JP2017096722A - コンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部が設けられた主面、および、裏面を有し、絶縁性を有する板状の支持基板と、前記支持基板の前記主面に一方の面が固着されて前記凹部を覆う、絶縁性および可撓性を有する可撓性薄膜層と、前記可撓性薄膜層の他方の面に設けられたコンタクト電極とを備えるコンタクトプローブであって、前記コンタクト電極は、前記凹部の周縁から中心に向かって突出するとともに、前記可撓性薄膜層における前記凹部の中心領域に相当する箇所は露出するように形成されている。
【選択図】図1
Description
2,12,22,32 ベース基板
3,13,23,33 支持基板
4,14,24,34 可撓性薄膜層
5,15,25,35 貫通電極
6,16,26,36 凹部
7,17,27,37 導電部材
8,18,28,38 コンタクト電極
9,19,29,39 接触部
10,30 開口
100 ウエハ
101 ICチップ端子
200 基板
201 はんだ
Claims (7)
- 凹部が設けられた主面、および、裏面を有し、絶縁性を有する板状の支持基板と、
前記支持基板の前記主面に一方の面が固着されて前記凹部を覆う、絶縁性および可撓性を有する可撓性薄膜層と、
前記可撓性薄膜層の他方の面に設けられたコンタクト電極と、を備え、
前記コンタクト電極は、前記凹部の周縁から中心に向かって突出するとともに、前記可撓性薄膜層における前記凹部の中心領域に相当する箇所は露出するように形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記支持基板は、前記主面と前記裏面とを接続し、且つ前記コンタクト電極と電気的に接続された導電部材を備えることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記凹部は、前記支持基板の前記主面から前記裏面へと貫通する貫通孔であり、前記導電部材は前記貫通孔の内面に形成された導電膜であることを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記支持基板の前記裏面に結合され、前記支持基板の前記導電部材と電気的に接続された貫通電極を有するベース基板を備えること特徴とする請求項2または請求項3に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コンタクト電極は、前記凹部の中心に向かって突出した箇所に、前記コンタクト電極と異なる材質で形成された接触部を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コンタクト電極は、前記凹部の中心に向かって突出した箇所に、前記可撓性薄膜層から離れる方向に突出した接触部を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記可撓性薄膜層の厚さが、5.0〜10.0μmであり、前記コンタクト電極の厚さが、0.1〜5.0μmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
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