid ejection head 3. Each liquid discharge head 3 is electrically connected to an electric control unit that transmits electric power and a discharge control signal to the liquid discharge head 3.

（第４循環形態の説明）
適用例２と同様に、記録装置１０００のタンクと液体吐出ヘッド３との間における液体循環経路としては、図２または図３に示した第１および第２の循環経路も適用可能であるが、図４６に示す循環経路が好適である。図３の第２の循環経路との主な差異は、第１循環ポンプ１００１，１００２および第２循環ポンプ１００４各々の流路の流路に連通するバイパス弁１０１０が付加されていることである。このバイパス弁１０１０は予め設定された圧力を超過すると弁が開くことで、バイパス弁１０１０上流側の圧力を下げるという機能（第１の機能）を有する。また記録装置本体の制御基板からの信号によって、任意のタイミングで弁を開閉する機能（第２の機能）も有する。 (Explanation of the fourth circulation mode)
Similar to Application Example 2, as the liquid circulation path between the tank of the recording apparatus 1000 and the liquid discharge head 3, the first and second circulation paths shown in FIG. 2 or FIG. 3 can be applied. The circulation path shown in FIG. 46 is preferable. The main difference from the second circulation path of FIG. 3 is that a bypass valve 1010 communicating with the flow paths of the first circulation pumps 1001 and 1002 and the second circulation pump 1004 is added. The bypass valve 1010 has a function (first function) of lowering the pressure on the upstream side of the bypass valve 1010 by opening the valve when a preset pressure is exceeded. Also, it has a function (second function) for opening and closing the valve at an arbitrary timing by a signal from the control board of the printing apparatus main body.

第１の機能により、第１循環ポンプ１００１，１００２の下流側または第２循環ポンプ１００４の上流側の流路に、過剰または過小な圧力が掛かることを抑制することができる。例えば、第１循環ポンプ１００１，１００２の機能に支障が発生した場合、過剰な流量や圧力が液体吐出ヘッド３に加わる場合がある。それにより液体吐出ヘッド３の吐出口から液体の漏洩が生じたり、液体吐出ヘッド３内の各接合部に破断が生じたりする虞がある。しかし本適用例のように、第１循環ポンプ１００１、１００２にバイパス弁が追加されている場合、過剰な圧力が発生した場合でも、バイパス弁１０１０が開くことで各循環ポンプ上流側へと液体経路が開放されるため、上記のようなトラブルを抑制できる。   By the first function, it is possible to suppress an excessive or excessive pressure from being applied to the flow path on the downstream side of the first circulation pumps 1001 and 1002 or the upstream side of the second circulation pump 1004. For example, when troubles occur in the functions of the first circulation pumps 1001 and 1002, an excessive flow rate or pressure may be applied to the liquid discharge head 3. As a result, liquid may leak from the discharge port of the liquid discharge head 3 or the joints in the liquid discharge head 3 may be broken. However, when a bypass valve is added to the first circulation pumps 1001 and 1002 as in this application example, even when excessive pressure is generated, the bypass valve 1010 is opened so that the liquid path is upstream of each circulation pump. Since this is opened, the above trouble can be suppressed.

また第２の機能により、循環駆動停止時には、第１循環ポンプ１００１，１００２および第２循環ポンプ１００４の停止後に、本体側からの制御信号に基づいて、速やかに全てのバイパス弁１０１０を開放する。これにより、液体吐出ヘッド３の下流部（負圧制御ユニット２３０〜第２循環ポンプ１００４の間）の高負圧（例えば、数〜数十ｋＰａ）を短時間に開放することができる。循環ポンプとしてダイヤフラムポンプなど容積型ポンプを使用した場合には、通常、ポンプ内に逆止弁が内蔵されている。しかしながら、バイパス弁を開くことで、下流側のバッファタンク１００３側からも液体吐出ヘッド３の下流部の圧力解放を行える。上流側からだけでも液体吐出ヘッド３の下流部の圧力解放は行えるが、液体吐出ヘッドの上流側流路と液体吐出ヘッド内流路には圧力損失がある。そのため、圧力開放に時間が掛かり、過渡的に液体吐出ヘッド３内の共通流路内の圧力が下がり過ぎて、吐出口のメニスカスが破壊される恐れがある。液体吐出ヘッド３の下流側のバイパス弁１０１０を開くことで、液体吐出ヘッドの下流側の圧力解放が促進されるため、吐出口のメニスカス破壊のリスクが軽減される。   Further, due to the second function, when the circulation drive is stopped, all the bypass valves 1010 are quickly opened based on a control signal from the main body side after the first circulation pumps 1001 and 1002 and the second circulation pump 1004 are stopped. Thereby, the high negative pressure (for example, several to several tens kPa) in the downstream portion (between the negative pressure control unit 230 and the second circulation pump 1004) of the liquid discharge head 3 can be released in a short time. When a positive displacement pump such as a diaphragm pump is used as the circulation pump, a check valve is usually built in the pump. However, by opening the bypass valve, the pressure in the downstream portion of the liquid discharge head 3 can be released also from the downstream buffer tank 1003 side. Although the pressure release in the downstream portion of the liquid discharge head 3 can be performed only from the upstream side, there is a pressure loss in the upstream flow path of the liquid discharge head and in the liquid discharge head. For this reason, it takes a long time to release the pressure, and the pressure in the common flow path in the liquid discharge head 3 may drop transiently, possibly destroying the meniscus at the discharge port. By opening the bypass valve 1010 on the downstream side of the liquid discharge head 3, pressure release on the downstream side of the liquid discharge head is promoted, so that the risk of meniscus destruction of the discharge port is reduced.

（液体吐出ヘッド構造の説明）
本発明の適用例３に係る液体吐出ヘッド３の構造について説明する。図４７（ａ）は本適用例に係る液体吐出ヘッド３の斜視図、図４７（ｂ）はその分解斜視図である。液体吐出ヘッド３は液体吐出ヘッド３の長手方向に直線状（インライン）に配列される３６個の記録素子基板１０を備え、１色の液体で記録を行うインクジェット式のページワイド型の記録ヘッドである。液体吐出ヘッド３は、適用例２同様、信号入力端子９１および電力供給端子９２を備える他、ヘッドの長手側面を保護するシールド板１３２が設けられている。 (Description of liquid discharge head structure)
The structure of the liquid ejection head 3 according to Application Example 3 of the present invention will be described. 47A is a perspective view of the liquid discharge head 3 according to this application example, and FIG. 47B is an exploded perspective view thereof. The liquid discharge head 3 includes 36 recording element substrates 10 arranged in a straight line (inline) in the longitudinal direction of the liquid discharge head 3, and is an ink jet page-wide recording head that performs recording with one color liquid. is there. Like the application example 2, the liquid ejection head 3 includes a signal input terminal 91 and a power supply terminal 92, and a shield plate 132 that protects the longitudinal side surface of the head.

図４７（ｂ）は液体吐出ヘッド３の斜視分解図であり、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットがその機能毎に分割されて表示されている（シールド板１３２は不図示）。各ユニットおよび各部材の役割や、液体吐出ヘッド３内の液体流通の順は適用例２と同様である。適用例２との主な相違点は、複数分割されて配置された電気配線基板９０、負圧制御ユニット２３０の位置、および第１流路部材の形状である。本適用例のように、例えばＢ２サイズの被記録媒体に対応した長さを有する液体吐出ヘッド３の場合、液体吐出ヘッド３の使用電力が大きいため、８枚の電気配線基板９０が設けられる。各々の電気配線基板９０は、液体吐出ユニット支持部８１に取り付けられた長尺の電気配線基板支持部８２の両側面に４枚ずつ取り付けられる。   FIG. 47B is a perspective exploded view of the liquid discharge head 3, and each component or unit constituting the liquid discharge head 3 is divided and displayed for each function (the shield plate 132 is not shown). The role of each unit and each member and the order of liquid circulation in the liquid discharge head 3 are the same as in Application Example 2. The main differences from Application Example 2 are the electrical wiring board 90, the position of the negative pressure control unit 230, and the shape of the first flow path member. As in this application example, in the case of the liquid ejection head 3 having a length corresponding to a recording medium of B2 size, for example, the power consumption of the liquid ejection head 3 is large, so that eight electrical wiring boards 90 are provided. Each of the electrical wiring boards 90 is attached to each side surface of the long electrical wiring board support part 82 attached to the liquid discharge unit support part 81 by four.

図４８（ａ）は、液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０および負圧制御ユニット２３０を備える液体吐出ヘッド３の側面図、図４８（ｂ）は液体の流れを示す概略図、図４８（ｃ）は図４８（ａ）のＧ−Ｇ線部における断面を示す斜視図である。理解を容易にするために、一部の構成は簡略化している。   48A is a side view of the liquid discharge head 3 including the liquid discharge unit 300, the liquid supply unit 220, and the negative pressure control unit 230. FIG. 48B is a schematic view illustrating the flow of the liquid. FIG. 49 is a perspective view showing a cross section taken along line GG in FIG. In order to facilitate understanding, some configurations are simplified.

液体供給ユニット２２０内には液体接続部１１１とフィルタ２２１が設けられるとともに、負圧制御ユニット２３０が液体供給ユニット２２０の下方に一体化して形成されている。これによって負圧制御ユニット２３０と記録素子基板１０との高さ方向の距離が、適用例２に比べて短くなっている。この構成により、液体供給ユニット２２０内の流路接続部の数が減り、記録液体の漏洩に対する信頼性が向上するだけでなく、部品点数や組み立て工程数も低減できるという利点がある。   A liquid connection unit 111 and a filter 221 are provided in the liquid supply unit 220, and a negative pressure control unit 230 is integrally formed below the liquid supply unit 220. Accordingly, the distance in the height direction between the negative pressure control unit 230 and the recording element substrate 10 is shorter than that in the application example 2. This configuration has the advantage that not only the number of flow path connection portions in the liquid supply unit 220 is reduced and the reliability against leakage of the recording liquid is improved, but also the number of parts and the number of assembly steps can be reduced.

また負圧制御ユニット２３０と吐出口が形成される面とにおける水頭差が相対的に小さくなるので、図４５に示すような、液体吐出ヘッド３の傾斜角度が、各液体吐出ヘッドごとに異なるような記録装置へ好適に適応できる。水等差が小さくできるため、複数の液体吐出ヘッド３をことなる傾斜角で用いても、それぞれの記録素子基板の吐出口に加わる負圧差を低減できるためである。また負圧制御ユニット２３０から記録素子基板１０間の距離が小さくなることでその間の流抵抗が小さくなるので、液体の流量変化による圧損差も小さくなり、より安定な負圧制御が行える点でも好ましい。   Further, since the water head difference between the negative pressure control unit 230 and the surface where the discharge port is formed becomes relatively small, the inclination angle of the liquid discharge head 3 as shown in FIG. 45 is different for each liquid discharge head. Therefore, the present invention can be suitably applied to various recording devices. This is because the difference in water and the like can be reduced, so that the negative pressure difference applied to the discharge ports of the respective recording element substrates can be reduced even when the plurality of liquid discharge heads 3 are used at different inclination angles. In addition, since the distance between the negative pressure control unit 230 and the recording element substrate 10 is reduced, the flow resistance therebetween is reduced, so that the pressure loss difference due to the change in the flow rate of the liquid is also reduced, so that more stable negative pressure control can be performed. .

図４８（ｂ）は、液体吐出ヘッド３内部の記録液体の流れを示す模式図である。図４６に示した循環経路と比べ、回路的には同じではあるが、図４８（ｂ）では、実際の液体吐出ヘッド３の各構成部品内での液体の流れを示している。長尺状の第２流路部材６０内には、液体吐出ヘッド３の長手方向に伸びる一組の共通供給流路２１１および共通回収流路２１２が設けられている。共通供給流路２１１および共通回収流路２１２は互いに対向する方向に液体が流れるように構成されており、夫々の流路の上流側にはフィルタ２２１が設けられ、接続部１１１等から侵入する異物をトラップする。このように共通供給流路２１１および共通回収流路２１２は互いに対向する方向に液体を流すことで、液体吐出ヘッド３内の長手方向における温度勾配が軽減される点で好ましい。尚、図４６においては説明を簡略化するために共通供給流路２１１と共通回収流路２１２との流れを同じ方向で示している。   FIG. 48B is a schematic diagram showing the flow of the recording liquid inside the liquid ejection head 3. Compared with the circulation path shown in FIG. 46, the circuit is the same, but FIG. In the long second flow path member 60, a set of a common supply flow path 211 and a common recovery flow path 212 extending in the longitudinal direction of the liquid ejection head 3 are provided. The common supply flow channel 211 and the common recovery flow channel 212 are configured such that liquid flows in directions opposite to each other, and a filter 221 is provided on the upstream side of each flow channel, and foreign matter entering from the connection portion 111 or the like. Trap. As described above, the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 are preferable in that the temperature gradient in the longitudinal direction in the liquid discharge head 3 is reduced by flowing the liquid in the opposite direction. In FIG. 46, the flows of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 are shown in the same direction for the sake of simplicity.

共通供給流路２１１および共通回収流路２１２の下流側には、それぞれ負圧制御ユニット２３０が接続される。また、共通供給流路２１１の途中には複数の個別供給流路２１３ａへの分岐部があり、共通回収流路２１２の途中には複数の個別回収流路２１３ｂへの分岐部がある。個別供給流路２１３ａおよび個別回収流路２１３ｂは複数の第１流路部材５０内に形成されており、夫々の個別流路は、記録素子基板１０の裏面に設けられた蓋部材２０の開口２１（図１９（ｃ）参照）と連通している。   A negative pressure control unit 230 is connected to the downstream side of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212, respectively. Further, in the middle of the common supply channel 211, there are branches to the plurality of individual supply channels 213a, and in the middle of the common recovery channel 212, there are branches to the plurality of individual recovery channels 213b. The individual supply channel 213 a and the individual recovery channel 213 b are formed in the plurality of first channel members 50, and each individual channel is an opening 21 of the lid member 20 provided on the back surface of the recording element substrate 10. (See FIG. 19C).

図４８（ｂ）にＨとＬで示した負圧制御ユニット２３０は、高圧側（Ｈ）と、低圧側（Ｌ）とをユニットである。それぞれの負圧制御ユニット２３０は、相対的に高（Ｈ）、低（Ｌ）の負圧で、負圧制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を制御するように設定された背圧型圧力調整機構である。共通供給流路２１１は負圧制御ユニット２３０（高圧側）と接続され、共通回収流路２１２は負圧制御ユニット２３０（低圧側）と接続されており、それにより共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の間には差圧が発生する。その差圧によって、液体が、共通供給流路２１１から個別供給流路２１３ａ、記録素子基板１０内の吐出口１３（圧力室２３）、個別回収流路２１３ｂを順に通過して共通回収流路２１２へと流れる。   The negative pressure control unit 230 indicated by H and L in FIG. 48B is a unit having a high pressure side (H) and a low pressure side (L). Each negative pressure control unit 230 has a relatively high (H) and low (L) negative pressure, and is configured to control the pressure upstream of the negative pressure control unit 230. It is. The common supply flow path 211 is connected to the negative pressure control unit 230 (high pressure side), and the common recovery flow path 212 is connected to the negative pressure control unit 230 (low pressure side), whereby the common supply flow path 211 and the common recovery flow path are shared. A differential pressure is generated between the flow paths 212. Due to the differential pressure, the liquid sequentially passes from the common supply channel 211 to the individual supply channel 213a, the discharge port 13 (pressure chamber 23) in the recording element substrate 10, and the individual recovery channel 213b. It flows to.

図４８（ｃ）は図４８（ａ）のＧ−Ｇ線部における断面を示す斜視図である。本適用例において個々の吐出モジュール２００は、第１流路部材５０、記録素子基板１０、フレキシブル配線基板４０から構成されている。本実施形形態においては適用例２で説明した支持部材３０（図１８）がなく、蓋部材２０を備える記録素子基板１０が直接第１流路部材５０に接合される。第２流路部材に設けられる共通供給流路２１１は、その上面に形成される連通口６１から、第１流路部材５０の下面に形成される個別連通口５３を介して、個別供給流路２１３ａに供給される。その後液体は、圧力室２３を経由して個別回収流路２１３ｂ、個別連通口５３、連通口６１を順に経由して共通回収流路２１２へと回収される。   FIG. 48C is a perspective view showing a cross section taken along the line G-G in FIG. In this application example, each discharge module 200 includes the first flow path member 50, the recording element substrate 10, and the flexible wiring substrate 40. In the present embodiment, the support member 30 (FIG. 18) described in Application Example 2 is not provided, and the recording element substrate 10 including the lid member 20 is directly bonded to the first flow path member 50. The common supply flow channel 211 provided in the second flow channel member is connected to the individual supply flow channel from the communication port 61 formed on the upper surface thereof through the individual communication port 53 formed on the lower surface of the first flow channel member 50. 213a. Thereafter, the liquid is recovered via the pressure chamber 23 to the common recovery channel 212 via the individual recovery channel 213b, the individual communication port 53, and the communication port 61 in this order.

ここで、図１５に示した適用例２とは異なり、第１流路部材５０の下面（第２流路部材６０側の面）にある個別連通口５３は、第２流路部材５０の上面に形成される連通口６１に対して十分大きな開口となっている。この構成により、吐出モジュール２００を第２流路部材６０上にマウントする際に位置がズレた場合でも、第１流路部材と第２流部材間で確実に流体連通が行わるようになっているので、ヘッド製造時の歩留まりが向上しコストダウンが図れるようになっている。   Here, unlike the application example 2 shown in FIG. 15, the individual communication port 53 on the lower surface of the first flow path member 50 (the surface on the second flow path member 60 side) is the upper surface of the second flow path member 50. The opening is sufficiently large with respect to the communication port 61 formed at the bottom. With this configuration, even when the position is shifted when the discharge module 200 is mounted on the second flow path member 60, fluid communication is reliably performed between the first flow path member and the second flow member. Therefore, the yield at the time of manufacturing the head can be improved and the cost can be reduced.

なお、上記適用例の記載は本発明の範囲を限定するものではない。１例として、本適用例では発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式について説明したが、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。   Note that the description of the application example does not limit the scope of the present invention. As an example, in this application example, the thermal method in which bubbles are generated by a heating element to discharge liquid has been described. However, the present invention is also applied to a liquid discharge head that employs a piezo method and other various liquid discharge methods. be able to.

本適用例は、インク等の液体をタンクと液体吐出ヘッドとの間で循環させる形態のインクジェット記録装置（記録装置）について説明したが、その他の形態であってもよい。その他の形態は、例えばインクを循環せずに、液体吐出ヘッド上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへインクを流すことで、圧力室内のインクを流動させる形態であってもよい。   In this application example, the ink jet recording apparatus (recording apparatus) in which liquid such as ink is circulated between the tank and the liquid discharge head has been described, but other forms may be used. In another embodiment, for example, two tanks are provided upstream and downstream of the liquid discharge head without circulating ink, and the ink in the pressure chamber is caused to flow by flowing ink from one tank to the other tank. It may be.

また本適用例は、記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ライン型ヘッドを用いる例を説明したが、記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行う、所謂シリアル型の液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えばブラックインクを吐出する記録素子基板およびカラーインクを吐出する記録素子基板を各１つずつ搭載する構成が挙げられるが、これに限るのもではない。つまり、複数個の記録素子基板を吐出口列の列方向に吐出口がオーバーラップするよう配置した、記録媒体の幅よりも短い短尺の液体吐出ヘッドを作成し、それを記録媒体に対してスキャンさせる形態であってもよい。   Further, in this application example, an example using a so-called line type head having a length corresponding to the width of the recording medium has been described. However, a so-called serial type liquid discharge head that performs recording while scanning the recording medium. The present invention can also be applied to. As the serial type liquid discharge head, for example, a configuration in which a recording element substrate for discharging black ink and a recording element substrate for discharging color ink are mounted one by one, but the present invention is not limited to this. In other words, a short liquid ejection head shorter than the width of the recording medium is created by arranging a plurality of recording element substrates so that the ejection openings overlap in the row direction of the ejection opening row, and scan the recording medium with respect to the recording medium. It may be a form to be made.

以下に本発明の特徴を示す各実施形態について説明する。   Embodiments showing the features of the present invention will be described below.

（第１の実施形態）
図２２から図２８を用いて、本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドを説明する。なお、前述した適用例における液体供給流路は、実施形態における第１共通供給流路にあたる。同様に、液体回収流路は第１共通回収流路、第１連通口は開口、共通供給流路は第３共通供給流路、共通回収流路は第３共通回収流路にあたる。 (First embodiment)
The liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The liquid supply channel in the application example described above corresponds to the first common supply channel in the embodiment. Similarly, the liquid recovery channel corresponds to the first common recovery channel, the first communication port corresponds to the opening, the common supply channel corresponds to the third common supply channel, and the common recovery channel corresponds to the third common recovery channel.

図２２は、本発明の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。図２２（ａ）から（ｇ）は、分解された構成要素の斜視図であり、図２２（ｈ）から（ｍ）は、分解された構成要素である図２２（ｂ）から（ｇ）に対応する平面図である。図２３は、図２２（ａ）に示される複数の吐出口列３０２４のうちの１つの吐出口列３０２４に着目して、その構造を模式的に示す図である。図２３（ａ）から（ｄ）は、図２２（ａ）から（ｄ）に対応する斜視図であり、図２３（ｅ）から（ｇ）は、図２２（ｈ）から（ｊ）に対応する平面図である。また、図２４（ａ）は、図２３（ｅ）から（ｇ）のＸＸＩＶａ−ＸＸＩＶａ線に沿う断面図であり、図２４（ｂ）は、ＸＸＩＶｂ−ＸＸＩＶｂ線に沿う断面図である。図２５は、本実施形態の液体吐出ヘッドの一部を切り出した等価回路図である。図２６は、本実施形態の液体吐出ヘッドの一部を切り出した等価回路図と流路内の圧力分布とを説明する図である。図２７は、本実施形態の記録素子基板の形状を説明する上面図である。図２８は、吐出口列の端部を説明する模式的透過図である。   FIG. 22 is an exploded view of the main part of the liquid ejection head in the embodiment of the present invention. 22 (a) to (g) are perspective views of the disassembled components, and FIGS. 22 (h) to (m) are the disassembled components shown in FIGS. 22 (b) to (g). It is a corresponding top view. FIG. 23 is a diagram schematically showing the structure focusing on one ejection port array 3024 of the plurality of ejection port arrays 3024 shown in FIG. 23 (a) to (d) are perspective views corresponding to FIGS. 22 (a) to (d), and FIGS. 23 (e) to (g) correspond to FIGS. 22 (h) to (j). FIG. 24A is a cross-sectional view taken along line XXIVa-XXIVa in FIGS. 23E to 23G, and FIG. 24B is a cross-sectional view taken along line XXIVb-XXIVb. FIG. 25 is an equivalent circuit diagram in which a part of the liquid ejection head of the present embodiment is cut out. FIG. 26 is a diagram illustrating an equivalent circuit diagram in which a part of the liquid ejection head according to the present embodiment is cut out and a pressure distribution in the flow path. FIG. 27 is a top view for explaining the shape of the recording element substrate of the present embodiment. FIG. 28 is a schematic transmission diagram for explaining an end portion of the ejection port array.

図２２から図２４に示すように本実施形態の液体吐出ヘッドは吐出口形成部材３０１２、第１流路層３０１１、第２流路層３０５０、第３流路層３０６０、第４流路層３０７０、第５流路層３０８０、および第６流路層３０９０からなる６つの積層流路構成を有する。   As shown in FIGS. 22 to 24, the liquid discharge head according to the present embodiment includes the discharge port forming member 3012, the first flow path layer 3011, the second flow path layer 3050, the third flow path layer 3060, and the fourth flow path layer 3070. , A fifth channel layer 3080, and a sixth channel layer 3090.

吐出口形成部材３０１２には、複数の吐出口３０１３が一列状に並ぶ吐出口列３０２４が複数設けられている。第１流路層３０１１には、吐出口３０１３に対応する位置に、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する記録素子３０１５が設けられている。吐出口形成部材３０１２と第１流路層３０１１とは、圧力室３０２３および流路３３１０（図２４）となる空間が間に形成されるように積層されている。液体吐出ヘッドは、記録素子３０１５が発生するエネルギーにより、圧力室３０２３内（流路３３１０内）にあるインク等の液体を、吐出口３０１３から吐出することが可能になっている。流路３３１０および圧力室３０２３の静的な状態での圧力は、吐出口３０１３において液体（インク）のメニスカスが張るように、負圧に保たれている。このような圧力室の圧力にばらつきが生じると、液体の吐出速度や吐出される液滴の体積などの吐出特性に影響が出てしまう。   The discharge port forming member 3012 is provided with a plurality of discharge port arrays 3024 in which a plurality of discharge ports 3013 are arranged in a line. The first flow path layer 3011 is provided with a recording element 3015 that generates energy used for discharging liquid at a position corresponding to the discharge port 3013. The discharge port forming member 3012 and the first flow path layer 3011 are stacked so that a space serving as the pressure chamber 3023 and the flow path 3310 (FIG. 24) is formed therebetween. The liquid discharge head can discharge a liquid such as ink in the pressure chamber 3023 (in the flow path 3310) from the discharge port 3013 by the energy generated by the recording element 3015. The pressure in the static state of the flow path 3310 and the pressure chamber 3023 is maintained at a negative pressure so that a meniscus of liquid (ink) is stretched at the ejection port 3013. When the pressure in the pressure chamber varies, the ejection characteristics such as the liquid ejection speed and the volume of the ejected droplets are affected.

図２２に示すように、本実施形態では、複数の吐出口列３０２４は、６００ｄｐｉの高密度に配置されている。第２流路層３０５０には、その主面に沿って第１共通供給流路３３１３、および第１共通回収流路３３１４が形成されている。第３流路層３０６０には第１連通口３３１５ａ（供給側連通口）、および第１連通口３３１５ｂ（回収側連通口）が形成されている。第１流路層３０１１には、記録素子３０１５が配列される記録素子列と、液体を供給／回収するための貫通孔３０１７が配列される貫通孔列と、が形成されている。図２４に示すように、これらの貫通孔３０１７は、供給口３０１７ａと回収口３０１７ｂとを含んでいる。複数の供給口３０１７ａは、記録素子３０１５が配される面に対して交差する方向（第２の方向）に延在して供給流路を成すと共に、吐出口列の列方向となる記録素子３０１５の配列方向（第１の方向）に沿うように配列されて、供給口列を形成している。同様に、複数の回収口３０１７ｂは、記録素子３０１５が配される面に対して交差する方向（第２の方向）に延在して供給流路を成すと共に、吐出口列の列方向となる記録素子３０１５の配列方向（第１の方向）に沿うように配列されて、回収口列を形成している。   As shown in FIG. 22, in the present embodiment, the plurality of ejection port arrays 3024 are arranged at a high density of 600 dpi. In the second channel layer 3050, a first common supply channel 3313 and a first common recovery channel 3314 are formed along the main surface. The third flow path layer 3060 is formed with a first communication port 3315a (supply side communication port) and a first communication port 3315b (collection side communication port). The first flow path layer 3011 is formed with a recording element array in which the recording elements 3015 are arranged and a through hole array in which through holes 3017 for supplying / collecting liquid are arranged. As shown in FIG. 24, these through holes 3017 include a supply port 3017a and a recovery port 3017b. The plurality of supply ports 3017a extend in a direction (second direction) intersecting the surface on which the recording elements 3015 are arranged to form a supply flow path, and the recording elements 3015 serving as the row direction of the ejection port array. Are arranged along the arrangement direction (first direction) in order to form a supply port array. Similarly, the plurality of recovery ports 3017b extend in a direction (second direction) intersecting with the surface on which the recording element 3015 is disposed to form a supply flow path, and are in the row direction of the discharge port array. The recording element 3015 is arranged along the arrangement direction (first direction) to form a collection port array.

図２４に示すように、第１共通供給流路３３１３は、供給口３０１７ａを介して流路３３１０および圧力室３０２３と連通している。同様に、第１共通回収流路３３１４は、回収口３０１７ｂを介して流路３３１０および圧力室３０２３と連通している。また、第１共通供給流路３３１３は、第３流路層３０６０に形成される第１連通口３３１５ａ（供給側連通口）から液体の供給を受ける。同様に、第１共通回収流路３３１４は、第３流路層３０６０に形成される第１連通口３３１５ｂ（回収側連通口）と連通している。図２２（ｄ）および（ｊ）に示すように、複数の第１連通口３３１５ａは、吐出口列の列方向と交差する方向に配置されて、第１連通口列を形成している。複数の第１連通口３３１５ｂも、同方向に配列されて、第１連通口列を形成している。   As shown in FIG. 24, the first common supply flow path 3313 communicates with the flow path 3310 and the pressure chamber 3023 via the supply port 3017a. Similarly, the first common recovery channel 3314 communicates with the channel 3310 and the pressure chamber 3023 via the recovery port 3017b. The first common supply flow path 3313 receives the supply of liquid from the first communication port 3315a (supply side communication port) formed in the third flow path layer 3060. Similarly, the first common recovery channel 3314 communicates with a first communication port 3315b (collection side communication port) formed in the third channel layer 3060. As shown in FIGS. 22D and 22J, the plurality of first communication ports 3315a are arranged in a direction intersecting with the row direction of the ejection port row to form a first communication port row. The plurality of first communication ports 3315b are also arranged in the same direction to form a first communication port array.

第４流路層３０７０には、第２共通供給流路３３３１、および第２共通回収流路３３３２が形成されている。第５流路層３０８０には、第２連通口３３３３ａ（供給側連通口）、および第２連通口３３３３ｂ（回収側連通口）が形成されている。第６流路層３０９０には、第３共通供給流路３３３５、および第３共通回収流路３３３６が形成されている。   In the fourth flow path layer 3070, a second common supply flow path 3331 and a second common recovery flow path 3332 are formed. In the fifth flow path layer 3080, a second communication port 3333a (supply side communication port) and a second communication port 3333b (collection side communication port) are formed. In the sixth flow path layer 3090, a third common supply flow path 3335 and a third common recovery flow path 3336 are formed.

第２流路層３０５０の第１共通供給流路３３１３は、一方の面側で複数の供給口３０１７ａと連通し、他方の面側で第１連通口３３１５ａと連通している。同様に、第２流路層３０５０の第１共通回収流路３３１４は、一方の面側で複数の回収口３０１７ｂと連通し、他方の面側で第１連通口３３１５ｂと連通している。また、第４流路層３０７０の第２共通供給流路３３３１は、一方の面側で第１連通口３３１５ａと連通し、他方の面側で複数の第２連通口３３３３ａと連通している。同様に、第４流路層３０７０の第２共通回収流路３３３２は、一方の面側で第１連通口３３１５ｂと連通し、他方の面側で第２連通口３３３３ｂと連通している。ここで、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂの少なくとも一方は複数となっている。また、第６流路層３０９０の第３共通供給流路３３３６は、複数の第２連通口３３３３ａと連通している。同様に、第６流路層３０９０の第３共通回収流路３３３６は、複数の第２連通口３３３３ｂと連通している。   The first common supply channel 3313 of the second channel layer 3050 communicates with the plurality of supply ports 3017a on one surface side and communicates with the first communication port 3315a on the other surface side. Similarly, the first common recovery channel 3314 of the second channel layer 3050 communicates with the plurality of recovery ports 3017b on one surface side, and communicates with the first communication port 3315b on the other surface side. Further, the second common supply flow path 3331 of the fourth flow path layer 3070 communicates with the first communication port 3315a on one surface side, and communicates with the plurality of second communication ports 3333a on the other surface side. Similarly, the second common recovery channel 3332 of the fourth channel layer 3070 communicates with the first communication port 3315b on one surface side, and communicates with the second communication port 3333b on the other surface side. Here, at least one of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b is plural. Further, the third common supply channel 3336 of the sixth channel layer 3090 communicates with the plurality of second communication ports 3333a. Similarly, the third common recovery channel 3336 of the sixth channel layer 3090 communicates with a plurality of second communication ports 3333b.

複数の第１連通口３３１５ａ（供給側第１連通口）は、吐出口列の列方向（第１の方向）と交差する方向（第３の方向）に沿って配列して、供給側第１連通口列を形成している。複数の第１連通口３３１５ｂ（回収側第１連通口）は、吐出口列の列方向（第１の方向）と交差する方向（第３の方向）に沿って配列して、回収側第１連通口列を形成している。   The plurality of first communication ports 3315a (supply-side first communication ports) are arranged along the direction (third direction) intersecting the row direction (first direction) of the discharge port array, and the supply-side first A communication port array is formed. The plurality of first communication ports 3315b (collection side first communication ports) are arranged along the direction (third direction) intersecting the row direction (first direction) of the discharge port array, and the collection side first A communication port array is formed.

複数の第２連通口３３３３ａ（供給側第２連通口）は、吐出口列の列方向（第１の方向）に沿って配列して、供給側第２連通口列を形成している。複数の第２連通口３３３３ｂ（回収側第２連通口）は、吐出口列の列方向（第１の方向）に沿って配列して、回収側第２連通口列を形成している。   The plurality of second communication ports 3333a (supply-side second communication ports) are arranged along the row direction (first direction) of the discharge port row to form a supply-side second communication port row. The plurality of second communication ports 3333b (collection side second communication ports) are arranged along the row direction (first direction) of the discharge port row to form a collection side second communication port row.

複数の第２連通口３３３３ａの配列密度、および複数の第２連通口３３３３ｂの配列密度は、複数の第１連通口３３１５ａの配列密度、および複数の第１連通口３３１５ｂの配列密度より小さい。また、複数の第１連通口３３１５ａの配列密度、および複数の第１連通口３３１５ｂの配列密度は、複数の供給口３０１７ａの配列密度、および複数の回収口３０１７ｂの配列密度より小さい。第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４の夫々は、第１の方向に延在しており、第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４とは、第１の方向と交差する第３の方向に交互に並列している。第２共通供給流路３３３１と第２共通回収流路３３３２は、第１の方向と交差する第３の方向に沿って延在しており、第２共通供給流路３３３１と第２共通回収流路３３３２は第１の方向に交互に並列している。第３共通供給流路３３３５と第３共通回収流路３３３６は、前記第１の方向に沿って延在している。   The arrangement density of the plurality of second communication ports 3333a and the arrangement density of the plurality of second communication ports 3333b are smaller than the arrangement density of the plurality of first communication ports 3315a and the arrangement density of the plurality of first communication ports 3315b. In addition, the arrangement density of the plurality of first communication ports 3315a and the arrangement density of the plurality of first communication ports 3315b are lower than the arrangement density of the plurality of supply ports 3017a and the arrangement density of the plurality of recovery ports 3017b. Each of the first common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 extends in the first direction, and the first common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 are the first Are alternately arranged in parallel in a third direction that intersects the direction. The second common supply flow path 3331 and the second common recovery flow path 3332 extend along a third direction that intersects the first direction, and the second common supply flow path 3331 and the second common recovery flow path 3332 The paths 3332 are alternately arranged in parallel in the first direction. The third common supply channel 3335 and the third common recovery channel 3336 extend along the first direction.

本実施形の液体吐出ヘッドは、このように複数の流路層を積層することで、第６流路層３０９０から第１流路層３０１１に向かって流路の密度が徐々に高くなる構成とすることができる。これにより、記録素子基板および各流路部材の大型化を抑制しつつ、密度の高い複数の吐出口列を備える液体吐出ヘッドが提供可能である。   The liquid ejection head of this embodiment has a configuration in which the flow path density gradually increases from the sixth flow path layer 3090 to the first flow path layer 3011 by stacking the plurality of flow path layers in this way. can do. Accordingly, it is possible to provide a liquid discharge head including a plurality of high-density discharge port arrays while suppressing an increase in size of the recording element substrate and each flow path member.

本実施形態の液体吐出ヘッドにおける液体（以下、インクであるものとする）の流れを説明する。外部から供給されるインクは、流入開口としての第３共通供給流路３３３６から液体流出ヘッドに流入する。流入したインクは、次いで、第２連通口３３３３ａ、第２共通供給流路３３３１、第１連通口３３１５ａ、第１共通供給流路３３１３、供給口３０１７ａをこの順に経て、流路３３１０（圧力室３０２３）まで供給される。インクは、その後、回収口３０１７ｂ、第１共通回収流路３３１４、第１連通口３３１５ｂ、第２共通回収流路３３３２、第２連通口３３３３ｂ、第３共通回収流路３３３６をこの順に経て、流出開口としての第３共通回収流路３３３６から外部へ流出される。   The flow of the liquid (hereinafter referred to as ink) in the liquid discharge head of this embodiment will be described. The ink supplied from the outside flows into the liquid outflow head from the third common supply channel 3336 as the inflow opening. Then, the ink that has flowed in passes through the second communication port 3333a, the second common supply channel 3331, the first communication port 3315a, the first common supply channel 3313, and the supply port 3017a in this order, and then the channel 3310 (pressure chamber 3023). ). The ink then flows out through the recovery port 3017b, the first common recovery channel 3314, the first communication port 3315b, the second common recovery channel 3332, the second communication port 3333b, and the third common recovery channel 3336 in this order. It flows out from the third common recovery flow path 3336 as an opening.

インクをこのように強制的に流れさせることにより、吐出ヘッド内でのインクの増粘を抑制することができ、その結果、インク吐出速度の低下や、記録されるドットの色材濃度の変調を抑制することができる。以下、本明細書において、このようなインクの強制的な流れを「インク循環流」と呼ぶ。   By forcibly flowing the ink in this way, it is possible to suppress the increase in the viscosity of the ink in the ejection head. As a result, the ink ejection speed is reduced and the color material density of the recorded dots is modulated. Can be suppressed. Hereinafter, in this specification, such a forced flow of ink is referred to as “ink circulation flow”.

本実施形態は、各圧力室に流れるインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきを抑制するように、以下の構成となっている。つまり、図２３に示すように、１つの第１共通供給流路３３１３に対して、第１連通口３３１５ａが連通している。同様に、１つの第１共通回収流路３３１４に対して、第１連通口３３１５ｂが連通している。ここで、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂの少なくとも一方は複数となっている。これらの第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂは、各圧力室３０２３に流れるインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきが、吐出特性に大きな影響が無い範囲に収まるように配置されている。特に、１つの吐出口列３０２４に関して、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとが吐出口列の列方向に関して交互に配置されている。交互に配置することで、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂの間隔をより狭くすることができる。つまり、第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４の流路幅が比較的狭い場合でも、各圧力室３０２３（各流路３３１０）に流れるインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきを抑制することが可能となる。   This embodiment has the following configuration so as to suppress variations in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber and variations in pressure in each pressure chamber. That is, as shown in FIG. 23, the first communication port 3315 a communicates with one first common supply flow path 3313. Similarly, the first communication port 3315b communicates with one first common recovery channel 3314. Here, at least one of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b is plural. The first communication port 3315a and the first communication port 3315b are within a range in which the variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber 3023 and the variation in the pressure in each pressure chamber do not significantly affect the ejection characteristics. Has been placed. In particular, with respect to one ejection port array 3024, the first communication ports 3315a and the first communication ports 3315b are alternately arranged in the column direction of the ejection port arrays. By arranging alternately, the space | interval of the 1st communicating port 3315a and the 1st communicating port 3315b can be made narrower. In other words, even when the channel widths of the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 are relatively narrow, variations in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber 3023 (each channel 3310) and each pressure It becomes possible to suppress variations in the pressure in the chamber.

さらに、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの配置の関係は以下のようになっている。まず、複数の圧力室３０２３（流路３３１０）のそれぞれに関して、圧力室３０２３（流路３３１０）を含む第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４との間の流路の流路抵抗をｒとする。また、第１共通供給流路３３１３において、隣接する供給口３０１７ａ間（すなわち、供給流路間）の部分の流路の流路抵抗をＲとする。同様に、第１共通回収流路３３１４において、隣接する回収口３０１７ｂ間（すなわち、回収流路間）の部分の流路の流路抵抗をＲとする。また、各流路３３１０（圧力室３０２３）を流れるインクの流量に関して、それらの平均流量をｑとし、吐出特性に影響を与えない、つまり画像として着弾位置ズレや色ムラが影響無い範囲の最大流量と最小流量との流量差をΔｑとして、両者の比をＸとする。すなわち、流量比Ｘ＝Δｑ／ｑとする。このとき、第１連通口３３１５は、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間の吐出口の数Ｎが以下の式を満たすように配置されている。   Further, the arrangement relationship between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b is as follows. First, for each of the plurality of pressure chambers 3023 (channel 3310), the channel between the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 including the pressure chamber 3023 (channel 3310). Let r be the resistance. Further, in the first common supply channel 3313, the channel resistance of the channel between the adjacent supply ports 3017a (that is, between the supply channels) is R. Similarly, in the first common recovery channel 3314, the channel resistance of the channel between adjacent recovery ports 3017b (that is, between the recovery channels) is R. In addition, regarding the flow rate of ink flowing through each flow path 3310 (pressure chamber 3023), the average flow rate thereof is q, and the discharge flow characteristics are not affected, that is, the maximum flow rate in a range where landing position deviation and color unevenness are not affected as an image. The difference between the flow rate and the minimum flow rate is Δq, and the ratio between the two is X. That is, the flow rate ratio X = Δq / q. At this time, the first communication port 3315 is arranged so that the number N of discharge ports between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b satisfies the following expression.

このような条件で第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとを配置することにより、各圧力室３０２３（各流路３３１０）に流れるインク循環流の流量の圧力室間でのばらつきを、吐出特性に影響を与えない流量差に抑制することが可能となる。   By disposing the first communication port 3315a and the first communication port 3315b under such conditions, variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber 3023 (each flow path 3310) between the pressure chambers is discharged. It is possible to suppress the flow rate difference that does not affect the characteristics.

図２５を用いて、各圧力室３０２３に流れるインク循環流の流量の圧力室間でのばらつきを抑制する条件式（１）について、詳細に説明する。図２５は、第１の方向に関して隣接する第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間の部分を一部切り出した等価回路である。隣接する第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間に圧力室３０２３（流路３３１０）がＮ個含まれる場合を示している。   The conditional expression (1) for suppressing the variation between the pressure chambers of the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber 3023 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 25 is an equivalent circuit in which a part between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b adjacent to each other in the first direction is cut out. The case where N pressure chambers 3023 (flow paths 3310) are included between the adjacent first communication port 3315a and first communication port 3315b is shown.

この場合、Ｎ個の圧力室３０２３のうちの第１連通口３３１５ａに最も近い圧力室３０２３（図２５の圧力室１）、および第１連通口３３１５ｂに最も近い圧力室３０２３に、最も多量のインクが流れる。また、Ｎ個の圧力室３０２３のうちの第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの中間の位置にある圧力室３０２３に流れるインクの流量が最小になることが分かっている。これらの最大流量および最小流量を、各々ｑ1、ｑ2とし、各圧力室３０２３を流れるインクの流量の平均値をｑとすると、供給される全インク量Ｑは、Ｑ＝Ｎｑとなる。 In this case, among the N pressure chambers 3023, the largest amount of ink is placed in the pressure chamber 3023 (pressure chamber 1 in FIG. 25) closest to the first communication port 3315a and the pressure chamber 3023 closest to the first communication port 3315b. Flows. Further, it has been found that the flow rate of the ink flowing into the pressure chamber 3023 at the intermediate position between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b among the N pressure chambers 3023 is minimized. When the maximum flow rate and the minimum flow rate are q 1 and q 2 , respectively, and the average value of the flow rate of the ink flowing through each pressure chamber 3023 is q, the total ink amount Q to be supplied is Q = Nq.

第１連通口３３１５ａから、第１連通口３３１５ａに一番近い圧力室３０２３（図２５の圧力室１）を経由し、第１共通回収流路３３１４を通って第１連通口３３１５ｂへと到達するまでの圧力損失ｐ1を以下に示す。 The first communication port 3315a passes through the pressure chamber 3023 (pressure chamber 1 in FIG. 25) closest to the first communication port 3315a, passes through the first common recovery flow path 3314, and reaches the first communication port 3315b. The pressure loss p 1 up to is shown below.

第１連通口３３１５ａから第１共通供給流路３３１３を通り第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂの中間の位置にある圧力室（図２５圧力室２）を経由し第１共通回収流路３３１４を通って第１連通口３３１５ｂへ到達するまでの圧力損失ｐ2を以下に示す。 The first common recovery channel from the first communication port 3315a through the first common supply channel 3313 and the pressure chamber (pressure chamber 2 in FIG. 25) located at an intermediate position between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b. The pressure loss p 2 until reaching the first communication port 3315b through 3314 is shown below.

圧力損失ｐ1と圧力損失ｐ2とは等しいので、式（２）と式（３）とから、各圧力室を流れるインクの最大流量ｑ1と最小流量ｑ2との流量差Δｑ’について、下式が成り立つ。 Since the pressure loss p 1 and the pressure loss p 2 are equal, the flow rate difference Δq ′ between the maximum flow rate q 1 and the minimum flow rate q 2 of ink flowing through each pressure chamber is calculated from the equations (2) and (3). The following equation holds.

ここで、吐出特性に影響を与えないようにするためには、各圧力室を流れるインクの最大流量と最小流量との流量差Δｑ’＝ｑ1−ｑ2と各圧力室を流れるインクの平均流量ｑとの比が所定の流量比Ｘ以下に設定されることが必要である。そのためには、少なくとも下式で示す条件が必要となる。 Here, in order not to affect the ejection characteristics, the flow rate difference Δq ′ = q 1 −q 2 between the maximum flow rate and the minimum flow rate of the ink flowing through each pressure chamber and the average of the ink flowing through each pressure chamber. The ratio with the flow rate q needs to be set to a predetermined flow rate ratio X or less. For this purpose, at least the conditions shown by the following formula are required.

式（５）を、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間の圧力室の数Ｎに着目して変形すると、式（１）になる。   When Expression (5) is transformed by paying attention to the number N of pressure chambers between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b, Expression (1) is obtained.

本発明の実施形態では、インク循環流の流量をある割合以上に増減させると、吐出口の下部を流れるインク循環流によるインクの回収効果が変わり、吐出速度や吐出液滴体積が変化してしまったり、色材濃度の差異が大きくなってしまったりすることが分かっている。特に、本実施形態の非限定的な１例では、インク循環流のある流量に対して流量を１割程度増減させた場合に、吐出速度や吐出液滴体積が変化し、色材濃度の差異が大きくなった。また、この例では、最大流量と最小流量との流量差と平均流量との比Δｑ／ｑを、所定の流量比Ｘ０．２以下に設定した場合に、吐出特性や色材濃度に大きな影響が生じなくなった。   In the embodiment of the present invention, when the flow rate of the ink circulation flow is increased or decreased to a certain ratio or more, the ink collection effect by the ink circulation flow flowing under the ejection port is changed, and the ejection speed and the ejection droplet volume are changed. It is known that the difference in color material density becomes large. In particular, in one non-limiting example of the present embodiment, when the flow rate is increased or decreased by about 10% with respect to a certain flow rate of the ink circulation flow, the discharge speed and the discharge droplet volume change, and the color material density difference. Became bigger. Further, in this example, when the ratio Δq / q between the flow rate difference between the maximum flow rate and the minimum flow rate and the average flow rate is set to a predetermined flow rate ratio X0.2 or less, the discharge characteristics and the color material density are greatly affected. No longer occurs.

次に、図３７を参照して、インク循環流の流量のばらつきの影響の１例を説明する。   Next, an example of the influence of variations in the flow rate of the ink circulation flow will be described with reference to FIG.

図３７は、各吐出口の下部を流れるインク循環流の流量（循環流量）と、各循環流量でインクを循環させつつインクの吐出を一定時間休止した後で１発目に吐出するインクの吐出速度との関係の非限定的な１例を示すグラフである。本例では、循環流量７０００ｐｌ／ｓ付近を境目として、循環流量が７０００ｐｌ／ｓ程度以上であるときは、定常時の吐出速度の９割以上の吐出速度で１発目からインクを吐出することができた。これに対して、循環流量が７０００ｐｌ／ｓ程度未満であるときは、１発目のインクの吐出速度が定常時の吐出速度の９割未満程度となった。インクの吐出速度が低減すると、吐出されたインクが記録媒体に到着する際（着弾時）の位置にズレが生じ、その結果、画質の低下が生じることとなる。   FIG. 37 shows the flow rate (circulation flow rate) of the ink circulation flow that flows under each ejection port, and the ejection of the ink that is ejected for the first time after the ink ejection is paused for a fixed time while circulating the ink at each circulation flow rate. It is a graph which shows one non-limiting example of the relationship with speed. In this example, when the circulation flow rate is around 7000 pl / s with the circulation flow rate around 7000 pl / s as the boundary, the ink can be discharged from the first at a discharge rate of 90% or more of the normal discharge rate. did it. On the other hand, when the circulation flow rate was less than about 7000 pl / s, the first ink discharge speed was less than 90% of the steady-state discharge speed. When the ink ejection speed is reduced, the position where the ejected ink arrives at the recording medium (at the time of landing) is displaced, and as a result, the image quality is degraded.

したがって、着弾時の位置ズレによる画質低下を防止するためには、一定時間休止後のインクの吐出速度の減少を抑制するように、循環流量をある程度大きくすることが有効である。   Therefore, in order to prevent a decrease in image quality due to a positional deviation at the time of landing, it is effective to increase the circulation flow rate to some extent so as to suppress a decrease in the ink ejection speed after a certain period of pause.

ここで、図３６に、本発明の液体吐出ヘッドに適用可能なインク供給系の１例を示す。図３６において、液体吐出ヘッド３００３は、上流側の第１液体タンク３０４４および下流側の第２液体タンク３０４５とそれぞれ流体連通している。第１液体タンク３０４４は、第３共通供給流路３３３５へインクを供給する。供給されたインクは、各連通口を経由しながら第２共通供給流路３３３１および第１共通供給流路３３１３を通って圧力室３０２３（流路３３１０）に供給される。また、圧力室３０２３（流路３３１０）から、各連通口を経由しながら第１共通回収流路３３１４、および第２共通回収流路３３３２を通って、第３共通回収流路３３３６から第２液体タンク３０４５へと回収される。このような構造において、インク循環流を生じさせる手段としては、第１液体タンク３０４４と第２液体タンク３０４５の水頭差を用いる方法がある。また、第１液体タンク３０４４と第２液体タンク３０４５の圧力を制御し、第１液体タンク３０４４と第２液体タンク３０４５の圧力差を用いる方法もある。また、ポンプ等で流れを生じさせる方法もある。   Here, FIG. 36 shows an example of an ink supply system applicable to the liquid ejection head of the present invention. In FIG. 36, the liquid discharge head 3003 is in fluid communication with the first liquid tank 3044 on the upstream side and the second liquid tank 3045 on the downstream side. The first liquid tank 3044 supplies ink to the third common supply channel 3335. The supplied ink is supplied to the pressure chamber 3023 (flow path 3310) through the second common supply flow path 3331 and the first common supply flow path 3313 through each communication port. In addition, the second liquid from the third common recovery flow path 3336 passes through the first common recovery flow path 3314 and the second common recovery flow path 3332 from the pressure chamber 3023 (flow path 3310) via each communication port. It is collected into the tank 3045. In such a structure, there is a method of using a water head difference between the first liquid tank 3044 and the second liquid tank 3045 as means for generating the ink circulation flow. There is also a method of controlling the pressure of the first liquid tank 3044 and the second liquid tank 3045 and using the pressure difference between the first liquid tank 3044 and the second liquid tank 3045. There is also a method of generating a flow with a pump or the like.

しかしながら、循環流量を大きくするために第１液体タンク３０４４と第２液体タンク３０４５の圧力差を大きくしたりポンプ等で大きな流量を流したりする場合、吐出口の下部の圧力制御が困難になる傾向がある。よって、循環流量は、着弾時のインクの位置ズレによる画質低下および圧力制御の困難性の両方を考慮して、吐出速度が低下しすぎない程度になるべく小さくするとよい。   However, when the pressure difference between the first liquid tank 3044 and the second liquid tank 3045 is increased to increase the circulation flow rate, or when a large flow rate is caused to flow by a pump or the like, it is difficult to control the pressure below the discharge port. There is. Therefore, the circulation flow rate is preferably made as small as possible so that the discharge speed does not decrease excessively in consideration of both the deterioration in image quality due to the positional deviation of the ink upon landing and the difficulty of pressure control.

上述のように、本実施形態では、式（１）を満たすように、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとを少なくとも一方が複数となるように、第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４とにそれぞれ配置する。これによって、流体抵抗の比率ｒ／Ｒを固定したまま、最大流量と最小流量との流量差と平均流量との比（流量比）Ｘの値を小さくすることができる。すなわち、第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４の流路の幅を広げることをせずに、各圧力室３０２３を流れるインク循環流の流量の圧力室間でのばらつきを抑制することができる。よって、吐出口３０１３からの水分蒸発による液滴の吐出速度低下や色材濃度の変調を抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, in the present embodiment, the first common supply flow path 3313 and the first communication port 3313 and the first communication port 3315b are formed so as to satisfy at least one of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b so as to satisfy the expression (1). One common collection flow path 3314 is disposed. As a result, the ratio (flow rate ratio) X between the flow rate difference between the maximum flow rate and the minimum flow rate and the average flow rate (flow rate ratio) X can be reduced while the ratio r / R of the fluid resistance is fixed. That is, without increasing the width of the first common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314, the variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing through each pressure chamber 3023 is suppressed between the pressure chambers. can do. Accordingly, it is possible to suppress a drop in the discharge speed of the droplets due to the evaporation of moisture from the discharge port 3013 and the modulation of the color material density, so that it is possible to form a higher-definition and high-quality image.

同様に、本実施形態では、各圧力室３０２３の圧力の圧力室間でのばらつきを抑制することができる。第１共通供給流路３３１３や第１共通回収流路３３１４で生じる圧力損失は、吐出口列の列方向における各圧力室の圧力の圧力室間でのばらつきとなる。つまり、圧力のばらつきをΔＰとすると、下式が成り立つ。   Similarly, in the present embodiment, it is possible to suppress the variation of the pressure of each pressure chamber 3023 between the pressure chambers. The pressure loss that occurs in the first common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 is a variation in pressure between the pressure chambers in the row direction of the discharge port array. That is, when the pressure variation is ΔP, the following equation is established.

ここで、吐出特性に影響が出ない範囲で許容できる最大の圧力ばらつきをΔＰｍとすると、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとは、両者間の吐出口数Ｎが以下の式を満たすように配置されている。   Here, assuming that the maximum pressure variation that can be allowed within a range that does not affect the discharge characteristics is ΔPm, the first communication port 3315a and the first communication port 3315b are such that the number N of discharge ports between the two satisfies the following formula. Is arranged.

このように、本実施形態では、式（７）を満たすように、複数の第１連通口３３１５ａと複数の第１連通口３３１５ｂを、第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４にそれぞれ配置する。それにより、第１共通供給流路３３１３や第１共通回収流路３３１４の流路の幅を広げることをせずに、各圧力室の圧力の圧力室間でのばらつきを抑制することができる。よって、インクの吐出速度や吐出されるインクの液滴の体積のばらつきを抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, in the present embodiment, the plurality of first communication ports 3315a and the plurality of first communication ports 3315b are replaced with the first common supply flow channel 3313 and the first common recovery flow channel 3314 so as to satisfy Expression (7). Respectively. Thereby, the dispersion | variation between the pressure chambers of each pressure chamber can be suppressed, without expanding the width | variety of the flow path of the 1st common supply flow path 3313 and the 1st common collection | recovery flow path 3314. Therefore, variation in ink ejection speed and volume of ejected ink droplets can be suppressed, so that higher-definition and high-quality image formation can be achieved.

さらに、本実施形態は、高密度に配置された吐出口３０１３に対応する各圧力室に流れるインク循環流の流量の圧力室間でのばらつきや各圧力室の圧力の圧力室間でのばらつきを抑制するように、以下のようになっているとよい。つまり、図２２に示すように、第２共通供給流路３３３１は、吐出口列３０２４の列方向（第１の方向）と交差する方向（第３の方向）に伸びていて、第３の方向に配列される複数の第１連通口３３１５ａと連通している。同様に、第２共通回収流路３３３２は、吐出口列３０２４の列方向（第１の方向）と交差する第３の方向に伸びていて、第３の方向に配列される複数の第１連通口３３１５ｂと連通している。さらに、複数の第２共通供給流路３３３１は、第２連通口３３３３ａを介して、第３共通供給流路３３３６として１つの流路にまとめられている。同様に、複数の第２共通第３共通回収流路３３３２は、第２連通口３３３３ｂを介して、第３共通回収流路３３３６として１つの流路にまとめられている。   Furthermore, in the present embodiment, the variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing through the pressure chambers corresponding to the discharge ports 3013 arranged at a high density between the pressure chambers and the variation in the pressure of each pressure chamber between the pressure chambers. In order to suppress, it is good to be as follows. That is, as shown in FIG. 22, the second common supply flow path 3331 extends in the direction (third direction) intersecting the row direction (first direction) of the discharge port row 3024 and is in the third direction. Are communicated with a plurality of first communication ports 3315a. Similarly, the second common recovery flow path 3332 extends in a third direction intersecting the row direction (first direction) of the discharge port row 3024, and has a plurality of first communication lines arranged in the third direction. It communicates with the mouth 3315b. Further, the plurality of second common supply channels 3331 are combined into one channel as the third common supply channel 3336 via the second communication port 3333a. Similarly, the plurality of second common third common recovery flow paths 3332 are combined into one flow path as the third common recovery flow path 3336 via the second communication port 3333b.

このように、本実施形態では、吐出口形成部材３０１２に対して、第１流路層３０１１、第２流路層３０５０、第３流路層３０６０、第４流路層３０７０、第５流路層３０８０、および第６流路層３０９０の６層構造で、流路を連結している。これにより、高密度に配置された複数の吐出口列３０２４に対して狭いピッチで配置された複数の第１共通供給流路３３１３を、式（１）を満たすように第１連通口３３１５ａを配置しながら、１つに取りまとめることができる。同様に、高密度に配置された複数の吐出口列３０２４に対して狭いピッチで配置された複数の第１共通回収流路３３１４を、式（１）を満たすように第１連通口３３１５ｂを配置しながら１つに取りまとめることができる。つまり、第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４の流路幅を広げることなく、高密度な吐出口列を形成できる。また高密度に配置された複数の吐出口列３０２４の吐出口３０１３に対応する各圧力室２３（流路３３１０）に流れるインク循環流の流量の圧力室間でのばらつきや各圧力室の圧力の圧力室間でのばらつきを抑制することができる。また、高密度に配置された吐出口３０１３に対して、各圧力室３０２３（流路３３１０）のインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきを抑制しながら、液体タンクからのインクの供給および液体タンクへのインクの回収を簡便に行うことができる。これにより、液体吐出ヘッドのコンパクト化だけでなく、この液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置のシステム全体がコンパクトになるという利点がある。   Thus, in the present embodiment, the first flow path layer 3011, the second flow path layer 3050, the third flow path layer 3060, the fourth flow path layer 3070, and the fifth flow path with respect to the discharge port forming member 3012. A flow path is connected in a six-layer structure of a layer 3080 and a sixth flow path layer 3090. Accordingly, the first communication ports 3315a are arranged so that the plurality of first common supply channels 3313 arranged at a narrow pitch with respect to the plurality of discharge port arrays 3024 arranged at high density satisfy the formula (1). However, it can be combined into one. Similarly, a plurality of first common recovery channels 3314 arranged at a narrow pitch with respect to a plurality of discharge port arrays 3024 arranged at high density are arranged with first communication ports 3315b so as to satisfy the formula (1). However, it can be combined into one. That is, a high-density discharge port array can be formed without increasing the channel widths of the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314. In addition, the variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber 23 (flow path 3310) corresponding to the ejection ports 3013 of the plurality of ejection port arrays 3024 arranged at high density, and the pressure in each pressure chamber. Variations between the pressure chambers can be suppressed. Further, with respect to the discharge ports 3013 arranged at a high density, the ink from the liquid tank is suppressed while suppressing the variation in the flow rate of the ink circulation flow in each pressure chamber 3023 (channel 3310) and the variation in the pressure in each pressure chamber. And the recovery of the ink to the liquid tank can be performed easily. Accordingly, there is an advantage that not only the liquid discharge head is made compact, but also the entire system of the liquid discharge apparatus including the liquid discharge head is made compact.

本実施形態は、各吐出口列３０２４に配置された圧力室３０２３の数が多く（例えば１００個以上）、複数の吐出口列３０２４の配列密度（吐出口列と交差する方向の吐出口列の配置密度）が高密度である（例えば５０ｄｐｉ以上）場合に有効である。このような場合、圧力室と流路との流路抵抗の比率（ｒ／Ｒ）が小さかったとしても（例えば１／１０００程度）、インク循環流の流量のばらつきが大きくなってしまう傾向がある。つまり、それ以上に吐出口列を構成する吐出口の数を増加させたり吐出口列同士の間隔を狭くしたりする場合には、各圧力室のインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきを抑制するために、本発明の構成が有効となる。よって、特には、記録媒体の幅に対応した長さを有する液体吐出ヘッドであるラインヘッド、また、吐出口の配列密度が６００ｄｐｉ以上の液体吐出ヘッドに有効である。   In the present embodiment, the number of pressure chambers 3023 arranged in each discharge port row 3024 is large (for example, 100 or more), and the arrangement density of the plurality of discharge port rows 3024 (the discharge port row in the direction intersecting the discharge port row) This is effective when the arrangement density is high (for example, 50 dpi or more). In such a case, even if the ratio (r / R) of the flow path resistance between the pressure chamber and the flow path is small (for example, about 1/1000), the variation in the flow rate of the ink circulation flow tends to increase. . In other words, when the number of discharge ports constituting the discharge port array is further increased or the interval between the discharge port arrays is narrowed, the variation in the flow rate of the ink circulation flow in each pressure chamber, In order to suppress the pressure variation, the configuration of the present invention is effective. Therefore, the present invention is particularly effective for a line head that is a liquid ejection head having a length corresponding to the width of the recording medium, and a liquid ejection head having an ejection port arrangement density of 600 dpi or more.

次に、本実施形態において、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する場合を説明する。本実施形態は、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する場合において、休止している圧力室３０２３に流れるインク循環流の流量のばらつきを抑制するように、以下のようになっているとよい。吐出により各吐出口３０１３から吐出されるインクの流量をＩとする。このとき、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとは、両者間の吐出口３０１３の数Ｎが以下の式を満たすように配置されている。   Next, in the present embodiment, a case where ink is ejected from a large number of ejection ports 3013 will be described. In the present embodiment, when ink is ejected from a large number of ejection ports 3013, it is preferable that the following be performed so as to suppress variations in the flow rate of the ink circulation flow that flows into the pressure chamber 3023 that is at rest. Let I be the flow rate of ink ejected from each ejection port 3013 by ejection. At this time, the 1st communicating port 3315a and the 1st communicating port 3315b are arrange | positioned so that the number N of the discharge ports 3013 between both may satisfy | fill the following formula | equation.

本実施形態では、このような条件で第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂを配置する。これにより、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する場合において、休止している各圧力室３０２３に流れるインク循環流の圧力室間の流量のばらつきを、吐出特性に影響を与えない流量差に抑制することが可能となる。   In the present embodiment, the first communication port 3315a and the first communication port 3315b are arranged under such conditions. As a result, when ink is ejected from a large number of ejection ports 3013, variation in the flow rate between the pressure chambers of the circulating ink flow that flows through each pressure chamber 3023 is suppressed to a flow rate difference that does not affect the ejection characteristics. It becomes possible to do.

図２６を用いて、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する場合において、休止している圧力室３０２３に流れるインク循環流の流量のばらつきを抑制する条件式（８）について、詳細に説明する。   With reference to FIG. 26, the conditional expression (8) for suppressing variation in the flow rate of the ink circulation flow that flows into the pressure chamber 3023 that is at rest when ink is ejected from a large number of ejection ports 3013 will be described in detail.

吐出口３０１３からの水分蒸発による影響を抑制するのに十分な流量でインク循環流を流す場合において、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する際の吐出量の方が、インク循環流の流量より多くなる場合がある。このような場合には、図２６（ａ）に示すように、第１共通回収流路３３１４のインクが逆流することとなる。つまり、図２６（ａ）では、第１共通供給流路３３１３においては、インクは、矢印で示されるように、第１連通口３３１５ａから第１連通口３３１５ｂに向かう方向に流れている。また、多数の圧力室３０２３において、インクは、それぞれ流量Ｉで吐出口から吐出されている。それに伴い、第１共通回収流路３３１４においては、インクは、第１連通口３３１５ｂから第１連通口３３１５ａに向かう方向に流れている。   In the case where the ink circulation flow is caused to flow at a flow rate sufficient to suppress the influence of water evaporation from the discharge ports 3013, the discharge amount when ink is discharged from a large number of discharge ports 3013 is more than the flow rate of the ink circulation flow. May increase. In such a case, as shown in FIG. 26A, the ink in the first common recovery flow path 3314 flows backward. That is, in FIG. 26A, in the first common supply flow path 3313, the ink flows in the direction from the first communication port 3315a toward the first communication port 3315b as indicated by an arrow. In addition, in each of the large number of pressure chambers 3023, the ink is discharged from the discharge ports at a flow rate I. Accordingly, in the first common recovery flow path 3314, the ink flows in the direction from the first communication port 3315b toward the first communication port 3315a.

このときの第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４の圧力分布の関係をグラフにしたのが、図２６（ｂ）である。グラフの横軸は、隣接する第１連通口３３１５ａから第１連通口３３１５ｂに向かう相対的な位置Ｌを示し、縦軸は圧力Ｐを示す。図２６（ａ）に示すような状態で圧力室３０２３からのインクの吐出を休止したときに、各圧力室に対して第１共通供給流路３３１３側と第１共通回収流路３３１４側とから供給されるインク量の比をｔ：１−ｔとする。このとき、第１共通供給流路３３１３で生じる圧力損失をΔＰｉｎ１とし、第１共通回収流路３３１４で生じる圧力損失をΔＰｏｕｔ１とすると、以下の２つの式が成り立つ。   FIG. 26B is a graph showing the relationship between the pressure distributions of the first common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 at this time. The horizontal axis of the graph indicates a relative position L from the adjacent first communication port 3315a toward the first communication port 3315b, and the vertical axis indicates the pressure P. When the ejection of ink from the pressure chamber 3023 is stopped in the state shown in FIG. 26A, the first common supply flow path 3313 side and the first common recovery flow path 3314 side with respect to each pressure chamber. Let the ratio of the amount of ink supplied be t: 1-t. At this time, if the pressure loss generated in the first common supply flow path 3313 is ΔPin1, and the pressure loss generated in the first common recovery flow path 3314 is ΔPout1, the following two expressions hold.

また、各圧力室に対して第１共通供給流路３３１３側で生じる圧力をＰｉｎとし、第１共通回収流路３３１４側で生じる圧力をＰｏｕｔとし、各圧力室の圧力のばらつきの最大値をΔＰｍａｘとし、最小値をΔＰｍｉｎとする。このとき、ΔＰｍａｘ＝Ｐｉｎ−Ｐｏｕｔ＋ΔＰｏｕｔ１、およびΔＰｍｉｎ＝Ｐｉｎ−Ｐｏｕｔ−ΔＰｉｎ１であるから、インク循環流の流量のばらつきΔｑ’は、以下の式で示される。   In addition, the pressure generated on the first common supply flow path 3313 side for each pressure chamber is Pin, the pressure generated on the first common recovery flow path 3314 side is Pout, and the maximum value of the pressure variation in each pressure chamber is ΔPmax. And the minimum value is ΔPmin. At this time, since ΔPmax = Pin−Pout + ΔPout1 and ΔPmin = Pin−Pout−ΔPin1, the flow rate variation Δq ′ of the ink circulation flow is expressed by the following equation.

インク循環流の流量のばらつきΔｑ’を所定の流量比Ｘ以下に設定するためには、以下の式で示される条件が必要となる。   In order to set the flow rate variation Δq ′ of the ink circulation flow to be equal to or less than the predetermined flow rate ratio X, a condition represented by the following equation is required.

式（１２）を、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間の圧力室の数Ｎに着目して変形すると、式（８）になる。   When Expression (12) is transformed by paying attention to the number N of pressure chambers between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b, Expression (8) is obtained.

ここで、本実施形態では、本発明の非限定的な実例として、液体吐出ヘッドの第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４の流路幅を２００μｍ、流路高さを５００μｍとした。また、吐出口列３０２４における吐出口３０１３を６００ｄｐｉの密度で並ぶように配置し、吐出口３０１３下の流路３３１０の形状については、流路幅を３０μｍ、流路高さを１４μｍ、流路長さを１００μｍとした。この液体吐出ヘッドにおいて、吐出口の下部におけるインク循環流の流速を０．０１ｍ／ｓとし、吐出量５ｐｌおよび駆動周波数１０ｋＨｚでインクを吐出する場合を検討した。この場合、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間の吐出口の数Ｎを約６５個以下にすることで、流量のばらつきの影響を抑制することができた。   Here, in this embodiment, as a non-limiting example of the present invention, the channel width of the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 of the liquid ejection head is 200 μm, and the channel height is 500 μm. It was. Further, the discharge ports 3013 in the discharge port array 3024 are arranged so as to be arranged at a density of 600 dpi, and the shape of the flow channel 3310 below the discharge ports 3013 is 30 μm, the flow channel height is 14 μm, and the flow channel length is The thickness was set to 100 μm. In this liquid ejection head, the case where the flow rate of the ink circulation flow at the lower part of the ejection port was set to 0.01 m / s, and ink was ejected at an ejection amount of 5 pl and a driving frequency of 10 kHz was examined. In this case, by setting the number N of discharge ports between the first communication port 3315a and the first communication port 3315b to be about 65 or less, it was possible to suppress the influence of the flow rate variation.

このように、本実施形態では、式（８）を満たすように第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂを少なくとも一方が複数として、第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４にそれぞれ配置する。これにより、流路抵抗の比率ｒ／Ｒを固定したまま流量比Ｘの値を小さくすることができる。すなわち、第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４の流路幅を広げることをせずに、多数の吐出口からインクを吐出する場合において、休止している圧力室３０２３（流路３３１０）を流れるインク循環流の流量のばらつきを抑制できる。よって、吐出口３０１３からの水分蒸発によるインクの液滴の吐出速度の低下や色材濃度の変調を抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, in this embodiment, at least one of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b is plural so as to satisfy the expression (8), and the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 are provided. Respectively. Thereby, the value of the flow rate ratio X can be reduced while the ratio r / R of the channel resistance is fixed. That is, when ink is ejected from a large number of ejection ports without increasing the channel widths of the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314, the pressure chamber 3023 (flow Variation in the flow rate of the ink circulation flow that flows through the path 3310) can be suppressed. Accordingly, it is possible to suppress a drop in ink droplet discharge speed and color material density modulation due to water evaporation from the discharge port 3013, and thus high-definition and high-quality image formation is possible.

さらに本実施形態は、各圧力室に流れるインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきを抑制するように、以下の構成をとることが好ましい。つまり、吐出口列３０２４の列方向における両端部側に配置された第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂは、両端部側以外に配置された第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂよりも小さな形状（開口面積）を有する。   Furthermore, this embodiment preferably has the following configuration so as to suppress variations in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber and variations in pressure in each pressure chamber. That is, the first communication port 3315a or the first communication port 3315b arranged on both end sides in the row direction of the discharge port row 3024 is more than the first communication port 3315a or the first communication port 3315b arranged on the side other than the both end sides. Has a small shape (opening area).

両端部側に配置された第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂからみると、吐出口列の列方向において片側のみに吐出口３０１３が配置されている。そのため、その第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂを通る全インク量Ｑは、吐出口列の列方向において両端部側とは異なる箇所に配置された第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂを通る全インク量よりも少なくなる。よって両端部側の第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂを中央部側に比べて小さな形状にし流路抵抗を大きくすることで、端部側とは異なる箇所に配置された第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂで生じる圧力損失に近づけることができる。よって、両端部側の第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂと連通する圧力室を通るインク循環流の流れと、それとは異なる第１連通口３３１５ａまたは第１連通口３３１５ｂと連通する圧力室を通るインク循環流の流れの差を小さくすることができる。それにより各圧力室に流れるインク循環流の流量ばらつきをさらに抑制することが可能となる。   When viewed from the first communication port 3315a or the first communication port 3315b disposed on both ends, the discharge port 3013 is disposed only on one side in the column direction of the discharge port array. Therefore, the total ink amount Q passing through the first communication port 3315a or the first communication port 3315b is equal to the first communication port 3315a or the first communication port arranged at a location different from the both end sides in the column direction of the ejection port array. This is less than the total amount of ink passing through 3315b. Accordingly, the first communication port 3315a or the first communication port 3315b on both ends is made smaller in shape than the center, and the flow resistance is increased, so that the first communication is arranged at a location different from the end. The pressure loss generated at 3315a or the first communication port 3315b can be approached. Therefore, the flow of the ink circulation flow passing through the pressure chamber communicating with the first communication port 3315a or the first communication port 3315b on both ends, and the pressure chamber communicating with the first communication port 3315a or the first communication port 3315b different from the flow. The difference in the flow of the ink circulation flow through the ink can be reduced. Thereby, it is possible to further suppress variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber.

図２７および図２８を用いて、本実施形態のさらなる態様を説明する。本実施形態は、各圧力室３０２３に流れるインク循環流の流量ばらつきを抑制するように、以下のようになっている。   The further aspect of this embodiment is demonstrated using FIG. 27 and FIG. The present embodiment is configured as follows so as to suppress variations in the flow rate of the ink circulation flow that flows in each pressure chamber 3023.

図２７は、本実施形態の液体吐出ヘッドの記録素子基板の上面図である。図２７に示すように、本実施形態の記録素子基板３０１０では、吐出口列３０２４の端部と記録素子基板３０１０の端部との間の領域が大きい。例えばこの領域には、電気信号を記録素子基板３０１０と送受信するためのパットや駆動のための回路が配置されている。   FIG. 27 is a top view of the recording element substrate of the liquid ejection head according to the present embodiment. As shown in FIG. 27, in the recording element substrate 3010 of this embodiment, the area between the end of the ejection port array 3024 and the end of the recording element substrate 3010 is large. For example, in this region, a pad for transmitting / receiving an electric signal to / from the recording element substrate 3010 and a circuit for driving are arranged.

図２８は、本実施形態の液体吐出ヘッドの１つの吐出口列３０２４の一部を切り取った概略的な上面透過図である。図２８中、矢印は、インク循環流の流れの向きを示す。図２７に示すような記録素子基板３０１０の場合は、図２８（ａ）および（ｂ）に示すように、第１連通口３３１５ｂが、吐出口列３０２４の端部の吐出口３０１３に重なるように配置されている。これに対し、図２８（ｃ）は、第１連通口３３１５ｂが吐出口３０１３の端部に重ならない配置の例を示す。図２８（ａ）および（ｂ）の構成によれば、図２８（ｃ）の構成と比べて、吐出口列３０２４の端部の第１連通口３３１５ａから圧力室３０２３を通って第１連通口３３１５ｂまでインクが流れる長さを短くすることができる。つまり図２８（ａ）や図２８（ｂ）のように配置することにより、吐出口列３０２４の端部近傍における第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４で生じる最大圧力損失を小さくすることができる。そのため、各圧力室３０２３に流れるインク循環流の流量ばらつきを抑制することができる。なお、第１連通口３３１５ｂではなく、第１連通口３３１５ａが吐出口列２４の端部の吐出口に重なるように配置されている構成も同様に適用可能である。   FIG. 28 is a schematic top transparent view in which a part of one ejection port array 3024 of the liquid ejection head of this embodiment is cut off. In FIG. 28, the arrows indicate the direction of the ink circulation flow. In the case of the recording element substrate 3010 as shown in FIG. 27, as shown in FIGS. 28A and 28B, the first communication port 3315b overlaps with the discharge port 3013 at the end of the discharge port array 3024. Has been placed. On the other hand, FIG. 28C shows an example of an arrangement in which the first communication port 3315 b does not overlap the end of the discharge port 3013. 28A and 28B, compared with the configuration of FIG. 28C, the first communication port passes through the pressure chamber 3023 from the first communication port 3315a at the end of the discharge port array 3024. The length of ink flow up to 3315b can be shortened. That is, by arranging as shown in FIG. 28A and FIG. 28B, the maximum pressure loss generated in the first common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 near the end of the discharge port array 3024 is reduced. Can be small. Therefore, the flow rate variation of the ink circulation flow flowing through each pressure chamber 3023 can be suppressed. A configuration in which the first communication port 3315a is arranged to overlap the discharge port at the end of the discharge port array 24 instead of the first communication port 3315b is also applicable.

図２２を用いて、本実施形態のさらなる態様を説明する。本実施形態は、チップ（記録素子基板３０１０）内の温度分布を抑制するために以下のようになっている。つまり、図２２（ｄ）および（ｊ）に示すように、吐出口列３０２４の列方向における両端部側の第１連通口３３１５は、共に第１連通口３３１５ｂになっている。   The further aspect of this embodiment is demonstrated using FIG. This embodiment is as follows in order to suppress the temperature distribution in the chip (recording element substrate 3010). That is, as shown in FIGS. 22D and 22J, the first communication ports 3315 on both ends in the row direction of the discharge port row 3024 are both first communication ports 3315b.

本実施形態の構成のように各圧力室のインクを強制対流させた場合、通常は、記録素子３０１５等から発せられた熱を液体（インク）が回収することにより、圧力室から流出する回収側のインクの温度が高くなってしまう。また、吐出口３０１３からの水分蒸発による影響を抑制するのに十分な流量でインク循環流を流していても、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する際の吐出量の方が多くなる場合がある。その際には、第３共通回収流路３３３６を通って第１連通口３３１５ｂからもインクが供給されることとなる。つまり、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する際に、第１連通口３３１５ｂから高温のインクが供給されることがある。このことにより、第１連通口３３１５ａ近辺よりも第１連通口３３１５ｂ近辺の温度が高くなり、第１連通口３３１５ａ近辺の吐出口３０１３と第１連通口３３１５ｂ近辺の吐出口３０１３との間に吐出速度の差が生じる。よって、吐出口列３０２４の両端部側の第１連通口３３１５のうち一端側が第１連通口３３１５ａ、他端側が第１連通口３３１５ｂといったように異なる種類が配置されている場合には、吐出口列３０２４全体で見るときに列方向に熱分布の傾きが生じる。そのため、チップ全体としての熱分布幅が大きくなってしまい、その結果、チップ全体として吐出特性にばらつきが生じてしまう。つまり、吐出口列３０２４の列方向の両端部側を同じ種類の流路である第１連通口３３１５ｂとすることにより、このような熱分布の傾きを抑制することができるため、吐出特性のばらつきを抑えることができる。   When the ink in each pressure chamber is forcibly convected as in the configuration of the present embodiment, the recovery side that normally flows out of the pressure chamber is recovered by the liquid (ink) recovering the heat generated from the recording element 3015 or the like. The temperature of the ink becomes high. Further, even when the ink circulation flow is made at a flow rate sufficient to suppress the influence of moisture evaporation from the ejection ports 3013, the ejection amount when ejecting ink from the large number of ejection ports 3013 may be larger. is there. At that time, ink is also supplied from the first communication port 3315b through the third common recovery flow path 3336. That is, when ink is ejected from many ejection ports 3013, high-temperature ink may be supplied from the first communication port 3315b. As a result, the temperature in the vicinity of the first communication port 3315b is higher than that in the vicinity of the first communication port 3315a, and the discharge is performed between the discharge port 3013 in the vicinity of the first communication port 3315a and the discharge port 3013 in the vicinity of the first communication port 3315b. A speed difference occurs. Therefore, when different types are arranged such that one end side of the first communication ports 3315 on both end sides of the discharge port array 3024 is the first communication port 3315a and the other end side is the first communication port 3315b. When the entire row 3024 is viewed, a gradient of heat distribution occurs in the row direction. For this reason, the heat distribution width of the entire chip is increased, and as a result, the ejection characteristics vary as a whole chip. In other words, since the first communication port 3315b, which is the same type of flow path, is used at both ends in the column direction of the discharge port array 3024, the inclination of the heat distribution can be suppressed, and thus the discharge characteristics vary. Can be suppressed.

図２２（ｄ）および（ｊ）においては、両端部側を共に第１連通口３３１５ｂとしたが、両端部側を共に第１連通口３３１５ａとしても、同様に、熱分布の傾きを抑制する効果がある。しかしながら、図２２（ｄ）および（ｊ）に示すように、吐出口列３０２４の列方向における両端部が共に第１連通口３３１５ｂになっていると好ましい。本実施形態の記録素子基板３０１０は、吐出口列３０２４の両端部と記録素子基板３０１０の端部との間の吐出口３０１３が配置されていない領域が大きく、インク吐出時に発生する熱はこの領域から放熱される。そのため、多数の吐出口３０１３からインクを吐出した際に、吐出口列３０２４の列方向の両端部では、他の箇所よりも温度が低くなる傾向がある。これに対して、両端部を共に第１連通口３３１５ｂとすることにより、温度の高いインクを両端部に供給することができ、両端部の温度をより高くすることができ、他の箇所との温度差を小さくすることができる。つまり、チップ全体としての熱分布幅を小さくできるため、吐出特性のばらつきを抑えることが可能となる。   In FIGS. 22D and 22J, both end portions are both the first communication port 3315b, but both end portions are also used as the first communication port 3315a. There is. However, as shown in FIGS. 22D and 22J, it is preferable that both end portions in the row direction of the discharge port row 3024 are the first communication port 3315b. The recording element substrate 3010 of this embodiment has a large area where the ejection ports 3013 between the both ends of the ejection port array 3024 and the end of the recording element substrate 3010 are not arranged, and the heat generated during ink ejection is in this area. Radiated from the heat. For this reason, when ink is ejected from a large number of ejection ports 3013, the temperature tends to be lower at both ends in the column direction of the ejection port array 3024 than at other locations. On the other hand, by setting both ends to the first communication port 3315b, it is possible to supply ink having a high temperature to both ends, and the temperature at both ends can be further increased. The temperature difference can be reduced. That is, since the heat distribution width of the entire chip can be reduced, it is possible to suppress variations in ejection characteristics.

なお、本実施形態では、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５を共に複数備える形態で説明したが、本発明は第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５の少なくとも一方について複数備える形態であれば良い。つまり第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂの少なくとも一方を複数備えて、吐出特性のばらつきを抑える構成も本発明に含むものである。例えば、第１連通口３３１５ａを２つ、第１連通口３３１５ｂを１つ備える構成も本発明に含まれる。また別の一例として、第１連通口３３１５ａを１つ、第１連通口３３１５ｂを２つ備える構成も本発明に含まれる。   In the present embodiment, the first communication port 3315a and the first communication port 3315 are provided with a plurality of both, but the present invention is provided with a plurality of at least one of the first communication port 3315a and the first communication port 3315. I need it. That is, the present invention includes a configuration in which a plurality of at least one of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b is provided to suppress variation in ejection characteristics. For example, a configuration including two first communication ports 3315a and one first communication port 3315b is also included in the present invention. As another example, the present invention includes a configuration including one first communication port 3315a and two first communication ports 3315b.

また、本発明の各実施形態における各流路層と部材構成の関係は本発明を制限するものではない。吐出口形成部材および第１流路層から第６流路層の各層構成において、夫々、別の部材を積層して液体吐出ヘッドを構成しても良く、また、複数の層を一体的に成形した部材として液体吐出ヘッドを構成しても良い。一例として次のような２つの構成例を挙げることができる。１つの構成例は、第１流路層３０１１と第２流路層３０５０は、前述した適用例における記録素子基板１０として一体的に形成されている。具体的には記録素子３０１５が設けられたＳｉ基板に、供給口３０１７ａ、回収口２０１７ｂ、第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４が形成されている。第３流路層３０６０は蓋部材２０または２０２０に形成し、第４流路層３０７０の一部を図１０の支持部材３０に形成する。第４流路層３０７０の他の一部は、図７における第１流路部材５０に形成し、第５流路層３０８０と第６流路層３０９０の一部は、第２流路部材６０に形成する。第６流路層３０９０の他の一部は、第３流路部材７０に形成する。第２の構成例においては、第１流路層３０１１と第２流路層３０５０は、前述した適用例における記録素子基板１０に形成されている。第３流路層３０６０は蓋部材２０または２０２０に形成し、第４流路層３０７０の一部を支持部材２０３０に形成する。第４流路層３０７０の他の一部と第５流路層３０８０は、第１流路部材２０５０に形成し、第６流路層３０９０は第２流路部材２０６０に形成する。また、第１流路層３０１１は記録素子基板１０に形成され、第２流路層３０５０は第２基板に形成されていてもよい。   Further, the relationship between each flow path layer and the member configuration in each embodiment of the present invention does not limit the present invention. In each layer configuration of the discharge port forming member and the first flow path layer to the sixth flow path layer, the liquid discharge head may be configured by laminating different members, or a plurality of layers are integrally formed. A liquid discharge head may be configured as the member. As an example, the following two configuration examples can be given. In one configuration example, the first flow path layer 3011 and the second flow path layer 3050 are integrally formed as the recording element substrate 10 in the application example described above. Specifically, a supply port 3017a, a recovery port 2017b, a first common supply channel 3313, and a first common recovery channel 3314 are formed on a Si substrate provided with a recording element 3015. The third flow path layer 3060 is formed on the lid member 20 or 2020, and a part of the fourth flow path layer 3070 is formed on the support member 30 in FIG. The other part of the fourth flow path layer 3070 is formed in the first flow path member 50 in FIG. 7, and the fifth flow path layer 3080 and the sixth flow path layer 3090 are part of the second flow path member 60. To form. Another part of the sixth flow path layer 3090 is formed in the third flow path member 70. In the second configuration example, the first flow path layer 3011 and the second flow path layer 3050 are formed on the recording element substrate 10 in the application example described above. The third flow path layer 3060 is formed on the lid member 20 or 2020, and a part of the fourth flow path layer 3070 is formed on the support member 2030. The other part of the fourth flow path layer 3070 and the fifth flow path layer 3080 are formed in the first flow path member 2050, and the sixth flow path layer 3090 is formed in the second flow path member 2060. The first flow path layer 3011 may be formed on the recording element substrate 10 and the second flow path layer 3050 may be formed on the second substrate.

（液体吐出ヘッドの作製工程）
図３８に、本実施形態の液体吐出ヘッドの作製工程の１例を示す。図３８に示すように、本例では、まず、ステップＳ９１において、記録素子３０１５や必要な回路等が既に形成された記録素子基板３０１０上に、吐出口形成部材３０１２を配設して、吐出口を形成する（吐出口形成工程）。次いで、ステップＳ９２において、記録素子基板３０１０の吐出口形成面とは反対側の面である裏面に、供給口３０１７ａと回収口３０１７ｂとを形成する（裏面供給／回収流路形成工程）。次いで、ステップＳ９３において、記録素子基板１０の裏面に、供給口３０１７ａと回収口３０１７ｂとを覆うように、蓋部材２０を形成する（蓋部材形成工程）。次いで、ステップＳ９４において、ステップＳ９３により得られた積層構成を有する記録素子基板１０を、ウエハ形態からチップ形態へと外形の加工をする（切断工程）。さらに、ステップＳ９５において、ステップＳ９４により得られたチップ形態の記録素子基板１０を、支持部材３０に接合する（接合工程）。 (Liquid discharge head manufacturing process)
FIG. 38 shows an example of a manufacturing process of the liquid discharge head of this embodiment. As shown in FIG. 38, in this example, first, in step S91, an ejection port forming member 3012 is provided on a recording element substrate 3010 on which the recording element 3015 and necessary circuits have already been formed. Is formed (discharge port forming step). Next, in step S92, a supply port 3017a and a recovery port 3017b are formed on the back surface that is the surface opposite to the discharge port forming surface of the recording element substrate 3010 (back surface supply / recovery flow path forming step). Next, in step S93, the lid member 20 is formed on the back surface of the recording element substrate 10 so as to cover the supply port 3017a and the recovery port 3017b (lid member forming step). Next, in step S94, the outer shape of the recording element substrate 10 having the laminated structure obtained in step S93 is processed from the wafer form to the chip form (cutting process). In step S95, the chip-shaped recording element substrate 10 obtained in step S94 is joined to the support member 30 (joining step).

このように、本例では、接合工程（Ｓ９５）の前に、蓋部材形成工程（Ｓ９３）によって、記録素子基板３０１０（記録素子基板１０）の裏面に第３流路層３０６０（蓋部材２０）を形成する。これにより、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂを、基板をウエハ形態で加工するウエハ工程にて、形成することができる。ウエハ工程で蓋部材２０を形成することにより、部材を機械加工や成形加工で作製する場合よりも部材の形状精度が良くなる。そのため、より微細な穴をより高密度に形成することが可能となる。また、蓋部材２０をより薄くすることが可能となる。よって、吐出口を高密度に配置することができる。また、第１連通口３３１５ａや第１連通口３３１５ｂの流路抵抗を低減させると共に、そのばらつきを低減することができる。よって、インク循環流を発生させる差圧を安定化することが可能となり、循環流量のばらつきを低減することが可能となる。   Thus, in this example, the third flow path layer 3060 (lid member 20) is formed on the back surface of the recording element substrate 3010 (recording element substrate 10) by the lid member forming step (S93) before the joining step (S95). Form. Thereby, the 1st communication port 3315a and the 1st communication port 3315b can be formed in the wafer process which processes a board | substrate with a wafer form. By forming the lid member 20 in the wafer process, the shape accuracy of the member becomes better than when the member is manufactured by machining or molding. Therefore, it becomes possible to form finer holes with higher density. Further, the lid member 20 can be made thinner. Therefore, the discharge ports can be arranged with high density. In addition, the flow resistance of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b can be reduced, and variation thereof can be reduced. Therefore, it is possible to stabilize the differential pressure that generates the ink circulation flow, and to reduce the variation in the circulation flow rate.

ここで、作製工程の観点から、蓋部材２０はシリコン基板から成るとよい。つまり、ウエハ形態の記録素子基板１０にウエハ形態のシリコン基板からなる蓋部材２０を接合することができるため、ウエハを切断して得られるチップ毎に蓋部材２０を接合するよりも工程の削減が可能となる。   Here, from the viewpoint of the manufacturing process, the lid member 20 may be made of a silicon substrate. That is, since the lid member 20 made of a silicon substrate in the wafer form can be bonded to the recording element substrate 10 in the wafer form, the number of processes can be reduced compared to bonding the lid member 20 for each chip obtained by cutting the wafer. It becomes possible.

あるいはまた、蓋部材２０は樹脂フィルムから成るとよい。シリコン基板から成る場合と同様に、ウエハ形態の記録素子基板１０にフィルム状の形態の樹脂をラミネートすることで蓋部材２０を接合することができるため、チップ毎に蓋部材を接合するよりも工程の削減が可能となる。   Alternatively, the lid member 20 may be made of a resin film. As in the case of the silicon substrate, the lid member 20 can be joined by laminating the resin in the form of a film on the recording element substrate 10 in the wafer form. Can be reduced.

ここで、本実施形で示した工程順や、工程の内容は本発明の１例であり、本発明を制限するものではない。つまり、吐出口の形成工程と、裏面供給／回収流路の形成工程と、蓋部材の形成工程と、切断工程と、の順序は本発明を制限するものではなく、接合工程（Ｓ９５）の前に蓋部材形成工程（Ｓ９３）があればよい。   Here, the order of the steps shown in the present embodiment and the contents of the steps are examples of the present invention and do not limit the present invention. In other words, the order of the discharge port forming step, the back surface supply / recovery channel forming step, the lid member forming step, and the cutting step does not limit the present invention, and the order before the joining step (S95). May have a lid member forming step (S93).

（第２の実施形態）
図２９から図３２を参照して、本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドを説明する。前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。 (Second Embodiment)
A liquid discharge head according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図２９は、本発明の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。図２９（ａ）から（ｇ）は、分解された構成要素の斜視図であり、図２９（ｈ）から（ｍ）は分解された構成要素の平面図である。   FIG. 29 is an exploded view of the main part of the liquid ejection head in the embodiment of the present invention. 29 (a) to 29 (g) are perspective views of the disassembled components, and FIGS. 29 (h) to 29 (m) are plan views of the disassembled components.

図３０は、本実施形態の液体吐出ヘッドの記録素子基板の形状を説明する上面図である。図３１は、吐出口列の端部を説明するための液体吐出ヘッドの模式的透過図である。図３２は、本実施形態の循環流量のばらつきを説明するための図である。図３２（ａ）および（ｂ）は、記録素子基板の上面透過図を示し、図３２（ｃ）および（ｄ）は、第１共通供給流路と第１共通回収流路内における圧力分布のイメージ図である。   FIG. 30 is a top view illustrating the shape of the recording element substrate of the liquid ejection head according to the present embodiment. FIG. 31 is a schematic transparent view of the liquid discharge head for explaining the end portion of the discharge port array. FIG. 32 is a diagram for explaining the variation in the circulation flow rate of the present embodiment. 32 (a) and 32 (b) are top surface transparent views of the recording element substrate, and FIGS. 32 (c) and 32 (d) show the pressure distribution in the first common supply channel and the first common recovery channel. It is an image figure.

図３０に示すように、本実施形態における記録素子基板４０１０は平行四辺形となっており、図２７に示す第１の実施形態の記録素子基板３０１０の構成と比べて、吐出口列３０２４の端部と記録素子基板４０１０端部との間の領域が小さい。このような場合には、外部との電気信号の送受信を行うための記録素子基板４０１０に形成されるパットや駆動のための回路は、記録素子基板４０１０の長辺側に配置されている。本実施形態では、このような記録素子基板４０１０を用いる。これにより、複数の記録素子基板４０１０が千鳥状ではなく実質的に１列状に配置されたラインヘッドにおいても、記録素子基板４０１０同士の隣接部で、隣接する記録素子基板４０１０の吐出口列同士を容易に走査方向に対して重ね合わせることができる。ここで、走査方向とは、液体吐出ヘッドにより媒体に記録を行う際の、液体吐出ヘッドの媒体に対する相対的な移動方向をいう。また、実質的に１列状とは、液体吐出ヘッドの長尺方向（記録素子基板の配列方向）と走査方向との双方において、隣接する記録素子基板４０１０がいずれも部分的に重なり合って配置されているということである。   As shown in FIG. 30, the recording element substrate 4010 in the present embodiment has a parallelogram shape, and compared with the configuration of the recording element substrate 3010 of the first embodiment shown in FIG. Area between the recording element and the end of the recording element substrate 4010 is small. In such a case, a pad formed on the recording element substrate 4010 for transmitting / receiving an electric signal to / from the outside and a circuit for driving are arranged on the long side of the recording element substrate 4010. In this embodiment, such a recording element substrate 4010 is used. As a result, even in a line head in which a plurality of recording element substrates 4010 are arranged in a substantially single row instead of a staggered pattern, the ejection port arrays of adjacent recording element substrates 4010 are adjacent to each other in the adjacent portions of the recording element substrates 4010. Can be easily superimposed on the scanning direction. Here, the scanning direction refers to a moving direction of the liquid discharge head relative to the medium when recording is performed on the medium by the liquid discharge head. The substantially one-line shape means that adjacent recording element substrates 4010 are partially overlapped in both the longitudinal direction of the liquid discharge head (arrangement direction of the recording element substrates) and the scanning direction. It is that.

図３０に示すように、第２の実施形態では、記録素子基板４０１０の端部近傍まで吐出口３０１３が配される。図２８（ａ）および（ｂ）で説明したように、第１の実施形態では、記録素子基板３０１０の吐出口列の端部と重なる位置に、第１連通口３３１５ａや第１連通口３３１５ｂを配置していた。しかしながら、第２の実施形態の形態においては、第１の実施形態とは異なり、記録素子基板４０１０の吐出口列の端部と重なる位置に第１連通口３３１５ａや第１連通口３３１５ｂを配置することは、部材形成上困難である。よって、図３１に示すように、吐出口列３０２４の端部よりも吐出口列の列方向における中央側に離れた位置に第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂが配置されている。   As shown in FIG. 30, in the second embodiment, the ejection port 3013 is arranged near the end of the recording element substrate 4010. As described with reference to FIGS. 28A and 28B, in the first embodiment, the first communication port 3315a and the first communication port 3315b are provided at positions that overlap the end of the ejection port array of the recording element substrate 3010. It was arranged. However, in the second embodiment, unlike the first embodiment, the first communication port 3315a and the first communication port 3315b are arranged at a position overlapping the end of the ejection port array of the recording element substrate 4010. This is difficult in forming the member. Therefore, as shown in FIG. 31, the first communication port 3315a and the first communication port 3315b are arranged at a position farther from the end of the discharge port array 3024 to the center side in the column direction of the discharge port array.

本実施形態は、各圧力室間（流路間）に流れるインク循環流の流量のばらつき、各圧力室（流路）の圧力のばらつき、記録素子基板４０１０内の温度分布を抑制するために、以下のようになっている。つまり、図２９に示すように、吐出口列３０２４の列方向の両端部側に第１連通口３３１５ａを配置している。   In the present embodiment, in order to suppress the variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing between the pressure chambers (between the flow paths), the pressure variation in the pressure chambers (flow paths), and the temperature distribution in the recording element substrate 4010, It is as follows. That is, as shown in FIG. 29, the first communication port 3315a is arranged on both end sides in the row direction of the discharge port row 3024.

図３２は、多数の吐出口から液体を吐出した際の様子の１例を示した図である。図３２（ａ）および（ｂ）において、矢印はインクの流れの向きを示し、ΔＰｉｎ２、ΔＰｏｕｔ２、ΔＰｉｎ３、ΔＰｏｕｔ３はそれぞれの流路で生じる圧力損失を示している。図３２（ｃ）は、図３２（ａ）の状態に対応する圧力分布を示し、図３２（ｄ）は、図３２（ｂ）の状態に対応する圧力分布を示す。図３２（ｃ）および（ｄ）において、実線は第１共通供給流路３３１３内の圧力を示し、２点鎖線は第１共通回収流路３３１４内の圧力を示す。   FIG. 32 is a diagram showing an example of a state when liquid is discharged from a large number of discharge ports. 32A and 32B, arrows indicate the direction of ink flow, and ΔPin2, ΔPout2, ΔPin3, and ΔPout3 indicate pressure losses that occur in the respective flow paths. Fig. 32 (c) shows the pressure distribution corresponding to the state of Fig. 32 (a), and Fig. 32 (d) shows the pressure distribution corresponding to the state of Fig. 32 (b). 32C and 32D, the solid line indicates the pressure in the first common supply flow path 3313, and the two-dot chain line indicates the pressure in the first common recovery flow path 3314.

図３２（ａ）に示すように、吐出口列の列方向の端部の第１連通口３３１５が第１連通口３３１５ａとなっているときの、吐出口列３０２４の端部での第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４との差圧をΔＰ２とする。同様に、図３２（ｂ）に示すように、吐出口列の列方向の端部の第１連通口３３１５が連通口３３１５ｂとなっているときの、吐出口列３０２４の端部での第１共通供給流路３３１３と第１共通回収流路３３１４との差圧をΔＰ３とする。このとき、それぞれ下記式のようになっている。
ΔＰ２＝（Ｐｉｎ−ΔＰｉｎ２）−（Ｐｏｕｔ−ΔＰｏｕｔ２）＝（Ｐｉｎ−Ｐｏｕｔ）＋（ΔＰｏｕｔ２−ΔＰｉｎ２） ・・・式（１３）
ΔＰ３＝（Ｐｉｎ−ΔＰｉｎ３）−（Ｐｏｕｔ−ΔＰｏｕｔ３）＝（Ｐｉｎ−Ｐｏｕｔ）−（ΔＰｉｎ３−ΔＰｏｕｔ３） ・・・式（１４） As shown in FIG. 32 (a), the first common at the end of the discharge port array 3024 when the first communication port 3315 at the end in the column direction of the discharge port array is the first communication port 3315a. A differential pressure between the supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 is denoted by ΔP2. Similarly, as shown in FIG. 32B, when the first communication port 3315 at the end in the row direction of the discharge port row is the communication port 3315b, the first at the end of the discharge port row 3024 is displayed. A differential pressure between the common supply flow path 3313 and the first common recovery flow path 3314 is denoted by ΔP3. At this time, the following equations are obtained.
ΔP2 = (Pin−ΔPin2) − (Pout−ΔPout2) = (Pin−Pout) + (ΔPout2−ΔPin2) (13)
ΔP3 = (Pin−ΔPin3) − (Pout−ΔPout3) = (Pin−Pout) − (ΔPin3−ΔPout3) (14)

ここで、吐出口列の端部と第１連通口３３１５（第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂ）との位置的な関係から、圧力損失は、ΔＰｏｕｔ２＞ΔＰｉｎ２、およびΔＰｉｎ３＞ΔＰｏｕｔ３となる。これにより、差圧ΔＰ２は初期の吐出していない際の初期差圧（Ｐｉｎ−Ｐｏｕｔ）よりも大きくなり、差圧ΔＰ３は初期差圧よりも小さくなる。差圧が小さくなるとインク循環流が小さくなり、吐出口からの水分蒸発による液滴の吐出速度の低下や色材濃度の変調を抑制する効果が小さくなるため、差圧が大きくなる場合よりも影響が大きい。よって、吐出口列３０２４の列方向の両端部に第１連通口３３１５ａを配することで、流量ばらつきの影響を低減することができる。   Here, from the positional relationship between the end of the discharge port array and the first communication port 3315 (the first communication port 3315a and the first communication port 3315b), the pressure loss becomes ΔPout2> ΔPin2 and ΔPin3> ΔPout3. . Thereby, the differential pressure ΔP2 becomes larger than the initial differential pressure (Pin−Pout) when the initial ejection is not performed, and the differential pressure ΔP3 becomes smaller than the initial differential pressure. When the differential pressure becomes smaller, the ink circulation flow becomes smaller, and the effect of suppressing the drop in the discharge speed of the droplets due to the evaporation of water from the ejection port and the modulation of the color material density becomes smaller. Is big. Therefore, by arranging the first communication port 3315a at both ends of the discharge port array 3024 in the column direction, it is possible to reduce the influence of flow rate variation.

また、第１連通口３３１５ａは、インク循環流を生じさせるために第１連通口３３１５ｂよりも圧力が高くなるようにされており、それにより、インクの吐出時にインクを供給し易くなっている。インクを供給し易い第１連通口３３１５ａを、吐出口列３０２４端部の近くに配置する。それにより、多数の吐出口からインクを吐出した際に第１共通供給流路３３１３や第１共通回収流路３３１４で生じる圧力損失を、インク連通口３３１５ｂを吐出口列２４の端部の近くに配置した際と比較して小さくできる。   Further, the first communication port 3315a has a pressure higher than that of the first communication port 3315b in order to generate an ink circulation flow, thereby making it easier to supply ink when ink is ejected. The first communication port 3315a that can easily supply ink is disposed near the end of the ejection port array 3024. As a result, when ink is ejected from a large number of ejection ports, the pressure loss that occurs in the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 can be reduced by bringing the ink communication port 3315b closer to the end of the ejection port array 24. It can be made smaller than when it is placed.

また、図３０に示すように、本実施形態では、第１の実施形態とは異なり、記録素子基板４０１０において、吐出口列３０２４の列方向の両端部と記録素子基板４０１０の端部との間の、吐出口が無い（記録素子が無い）領域が小さい。   Further, as shown in FIG. 30, in the present embodiment, unlike the first embodiment, in the recording element substrate 4010, between the both ends in the column direction of the ejection port array 3024 and the end of the recording element substrate 4010. The area where there is no ejection port (no printing element) is small.

このような構造の場合、吐出時に発生する熱のこの領域からの放熱が制限される。逆に、第１連通口３３１５ａや第１連通口３３１５ｂから吐出口列３０２４の列方向端部までの第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４の長さが長くなる。長い流路を流れるインクは記録素子基板４０１０から熱を受け取り易く、多数の吐出口３０１３からインクを吐出した際に、吐出口列３０２４の列方向の両端部では他の箇所よりも温度が高くなる傾向がある。また、流路の長さに起因して、吐出時に各流路に生じる圧力損失も大きくなり、吐出口列３０２４端部での圧力のばらつきが大きくなる傾向がある。   In the case of such a structure, heat dissipation from this region of heat generated during ejection is limited. Conversely, the lengths of the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 from the first communication port 3315a and the first communication port 3315b to the end in the column direction of the discharge port array 3024 become longer. The ink flowing through the long flow path easily receives heat from the recording element substrate 4010, and when ink is ejected from a large number of ejection ports 3013, the temperature is higher at both ends in the column direction of the ejection port array 3024 than at other locations. Tend. In addition, due to the length of the flow path, the pressure loss that occurs in each flow path during discharge also increases, and the pressure variation at the end of the discharge port array 3024 tends to increase.

これに対して、本実施形態では、吐出口列３０２４の両端部側に共に第１連通口３３１５ａを配置する。これにより、吐出口列３０２４の列方向の端部近傍の吐出口３０１３には、より近くに配置されている第１連通口３３１５である第１連通口３３１５ａから、第１連通口３３１５ｂからよりも多くのインクが供給されることとなる。よって、多数の吐出口３０１３からインクを吐出する際に、第１連通口３３１５ｂからの高温のインクが供給される量が少なくなるため吐出口列３０２４の端部の昇温を低減することができる。   On the other hand, in this embodiment, the 1st communicating port 3315a is arrange | positioned together in the both end part side of the discharge port row | line | column 3024. FIG. As a result, the discharge port 3013 near the end in the column direction of the discharge port array 3024 is closer to the first communication port 3315a, which is the first communication port 3315 disposed closer than the first communication port 3315b. A lot of ink will be supplied. Accordingly, when ink is ejected from a large number of ejection ports 3013, the amount of high-temperature ink supplied from the first communication port 3315b is reduced, so that the temperature rise at the end of the ejection port array 3024 can be reduced. .

このように、本実施形態においては、吐出口列３０２４の列方向の両端部側を共に第１連通口３３１５ａとすることで、流量のばらつきの影響や圧力のばらつきやチップ内温度分布を小さくすることができる。よって、吐出口からの水分蒸発による液滴の吐出速度低下や色材濃度の変調を抑制したり、吐出特性のばらつきを抑制したりすることができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, in this embodiment, the both ends in the row direction of the discharge port row 3024 are both the first communication ports 3315a, thereby reducing the influence of flow rate variation, pressure variation, and in-chip temperature distribution. be able to. Therefore, it is possible to suppress the drop in the discharge speed of the droplets due to the evaporation of moisture from the discharge port, the modulation of the color material density, and the variation in the discharge characteristics, so that higher-definition and high-quality image formation can be achieved. It becomes possible.

次に、図３９を用いて、本実施形態における記録素子基板４０１０全体の温度分布について説明する。図３９は、吐出口列３０２４の列方向における全吐出口から吐出した際の温度分布を示したグラフである。記録素子基板４０１０は、摂氏５０度で温調制御されている状態である。   Next, the temperature distribution of the entire recording element substrate 4010 in this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 39 is a graph showing the temperature distribution when discharging from all the discharge ports in the column direction of the discharge port array 3024. The recording element substrate 4010 is in a state where temperature control is performed at 50 degrees Celsius.

インク循環流の流量よりも吐出によって吐出口から吐出されるインクの流量の方が大きい場合について説明する。第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂにおけるインク循環流の流れの向きは、吐出口３０１３に向けた流れとなっている。また、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂにおけるインクの流量は、第１連通口３３１５ａの方が多い傾向となっている。   A case where the flow rate of ink ejected from the ejection port by ejection is greater than the flow rate of the ink circulation flow will be described. The direction of the ink circulation flow in the first communication port 3315a and the first communication port 3315b is a flow toward the ejection port 3013. Further, the ink flow rate at the first communication port 3315a and the first communication port 3315b tends to be higher at the first communication port 3315a.

図３９（ａ）および（ｂ）は、１つの吐出口列３０２４における、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂの位置と温度との関係について示したグラフである。   FIGS. 39A and 39B are graphs showing the relationship between the position and temperature of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b in one ejection port array 3024. FIG.

図３９（ａ）は、比較例として、１つの吐出口列３０２４に対して第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂがそれぞれ１つ配置されている場合の温度分布を示す。第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４を流れるインクは、記録素子基板４０１０から熱を受け取るため、連通口から離れた流路の中央部の温度が高くなっている。また、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂの温度を比較すると、第１連通口３３１５ａの方が、インク循環流の流量が大きいため、温度が低くなっている。   FIG. 39A shows a temperature distribution in the case where one first communication port 3315a and one first communication port 3315b are arranged for one discharge port array 3024 as a comparative example. Since the ink flowing through the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 receives heat from the recording element substrate 4010, the temperature of the central portion of the channel away from the communication port is high. Further, when comparing the temperatures of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b, the first communication port 3315a has a lower temperature because the flow rate of the ink circulation flow is larger.

なお、第１連通口３３１５ｂにおいて吐出口３０１３に向かってインクが逆流することがない条件の場合でも、第１連通口３３１５ｂには、流路を流れて記録素子基板から熱を受け取ったインクが流れるため、第１連通口３３１５ａの方の温度が低くなる傾向がある。   Even when the ink does not flow back toward the ejection port 3013 at the first communication port 3315b, the ink that has received heat from the recording element substrate flows through the first communication port 3315b. Therefore, the temperature of the first communication port 3315a tends to be low.

図３９（ｂ）は、本実施形態における、1つの吐出口列に対して第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとがそれぞれ複数個、交互に配置されている場合の温度分布を示す。   FIG. 39B shows a temperature distribution when a plurality of first communication ports 3315a and a plurality of first communication ports 3315b are alternately arranged with respect to one ejection port array in the present embodiment.

本実施形態では、第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂがそれぞれ複数個配置されている。そのため、図３９（ａ）の比較例と比べて、隣接する第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとの間の距離が短い。よって、インクが第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４を流れる長さが短くなり、流路を流れている間に記録素子基板から熱を受け取ることによるインクの昇温が小さくなっている。本例では、特に、第１連通口３３１５ｂの温度は、第１連通口３３１５ａの温度と同じような温度となっている。   In the present embodiment, a plurality of first communication ports 3315a and a plurality of first communication ports 3315b are arranged. Therefore, compared with the comparative example of FIG. 39A, the distance between the adjacent first communication port 3315a and the first communication port 3315b is short. Therefore, the length of the ink flowing through the first common supply channel 3313 and the first common recovery channel 3314 is shortened, and the temperature rise of the ink due to receiving heat from the recording element substrate while flowing through the channel is small. It has become. In this example, in particular, the temperature of the first communication port 3315b is similar to the temperature of the first communication port 3315a.

本実施形態では、さらに、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとが吐出口列の列方向関して交互に並んでいるため、インクが第１共通供給流路３３１３および第１共通回収流路３３１４を流れる最大長さが短くなっている。このことからも、流路を流れている間に記録素子基板から熱を受け取ることによるインクの昇温が小さくなっている。   In the present embodiment, since the first communication port 3315a and the first communication port 3315b are alternately arranged in the row direction of the discharge port array, the ink is supplied to the first common supply channel 3313 and the first common recovery flow. The maximum length flowing through the path 3314 is shortened. This also reduces the temperature rise of the ink due to receiving heat from the recording element substrate while flowing through the flow path.

このように、本実施形態においては、1つの吐出口列に対して第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとがそれぞれ複数個交互に配置されていることにより、図３９（ａ）に示す比較例と比べて、記録素子基板４０１０内での温度差を小さくすることができる。よって、吐出特性のばらつきを抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, in the present embodiment, a plurality of first communication ports 3315a and a plurality of first communication ports 3315b are alternately arranged with respect to one ejection port array, as shown in FIG. Compared with the comparative example, the temperature difference in the recording element substrate 4010 can be reduced. Therefore, since variation in ejection characteristics can be suppressed, higher-definition and high-quality image formation can be performed.

図３９（ｃ）は、複数の吐出口列３０２４に対する第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂとが記録素子基板４０１０の平行四辺形の輪郭に合わせてずれて配置されている場合の、それぞれの吐出口列３０２４での連通口の温度の分布を示す。図中、吐出口形成部材および吐出口は記載が省略されている。   FIG. 39C shows the case where the first communication port 3315a and the first communication port 3315b with respect to the plurality of ejection port arrays 3024 are shifted in accordance with the parallelogram outline of the recording element substrate 4010. The temperature distribution of the communication port in the discharge port array 3024 is shown. In the drawing, the description of the discharge port forming member and the discharge port is omitted.

吐出口列の位置による各吐出口列自体の温度の絶対値の違いはあるが、複数の吐出口列間での吐出口列の列方向における第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂの位置ズレに合わせて、温度が高い位置と低い位置とがずれていることが分かる。   Although there is a difference in the absolute value of the temperature of each ejection port array itself depending on the position of the ejection port array, the positions of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b in the column direction of the ejection port array among the plurality of ejection port arrays. It can be seen that the position where the temperature is high and the position where the temperature is low are shifted according to the deviation.

図３９（ｄ）は、図３９（ｃ）の温度分布を複数の吐出口列３０２４の列が並ぶ方向に関して平均したグラフである。各吐出口列における温度が高い位置と低い位置がずれているため、平均化すると記録素子基板４０１０内の温度差は、図３９（ｃ）の全ての吐出口列を個別に考えた際の温度差よりも小さくなっている。よって、記録媒体の走査方向（液体吐出ヘッドと記録媒体との相対的な走査方向）が吐出口列３０２４の列方向の向きと交差する方向（特に、垂直方向）だとすると、温度差による吐出特性のばらつきの影響を平均化することができる。   FIG. 39D is a graph in which the temperature distribution in FIG. 39C is averaged with respect to the direction in which the plurality of ejection port arrays 3024 are arranged. Since the position where the temperature is high and the position where the temperature is low in each ejection port array is shifted, the temperature difference in the recording element substrate 4010 when averaged is the temperature when all the ejection port arrays in FIG. 39C are considered individually. It is smaller than the difference. Accordingly, if the scanning direction of the recording medium (the relative scanning direction of the liquid ejection head and the recording medium) is a direction (particularly the vertical direction) that intersects the direction of the ejection port array 3024, the ejection characteristics due to the temperature difference. The effect of variation can be averaged.

このように、本実施形態では、複数の吐出口列に対する第１連通口３３１５ａおよび第１連通口３３１５ｂの吐出口列の列方向における位置が、吐出口列間でずれて配置されている。これにより、第１連通口３３１５ａと第１連通口３３１５ｂの配置位置に起因する温度差を平均化することができる。よって、吐出特性のばらつきを抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, in the present embodiment, the positions of the first communication port 3315a and the first communication port 3315b in the row direction of the first communication port 3315a with respect to the plurality of discharge port rows are shifted from each other between the discharge port rows. Thereby, the temperature difference resulting from the arrangement position of the 1st communicating port 3315a and the 1st communicating port 3315b can be averaged. Therefore, since variation in ejection characteristics can be suppressed, higher-definition and high-quality image formation can be performed.

（第３の実施形態）
図３３は、本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドを説明する図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。図３３は、本発明の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。図３３（ａ）から（ｆ）は斜視図であり、図３３（ｇ）から（ｌ）は平面図である。 (Third embodiment)
FIG. 33 is a diagram for explaining a liquid ejection head according to the third embodiment of the present invention. The same parts as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. FIG. 33 is an exploded view of the main part of the liquid ejection head in the embodiment of the present invention. 33 (a) to 33 (f) are perspective views, and FIGS. 33 (g) to 33 (l) are plan views.

本実施形態では、図３３に示すように、１つの第１共通供給流路５３１３が２つの吐出口列３０２４に配置された圧力室３０２３に連通している。同様に１つの第１共通回収流路５３１４が２つの吐出口列３０２４に配置された圧力室３０２３に連通している。つまり、図３３（ｇ）および（ｈ）に示すように、隣接する２つの吐出口列３０２４の間には、１つの第１共通供給流路５３１３または１つの第１共通回収流路５３１４が位置付けられている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 33, one first common supply channel 5313 communicates with a pressure chamber 3023 disposed in two discharge port arrays 3024. Similarly, one first common recovery flow path 5314 communicates with the pressure chamber 3023 arranged in the two discharge port arrays 3024. That is, as shown in FIGS. 33 (g) and 33 (h), one first common supply flow path 5313 or one first common recovery flow path 5314 is positioned between two adjacent discharge port arrays 3024. It has been.

本実施形態は第１の実施形態の効果に加えて以下の点で好ましい。つまり、隣接する２つの吐出口列の第１共通供給流路５３１３および第１共通回収流路５３１４を共有化することにより、流路間の隔壁の数を減らすことができる。また、流路抵抗は流路幅の２乗に比例するので、同じ吐出口数Ｎの場合に、第１の実施形態における第１共通供給流路３３１３または第１共通回収流路３３１４の２本分の流路幅より小さい流路幅で２つの吐出口列に対して式（１）を成り立たせることができる。また、同じ吐出口列間隔の場合に、１つの吐出口列に対する式（１）の第１共通供給流路５３１３または第１共通回収流路５３１４の流路抵抗Ｒを小さくすることができ、吐出口数Ｎを大きくすることができる。   This embodiment is preferable in the following points in addition to the effects of the first embodiment. That is, by sharing the first common supply flow path 5313 and the first common recovery flow path 5314 of two adjacent discharge port arrays, the number of partition walls between the flow paths can be reduced. In addition, since the flow path resistance is proportional to the square of the flow path width, when the number of discharge ports is the same N, the first common supply flow path 3313 or the first common recovery flow path 3314 in the first embodiment is equivalent to two. Equation (1) can be established for the two discharge port arrays with a channel width smaller than the channel width. Further, in the case of the same discharge port row interval, the flow channel resistance R of the first common supply flow channel 5313 or the first common recovery flow channel 5314 of the formula (1) for one discharge port row can be reduced, and the discharge The number N can be increased.

これらのことにより、各圧力室に流れるインク循環流の流量のばらつきや各圧力室の圧力のばらつきをさらに抑制しながら、上述した実施形に比べて吐出口列３０２４をさらに高密度に配置することができる。そのため、記録素子基板の大きさ（チップサイズ）を低減することが可能となる。また、吐出口列３０２４の密度を同じとした場合には、各圧力室に流れるインク循環流の流量の圧力室間でのばらつきや各圧力室の圧力の圧力室間でのばらつきをさらに抑制しながら、第１連通口３３１５ａや第１連通口３３１５ｂの数を低減することができる。したがって、液体吐出ヘッドの流路構造をより簡便にすることが可能となる。   Accordingly, the discharge port arrays 3024 can be arranged at a higher density than in the above-described embodiment while further suppressing variations in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber and variations in pressure in each pressure chamber. Can do. Therefore, the size (chip size) of the recording element substrate can be reduced. Further, when the density of the ejection port array 3024 is the same, the variation in the flow rate of the ink circulation flow flowing in each pressure chamber between the pressure chambers and the variation in the pressure in each pressure chamber between the pressure chambers are further suppressed. However, the number of first communication ports 3315a and first communication ports 3315b can be reduced. Therefore, the flow path structure of the liquid discharge head can be further simplified.

（第４の実施形態）
図３４は、本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドを説明する図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。図３４は、本発明の実施形態における液体吐出ヘッドの要部の分解図である。図３４（ａ）から（ｇ）は斜視図であり、図３４（ｈ）から（ｍ）は平面図である。 (Fourth embodiment)
FIG. 34 is a diagram for explaining a liquid discharge head according to the fourth embodiment of the present invention. The same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. FIG. 34 is an exploded view of the main part of the liquid ejection head in the embodiment of the present invention. 34 (a) to (g) are perspective views, and FIGS. 34 (h) to (m) are plan views.

図３４に示すように、本実施形態では、１つの液体吐出ヘッド内に異なる色または異なる種類のインクを吐出するためのインク１用の吐出口６０５１とインク２用の吐出口６０６１が配置されている。第１流路部材３０５０には、インク１用の第１共通供給流路６０５２、インク２用の第１共通供給流路６０６２、インク１用の第１共通回収流路６０５３、インク２用の第１共通回収流路６０６３が形成されている。また、第２流路部材３０６０には、インク１用の第１連通口６０５４ａ、インク２用の第１連通口６０６４ａ、インク１用の第１連通口６０５４ｂ、インク２用の第１連通口６０６４ｂが形成されている。さらに、第３流路部材３０７０には、インク１用の第２共通供給流路６０５６、インク２用の第２共通供給流路６０６６、インク１用の第２共通回収流路６０５７、インク２用の第２共通回収流路６０６７が形成されている。また、第４の流路部材３０８０には、インク１用の第２連通口６０５８ａ、インク２用の第２連通口６０６８ａ、インク１用の第２連通口６０５８ｂ、インク２用の第２連通口６０６８ｂが形成されている。そして、第５の流路部材３０９０には、インク１用の第３共通供給流路６０７０、インク２用の第３共通供給流路６０８０、インク２用の第３共通回収流路６０７１、インク２用の第３共通回収流路６０８１が形成されている。それぞれのインク１，２に関して、第３の実施形態と同様に、第３共通供給流路６０７０，６０８０から供給されたインクが圧力室３０２４（流路３３１０）を通って第３共通回収流路６０７１，６０８１から流出されるように連通している。   As shown in FIG. 34, in this embodiment, an ejection port 6051 for ink 1 and an ejection port 6061 for ink 2 for ejecting different colors or different types of ink are arranged in one liquid ejection head. Yes. The first flow path member 3050 includes a first common supply flow path 6052 for ink 1, a first common supply flow path 6062 for ink 2, a first common recovery flow path 6053 for ink 1, and a first common supply flow path 6053 for ink 2. One common recovery channel 6063 is formed. Further, the second flow path member 3060 has a first communication port 6054a for ink 1, a first communication port 6064a for ink 2, a first communication port 6054b for ink 1, and a first communication port 6064b for ink 2. Is formed. Further, the third flow path member 3070 includes a second common supply flow path 6056 for ink 1, a second common supply flow path 6066 for ink 2, a second common recovery flow path 6057 for ink 1, and an ink 2 use. The second common recovery flow path 6067 is formed. Further, the fourth flow path member 3080 has a second communication port 6058a for ink 1, a second communication port 6068a for ink 2, a second communication port 6058b for ink 1, and a second communication port for ink 2. 6068b is formed. The fifth channel member 3090 includes a third common supply channel 6070 for ink 1, a third common supply channel 6080 for ink 2, a third common recovery channel 6071 for ink 2, and an ink 2 A third common recovery flow path 6081 is formed. For each of the inks 1 and 2, as in the third embodiment, the ink supplied from the third common supply channels 6070 and 6080 passes through the pressure chamber 3024 (channel 3310) and the third common recovery channel 6071. , 6081 so as to flow out.

なお、第３の実施形態のように、１つの第１共通供給流路が２つの吐出口列に配置された圧力室に連通している形態も取り得る。同様に１つの第１共通回収流路が２つの吐出口列に配置された圧力室に連通している形態も取り得る。   Note that, as in the third embodiment, a mode in which one first common supply channel communicates with pressure chambers arranged in two discharge port arrays may be taken. Similarly, a mode in which one first common recovery channel communicates with pressure chambers arranged in two discharge port arrays can be taken.

また、インク１用の第３共通供給流路６０７０および第３共通回収流路６０７１と、インク２用の第３共通供給流路６０８０および第３共通回収流路６０８１とを、第６流路層３０９０が記録素子基板３０１０よりも大きくなるような大きさに設けてもよい。つまり、第６流路層３０９０は、例えば、吐出口列３０２４列方向と交差する方向（例えば垂直の方向）に幅広くなる形態も取り得る。   Further, the third common supply channel 6070 and the third common recovery channel 6071 for the ink 1 and the third common supply channel 6080 and the third common recovery channel 6081 for the ink 2 are connected to the sixth channel layer. The size 3090 may be larger than the recording element substrate 3010. That is, the sixth flow path layer 3090 can take a form that becomes wider in a direction (for example, a vertical direction) intersecting with the discharge port array 3024 array direction, for example.

また本実施形態のように、１つの液体吐出ヘッドで異なる色の液体を吐出するような場合、以下の構成とすることで混色を抑制しつつ、液体吐出ヘッドの小型化が可能となる。詳細には図３４（ｃ）、（ｉ）において同色の液体を供給する第１共通供給流路６０５２と第１共通回収流路６０５３との間の間隔（両流路を仕切る壁の厚み）を異なる色の液体を供給する流路間の間隔（両流路を仕切る壁の厚み）よりも小さくすることが好適である。より詳細には、同色間の流路間の間隔を、インク１用の液体を供給する第１共通供給流路６０５２と、それに隣接する、インク２用の液体を回収する第１共通回収流路６０５３との間隔より小さくする。   Further, as in the present embodiment, when liquids of different colors are ejected by one liquid ejection head, the liquid ejection head can be reduced in size while suppressing color mixing with the following configuration. Specifically, the interval between the first common supply flow path 6052 and the first common recovery flow path 6053 for supplying the same color liquid in FIGS. It is preferable to make it smaller than the interval between the flow paths supplying liquids of different colors (thickness of the wall partitioning both flow paths). More specifically, the first common supply flow path 6052 for supplying the liquid for the ink 1 and the first common recovery flow path for recovering the liquid for the ink 2 adjacent to the first common supply flow path 6052 for supplying the liquid for the ink 1 It is set to be smaller than the interval with 6053.

このように、多色インク用または多種類インク用の液体吐出ヘッドにおいても、第１共通供給流路および第１共通回収流路の幅を広げることをせずに、各圧力室間を流れるインク循環量のばらつきや各圧力室の圧力ばらつきを抑制することができる。よって、吐出口からの水分蒸発による液滴の吐出速度低下や色材濃度の変調を抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   As described above, even in the liquid discharge head for multi-color ink or multi-type ink, the ink flowing between the pressure chambers without increasing the width of the first common supply channel and the first common recovery channel. Variations in circulation amount and pressure variations in each pressure chamber can be suppressed. Therefore, it is possible to suppress the drop in the discharge speed of the droplets and the modulation of the color material density due to the evaporation of moisture from the discharge port, so that higher-definition and high-quality image formation is possible.

（第５の実施形態）
図３５は、本発明を適用可能な各種の液体吐出ヘッドの例を示した外観斜視図である。 (Fifth embodiment)
FIG. 35 is an external perspective view showing examples of various liquid discharge heads to which the present invention can be applied.

図３５（ａ）は、本発明を適用可能な１枚の記録素子基板の形態の液体吐出ヘッドの例を示す。この液体吐出ヘッドは、記録媒体に対して往復移動を繰り返しながら記録を行う。第６流路層７０９０上に第５流路層７０８０が配置され、その上に第４流路層７０７０が配置されている。さらに第３流路層７０６０および第２流路層７０５０を含む記録素子基板７０１０が、支持部材７０３０上に配置されている。   FIG. 35A shows an example of a liquid discharge head in the form of a single recording element substrate to which the present invention can be applied. The liquid discharge head performs recording while repeating reciprocating movement with respect to the recording medium. A fifth flow path layer 7080 is disposed on the sixth flow path layer 7090, and a fourth flow path layer 7070 is disposed thereon. Further, a recording element substrate 7010 including a third flow path layer 7060 and a second flow path layer 7050 is disposed on the support member 7030.

図３５（ｂ）および（ｃ）は、複数の記録素子基板７０１０が千鳥状に配置されたラインヘッドの形態の液体吐出ヘッドの例を示す。図３５（ｂ）では、各記録素子基板７０１０は、共通の支持部材７０３２に配置されている。また、図３５（ｃ）では、各記録素子基板７０１０は、それぞれ個別の支持部材７０３４に配置されている。   FIGS. 35B and 35C show examples of liquid discharge heads in the form of line heads in which a plurality of recording element substrates 7010 are arranged in a staggered manner. In FIG. 35B, the recording element substrates 7010 are disposed on a common support member 7032. In FIG. 35C, each recording element substrate 7010 is disposed on an individual support member 7034.

図３５（ｄ）および（ｅ）は、複数の記録素子基板７０１０が一列状に配置されたラインヘッドの形態の液体吐出ヘッドの例を示す。図３５（ｄ）では、各記録素子基板７０１０は、共通の支持部材７０３２に配置されている。また、図３５（ｅ）では、各記録素子基板７０１０は、それぞれ個別の支持部材７０３４に配置されている。この場合の記録素子基板７０１０は、第４の実施形態における記録素子基板４０１０のような形状であるとよい。   FIGS. 35D and 35E show examples of a liquid discharge head in the form of a line head in which a plurality of recording element substrates 7010 are arranged in a line. In FIG. 35D, each recording element substrate 7010 is disposed on a common support member 7032. In FIG. 35E, each recording element substrate 7010 is disposed on an individual support member 7034. In this case, the recording element substrate 7010 may be shaped like the recording element substrate 4010 in the fourth embodiment.

このような本実施形態の各種の液体吐出ヘッドは、前述したインク循環流を生じさせることができる。それにより、各圧力室間を流れるインク循環量のばらつきや各圧力室の圧力ばらつきを抑制することができる。よって、吐出口からの水分蒸発による液滴の吐出速度低下や色材濃度の変調を抑制することができるため、より高精細で高品位な画像形成が可能となる。   Such various liquid ejection heads of this embodiment can generate the above-described ink circulation flow. Thereby, it is possible to suppress variations in the amount of circulating ink flowing between the pressure chambers and pressure variations in the pressure chambers. Therefore, it is possible to suppress the drop in the discharge speed of the droplets and the modulation of the color material density due to the evaporation of moisture from the discharge port, so that higher-definition and high-quality image formation is possible.

３００３ 液体吐出ヘッド
３０１０ 記録素子基板
３０１１ 第１流路層
３０１２ 吐出口形成部材
３０１３ 吐出口
３０１５ 記録素子
３３１０ 流路
３３１５ａ 第１連通口（供給側）
３３１５ｂ 第１連通口（回収側）
３０１７ａ 供給口
３０１７ｂ 回収口
３０２３ 圧力室
３０５０ 第２流路層
３０６０ 第３流路層
３０７０ 第４流路層
３０８０ 第５流路層
３０９０ 第６流路層 3003 Liquid discharge head 3010 Recording element substrate 3011 First flow path layer 3012 Discharge port forming member 3013 Discharge port 3015 Recording element 3310 Flow path 3315a First communication port (supply side)
3315b 1st communication port (collection side)
3017a Supply port 3017b Recovery port 3023 Pressure chamber 3050 Second channel layer 3060 Third channel layer 3070 Fourth channel layer 3080 Fifth channel layer 3090 Sixth channel layer

Claims (35)

液体を吐出する複数の吐出口が第１の方向に配列される吐出口列と、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する記録素子が配される圧力室と、
前記圧力室に連通する流路と、
前記記録素子が配される面に対して交差する第２の方向に延在し前記流路に液体を供給するための複数の供給口が、前記第１の方向に沿って配列される供給口列と、
前記第２の方向に延在し前記流路内の液体を回収するための複数の回収口が、前記第１の方向に沿って配列される回収口列と、
前記第１の方向に延在し前記供給口列に液体を供給する第１共通供給流路と、
前記第１の方向に延在し前記回収口列から液体を回収する第１共通回収流路と、
前記第２の方向に延在し前記第１共通供給流路に液体を供給する供給側第１連通口と、
前記第２の方向に延在し前記第１共通回収流路から液体を回収する回収側第１連通口と、
を備え、
前記供給側第１連通口および前記回収側第１連通口の少なくとも一方を複数備える液体吐出ヘッド。 A plurality of discharge ports that discharge liquid, the discharge port array being arranged in the first direction;
A pressure chamber in which a recording element that generates energy used to discharge liquid is disposed;
A flow path communicating with the pressure chamber;
A plurality of supply ports that extend in a second direction intersecting the surface on which the recording element is disposed and supply liquid to the flow path are arranged along the first direction Columns,
A plurality of recovery ports extending in the second direction and recovering the liquid in the flow path, the recovery port array being arranged along the first direction;
A first common supply channel extending in the first direction and supplying liquid to the supply port array;
A first common recovery channel extending in the first direction and recovering liquid from the recovery port array;
A supply-side first communication port extending in the second direction and supplying liquid to the first common supply flow path;
A recovery-side first communication port extending in the second direction and recovering the liquid from the first common recovery flow path;
With
A liquid discharge head comprising a plurality of at least one of the supply side first communication port and the recovery side first communication port. 前記供給側第１連通口が複数設けられており、当該複数の供給側第１連通口が配列される供給側第１連通口列は前記第１の方向に延在する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。   2. The supply-side first communication port array in which a plurality of the supply-side first communication ports are provided and the plurality of supply-side first communication ports are arranged extends in the first direction. Liquid discharge head. 前記回収側第１連通口が複数設けられており、当該複数の回収側第１連通口が配列される回収側第１連通口列は前記第１の方向に延在する、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。   The said collection | recovery side 1st communication port is provided with two or more, The collection | recovery side 1st communication port row | line | column in which the said some collection | recovery side 1st communication port is arranged extends in the said 1st direction. The liquid discharge head described in 1. 前記供給側第１連通口列に含まれる複数の前記供給側第１連通口の配列密度は、前記供給口列に含まれる複数の前記供給口の配列密度より小さい、請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。   4. The arrangement density of the plurality of supply side first communication ports included in the supply side first communication port row is smaller than the arrangement density of the plurality of supply ports included in the supply port row. Liquid discharge head. 前記回収側第１連通口列に含まれる複数の前記回収側第１連通口の配列密度は、前記回収口列に含まれる複数の前記回収口の配列密度より小さい、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。   4. The liquid according to claim 3, wherein an array density of the plurality of recovery side first communication ports included in the recovery side first communication port array is smaller than an array density of the plurality of recovery ports included in the recovery port array. Discharge head. 前記供給口、前記第１共通供給流路、および前記供給側第１連通口は、夫々異なる基板に形成されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   6. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the supply port, the first common supply flow path, and the supply-side first communication port are formed on different substrates, respectively. 前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３の方向に延在し、複数の前記供給側第１連通口と連通する第２共通供給流路を備える、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   7. The apparatus according to claim 1, further comprising a second common supply flow path extending in a third direction intersecting the first direction and the second direction and communicating with the plurality of supply-side first communication ports. The liquid discharge head according to claim 1. 前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３の方向に延在し、複数の前記回収側第１連通口と連通する第２共通回収流路を備える、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   8. The apparatus according to claim 1, further comprising a second common recovery channel that extends in a third direction intersecting the first direction and the second direction and communicates with the plurality of recovery-side first communication ports. The liquid discharge head according to claim 1. 前記第２の方向に延在し、前記第２共通供給流路に液体を供給する複数の供給側第２連通口を備える、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 7, further comprising a plurality of supply-side second communication ports that extend in the second direction and supply liquid to the second common supply flow path. 前記第２の方向に延在し、前記第２共通回収流路から液体を回収する複数の回収側第２連通口を備える、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 8, further comprising a plurality of recovery-side second communication ports that extend in the second direction and recover the liquid from the second common recovery flow path. 前記第１の方向に延在し、複数の前記供給側第２連通口に液体を供給する第３共通供給流路を備える、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 9, further comprising a third common supply channel that extends in the first direction and supplies liquid to the plurality of supply-side second communication ports. 前記第１の方向に延在し、複数の前記回収側第２連通口から液体を回収する第３共通回収流路を備える、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。   11. The liquid ejection head according to claim 10, further comprising a third common recovery channel that extends in the first direction and recovers liquid from the plurality of recovery-side second communication ports. 複数の前記供給側第２連通口が配列される供給側第２連通口列は前記第１の方向に延在する、請求項９から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 9, wherein a supply-side second communication port array in which a plurality of the supply-side second communication ports are arranged extends in the first direction. 複数の前記回収側第２連通口が配列される回収側第２連通口列は前記第１の方向に延在する、請求項１０から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   14. The liquid ejection head according to claim 10, wherein a collection-side second communication port array in which a plurality of the collection-side second communication ports are arranged extends in the first direction. 前記供給側第２連通口列に含まれる前記供給側第２連通口の配列密度は、複数の前記供給側第１連通口が配列される供給側第１連通口列に含まれる前記複数の前記供給側第１連通口の配列密度より小さい、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。   The arrangement density of the supply side second communication ports included in the supply side second communication port row includes the plurality of the plurality of the plurality of the plurality of the supply side first communication ports arranged in the supply side first communication port row. The liquid discharge head according to claim 13, wherein the liquid discharge head is smaller than the arrangement density of the supply side first communication ports. 前記回収側第２連通口列に含まれる前記回収側第２連通口の配列密度は、複数の前記回収側第１連通口が配列される回収側第１連通口列に含まれる前記複数の前記回収側第１連通口の配列密度より小さい、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。   The arrangement density of the collection side second communication ports included in the collection side second communication port row includes the plurality of the plurality of the plurality of the collection side first communication ports arranged in the collection side first communication port row. The liquid discharge head according to claim 14, wherein the liquid discharge head is smaller than the arrangement density of the collection-side first communication ports. 前記第１の方向に関して、前記供給側第１連通口と前記回収側第１連通口とが交互に配されている、請求項１から１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   17. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the supply side first communication port and the recovery side first communication port are alternately arranged with respect to the first direction. 前記供給口と前記回収口とを連通する前記流路の流路抵抗をｒとし、前記第１共通供給流路に連通する各前記供給口間の流路抵抗、および前記第１共通回収流路に連通する各前記回収口間の流路抵抗をそれぞれＲとし、前記流路を流れる液体の平均流量をｑとし、前記吐出口からの吐出特性に影響を与えない最大流量と最小流量との流量差をΔｑとし、前記ｑと前記Δｑとの比Δｑ／ｑをＸとし、隣接する前記供給側第１連通口と前記回収側第１連通口との間の吐出口の数をＮとした場合、
を満たす、請求項１から１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 The channel resistance of the channel that communicates the supply port and the recovery port is r, the channel resistance between the supply ports that communicates with the first common supply channel, and the first common recovery channel The flow resistance between the recovery ports communicating with each other is R, the average flow rate of the liquid flowing through the flow channel is q, and the maximum flow rate and the minimum flow rate that do not affect the discharge characteristics from the discharge port When the difference is Δq, the ratio qq / q between q and Δq is X, and the number of discharge ports between the adjacent supply side first communication port and the recovery side first communication port is N ,
The liquid discharge head according to claim 1, wherein 前記Ｘの値が０．２以下である、請求項１８に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 18, wherein the value of X is 0.2 or less. 前記供給側第１連通口および前記回収側第１連通口に関して、前記第１の方向における前記液体吐出ヘッドの両端部側には前記供給側第１連通口が配されている、請求項１から１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   The supply-side first communication port is disposed on both ends of the liquid ejection head in the first direction with respect to the supply-side first communication port and the recovery-side first communication port. 20. The liquid discharge head according to any one of items 19. 前記供給側第１連通口および前記回収側第１連通口に関して、前記第１の方向における前記液体吐出ヘッドの両端部側には前記回収側第１連通口が配されている、請求項１から１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   The recovery-side first communication port is disposed on both ends of the liquid ejection head in the first direction with respect to the supply-side first communication port and the recovery-side first communication port. 20. The liquid discharge head according to any one of items 19. 前記両端部側に配された回収側第１連通口の流路抵抗は、前記第１の方向における前記液体吐出ヘッドの中央部側に配された前記第１連通口の流路抵抗より大きい、請求項２１に記載の液体吐出ヘッド。   The flow path resistance of the recovery-side first communication port disposed on both ends is greater than the flow resistance of the first communication port disposed on the center side of the liquid ejection head in the first direction. The liquid discharge head according to claim 21. 請求項１から２２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを有し、液体を前記供給側第１連通口、前記第１共通供給流路、前記圧力室、前記第１共通回収流路、および前記回収側第１連通口の順に供給させるための供給手段を有する、液体吐出装置。   23. The liquid discharge head according to any one of claims 1 to 22, wherein the liquid is supplied to the supply side first communication port, the first common supply channel, the pressure chamber, the first common recovery channel, And a liquid ejecting apparatus comprising supply means for supplying the first recovery port in the order of recovery. 液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の記録素子を内部に備える圧力室と、前記圧力室に液体を供給するための貫通孔である複数の供給口と、前記圧力室から液体を回収するための貫通孔である複数の回収口と、を備える第１基板と、
複数の前記供給口と連通し、前記第１基板の前記記録素子が設けられる面に沿う方向に延在する第１共通供給流路と、複数の前記回収口と連通し、前記方向に延在する第１共通回収流路と、を備える第２基板と、
前記第１共通供給流路に液体を供給するための貫通孔である供給側第１連通口と、前記第１共通回収流路から液体を回収するための貫通孔である回収側第１連通口と、を備える蓋部材と、を備え、
前記供給側第１連通口および前記回収側第１連通口の少なくとも一方を複数備える、液体吐出ヘッド。 A liquid discharge head comprising a discharge port for discharging liquid,
A pressure chamber internally provided with a plurality of recording elements that generate energy used to discharge the liquid; a plurality of supply ports that are through holes for supplying the liquid to the pressure chamber; and a liquid from the pressure chamber A plurality of recovery ports that are through holes for recovering the first substrate,
A first common supply channel that communicates with a plurality of the supply ports and extends in a direction along a surface of the first substrate on which the recording element is provided; a plurality of the recovery ports; A second common substrate, a second substrate comprising:
A supply-side first communication port that is a through-hole for supplying liquid to the first common supply channel, and a recovery-side first communication port that is a through-hole for recovering liquid from the first common recovery channel A lid member comprising:
A liquid ejection head comprising a plurality of at least one of the supply side first communication port and the recovery side first communication port. 液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の記録素子を内部に備える圧力室と、前記圧力室に液体を供給するための貫通孔である複数の供給口と、前記圧力室から液体を回収するための貫通孔である複数の回収口と、複数の前記供給口と連通する、前記記録素子が設けられる面に沿った方向に延在する第１共通供給流路と、複数の前記回収口と連通する、前記方向に延在する第１共通回収流路と、を備える記録素子基板と、
前記第１共通供給流路に液体を供給するための貫通孔である供給側第１連通口と、前記第１共通回収流路から液体を回収するための貫通孔である回収側第１連通口と、を備える蓋部材と、を備え、
供給側第１連通口および回収側第１連通口の少なくとも一方を複数備える、液体吐出ヘッド。 A liquid discharge head comprising a discharge port for discharging liquid,
A pressure chamber internally provided with a plurality of recording elements that generate energy used to discharge the liquid; a plurality of supply ports that are through holes for supplying the liquid to the pressure chamber; and a liquid from the pressure chamber A plurality of recovery ports that are through-holes for recovering the recording medium, a first common supply channel that communicates with the plurality of supply ports and extends in a direction along a surface on which the recording element is provided, and a plurality of the plurality of the supply ports A recording element substrate comprising: a first common recovery channel that communicates with the recovery port and extends in the direction;
A supply-side first communication port that is a through-hole for supplying liquid to the first common supply channel, and a recovery-side first communication port that is a through-hole for recovering liquid from the first common recovery channel A lid member comprising:
A liquid ejection head comprising a plurality of at least one of a supply side first communication port and a recovery side first communication port. 前記記録素子が第１の方向に配列される記録素子列を備え、
前記第１共通供給流路と、前記第１共通回収流路は共に前記第１の方向に沿って延在している、請求項２４または２５に記載の液体吐出ヘッド。 A recording element array in which the recording elements are arranged in a first direction;
26. The liquid ejection head according to claim 24, wherein both the first common supply channel and the first common recovery channel extend along the first direction. 前記記録素子が第１の方向に配列される記録素子列を備え、
複数の前記供給口が前記第１の方向に配列される供給口列と、
複数の前記回収口が前記第１の方向に配列される回収口列と、を備える、請求項２４から２６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 A recording element array in which the recording elements are arranged in a first direction;
A plurality of supply ports arranged in the first direction;
27. The liquid ejection head according to claim 24, further comprising: a collection port array in which a plurality of the collection ports are arranged in the first direction. 前記記録素子が第１の方向に配列される記録素子列を備え、
複数の前記供給側第１連通口が前記第１の方向に配列される供給側第１連通口列と、
複数の前記回収側第１連通口が前記第１の方向に配列される回収側第１連通口列と、を備える、請求項２４から２７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 A recording element array in which the recording elements are arranged in a first direction;
A plurality of supply-side first communication ports arranged in the first direction;
The liquid ejection head according to any one of claims 24 to 27, further comprising a recovery-side first communication port array in which a plurality of the recovery-side first communication ports are arranged in the first direction. 前記供給側第１連通口列に含まれる複数の前記供給側第１連通口の配列密度は、複数の前記供給口が前記第１の方向に配列される供給口列に含まれる前記複数の前記供給口の配列密度より小さく、かつ、
前記回収側第１連通口列に含まれる複数の前記回収側第１連通口の配列密度は、複数の前記回収口が前記第１の方向に配列される回収口列に含まれる前記複数の前記回収口の配列密度より小さい、請求項２８に記載の液体吐出ヘッド。 The arrangement density of the plurality of supply-side first communication ports included in the supply-side first communication port row is such that the plurality of the supply ports included in the supply port row in which the plurality of supply ports are arranged in the first direction. Smaller than the array density of the supply ports, and
The arrangement density of the plurality of collection-side first communication ports included in the collection-side first communication port row is such that the plurality of the collection ports included in the collection port row in which the plurality of collection ports are arranged in the first direction. 30. The liquid ejection head according to claim 28, wherein the liquid ejection head is smaller than an arrangement density of the collection ports. 複数の前記供給側第１連通口に液体を供給する、前記記録素子が設けられる面に沿った方向で、かつ前記第１共通供給流路の延在方向と交差する方向に延在する第２共通供給流路と、複数の前記回収側第１連通口から液体を回収する、前記記録素子が設けられる面に沿った方向で、かつ前記第１共通回収流路の延在方向と交差する方向に延在する第２共通回収流路と、を備える支持部材を備える、請求項２４から２９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   A second liquid that supplies liquid to the plurality of supply-side first communication ports, extends in a direction along the surface on which the recording element is provided, and intersects with the extending direction of the first common supply flow path. A direction along the surface on which the recording element is provided for recovering liquid from the common supply channel and a plurality of the recovery-side first communication ports, and a direction intersecting the extending direction of the first common recovery channel 30. The liquid ejection head according to any one of claims 24 to 29, further comprising a support member including a second common recovery flow path extending in the direction. 前記第２共通供給流路に液体を供給する貫通孔である複数の供給側第２連通口と、前記第２共通回収流路から液体を回収する貫通孔である複数の回収側第２連通口と、を備える第１流路部材を備える、請求項３０に記載の液体吐出ヘッド。   A plurality of supply-side second communication ports that are through-holes that supply liquid to the second common supply channel, and a plurality of recovery-side second communication ports that are through-holes that recover liquid from the second common recovery channel The liquid discharge head according to claim 30, further comprising a first flow path member comprising: 複数の前記供給側第２連通口に液体を供給する、前記記録素子が設けられる面に沿った方向に延在する第３共通供給流路と、複数の前記回収側第２連通口から液体を回収する、前記記録素子が設けられる面に沿った方向に延在する第３共通回収流路と、を備える第２流路部材を備える、請求項３１に記載の液体吐出ヘッド。   A liquid is supplied to the plurality of supply side second communication ports, the third common supply channel extending in a direction along the surface on which the recording element is provided, and the liquid is supplied from the plurality of recovery side second communication ports. 32. The liquid ejection head according to claim 31, further comprising a second flow path member that includes a third common recovery flow path that extends in a direction along a surface on which the recording element is provided. 前記第１共通供給流路は、第１の種類の液体を供給する第１共通供給流路と、第２の種類の液体を供給する第１共通供給流路と、を含み、
前記第１共通回収流路は、前記第１の種類の液体を回収する第１共通回収流路と、前記第２の種類の液体を回収する第１共通回収流路と、を含む、請求項１から２２および２４から３２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 The first common supply flow path includes a first common supply flow path for supplying a first type of liquid and a first common supply flow path for supplying a second type of liquid,
The first common recovery channel includes a first common recovery channel that recovers the first type of liquid and a first common recovery channel that recovers the second type of liquid. The liquid discharge head according to any one of 1 to 22 and 24 to 32. 前記第１の種類の液体を供給する第１共通供給流路と、前記第１の種類の液体を回収する第１共通回収流路との間隔は、前記第１の種類の液体を供給する第１共通供給流路と、前記第２の液体を回収する第１共通回収流路との間隔より小さい、請求項３３に記載の液体吐出ヘッド。   The distance between the first common supply channel for supplying the first type of liquid and the first common recovery channel for recovering the first type of liquid is the first interval for supplying the first type of liquid. 34. The liquid discharge head according to claim 33, wherein the liquid discharge head is smaller than an interval between one common supply channel and the first common recovery channel for recovering the second liquid. 前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１から２２および２４から３４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to any one of claims 1 to 22 and 24 to 34, wherein the liquid in the pressure chamber is circulated to and from the outside of the pressure chamber.
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