RU2144472C1 - Method for creating thick-film layer in microinjection device - Google Patents

Method for creating thick-film layer in microinjection device Download PDF

Info

Publication number
RU2144472C1
RU2144472C1 RU98119888A RU98119888A RU2144472C1 RU 2144472 C1 RU2144472 C1 RU 2144472C1 RU 98119888 A RU98119888 A RU 98119888A RU 98119888 A RU98119888 A RU 98119888A RU 2144472 C1 RU2144472 C1 RU 2144472C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
organic matter
film layer
liquid organic
layer
substrate
Prior art date
Application number
RU98119888A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Бьюнг-сун Ахн
А.А. Жуков
Б.Н. Дунаев
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд. filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority to RU98119888A priority Critical patent/RU2144472C1/en
Priority to KR1019990007326A priority patent/KR20000034821A/en
Priority to EP99308721A priority patent/EP0999057A3/en
Priority to CN99126009A priority patent/CN1253042A/en
Priority to JP11314410A priority patent/JP2000141670A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2144472C1 publication Critical patent/RU2144472C1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Abstract

FIELD: jet printing equipment. SUBSTANCE: according to method, created on liner is thin-film layer. Thick-film layer is built up on thin-film layer without performing additional thermal treatment. Simultaneously subjected to thermal treatment is thin-film layer and thick-film layer which both are successively created on liner. Thus obtained is single thick-film layer. Single thick-film layer is created according to process of successive application of coating without interruption for thermal treatment, therefore formation of separating boundary is prevented. This specific feature allows for considerable prolonging of general service life of thick-film layer. EFFECT: higher efficiency. 15 cl, 5 dwg

Description

Настоящее изобретение относится к микроинжекционному устройству, применимому к струйным печатающим устройствам, микронасосам медицинских приборов и устройствам для впрыска топлива, а конкретнее - к способу образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, при котором уменьшено число операций термообработки с целью улучшения долговечности устройства. The present invention relates to a micro-injection device applicable to inkjet printing devices, medical device micropumps and fuel injection devices, and more particularly, to a method for forming a thick film layer in a micro-injection device in which the number of heat treatment operations is reduced in order to improve the durability of the device.

В общем, микроинжекционным устройством называют устройство, которое предназначено для обеспечения печатной бумаги, организма человека или автомобиля определенным количеством жидкости, например, печатной краски, жидкости для инъекции или нефтепродукта, используя способ, при котором к вышеупомянутой жидкости подводится заданное количество электрической или тепловой энергии, так чтобы можно было изменить объем такой жидкости. Таким образом, к определенному объекту может быть подано заданное определенное количество такой жидкости. In general, a micro-injection device is a device that is designed to provide printed paper, a human body or an automobile with a certain amount of liquid, for example, printing ink, injection liquid or oil, using a method in which a predetermined amount of electric or thermal energy is supplied to the above liquid, so that you can change the volume of such a liquid. Thus, a predetermined specific amount of such a liquid can be supplied to a specific object.

В последнее время развитие электротехники и электронной техники позволяет быстро усовершенствовать такие микроинжекционные устройства. Поэтому микроинжекционные устройства широко используются в повседневной жизни. Примером микроинжекционных устройств, используемых в повседневной жизни, являются струйные печатающие устройства. Recently, the development of electrical and electronic technology allows you to quickly improve such micro-injection devices. Therefore, microinjection devices are widely used in everyday life. An example of micro-injection devices used in everyday life are inkjet printers.

В отличие от обычного матричного печатающего устройства струйное печатающее устройство, т.е. разновидность микроинжекционного устройства способно выполнять печатные работы в разных цветах благодаря применению картриджей и обладает преимуществами в меньшем шуме и повышенном качестве печати. По этой причине струйное печатающее устройство приобретает все большую популярность. Unlike conventional dot matrix printers, inkjet printers, i.e. a kind of micro-injection device is capable of printing in different colors due to the use of cartridges and has advantages in less noise and higher print quality. For this reason, inkjet printing devices are becoming increasingly popular.

Струйное печатающее устройство обычно снабжено печатающей головкой, в которой краска, находящаяся в жидком состоянии, принимает состояние в виде пузырьков при включении или выключении электрического сигнала, подаваемого от внешнего устройства. Затем краска, вспученная таким образом в пузырьки, расширяется и выбрасывается для выполнения операции печатания на печатной бумаге. Различные конструкции и принципы действия известных струйных печатающих головок описаны в патенте США N 4 490 728, озаглавленном "Термопечатающее струйное устройство", патенте США N 4 809 428, озаглавленном "Тонкопленочное устройство для струйной печатающей головки и способ его изготовления", патенте США N 5 140 345 озаглавленном "Способ изготовления подложки для жидкоструйной записывающей головки и подложка, изготовленная этим способом", патенте США N 5 274 400, озаглавленном "Геометрия траектории краски для высокотемпературной работы струйных печатающих головок" и патенте США N 5 420 627, озаглавленном "Струйная печатающая головка". An inkjet printing device is usually provided with a printhead in which the ink in a liquid state assumes a bubble state when the electrical signal supplied from the external device is turned on or off. Then, the ink thus expanded into bubbles expands and is discarded to perform a printing operation on printing paper. Various designs and principles of operation of known inkjet printheads are described in US Pat. No. 4,490,728, entitled "Thermal Inkjet Device", US Pat. No. 4,809,428, entitled "Thin-Film Device for Inkjet Printhead and its Production Method," US Pat. No. 5 140,345 entitled, “Method for Manufacturing a Substrate for a Liquid Inkjet Recording Head and a Substrate Made by this Method,” US Pat. No. 5,274,400, entitled “Geometry of the Injection Path for High-Temperature Inkjet Printing their heads "and U.S. Patent N 5,420,627, entitled" Inkjet Printhead ".

Для выполнения операции печатания в такой обычной струйной печатающей головке обычно применяют химические вещества, например, краску или рабочую жидкость. По этой причине в печатающей головке неизбежно предусматривают камеры для хранения химических веществ. To perform the printing operation in such a conventional inkjet printhead, chemicals are usually used, for example, ink or a working fluid. For this reason, chambers for storing chemicals are inevitably provided in the print head.

Следовательно, на подложке, составляющей печатающую головку, образуют толстопленочный слой для ограничения (определения) камер. Кроме того, в камерах, ограниченных толстопленочным слоем, надежно хранятся химические вещества, например, краска или рабочая жидкость. Therefore, a thick film layer is formed on the substrate constituting the print head to limit (determine) the cameras. In addition, in chambers bounded by a thick film layer, chemicals such as paint or working fluid are safely stored.

В общем, толстопленочный слой имеет толщину 10 мкм или больше, так чтобы обеспечивать достаточное внутреннее пространство камер, и изготавливается из органических веществ, учитывая их химическую стойкость к краске и рабочей жидкости. In general, a thick film layer has a thickness of 10 μm or more, so as to provide sufficient internal space for the chambers, and is made from organic substances, given their chemical resistance to paint and working fluid.

Из уровня техники известно, что для получения толстопленочного слоя желаемой толщины центробежным способом за один раз наносят слой, изготавливаемый из органического вещества и имеющий заданную толщину, и затем подвергают его сушке и термообработке. Таким образом, образуют основной тонкопленочный слой на подложке, на которой образована защитная пленка. Затем на основном тонкопленочном слое непрерывно образуют многочисленные тонкопленочные слои, неоднократно выполняя вышеописанную операцию образования тонкопленочного слоя. It is known from the prior art that in order to obtain a thick film layer of a desired thickness, a layer made of an organic substance and having a predetermined thickness is applied at a time by centrifugal method, and then it is dried and heat treated. Thus, the main thin film layer is formed on the substrate on which the protective film is formed. Then, numerous thin film layers are continuously formed on the main thin film layer, repeatedly performing the above operation of forming the thin film layer.

Например, для получения толстопленочного слоя, имеющего толщину 10 мкм, операцию образования тонкопленочной пленки толщиной 1 мкм выполняют десять раз. Нет необходимости говорить, что после каждой операции образования тонкопленочного слоя осуществляют операции сушки и термообработки. For example, to obtain a thick film layer having a thickness of 10 μm, the operation of forming a thin film film with a thickness of 1 μm is performed ten times. There is no need to say that after each operation of forming a thin film layer, drying and heat treatment operations are carried out.

Когда такую операцию образования тонкопленочного слоя повторяют несколько раз, то наносят множество тонкопленочных слоев с образованием многослойного покрытия. Таким образом, можно получать толстопленочный слой желаемой толщины. Готовый толстопленочный слой прочно размещают в соответствующем месте печатающей головки. When such an operation of forming a thin film layer is repeated several times, a plurality of thin film layers are applied to form a multilayer coating. Thus, it is possible to obtain a thick film layer of the desired thickness. The finished thick film layer is firmly placed in the appropriate place on the print head.

Однако такой обычный способ образования толстопленочного слоя в струйной печатающей головке связан с несколькими серьезными проблемами. However, such a conventional method of forming a thick film layer in an inkjet printhead is associated with several serious problems.

Как описывалось выше, обычный толстопленочный слой можно образовать, осаждая множество тонкопленочных слоев путем повторения операций образования тонкопленочных слоев. Итак, каждый тонкопленочный слой, составляющий толстопленочный слой, образует определенную границу раздела с соответствующими граничными поверхностями. As described above, a conventional thick film layer can be formed by depositing a plurality of thin film layers by repeating the operations of forming thin film layers. So, each thin-film layer constituting a thick-film layer forms a certain interface with the corresponding boundary surfaces.

Граница раздела будет существовать до тех пор, пока толстопленочный слой не будет помещен в определенную конструкцию печатающей головки, что вызывает уменьшение общего срока службы печатающей головки. The interface will exist until a thick film layer is placed in a specific design of the print head, which causes a decrease in the total service life of the print head.

Кроме того, из уровня техники известно, что для образования толстопленочного слоя требуется неоднократное повторение операций сушки и термообработки. Таким образом, увеличивается общее время, необходимое для изготовления устройства. In addition, it is known from the prior art that the formation of a thick film layer requires repeated repetition of the drying and heat treatment operations. Thus, the total time required for the manufacture of the device is increased.

Так как при образовании толстопленочного слоя операции образования одиночных тонкопленочных слоев не могут выполняться одновременно, то весьма трудно образовывать тонкопленочные слои с одинаковой толщиной. Конкретнее, при каждой операции образования тонкопленочных слоев могут иметь место примеси, например, частицы. Since when forming a thick film layer, the operations of forming single thin film layers cannot be performed simultaneously, it is very difficult to form thin film layers with the same thickness. More specifically, impurities, such as particles, may occur during each operation of forming thin film layers.

В результате значительно понижаются общие эксплуатационные качества печатающей головки. As a result, the overall performance of the print head is significantly reduced.

Следовательно, целью настоящего изобретения является создание способа образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, при котором исключается граница раздела между тонкопленочными слоями с целью повышения долговечности этого устройства. Therefore, the aim of the present invention is to provide a method of forming a thick film layer in a microinjection device, in which the interface between thin-film layers is excluded in order to increase the durability of this device.

Другой целью настоящего изобретения является создание способа образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, при котором уменьшается продолжительность изготовления толстопленочного слоя. Another objective of the present invention is to provide a method of forming a thick film layer in a microinjection device, in which the production time of the thick film layer is reduced.

Еще одной целью настоящего изобретения является создание способа образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, при котором толстопленочный слой имеет равномерную толщину. Another objective of the present invention is to provide a method of forming a thick film layer in a microinjection device, in which the thick film layer has a uniform thickness.

Дополнительной целью настоящего изобретения является создание способа образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, при котором предотвращается включение примесей в толстопленочный слой. An additional objective of the present invention is to provide a method of forming a thick film layer in a microinjection device, which prevents the inclusion of impurities in the thick film layer.

Другой дополнительной целью настоящего изобретения является создание способа образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, при котором улучшается общая инжектирующая способность микроинжекционного устройства. Another additional objective of the present invention is to provide a method of forming a thick film layer in a microinjection device, which improves the overall injection ability of the microinjection device.

Для достижения вышеуказанных целей и других преимуществ настоящего изобретения наносят органическое вещество, например, жидкий полиимид, на подложку, на которой образована защитная пленка, и вращают подложку с большой частотой вращения, например, 450-550 об/мин. Таким образом, на защитной пленке образуется тонкопленочный слой толщиной 0,5-5 мкм. To achieve the above objectives and other advantages of the present invention, an organic substance, for example, liquid polyimide, is applied to a substrate on which a protective film is formed, and the substrate is rotated at a high speed, for example, 450-550 rpm. Thus, a thin-film layer with a thickness of 0.5-5 microns is formed on the protective film.

Затем без выполнения операции термообработки вновь наносят органическое вещество на уже образованный тонкопленочный слой, вращая с частотой вращения, например, 20-40 об/мин подложку, на которой образован тонкопленочный слой. Таким образом, на защитной пленке образуют толстопленочный слой толщиной приблизительно 18-22 мкм. Then, without performing the heat treatment operation, the organic substance is again applied to the already formed thin film layer, rotating, for example, 20-40 rpm, the substrate on which the thin film layer is formed. Thus, a thick film layer about 18-22 microns thick is formed on the protective film.

В дальнейшем одновременно термообрабатывают тонкопленочный слой и толстопленочный слой на подложке, образуя, следовательно, единый толстопленочный слой. В данном случае единый толстопленочный слой образуют посредством ряда операций по нанесению покрытия без прерывания их операциями термообработки, тем самым исключая границы раздела. В результате этого может быть значительно увеличен общий срок службы толстопленочного слоя. In the future, the thin film layer and the thick film layer on the substrate are simultaneously heat treated, forming, therefore, a single thick film layer. In this case, a single thick film layer is formed by a series of coating operations without interruption by heat treatment operations, thereby eliminating the interface. As a result of this, the overall service life of the thick film layer can be significantly increased.

Вышеуказанные цели и преимущества настоящего изобретения станут более очевидными благодаря подробному описанию предпочтительных вариантов осуществления изобретения со ссылкой на сопроводительные чертежи, на которых:
- фиг. 1A-1C - виды, показывающие способ образования толстопленочного слоя в струйной печатающей головке согласно настоящему изобретению;
- фиг. 2 - изображение в изометрии, показывающее вариант выполнения толстопленочного слоя согласно настоящему изобретению; и
- фиг. 3 - вид в разрезе струйной печатающей головки, в которой применяется толстопленочный слой согласно настоящему изобретению.The above objectives and advantages of the present invention will become more apparent through a detailed description of preferred embodiments of the invention with reference to the accompanying drawings, in which:
- FIG. 1A-1C are views showing a method of forming a thick film layer in an inkjet printhead according to the present invention;
- FIG. 2 is an isometric view showing an embodiment of a thick film layer according to the present invention; and
- FIG. 3 is a sectional view of an inkjet printhead to which a thick film layer according to the present invention is applied.

Теперь настоящее изобретение будет полнее описано со ссылкой на сопроводительные чертежи, на которых показаны предпочтительные варианты осуществления изобретения. Now the present invention will be more fully described with reference to the accompanying drawings, in which preferred embodiments of the invention are shown.

Хотя термины, упомянутые в описании, определены на основании назначения настоящего изобретения и могут быть изменены по желанию специалистов или в соответствии с обычной практикой, эти термины следует определять, учитывая общее содержание описания настоящего изобретения. Although the terms mentioned in the description are defined based on the purpose of the present invention and can be changed at the request of specialists or in accordance with normal practice, these terms should be defined taking into account the general content of the description of the present invention.

Как показано на фиг. 1A, на кремниевую подложку 1, на которой образована защитная пленка, изготовленная из SiO2, первоначально наносят покрытие из жидкого органического вещества, например, из жидкого полиимида, используя средство для нанесения покрытия 100 и в первый раз вращая подложку 1 с приведением ее в движение вращающим средством (не показано). Таким образом, на защитной пленке 2 подложки 1 образуется первый слой 31' из органического вещества.As shown in FIG. 1A, a silicon substrate 1 on which a protective film made of SiO 2 is formed is initially coated with a liquid organic substance, for example liquid polyimide, using a coating agent 100 and for the first time rotating the substrate 1 to set it in motion rotating means (not shown). Thus, on the protective film 2 of the substrate 1, a first layer of organic matter 31 'is formed.

В этом случае коэффициент вязкости жидкого полиимида предпочтительно равен 1,03. In this case, the viscosity coefficient of the liquid polyimide is preferably 1.03.

Кроме того, вначале вращают подложку 1 с большей частотой вращения, предпочтительно 450-550 об/мин в течение периода времени от 35 до 45 с. Как описывалось выше, когда подложку 1 вращают с большой частотой вращения, жидкий полиимид, нанесенный на подложку 1 с помощью устройства для нанесения покрытия 100, под действием центробежной силы распределяется по всей подложке 1. В результате этого на защитной пленке 2 подложки 1 образуется первый слой 31' из жидкого органического вещества, имеющий равномерную толщину. Первый слой 31' из жидкого органического вещества имеет толщину предпочтительно 0,5-5 мкм и более предпочтительно - 1-2 мкм. In addition, first, the substrate 1 is rotated with a higher rotation speed, preferably 450-550 rpm for a period of time from 35 to 45 seconds. As described above, when the substrate 1 is rotated at a high speed, the liquid polyimide deposited on the substrate 1 by the coating device 100 is distributed by the centrifugal force over the entire substrate 1. As a result, a first layer forms on the protective film 2 of the substrate 1 31 'of liquid organic matter having a uniform thickness. The first liquid organic material layer 31 'has a thickness of preferably 0.5-5 microns and more preferably 1-2 microns.

В дальнейшем на первый слой 31' из жидкого органического вещества вторично наносят покрытие из жидкого органического вещества, используя средство для нанесения покрытия 100 и повторно вращая подложку 1, приводя ее в движение вращающим средством. Таким образом, на первом слое 31' из жидкого органического вещества образуется второй слой 32' из жидкого органического вещества. Subsequently, the liquid organic material is secondly coated onto the first liquid organic material layer 31 'using the coating agent 100 and the substrate 1 is rotated again, driving it with a rotating means. Thus, on the first layer 31 ′ of liquid organic matter, a second layer 32 ′ of liquid organic matter is formed.

В данном случае предпочтительно, чтобы жидкое органическое вещество вторично наносилось в количестве 0,6-0,8 м3 и имело коэффициент вязкости, равный 1,03.In this case, it is preferable that the liquid organic substance is re-applied in an amount of 0.6-0.8 m 3 and has a viscosity coefficient of 1.03.

Кроме того, подложку повторно вращают с малой частотой вращения, предпочтительно 20-40 об/мин, в течение периода времени от 30 до 40 с. Как описывалось выше, когда подложку 1 вращают с малой скоростью, жидкий полиимид, нанесенный на первый слой 31' из жидкого органического вещества с помощью устройства для нанесения покрытия 100, под действием центробежной силы распределяется по всему первому слою 31' из жидкого органического вещества. В это время благодаря вязкости жидкого полиимида в нем образуется нормальная волна. Таким образом, на первом слое 31' из жидкого органического вещества образуется второй слой 32' из жидкого органического вещества, имеющий равномерную толщину. Второй слой 32' из жидкого органического вещества имеет толщину предпочтительно 18-22 мкм. In addition, the substrate is re-rotated at a low speed, preferably 20-40 rpm, for a period of 30 to 40 seconds. As described above, when the substrate 1 is rotated at a low speed, the liquid polyimide deposited on the first layer 31 'of liquid organic matter by means of a coating device 100 is distributed by centrifugal force throughout the entire first layer 31' of liquid organic matter. At this time, due to the viscosity of the liquid polyimide, a normal wave forms in it. Thus, on the first layer 31 'of liquid organic matter, a second layer 32' of liquid organic matter is formed having a uniform thickness. The second liquid organic material layer 32 'has a thickness of preferably 18-22 microns.

Итак, количество жидкого органического вещества при повторном нанесении и частоту повторного вращения подложки можно правильно рассчитать по следующему уравнению (1):

Figure 00000002

где h - суммарная толщина первого и второго слоев из жидкого органического вещества, h1 - толщина первого слоя из жидкого органического вещества, h2 - толщина второго слоя из жидкого органического вещества, подлежащего образованию, ε - коэффициент, который обозначает уменьшения в первом и втором слоях из жидкого органического вещества во время операции термообработки, А - константа, ν - коэффициент вязкости жидкости, ω - частота повторного вращения подложки, S - площадь поверхности подложки и V-количество жидкого органического вещества при повторном нанесении.So, the amount of liquid organic matter during repeated application and the frequency of repeated rotation of the substrate can be correctly calculated using the following equation (1):
Figure 00000002

where h is the total thickness of the first and second layers of liquid organic matter, h 1 is the thickness of the first layer of liquid organic matter, h 2 is the thickness of the second layer of liquid organic matter to be formed, ε is the coefficient that indicates the decrease in the first and second layers of liquid organic matter during the heat treatment operation, A is a constant, ν is the coefficient of viscosity of the liquid, ω is the frequency of repeated rotation of the substrate, S is the surface area of the substrate, and V is the amount of liquid organic matter application.

В этом случае в уравнение (1) можно вводить различные экспериментальные данные, а исходя из толщины второго слоя 32' из жидкого органического вещества, подлежащего окончательному образованию, можно определять количество жидкого органического вещества при повторном нанесении и частоту повторного вращения подложки. In this case, various experimental data can be entered into equation (1), and based on the thickness of the second liquid organic layer 32 ′ to be finally formed, it is possible to determine the amount of liquid organic matter upon re-deposition and the frequency of re-rotation of the substrate.

В настоящем изобретении различные экспериментальные данные, выбираемые в качестве данных, для определения количества жидкого органического вещества при повторном нанесении и частоты повторного вращения подложки, могут быть введены в уравнение (1), исходя из толщины второго слоя вещества, равной 18-22 мкм. Таким образом, могут быть определены количество жидкого органического вещества при повторном нанесении, равное 0,6 м3 и 0,8 м3, и частота повторного вращения подложки, равная 20-40 об/мин.In the present invention, various experimental data selected as data for determining the amount of liquid organic matter upon re-deposition and the frequency of re-rotation of the substrate can be entered into equation (1) based on the thickness of the second layer of the substance equal to 18-22 μm. Thus, the amount of liquid organic matter during repeated application can be determined equal to 0.6 m 3 and 0.8 m 3 and the frequency of repeated rotation of the substrate equal to 20-40 rpm

В результате на подложку 1, на которой образована защитная пленка 2, наносят первый слой 31' из жидкого органического вещества в качестве тонкопленочного слоя и второй слой 32' из жидкого органического вещества в качестве толстопленочного слоя, тем самым образуя единый слой 30' из жидкого органического вещества. As a result, a first layer 31 ′ of liquid organic matter as a thin film layer and a second layer 32 ′ of liquid organic matter as a thick film layer are applied to the substrate 1 on which the protective film 2 is formed, thereby forming a single layer 30 ′ of liquid organic substances.

В дальнейшем подложку 1, на которой образован единый слой 30' из жидкого органического вещества, извлекают из места ее вращения и переносят в нагревательное устройство (не показано). Затем высушивают и термообрабатывают первый и второй слои 31' и 32' из жидкого органического вещества, которые составляют единый слой 30' из жидкого органического вещества. Subsequently, the substrate 1, on which a single layer 30 'of liquid organic matter is formed, is removed from the place of its rotation and transferred to a heating device (not shown). Then the first and second layers 31 'and 32' of liquid organic matter, which make up a single layer 30 'of liquid organic matter, are dried and heat treated.

Сушку проводят предпочтительно при температуре 80-90oC в течение 25-30 минут, а термообработку - предпочтительно при температурах 200-220oC, 300-330oC в течение соответственно 25-35 минут, 60-70 минут.Drying is carried out preferably at a temperature of 80-90 o C for 25-30 minutes, and heat treatment, preferably at temperatures of 200-220 o C, 300-330 o C for respectively 25-35 minutes, 60-70 minutes.

В результате этого первый и второй слои 31' и 32' из жидкого органического вещества отверждают и, как показано на фиг. 1B, превращаются соответственно в первый слой 31 из органического вещества в качестве тонкопленочного слоя и второй слой 32 из органического вещества в качестве толстопленочного слоя, тем самым образуя единый толстопленочный слой 30. As a result of this, the first and second liquid organic matter layers 31 ′ and 32 ′ are cured and, as shown in FIG. 1B are converted respectively into a first layer 31 of organic matter as a thin film layer and a second layer 32 of organic matter as a thick film layer, thereby forming a single thick film layer 30.

Как описано выше, в настоящем изобретении первый и второй слои 31' и 32' из жидкого органического вещества образуют последовательно без проведения дополнительной термообработки и отверждают путем их одновременной термообработки. Таким образом, может быть получен единый толстопленочный слой 30 с последовательным нанесением первого пленочного слоя 31 из органического вещества в качестве тонкопленочного слоя и второго пленочного слоя 32 из органического вещества в качестве толстопленочного слоя. Таким образом, может быть исключена граница раздела между первым и вторым пленочными слоями 31 и 32 из органического вещества. В результате этого долговечность струйной печатающей головки не снижается даже после помещения в нее единого толстопленочного слоя 30. As described above, in the present invention, the first and second layers 31 'and 32' of liquid organic matter are formed sequentially without additional heat treatment and cured by simultaneous heat treatment. Thus, a single thick film layer 30 can be obtained by sequentially depositing the first film layer 31 of organic matter as a thin film layer and the second film layer 32 of organic matter as a thick film layer. Thus, the interface between the first and second film layers 31 and 32 of organic matter can be eliminated. As a result of this, the durability of the inkjet print head does not decrease even after a single thick film layer 30 is placed therein.

Кроме того, в настоящем изобретении только однократно проводят сушку и термообработку для образования единого толстопленочного слоя 30. Таким образом, значительно уменьшается время, необходимое для выполнения производственного процесса. In addition, in the present invention, drying and heat treatment are carried out only once to form a single thick film layer 30. Thus, the time required to complete the production process is significantly reduced.

Далее, в настоящем изобретении благодаря последовательному образованию тонкопленочного слоя и толстопленочного слоя для получения единого толстопленочного слоя можно уменьшить продолжительность процесса формования пленки. Таким образом, может быть решена проблема предотвращения попадания примесей в технологический процесс и единый толстопленочный слой после образования может иметь равномерную толщину. В результате этого могут быть значительно улучшены общие эксплуатационные качества струйной печатающей головки. Further, in the present invention, due to the successive formation of a thin film layer and a thick film layer to obtain a single thick film layer, the duration of the film forming process can be reduced. Thus, the problem of preventing the ingress of impurities into the process can be solved and a single thick film layer after formation can have a uniform thickness. As a result of this, the overall performance of the inkjet printhead can be significantly improved.

Как показано на фиг. 1B, на втором пленочном слое 32 из органического вещества образуют трафаретную пленку (не показана) и, используя трафаретную пленку в качестве маски, протравливают первый и второй пленочные слои 31 и 32 из органического вещества, чтобы можно было обнажить защитную пленку 2. Затем химическими веществами удаляют оставшуюся трафаретную пленку и, таким образом, получают единый толстопленочный слой 30, который ограничивает зону 33 камер. As shown in FIG. 1B, a screen film (not shown) is formed on the second film layer 32 of organic matter and, using a screen film as a mask, the first and second film layers 31 and 32 of the organic substance are etched so that the protective film 2 can be exposed. Then, with chemicals the remaining screen-film is removed, and thus, a single thick film layer 30 is obtained that defines the area 33 of the chambers.

После образования зоны 33 камер единый толстопленочный слой 30 отделяют от подложки 1, используя химические вещества, например, фтороводород, как это показано на фиг. 1C. Затем единый толстопленочный слой 30 прочно закрепляют в соответствующем месте струйной печатающей головки. After the formation of zone 33 of the chambers, a single thick film layer 30 is separated from the substrate 1 using chemicals such as hydrogen fluoride, as shown in FIG. 1C. Then a single thick film layer 30 is firmly fixed in the appropriate place of the inkjet print head.

Как показано на фиг. 2, на подложке 1 единый толстопленочный слой 30 согласно настоящему изобретению присоединяют к пластине 8 сопла, которая ограничивает сопла 10. As shown in FIG. 2, on the substrate 1, a single thick film layer 30 according to the present invention is attached to the nozzle plate 8, which defines the nozzles 10.

Вблизи зоны 33 камер образован канал 200 для подачи краски от внешнего устройства в направлении, указанном стрелкой, с целью заполнения зоны 33 камер. A channel 200 for supplying paint from an external device in the direction indicated by the arrow is formed near the area 33 of the cameras in order to fill the area 33 of the cameras.

В пластине 8 сопла образовано множество сопел 10 для инжекции краски. Такие сопла 10 проходят сквозь пластину 8 сопла и, таким образом, открываются у наружной поверхности. In the nozzle plate 8, a plurality of ink injection nozzles 10 are formed. Such nozzles 10 pass through the nozzle plate 8 and thus open at the outer surface.

Струйная печатающая головка, в которой применяется единый толстопленочный слой согласно настоящему изобретению, действует следующим образом. An inkjet print head using a single thick film layer according to the present invention operates as follows.

Как показано на фиг. 3, когда от внешнего источника энергии подается электрический сигнал к электродному слою (не показан), нагреватель 11, который соприкасается с электродным слоем, получает электроэнергию и быстро нагревается до температуры 500oC или выше. Во время этого процесса электрическая энергия преобразуется в тепловую энергию с температурой приблизительно 500-550oC.As shown in FIG. 3, when an electric signal is supplied from an external energy source to an electrode layer (not shown), the heater 11, which is in contact with the electrode layer, receives electric power and quickly heats up to a temperature of 500 ° C. or higher. During this process, electrical energy is converted into thermal energy with a temperature of approximately 500-550 o C.

Затем тепловая энергия передается к зоне 33 камер, которая соприкасалась с нагревателем 11, и краска 300, которая заполняет зону 33 камер, благодаря переданной тепловой энергии быстро нагревается и вспучивается в форме пузырьков. Then, the thermal energy is transferred to the chamber zone 33, which was in contact with the heater 11, and the paint 300, which fills the chamber zone 33, quickly heats up and swells in the form of bubbles due to the transferred thermal energy.

Когда тепловая энергия непрерывно передается к зоне 33 камер, вспученная краска 300 быстро изменяется в объеме и расширяется. Таким образом, краска 300 выходит из зоны 33 камер через сопла 10 в пластине 8 сопла и почти отделяется. Краска 300 затем под действием собственного веса поочередно принимает овальную и круглую формы и отделяется на расположенную снаружи печатную бумагу. When thermal energy is continuously transmitted to the zone 33 of the chambers, the expanded ink 300 rapidly changes in volume and expands. Thus, the paint 300 leaves the zone 33 of the chambers through the nozzles 10 in the nozzle plate 8 and is almost separated. The ink 300 then, under the influence of its own weight, alternately takes an oval and round shape and is separated on the outside printed paper.

Как описано выше, так как единый толстопленочный слой 30 согласно настоящему изобретению состоит из первого и второго пленочных слоев 31 и 32 из органического вещества, которые последовательно образованы без дополнительной термообработки, то исключается граница раздела, посредством чего улучшается долговечность струйной печатающей головки. As described above, since the single thick film layer 30 according to the present invention consists of the first and second film layers 31 and 32 of organic matter, which are successively formed without further heat treatment, the interface is eliminated, thereby improving the durability of the inkjet print head.

Между тем, когда отключается электрический сигнал, подаваемый от внешнего источника, в состоянии, в котором выпускается краска 300, нагреватель 11 быстро охлаждается. Вспученная краска 300, остающаяся в камерах 33, быстро сокращается и создает восстанавливающую силу, посредством которой краска может возвращаться в первоначальное состояние. Созданная таким образом восстанавливающая сила служит для быстрого понижения давления в зоне 33 камер, чтобы краска 300, протекающая по каналу 200 для подачи краски, вновь могла быстро заполнить зону 33 камер. Meanwhile, when the electrical signal supplied from the external source is turned off, in the state in which the ink 300 is released, the heater 11 is rapidly cooled. The expanded ink 300 remaining in the chambers 33 is rapidly reduced and creates a restoring force by which the ink can return to its original state. The restoring force created in this way serves to quickly reduce the pressure in the chamber 33 region so that the ink 300 flowing through the ink supply duct 200 can quickly fill the chamber region 33 again.

Струйная печатающая головка повторяет вышеописанный процесс согласно электрическому сигналу, тем самым осуществляя печатание на печатной бумаге, подаваемой внешним устройством. The inkjet print head repeats the above process according to an electrical signal, thereby printing on printing paper supplied by an external device.

В настоящем изобретении первый пленочный слой из органического вещества в качестве тонкопленочного слоя и второй пленочный слой из органического вещества в качестве толстопленочного слоя последовательно наносят без дополнительной термообработки, так чтобы образовать единый толстопленочный слой. Таким образом, можно устранить границу раздела и заранее предотвратить возможность попадания примесей во время технологического процесса. In the present invention, the first film layer of organic matter as a thin film layer and the second film layer of organic matter as a thick film layer are sequentially applied without further heat treatment so as to form a single thick film layer. Thus, it is possible to eliminate the interface and in advance to prevent the possibility of ingress of impurities during the process.

Настоящее изобретение обладает полезным эффектом не только в струйных печатающих головках, но и во всех микроинжекционных устройствах, которые применяются в микронасосах медицинских приборов, устройствах для впрыска топлива и т. п. Выше изобретение было описано со ссылкой на вышеупомянутые варианты его осуществления. Однако, ясно, что в свете предшествующего описания для специалистов в данной области техники будут очевидны многие альтернативные модификации и изменения. Таким образом, настоящее изобретение охватывает все такие альтернативные модификации и изменения, соответствующие сущности изобретения и находящиеся в пределах объема патентной защиты прилагаемой формулы изобретения. The present invention has a beneficial effect not only in inkjet printheads, but also in all microinjection devices that are used in micropumps of medical devices, fuel injection devices, etc. The invention has been described above with reference to the aforementioned embodiments. However, it is clear that in the light of the foregoing description, many alternative modifications and changes will be apparent to those skilled in the art. Thus, the present invention covers all such alternative modifications and changes that are consistent with the essence of the invention and are within the scope of patent protection of the attached claims.

Claims (16)

1. Способ образования толстопленочного слоя в микроинжекционном устройстве, содержащий стадии: первоначального нанесения жидкого органического вещества на подложку, на которой образована защитная пленка, и вращения подложки с первой частотой вращения для образования первого слоя из жидкого органического вещества в качестве тонкопленочного слоя, повторного нанесения жидкого органического вещества на первый слой из жидкого органического вещества и вращения подложки со второй частотой вращения для образования второго слоя из жидкого органического вещества в качестве толстопленочного слоя, сушки и термообработки первого и второго слоев из жидкого органического вещества для образования соответственно первого пленочного слоя из органического вещества и второго пленочного слоя из органического вещества, протравливания первого и второго пленочных слоев из органического вещества для частичного обнажения защитной пленки и ограничения зоны камер и отделения первого и второго пленочных слоев из органического вещества от подложки. 1. A method of forming a thick film layer in a microinjection device, comprising the steps of: first applying liquid organic matter to a substrate on which a protective film is formed, and rotating the substrate with a first rotation speed to form a first layer of liquid organic matter as a thin film layer, re-applying liquid organic matter to the first layer of liquid organic matter and rotation of the substrate with a second rotation frequency to form a second layer of liquid organic matter as a thick film layer, drying and heat treating the first and second layers of liquid organic matter to form a first film layer of organic matter and a second film layer of organic matter, etching the first and second film layers of organic matter to partially expose the protective film and limiting the zone of the chambers and separating the first and second film layers from organic matter from the substrate. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что жидкое органическое вещество приготавливают из полиимида. 2. The method according to p. 1, characterized in that the liquid organic substance is prepared from polyimide. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что используют жидкое органическое вещество с коэффициентом вязкости, равным 1,03. 3. The method according to claim 2, characterized in that they use liquid organic matter with a viscosity coefficient equal to 1.03. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что первая частота вращения равна 450 - 550 об/мин. 4. The method according to claim 1, characterized in that the first speed is 450 to 550 rpm. 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что подложку вращают с первой частотой вращения в течение 35 - 45 с. 5. The method according to claim 4, characterized in that the substrate is rotated with a first speed for 35 to 45 seconds. 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый слой из жидкого органического вещества выполняют с толщиной 0,5 - 5 мкм. 6. The method according to claim 1, characterized in that the first layer of liquid organic matter is performed with a thickness of 0.5 to 5 microns. 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый слой из жидкого органического вещества выполняют с толщиной 1 - 2 мкм. 7. The method according to claim 1, characterized in that the first layer of liquid organic matter is performed with a thickness of 1 to 2 microns. 8. Способ по п.2, отличающийся тем, что количество жидкого органического вещества и частоту вращения подложки в стадии повторного нанесения жидкого органического вещества рассчитывают по следующему уравнению:
Figure 00000003

где h - суммарная толщина первого и второго слоев из жидкого органического вещества;
h1 - толщина первого слоя из жидкого органического вещества;
h2 - толщина второго слоя из жидкого органического вещества, подлежащего образованию;
ε - коэффициент, который обозначает уменьшения в первом и втором слоях из жидкого органического вещества во время операции термообработки;
A - константа;
ν - коэффициент вязкости жидкости;
ω - частота повторного вращения подложки;
V - количество жидкого органического вещества при повторном нанесении;
S - площадь поверхности подложки.8. The method according to claim 2, characterized in that the amount of liquid organic matter and the frequency of rotation of the substrate in the stage of re-applying liquid organic matter is calculated by the following equation:
Figure 00000003

where h is the total thickness of the first and second layers of liquid organic matter;
h 1 - the thickness of the first layer of liquid organic matter;
h 2 is the thickness of the second layer of liquid organic matter to be formed;
ε is a coefficient that indicates the decrease in the first and second layers of liquid organic matter during the heat treatment operation;
A is a constant;
ν is the coefficient of viscosity of the liquid;
ω is the frequency of repeated rotation of the substrate;
V is the amount of liquid organic matter upon repeated application;
S is the surface area of the substrate. 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что в стадии повторного нанесения жидкого органического вещества его используют в количестве 0,6 - 0,8 м3.9. The method according to claim 1, characterized in that in the stage of re-applying liquid organic matter it is used in an amount of 0.6 - 0.8 m 3 . 10. Способ по п.1, отличающийся тем, что вторая частота вращения равна 20 - 40 об/мин. 10. The method according to claim 1, characterized in that the second speed is 20 to 40 rpm. 11. Способ по п.10, отличающийся тем, что подложку вращают со второй частотой вращения в течение 30 - 40 с. 11. The method according to claim 10, characterized in that the substrate is rotated with a second speed for 30 to 40 seconds. 12. Способ по п.1, отличающийся тем, что второй слой из жидкого органического вещества выполняют с толщиной 18 - 22 мкм. 12. The method according to claim 1, characterized in that the second layer of liquid organic matter is performed with a thickness of 18-22 microns. 13. Способ по п.1, отличающийся тем, что сушку проводят при температуре 80 - 90oC.13. The method according to claim 1, characterized in that the drying is carried out at a temperature of 80 - 90 o C. 14. Способ по п.13, отличающийся тем, что сушку проводят в течение 25 - 35 мин. 14. The method according to item 13, wherein the drying is carried out for 25 to 35 minutes 15. Способ по п.1, отличающийся тем, что термообработку первого и второго слоев проводят при температурах соответственно 200 - 220 и 300 - 330oC.15. The method according to claim 1, characterized in that the heat treatment of the first and second layers is carried out at temperatures respectively 200 - 220 and 300 - 330 o C. 16. Способ по п.15, отличающийся тем, что термообработку при этих температурах проводят соответственно в течение 25 - 35 и 60 - 70 мин. 16. The method according to p. 15, characterized in that the heat treatment at these temperatures is carried out respectively for 25 - 35 and 60 - 70 minutes
RU98119888A 1998-11-03 1998-11-03 Method for creating thick-film layer in microinjection device RU2144472C1 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98119888A RU2144472C1 (en) 1998-11-03 1998-11-03 Method for creating thick-film layer in microinjection device
KR1019990007326A KR20000034821A (en) 1998-11-03 1999-03-05 Method for making a thick film layer of a micro injecting device
EP99308721A EP0999057A3 (en) 1998-11-03 1999-11-03 Method for forming thick film layer of micro injecting device
CN99126009A CN1253042A (en) 1998-11-03 1999-11-03 Method for forming thick and thin film of minitype ejector
JP11314410A JP2000141670A (en) 1998-11-03 1999-11-04 Method for forming-thick film layer of microinjecting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98119888A RU2144472C1 (en) 1998-11-03 1998-11-03 Method for creating thick-film layer in microinjection device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2144472C1 true RU2144472C1 (en) 2000-01-20

Family

ID=20211920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98119888A RU2144472C1 (en) 1998-11-03 1998-11-03 Method for creating thick-film layer in microinjection device

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0999057A3 (en)
JP (1) JP2000141670A (en)
KR (1) KR20000034821A (en)
CN (1) CN1253042A (en)
RU (1) RU2144472C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2692373C1 (en) * 2018-08-03 2019-06-24 Акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (АО "Российские космические системы") Method of producing dielectric layer based on polymer coating in microelectronics products

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009283593A (en) * 2008-05-21 2009-12-03 Seiko Epson Corp Method of manufacturing semiconductor apparatus
JP6964975B2 (en) * 2016-01-08 2021-11-10 キヤノン株式会社 Liquid discharge head and liquid discharge device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6053675B2 (en) * 1978-09-20 1985-11-27 富士写真フイルム株式会社 Spin coating method
US4490728A (en) 1981-08-14 1984-12-25 Hewlett-Packard Company Thermal ink jet printer
US4809428A (en) 1987-12-10 1989-03-07 Hewlett-Packard Company Thin film device for an ink jet printhead and process for the manufacturing same
US5682187A (en) * 1988-10-31 1997-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
US5140345A (en) 1989-03-01 1992-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing a substrate for a liquid jet recording head and substrate manufactured by the method
US5420627A (en) 1992-04-02 1995-05-30 Hewlett-Packard Company Inkjet printhead
US5274400A (en) 1992-04-28 1993-12-28 Hewlett-Packard Company Ink path geometry for high temperature operation of ink-jet printheads
US5450108A (en) * 1993-09-27 1995-09-12 Xerox Corporation Ink jet printhead which avoids effects of unwanted formations developed during fabrication

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2692373C1 (en) * 2018-08-03 2019-06-24 Акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (АО "Российские космические системы") Method of producing dielectric layer based on polymer coating in microelectronics products

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000141670A (en) 2000-05-23
EP0999057A3 (en) 2000-11-29
KR20000034821A (en) 2000-06-26
EP0999057A2 (en) 2000-05-10
CN1253042A (en) 2000-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100288698B1 (en) Micro injecting device and method for fabricating the same
US6739519B2 (en) Plurality of barrier layers
TWI236430B (en) Method for manufacturing an ink jet head
JP4729730B2 (en) Inkjet printhead manufacturing method
JPS62204952A (en) Manufacture of liquid jet recording head
RU2144472C1 (en) Method for creating thick-film layer in microinjection device
KR100309989B1 (en) Nozzle plate assembly of a micro injecting device and method for fabricating the same
KR101012210B1 (en) Plurality of barrier layers
JPH106504A (en) Print head and method of forming print head
JP3269050B2 (en) Micro-injection device and manufacturing method thereof
JP4979641B2 (en) Method for manufacturing liquid discharge head
JP2001105590A (en) Ink jet head
JP2001158102A (en) Method for manufacturing ink jet printer head
JP2003276203A (en) Ink jet recording head, ink cassette, recorder, and method for producing ink jet recording head
JPH06183008A (en) Thermal ink jet recording head and fabrication thereof
JP2000094689A (en) Ink jet recorder
JPH08132626A (en) Ink jet head and production thereof
JPH0729432B2 (en) How to make a liquid jet recording head
JPH08244233A (en) Surface treating method for ink jet recording head
JPH11179921A (en) Surface treating method for liquid jet recording head
JP2002200754A (en) Ink jet head
JPH10217486A (en) Manufacture of liquid jet recording head
JP2000131518A (en) Apparatus for production of color filter, and its production
KR20050123334A (en) Ink-jet print head with hydrophobic layer and the fabricating method thereof